CN109731819A - 一种多晶硅片生产装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及硅片生产领域，具体的说是一种多晶硅片生产装置，包括支撑台、储存机构、清洗机构、驱动机构、除杂机构、固定机构和接水盘；储存机构的内部居中处安装清洗机构，且储存机构的侧壁安装驱动机构，驱动机构转动连接清除机构，当清洗多晶硅片时，打开驱动机构，驱动机构带动清洗机构转动，将多晶硅片放入储存机构的内部，清洗机构转动和储存机构内部的纯净水与多晶硅片接触，将多晶硅片的表面灰尘擦净，清洗方便，且滑动或转动多晶硅片即可将多晶硅片清洗干净，从而加快多晶硅片的清洗效率；当将多晶硅片清洗干净后，将多晶硅片放入两个除杂机构之间，多晶硅片在两个除杂机构之间滑动，使除杂机构将多晶硅片表面的水擦拭干净。
Description
技术领域
本发明涉及硅片生产领域，具体的说是一种多晶硅片生产装置。
背景技术
多晶硅片，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。
在生产多晶硅片的过程中，多晶硅片的表面易沾染一些灰尘，人们大部分采用手工清理，人们劳动强度大，且清洗效率低。鉴于此，本发明提供一种多晶硅片生产装置，具有以下特点：
(1)本发明所述的一种多晶硅片生产装置，储存机构的内部居中处安装清洗机构，且储存机构的侧壁安装驱动机构，驱动机构转动连接清除机构，当清洗多晶硅片时，打开驱动机构，驱动机构带动清洗机构在储存机构的内部转动，将多晶硅片放入储存机构的内部，清洗机构转动带动储存机构内部的纯净水运动均匀的与多晶硅片接触，且所述清洗机构转动与多晶硅片接触，将多晶硅片的表面灰尘擦净，清洗方便，且滑动或转动多晶硅片即可将多晶硅片清洗干净，从而加快多晶硅片的清洗效率。
(2)本发明所述的一种多晶硅片生产装置，支撑台的顶面安装固定机构，固定机构的侧壁对称转动连接除杂机构，当将多晶硅片清洗干净后，将多晶硅片放入两个除杂机构之间，多晶硅片在两个除杂机构之间滑动，使除杂机构将多晶硅片表面的水擦拭干净，避免多晶硅片的表面残余水垢
发明内容
针对现有技术中的问题，本发明提供了一种多晶硅片生产装置，储存机构的内部居中处安装清洗机构，且储存机构的侧壁安装驱动机构，驱动机构转动连接清除机构，当清洗多晶硅片时，打开驱动机构，驱动机构带动清洗机构在储存机构的内部转动，将多晶硅片放入储存机构的内部，清洗机构转动带动储存机构内部的纯净水运动均匀的与多晶硅片接触，且所述清洗机构转动与多晶硅片接触，将多晶硅片的表面灰尘擦净，清洗方便，且滑动或转动多晶硅片即可将多晶硅片清洗干净，从而加快多晶硅片的清洗效率，支撑台的顶面安装固定机构，固定机构的侧壁对称转动连接除杂机构，当将多晶硅片清洗干净后，将多晶硅片放入两个除杂机构之间，多晶硅片在两个除杂机构之间滑动，使除杂机构将多晶硅片表面的水擦拭干净，避免多晶硅片的表面残余水垢。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种多晶硅片生产装置，包括支撑台、储存机构、清洗机构、驱动机构、除杂机构、固定机构和接水盘；所述支撑台的顶面安装所述储存机构，所述储存机构的内部转动连接所述清洗机构；所述储存机构的侧壁安装所述驱动机构，且所述驱动机构与所述清洗机构转动连接；所述支撑台的顶面一端固定连接所述固定机构，且所述固定机构的侧壁转动连接所述除杂机构；所述支撑台的顶面安装所述接水盘，且所述接水盘的两端抵触所述固定机构。
具体的，所述储存机构包括阀门和箱体，所述箱体固定于所述支撑台顶面的一端，所述箱体的底端呈漏斗形，且所述箱体的底端侧壁安装所述阀门。
具体的，所述清洗机构包括毛刷、转轴和滤网，所述箱体的内部安装多个所述滤网，相邻的所述滤网之间安装所述转轴，且所述转轴与所述箱体的内部转动连接；所述转轴的侧壁等距安装所述毛刷，所述毛刷与所述滤网的侧壁转动连接，且所述转轴的最顶端与所述滤网的顶面齐平。
具体的，所述驱动机构包括固定板、电机和齿轮，所述箱体的侧壁固定连接所述固定板，中空所述固定板的侧壁安装所述电机，所述固定板的内部转动连接多个所述齿轮，且相邻所述齿轮之间相互啮合；所述电机转动连接其中一个所述齿轮，且所述齿轮的一端固定连接所述转轴。
具体的，所述固定机构包括螺杆、支撑板、滚轮和连接杆，所述支撑台顶面的另一端对称安装所述支撑板，所述支撑板的侧壁对称与所述螺杆之间螺纹连接；侧壁为“T”形的所述螺杆的一端固定连接所述连接杆，且所述连接杆的侧壁等距转动连接所述滚轮。
具体的，所述除杂机构包括滚轴和海绵垫，两块所述支撑板之间等距转动连接所述滚轴，所述滚轴的侧壁套装所述海绵垫；多个所述连接杆和所述滚轮分别伸入所述滚轴的两端内部，且所述连接杆和所述滚轮与所述滚轴的内部转动连接。
具体的，所述接水盘位于两个所述支撑板之间，且所述接水盘的宽度远远大于所述滚轴的直径。
本发明的有益效果：
(1)本发明所述的一种多晶硅片生产装置，储存机构的内部居中处安装清洗机构，且储存机构的侧壁安装驱动机构，驱动机构转动连接清除机构，当清洗多晶硅片时，打开驱动机构，驱动机构带动清洗机构在储存机构的内部转动，将多晶硅片放入储存机构的内部，清洗机构转动带动储存机构内部的纯净水运动均匀的与多晶硅片接触，且所述清洗机构转动与多晶硅片接触，将多晶硅片的表面灰尘擦净，清洗方便，且滑动或转动多晶硅片即可将多晶硅片清洗干净，从而加快多晶硅片的清洗效率。
(2)本发明所述的一种多晶硅片生产装置，支撑台的顶面安装固定机构，固定机构的侧壁对称转动连接除杂机构，当将多晶硅片清洗干净后，将多晶硅片放入两个除杂机构之间，多晶硅片在两个除杂机构之间滑动，使除杂机构将多晶硅片表面的水擦拭干净，避免多晶硅片的表面残余水垢。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1为本发明提供的一种多晶硅片生产装置的一种较佳实施例的结构示意图；
图2为图1所示的储存机构内部结构示意图；
图3为图1所示的驱动机构内部结构剖面图；
图4为图1所示的固定机构和除杂机构结构分解示意图。
图中：1、支撑台，2、储存机构，21、阀门，22、箱体，3、清洗机构，31、毛刷，32、转轴，33、滤网，4、驱动机构，41、固定板，42、电机，43、齿轮，5、除杂机构，51、滚轴，52、海绵垫，6、固定机构，61、螺杆，62、支撑板，63、滚轮，64、连接杆，7、接水盘。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
如图1-图4所示，本发明所述的一种多晶硅片生产装置，包括支撑台1、储存机构2、清洗机构3、驱动机构4、除杂机构5、固定机构6和接水盘7；所述支撑台1的顶面安装所述储存机构2，所述储存机构2的内部转动连接所述清洗机构3；所述储存机构2的侧壁安装所述驱动机构4，且所述驱动机构4与所述清洗机构4转动连接；所述支撑台1的顶面一端固定连接所述固定机构6，且所述固定机构6的侧壁转动连接所述除杂机构5；所述支撑台1的顶面安装所述接水盘7，且所述接水盘7的两端抵触所述固定机构6。
具体的，所述储存机构2包括阀门21和箱体22，所述箱体22固定于所述支撑台1顶面的一端，所述箱体22的底端呈漏斗形，且所述箱体22的底端侧壁安装所述阀门21，为了方便在所述箱体22的内部加入纯净水，方便纯净水清洗多晶硅片，多晶硅片表面的灰尘汇聚到呈漏斗形所述箱体22底端，打开所述阀门21，方便排出所述箱体22内部的水和灰尘。
具体的，述清洗机构3包括毛刷31、转轴32和滤网33，所述箱体22的内部安装多个所述滤网33，相邻的所述滤网33之间安装所述转轴32，且所述转轴32与所述箱体22的内部转动连接；所述转轴32的侧壁等距安装所述毛刷31，所述毛刷31与所述滤网33的侧壁转动连接，且所述转轴32的最顶端与所述滤网33的顶面齐平，为了方便将多晶硅片放在所述滤网33的表面，纯净水贯穿所述滤网33与多晶硅片接触，所述转轴32带动所述毛刷31转动，使所述毛刷31转动与多晶硅片的侧壁接触，将多晶硅片侧壁的灰尘擦净。且所述转轴32的最顶端与所述滤网33的顶面齐平，方便所述转轴32和所述毛刷31与多晶硅片侧壁的接触。
具体的，所述驱动机构4包括固定板41、电机42和齿轮43，所述箱体22的侧壁固定连接所述固定板41，中空所述固定板41的侧壁安装所述电机42，所述固定板41的内部转动连接多个所述齿轮43，且相邻所述齿轮43之间相互啮合；所述电机42转动连接其中一个所述齿轮43，且所述齿轮43的一端固定连接所述转轴32，为了方便所述电机42带动一个所述齿轮43转动，一个所述齿轮43带动其他的所述齿轮43在所述固定板41的内部转动，从而使所述齿轮43带动所述转轴32转动，且相邻的所述转轴32的转动方向相反，使所述转轴32带动所述毛刷31从不同方向与不同角度清洗多晶硅片的侧壁，将多晶硅片的侧壁清洗干净。
具体的，所述固定机构6包括螺杆61、支撑板62、滚轮63和连接杆64，所述支撑台1顶面的另一端对称安装所述支撑板62，所述支撑板62的侧壁对称与所述螺杆61之间螺纹连接；侧壁为“T”形的所述螺杆61的一端固定连接所述连接杆64，且所述连接杆64的侧壁等距转动连接所述滚轮63，为了方便在所述支撑板62的侧壁旋转所述螺杆61，所述螺杆61带动所述连接杆64进入所述滚轴51的内部两端，使所述连接杆64为所述滚轴51提供支撑，从而将所述滚轴51固定在两块所述支撑板62之间。
具体的，所述除杂机构5包括滚轴51和海绵垫52，两块所述支撑板62之间等距转动连接所述滚轴51，所述滚轴51的侧壁套装所述海绵垫52；多个所述连接杆64和所述滚轮63分别伸入所述滚轴51的两端内部，且所述连接杆64和所述滚轮63与所述滚轴51的内部转动连接，为了方便将多晶硅片放入两个所述滚轴51之间，使所述海绵垫52与多晶硅片接触，且多晶硅片运动带动所述海绵垫52和所述滚轴51转动，方便多晶硅片在所述海绵垫52之间运动，且所述海绵垫52将多晶硅片表面的水分擦去，避免多晶硅片的表面出现水垢。
具体的，所述接水盘7位于两个所述支撑板62之间，且所述接水盘7的宽度远远大于所述滚轴51的直径，为了方便多晶硅片表面的水珠滴落进入所述接水盘7的内部，避免多晶硅片表面的水珠四溅。
在使用时，将本装置接入电源，向箱体22的内部加入适量的纯净水，使纯净水没过毛刷31；打开固定板41侧壁的电机42，电机42带动一个齿轮43转动，相邻的齿轮43之间相互啮合一个齿轮43带动其他的齿轮43在固定板41的内部转动，从而使齿轮43带动转轴32转动，转轴32带动毛刷31在箱体22的内部转动。将需要清洗的多晶硅片放在滤网33的表面，转轴32转动带动毛刷31转动均匀的多晶硅片的侧壁接触，且转轴32带动纯净水运动，使多晶硅片表面的灰尘落入纯净水的内部，在滤网33的顶面滑动和转动多晶硅片，使多晶硅片的表面均匀的与毛刷31接触，使多晶硅片的表面被刷干净。在使用过程中，一个齿轮43带动其他的齿轮43在固定板41的内部转动，从而使相邻的齿轮43转动方向相反，导致相邻的转轴32转动方向相反，相邻的毛刷31转动方向相反，在多晶硅片在滤网33的表面运动时，毛刷31从不同方向与不同角度清洗多晶硅片的侧壁，将多晶硅片的侧壁清洗干净。当将多晶硅片清洗干净后，将多晶硅片放入两个海绵垫52之间，多晶硅片挤压海绵垫52，海绵垫52反向挤压多晶硅片，使多晶硅片与海绵垫52紧密的贴紧。在两个海绵垫52之间滑动多晶硅片，使多晶硅片运动带动海绵垫52和滚轴51转动，方便多晶硅片在海绵垫52之间运动，且海绵垫52转动将多晶硅片表面的水分擦去，再次清理多晶硅片运动带动海绵垫52和滚轴51转动，方便多晶硅片在海绵垫52之间运动，且海绵垫52将多晶硅片表面的水分擦去，避免多晶硅片的表面出现水垢的表面，且避免多晶硅片的表面出现水垢，且支撑板62之间安装接水盘7，且接水盘7的宽度远远大于滚轴51的直径，为了方便多晶硅片表面的水珠滴落进入接水盘7的内部，避免多晶硅片表面的水珠四溅。在海绵垫52和滚轴51转动时，滚轴51在滚轮63的侧壁转动，带动滚轮63在连接杆64的侧壁转动，减小滚轮63与滚轴51之间的摩擦力，从而方便滚轴51的转动。在清洗过程中，需要经常更换纯净水，更换纯净水时，打开阀门21，且箱体22的底端为漏斗形，方便将箱体22内部的水和灰尘排出。当海绵垫52表面灰尘过多时，旋转支撑板62侧壁的螺杆61，使螺杆61在支撑板62的侧壁慢慢转出，螺杆61带动连接杆64和滚珠63转动，使连接杆64和滚珠63从滚轴51的内部滑出，再将滚轴51从两块支撑板62之间取出，跟换滚轴51侧壁的海绵垫52。再将滚轴51固定在两块支撑板62之间即可。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施方式和说明书中的描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入本发明要求保护的范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (7)
1.一种多晶硅片生产装置，其特征在于：包括支撑台(1)、储存机构(2)、清洗机构(3)、驱动机构(4)、除杂机构(5)、固定机构(6)和接水盘(7)；所述支撑台(1)的顶面安装所述储存机构(2)，所述储存机构(2)的内部转动连接所述清洗机构(3)；所述储存机构(2)的侧壁安装所述驱动机构(4)，且所述驱动机构(4)与所述清洗机构(4)转动连接；所述支撑台(1)的顶面一端固定连接所述固定机构(6)，且所述固定机构(6)的侧壁转动连接所述除杂机构(5)；所述支撑台(1)的顶面安装所述接水盘(7)，且所述接水盘(7)的两端抵触所述固定机构(6)。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片生产装置，其特征在于：所述储存机构(2)包括阀门(21)和箱体(22)，所述箱体(22)固定于所述支撑台(1)顶面的一端，所述箱体(22)的底端呈漏斗形，且所述箱体(22)的底端侧壁安装所述阀门(21)。
3.根据权利要求2所述的一种多晶硅片生产装置，其特征在于：所述清洗机构(3)包括毛刷(31)、转轴(32)和滤网(33)，所述箱体(22)的内部安装多个所述滤网(33)，相邻的所述滤网(33)之间安装所述转轴(32)，且所述转轴(32)与所述箱体(22)的内部转动连接；所述转轴(32)的侧壁等距安装所述毛刷(31)，所述毛刷(31)与所述滤网(33)的侧壁转动连接，且所述转轴(32)的最顶端与所述滤网(33)的顶面齐平。
4.根据权利要求3所述的一种多晶硅片生产装置，其特征在于：所述驱动机构(4)包括固定板(41)、电机(42)和齿轮(43)，所述箱体(22)的侧壁固定连接所述固定板(41)，中空所述固定板(41)的侧壁安装所述电机(42)，所述固定板(41)的内部转动连接多个所述齿轮(43)，且相邻所述齿轮(43)之间相互啮合；所述电机(42)转动连接其中一个所述齿轮(43)，且所述齿轮(43)的一端固定连接所述转轴(32)。
5.根据权利要求4所述的一种多晶硅片生产装置，其特征在于：所述固定机构(6)包括螺杆(61)、支撑板(62)、滚轮(63)和连接杆(64)，所述支撑台(1)顶面的另一端对称安装所述支撑板(62)，所述支撑板(62)的侧壁对称与所述螺杆(61)之间螺纹连接；侧壁为“T”形的所述螺杆(61)的一端固定连接所述连接杆(64)，且所述连接杆(64)的侧壁等距转动连接所述滚轮(63)。
6.根据权利要求5所述的一种多晶硅片生产装置，其特征在于：所述除杂机构(5)包括滚轴(51)和海绵垫(52)，两块所述支撑板(62)之间等距转动连接所述滚轴(51)，所述滚轴(51)的侧壁套装所述海绵垫(52)；多个所述连接杆(64)和所述滚轮(63)分别伸入所述滚轴(51)的两端内部，且所述连接杆(64)和所述滚轮(63)与所述滚轴(51)的内部转动连接。
7.根据权利要求6所述的一种多晶硅片生产装置，其特征在于：所述接水盘(7)位于两个所述支撑板(62)之间，且所述接水盘(7)的宽度大于所述滚轴(51)的直径。
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