CN109702638A

CN109702638A - 一种化学机械抛光设备

Info

Publication number: CN109702638A
Application number: CN201910183083.5A
Authority: CN
Inventors: 李冬; 刘瑞雪; 宋乘光; 张鑫源; 张兆盈; 向恭梁; 杨俊娜
Original assignee: Shandong University of Science and Technology
Current assignee: Shandong University of Science and Technology
Priority date: 2019-03-12
Filing date: 2019-03-12
Publication date: 2019-05-03

Abstract

本发明涉及一种抛光设备，具体是一种化学机械抛光设备，包括安装有抛光头的减震连接座，所述减震连接座通过安装臂安装固定，减震连接座内部安装有缓冲系统。本发明中缓冲系统可避免抛光设备运行过程中抛光头直接接触抛光体造成损坏，使用寿命高。

Description

一种化学机械抛光设备

技术领域

本发明涉及一种抛光设备，具体是一种化学机械抛光设备。

背景技术

抛光是指利用机械、化学或电化学的作用，使工件表面粗糙度降低，以获得光亮、平整表面的加工方法。是利用抛光工具和磨料颗粒或其他抛光介质对工件表面进行的修饰加工。抛光不能提高工件的尺寸精度或几何形状精度，而是以得到光滑表面或镜面光泽为目的，有时也用以消除光泽（消光）。通常以抛光轮作为抛光工具。抛光轮一般用多层帆布、毛毡或皮革叠制而成，两侧用金属圆板夹紧，其轮缘涂敷由微粉磨料和油脂等均匀混合而成的抛光剂。

抛光时，高速旋转的抛光轮（圆周速度在20米/秒以上）压向工件，使磨料对工件表面产生滚压和微量切削，从而获得光亮的加工表面，表面粗糙度一般可达Ra0.63～0.01微米;当采用非油脂性的消光抛光剂时，可对光亮表面消光以改善外观。大批量生产轴承钢球时，常采用滚筒抛光的方法。

目前抛光设备运行过程中抛光头直接接触抛光体进而容易造成抛光头损坏，使用寿命低。

因此，提供一种化学机械抛光设备，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种化学机械抛光设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种化学机械抛光设备，包括安装有抛光头的减震连接座，所述减震连接座通过安装臂安装固定，减震连接座内部安装有缓冲系统。

作为进一步的方案：所述减震连接座内部配合缓冲系统开设有缓冲腔，缓冲系统上设有下安装管，下安装管上端连接有上安装管，上安装管为软管，下安装管和上安装管连接处安装有限位环，限位环上端安装有呈环形阵列分布的缓冲杆，限位环下端固定有呈环形阵列分布的第一弹簧，限位环四周固定有四个呈环形阵列分布的限位杆。

作为再进一步的方案：所述缓冲腔的横截面呈“凸”字型。

作为再进一步的方案：所述缓冲杆是由伸缩杆和第二弹簧组成，第二弹簧套设在伸缩杆上。

作为再进一步的方案：所述伸缩杆是由内杆和外套管组成，内杆穿插在外套管内部。

作为再进一步的方案：所述内杆和外套管连接处固定有限位凸沿。

作为再进一步的方案：所述限位杆呈L型，限位杆上端固定有顶板。

作为再进一步的方案：所述减震连接座下端安装有安装盘，安装盘下端和抛光头固定连接，安装盘外侧设有防护罩。

作为再进一步的方案：所述安装臂是由内固定臂和外套臂组成，内固定臂穿插在外套臂内部，内固定臂和外套臂通过固定销固定安装，内固定臂上配合固定销开设有阵列分布的固定孔。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明中缓冲系统可避免抛光设备运行过程中抛光头直接接触抛光体造成损坏，使用寿命高；

2、本发明中限位杆可对缓冲系统进行限位，避免过度限位造成抛光质量不佳的问题。

附图说明

图1为本发明化学机械抛光设备的结构示意图。

图2为图1的主视结构示意图。

图3为图1中减震连接座的横向剖面图。

图4为图3中限位杆的结构示意图。

图中：1-安装盘；2-防护罩；3-减震连接座；4-内固定臂；5-外套臂；6-安装臂；7-固定销；8-缓冲系统；81-限位杆；82-限位环；83-第一弹簧；84-下安装管；85-缓冲杆；86-上安装管；87-顶板。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本发明的技术方案作进一步详细地说明。

请参阅图1-4，本发明提供一种化学机械抛光设备。

实施例1

如图1和图3所示，本发明实施例中，一种化学机械抛光设备，包括安装有抛光头的减震连接座3，所述减震连接座3通过安装臂6安装固定，为了避免抛光设备运行过程中抛光头直接接触抛光体造成损坏，减震连接座3内部安装有缓冲系统8。

如图3和图4所示，所述减震连接座3内部配合缓冲系统8开设有缓冲腔，缓冲腔的横截面呈“凸”字型，缓冲系统8上设有下安装管84，下安装管84上端连接有上安装管86，上安装管86为软管，下安装管84和上安装管86连接处安装有限位环82，限位环82上端安装有呈环形阵列分布的缓冲杆85，限位环82下端固定有呈环形阵列分布的第一弹簧83，限位环82四周固定有四个呈环形阵列分布的限位杆81。

进一步的，所述缓冲杆85是由伸缩杆和第二弹簧组成，第二弹簧套设在伸缩杆上。

进一步的，所述伸缩杆是由内杆和外套管组成，内杆穿插在外套管内部，内杆和外套管连接处固定有限位凸沿。

进一步的，所述限位杆81呈L型，限位杆81上端固定有顶板87。

实施例2

一种化学机械抛光设备，如图1和图2所示，本发明实施例是在实施例1的基础上进行的进一步的限定。

进一步的，所述减震连接座3下端安装有安装盘1，安装盘1下端和抛光头固定连接，安装盘1外侧设有防护罩2。

进一步的，所述安装臂6是由内固定臂4和外套臂5组成，内固定臂4穿插在外套臂5内部，内固定臂4和外套臂5通过固定销7固定安装，内固定臂4上配合固定销7开设有阵列分布的固定孔。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

上面对本发明的较佳实施方式作了详细说明，但是本发明并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。

Claims

1.一种化学机械抛光设备，包括安装有抛光头的减震连接座（3），其特征在于，所述减震连接座（3）通过安装臂（6）安装固定，减震连接座（3）内部安装有缓冲系统（8）。

2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述减震连接座（3）内部配合缓冲系统（8）开设有缓冲腔，缓冲系统（8）上设有下安装管（84），下安装管（84）上端连接有上安装管（86），上安装管（86）为软管，下安装管（84）和上安装管（86）连接处安装有限位环（82），限位环（82）上端安装有呈环形阵列分布的缓冲杆（85），限位环（82）下端固定有呈环形阵列分布的第一弹簧（83），限位环（82）四周固定有四个呈环形阵列分布的限位杆（81）。

3.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述缓冲腔的横截面呈“凸”字型。

4.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述缓冲杆（85）是由伸缩杆和第二弹簧组成，第二弹簧套设在伸缩杆上。

5.根据权利要求4所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述伸缩杆是由内杆和外套管组成，内杆穿插在外套管内部。

6.根据权利要求5所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述内杆和外套管连接处固定有限位凸沿。

7.根据权利要求2所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述限位杆（81）呈L型，限位杆（81）上端固定有顶板（87）。

8.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述减震连接座（3）下端安装有安装盘（1），安装盘（1）下端和抛光头固定连接，安装盘（1）外侧设有防护罩（2）。

9.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光设备，其特征在于，所述安装臂（6）是由内固定臂（4）和外套臂（5）组成，内固定臂（4）穿插在外套臂（5）内部，内固定臂（4）和外套臂（5）通过固定销（7）固定安装，内固定臂（4）上配合固定销（7）开设有阵列分布的固定孔。