CN109701936A - 一种循环槽体结构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种循环槽体结构，包括主槽体，主槽体外圈设有外槽，主槽体与外槽通过循环泵浦连接，循环泵浦的输入端连接外槽，循环泵浦的输出端连接主槽体，循环泵浦的输出端连接设置在主槽体内至少一条的循环进液管；通过循环泵浦的输入端从外槽内抽取液体，再从其输出端将液体通过至少一条的循环进液管注入主槽体内，以此循环清洗被清洗物。本发明在现有技术的主槽体内设置循环进液管，通过在主槽体底部进行均匀喷洒，结合循环进液管上增加鼓泡装置和加热装置，同时的主槽体与外槽之间的侧壁上设有流通的通孔，使液体能均匀的从主槽体区域均匀向溢流区流动,使主槽体表层液面无死区，从而被清洗物2四周温度均匀性得到很好的保证。
Description
技术领域
本发明涉及半导体和太阳能清洗设备和湿法处理设备,尤其是槽式清洗设备和湿法处理设备。
背景技术
在清洗行业,往往会采用槽体容器盛装水或配比的化学药品对目标物体进行清洗或化学腐蚀处理,目前行业内采用的槽体容器基本为两侧溢流,并安装有分体式副槽,液体从主反应槽通过管道流到副槽,然后通过泵浦再注入主槽,如此循环。常规的这种槽型结构具有一定缺陷：1.两侧溢流,往往槽面未溢流的侧边会存在死区；2.对一些温度敏感的化学反应,由于槽体采用单层设计,往往保温效果差,造成被清洗物侧边的温度与底部的温度相差较大。
发明内容
本发明提供了在使用过程中既可以使槽体液表面能够达到均匀溢流效果,又使主反应区具备良好的温度稳定性的一种循环槽体结构。
为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是提供了一种循环槽体结构，包括主槽体，所述主槽体外圈设有外槽，所述主槽体与外槽通过循环泵浦连接，所述循环泵浦的输入端连接外槽，所述循环泵浦的输出端连接主槽体，所述循环泵浦的输出端连接设置在主槽体内至少一条的循环进液管；通过循环泵浦的输入端从外槽内抽取液体，再从其输出端将液体通过至少一条的循环进液管注入主槽体内，以此循环清洗被清洗物。
优选地，所述循环进液管设于主槽体的底部，且循环进液管上分布有多个喷洒孔。
优选地，所述循环泵浦的输出端通过管道与主槽体内的循环进液管连接，所述循环泵浦的输入端通过管道与外槽上的循环泵浦进口相连，形成循环管路。
优选地，所述循环进液管与循环泵浦连接的部分位于主槽体外，所述循环进液管上带有多个喷洒孔的部分位于主槽体内。
优选地，所述循环泵浦输出端与每个循环进液管之间连接的管道上均设有控制通量的阀门，用于分别调节每条循环进液管的流量分布。
优选地，所述循环进液管的上方设有加热装置，使流动的液体温度得到控制。
优选地，所述加热装置上方设有鼓泡装置，所述鼓泡装置包括鼓泡管，在鼓泡管进气口通入气体，利用出气口形成的气泡上升扩散使主槽体的上部区域，使液体流动更加均匀，起到搅拌作用。
优选地，所述鼓泡管的出气口上设有多个鼓泡孔匀流装置,进一步使主槽体内的液体能均匀上升。
优选地，所述主槽体与外槽之间对应的侧壁上开有多个通孔，液体通过在主槽体的表面和液面之下的主槽体与外槽之间侧壁上的通孔同时流到外槽的溢流区，进一步提高主槽体内液体中药物成分的均匀性。
优选地，所述外槽的侧壁顶部设有液位超高排放口，所述液位超高排放口与外围管道连接；当主槽体进液不受控，而高出允许范围时，液体可以从外槽上的超高排放口排到外围管道中,防止液体溢出。
本发明在现有技术的主槽体内设置循环进液管，通过在主槽体底部进行均匀喷洒，结合循环进液管上增加鼓泡装置和加热装置，同时的主槽体与外槽之间的侧壁上设有流通的通孔，使液体能均匀的从主槽体区域均匀向溢流区流动,使主槽体表层液面无死区，从而被清洗物四周温度均匀性得到很好的保证。
附图说明
图1为本发明提供的一种循环槽体结构的剖视图；
图2为本发明提供的一种循环槽体结构的俯视图。
图中序号如下：
1、主槽体；2、被清洗物；3、循环进液管；4、循环泵浦；5、外槽；6、循环泵浦进口。
具体实施方式
为使本发明更明显易懂，兹以优选实施例，并配合附图作详细说明如下。
如图1和图2所示，为本发明提供的一种循环槽体结构，包括主槽体1，所述主槽体1外圈设有外槽5，所述主槽体1与外槽5通过循环泵浦4连接，所述循环泵浦4的输出端通过管道与主槽体1内的两条循环进液管3连接，所述循环泵浦4的输入端通过管道与外槽5上的循环泵浦进口6相连，形成循环管路。
所述循环进液管3设于主槽体1的底部，且循环进液管3上均匀分布有多个喷洒孔，所述循环进液管3与循环泵浦4连接的部分位于主槽体1外，所述循环进液管3上带有多个喷洒孔的部分位于主槽体1内；通过喷洒孔将液体均匀的从主槽体1的底部向上喷洒并融入主槽体1内的液体中，除了能对被清洗物2有冲刷的作用，也能起到搅拌液体的作用。
进一步，所述循环泵浦4输出端与每个循环进液管3之间连接的管道上均设有控制通量的阀门，用于分别调节每条循环进液管3的流量分布；所述循环进液管3的上方设有加热装置，使流动的液体温度得到控制。
进一步，所述加热装置上方设有鼓泡装置，所述鼓泡装置包括鼓泡管，在鼓泡管进气口通入气体，利用出气口形成的气泡上升扩散使主槽体1的上部区域，使液体流动更加均匀，起到搅拌作用；所述鼓泡管的出气口上设有多个鼓泡孔匀流装置,进一步使主槽体1内的液体能均匀上升。
进一步，所述主槽体1与外槽5之间对应的主槽体1和外槽5的侧壁上开有多个通孔，液体通过在主槽体1的表面和液面之下的主槽体1与外槽5之间侧壁上的通孔同时流到外槽5的溢流区，进一步提高主槽体1内液体中药物成分的均匀性。
进一步，所述外槽5的侧壁顶部设有液位超高排放口，所述液位超高排放口与外围管道连接；当主槽体1进液不受控，而高出允许范围时，液体可以从外槽5上的超高排放口排到外围管道中,防止液体溢出。
在运行过程中,主槽体1内注液至主槽体1最上端，此时主槽体1区域和溢流区域5均有液体，液体平面高度一致，循环泵浦4运行，溢流区的外槽5中的液体被循环本铺4抽取，并通过循环进液管3注入主槽体1中，主槽体1区域内的液体不断增多，高出主槽体1上边缘的液体通过主槽体1的边缘溢流至溢流区的外槽5，以此循环往复的清洗被清洗物2。
本发明在现有技术的主槽体内设置循环进液管，通过在主槽体底部进行均匀喷洒，结合循环进液管上增加鼓泡装置和加热装置，同时的主槽体与外槽之间的侧壁上设有流通的通孔，使液体能均匀的从主槽体区域均匀向溢流区流动,使主槽体表层液面无死区，从而被清洗物2四周温度均匀性得到很好的保证。
Claims (10)
1.一种循环槽体结构，包括主槽体(1)，所述主槽体(1)外圈设有外槽(5)，所述主槽体(1)与外槽(5)通过循环泵浦(4)连接，所述循环泵浦(4)的输入端连接外槽(5)，所述循环泵浦(4)的输出端连接主槽体(1)，其特征在于，所述循环泵浦(4)的输出端连接设置在主槽体(1)内至少一条的循环进液管(3)；通过循环泵浦(4)的输入端从外槽(5)内抽取液体，再从其输出端将液体通过至少一条的循环进液管(3)注入主槽体(1)内，以此循环清洗被清洗物(2)。
2.根据权利要求1所述的一种循环槽体结构，其特征在于，所述循环进液管(3)设于主槽体(1)的底部，且循环进液管(3)上均匀分布有多个喷洒孔。
3.根据权利要求2所述的一种循环槽体结构，其特征在于，所述循环泵浦(4)的输出端通过管道与主槽体(1)内的循环进液管(3)连接，所述循环泵浦(4)的输入端通过管道与外槽(5)上的循环泵浦进口(6)相连，形成循环管路。
4.根据权利要求3所述的一种循环槽体结构，其特征在于，所述循环进液管(3)与循环泵浦(4)连接的部分位于主槽体(1)外，所述循环进液管(3)上带有多个喷洒孔的部分位于主槽体(1)内。
5.根据权利要求3所述的一种循环槽体结构，其特征在于，所述循环泵浦(4)输出端与每个循环进液管(3)之间连接的管道上均设有控制通量的阀门，用于分别调节每条循环进液管(3)的流量分布。
6.根据权利要求5所述的一种循环槽体结构，其特征在于，所述循环进液管(3)的上方设有加热装置，使流动的液体温度得到控制。
7.根据权利要求6所述的一种循环槽体结构，其特征在于，所述加热装置上方设有鼓泡装置，所述鼓泡装置包括鼓泡管，在鼓泡管进气口通入气体，利用出气口形成的气泡上升扩散使主槽体(1)的上部区域，使液体流动更加均匀，起到搅拌作用。
8.根据权利要求7所述的一种循环槽体结构，其特征在于，所述鼓泡管的出气口上设有多个鼓泡孔匀流装置,使主槽体(1)内的液体能均匀上升。
9.根据权利要求8所述的一种循环槽体结构，其特征在于，所述主槽体(1)与外槽(5)之间对应的侧壁上开有多个通孔，液体通过在主槽体(1)的表面和液面之下的主槽体(1)与外槽(5)之间侧壁上的通孔同时流到外槽(5)的溢流区，提高主槽体(1)内液体中药物成分的均匀性。
10.根据权利要求1-9任一项所述的一种循环槽体结构，其特征在于，所述外槽(5)的侧壁顶部设有液位超高排放口，所述液位超高排放口与外围管道连接；当主槽体(1)进液不受控，而高出允许范围时，液体从外槽(5)上的超高排放口排到外围管道中,防止液体溢出。
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