CN109604968A - 一种精密元件的高效成型工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种精密元件的高效成型工艺，该成型工艺包括以下步骤：粗车削；对刀与中心偏差补偿；启动程序，空挡提速；半精车削；精车削；抛光；清洗；干燥；对棒料进行粗车，提高效率，再对棒料进行半精车和精车，保证工件的精度，通过精准的对刀方法，保证了工件的高精度成型；采用化学刻蚀抛光法进行抛光，提高了效率，降低了成本；采用多频率加温超声清洗工艺，使工件表面具有很好的洁净度；红外线干燥的方法具有干燥速度快等优点，本发明实现了精密元件的整体加工，大幅提高了加工效率，精密元件表面粗糙度达到Ra0.01，满足了设计与使用要求，且具有很好的一致性，该精密元件在本工序中的合格率达到100％。
Description
技术领域
本发明涉及精密元件的加工领域，具体是一种精密元件的高效成型工艺。
背景技术
通过车削加工精密元件时，车加工所采用的材料为实棒，加工前的重量是加工后成品重量的3倍，材料浪费严重，并且批量生产加工精度不稳定，车加工所产生的毛刺是困扰整个行业的难题，耗时费力，精密元件经过切割、研磨和预抛光后，进入到精密抛光阶段，不同于高速抛光过程中单个元件加工，精密元件表面通常采用成盘拼装、低速抛光的方式，通过筛选更精细的抛光粉、采用特殊的抛光元件，优化抛光压力、抛光速度和抛光时间的参数，研制控制材料的去除，获得低表面粗糙度、低表面损伤、低亚表面损伤的精密元件。
为了提高精密元件的加工效率，精密元件往往采用拼盘加工的方式，其方法是利用有机粘结剂，如石蜡、火漆胶等，将圆形元件粘结在光胶板模具上，形成一个整体拼盘加工，但此种方法也导致在元件抛光完成下盘后，在零件上留下大量粘结剂，同时，为了获得低表面粗糙度和低亚表面损伤，抛光时间一般比较长，这就导致表面附着并且呈干结状的抛光粉微粒，为元件的清洗带来极大困难。
精密元件清洗方法有传统的擦拭法、半导体工业的RCA清洗法、超声波清洗法、激光清洗法、等离子体弧清洗法等。传统的擦拭法能够较有效的去除微米以上的大尺度颗粒，但是难于去除亚微米尺度的颗粒，而且由于擦拭人员的技术水平和熟练程度不一致，在擦拭大面积的精密元件或者需要大批量生产时候，效率很低；RCA清洗属于化学清洗，利用不同的化学溶剂能够降低颗粒与元件表面之间的吸附力，但是如果控制不当化学溶液的浓度则会引起精密元件表面的严重腐蚀，造成表面粗糙度的增加；超声波清洗属于物理清洗方法，通过选择合适的超声波频率可以高效去除基板表面从微米到亚微米各种尺度的颗粒，然而当超声频率和功率选择不当或者超声时间过长，则会造成元件表面的物理损伤。所以对于精密元件清洗工艺的选择，不仅要关注污染物的清洗效率，还要避免清洗过程中对精密元件造成的破坏。
目前精密元件的加工工序多，精度不高，生产过程检验较困难，对操作人员技能要求较高，无法有效保证产品品质，报废率较高，不适合大批量生产，无法满足市场需求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种精密元件的高效成型工艺，以解决现有技术中的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种精密元件的高效成型工艺，该成型工艺包括以下步骤：
(1)粗车削；
(2)对刀与中心偏差补偿；
(3)启动程序，空挡提速；
(4)半精车削；
(5)精车削；
(6)抛光；
(7)清洗；
(8)干燥。
作为优化，一种精密元件的高效成型工艺，该成型工艺包括以下步骤：
(1)粗车削：在一般数控车床上，采用粗车刀对棒料进行粗车削；
(2)对刀与中心偏差补偿：在一般精密数控车床上，装夹步骤(1)所得的工件，测量刀具与主轴/工件的回转中心偏差，将该偏差值输入机床进行补偿；
(3)启动程序，空挡提速：在程序中预先设定进入切削前的起刀、驻刀点及停留时间；
(4)半精车削：对步骤(3)所得的工件进行半精车削；
(5)精车削：对步骤(4)所得的工件进行精车削；
(6)抛光：将步骤(5)所得的工件置于抛光液中进行抛光；
(7)清洗：
(a)将步骤(6)所得的工件置于碱液中超声清洗；
(b)将步骤(a)所得的工件置于去离子水清洗室进行冲洗；
(c)将步骤(b)所得的工件置于酒精蒸汽脱水室进行脱水；
(8)干燥：采用红外线对步骤(7)所得的工件进行烘干。
作为优化，一种精密元件的高效成型工艺，该成型工艺包括以下步骤：
(1)粗车削：在一般数控车床上，将棒料一端装入开口胎中，夹于机床主轴上，机床主轴带动棒料旋转作主运动，粗车刀夹持在刀架上作给进运动，粗车刀对棒料的外径进行粗车削，使外径到设计尺寸；粗车的目的是切除工件表面的大部分加工余量，在允许范围内应尽量选择大的切削深度和进给量，提高效率；
(2)对刀与中心偏差补偿：在一般精密数控车床上，装夹步骤(1)所得的工件，用预先改制的刀具平行于工件端面，测量刀具与主轴/工件的回转中心偏差，将该偏差值输入机床进行补偿，使刀尖与工件回转中心达到高度的重合度；利用改制的刀具对工件进行切削，采用合理的装夹与减震方式，改善了工件的变形与振动情况，通过精准的对刀方法，保证了工件的高精度成型；
(3)启动程序，空挡提速：在程序中预先设定进入切削前的起刀、驻刀点及停留时间；保证切削时机床主轴转速提升过程已完成，并且机床无振动；
(4)半精车削：对步骤(3)所得的工件进行半精车削，进给量为0.001-0.003mm/r，切削速度为100-150m/min；
(5)精车削：对步骤(4)所得的工件进行精车削，进给量为0.003-0.01mm/r，背吃刀量为0.003-0.01mm/r，转速为3000-3500r/min；半精车和精车的目的是达到工件的全部尺寸和技术要求，保证工件的精度，半精车和精车应尽量选择较小的切削深度和进给量，切削速度可以取高点，采用合理的加工方法和工艺参数控制切削过程中积屑瘤的产生；
(6)抛光：将步骤(5)所得的工件置于抛光液中，在搅拌速度为60-100r/min、温度为30-60℃下浸泡30-50min，取出工件；采用化学刻蚀抛光法对精密元件进行抛光，此方法简单、实用，既省去了制作掩膜层和光刻胶的时间和设备，降低了成本，还保证了抛光的质量，该方法突破了传统的化学抛光工艺，在同等条件下，不仅提高了刻蚀抛光效率，而且降低了刻蚀抛光成本；
(7)清洗：
(a)将步骤(6)所得的工件置于碱液中，依次在30-80KHz、100-150KHz、170-220KHz的频率下超声清洗，每一频率下超声清洗的时间均为3-5min；依次在低频率、中频率、高频率下对工件进行超声清洗，采用多频率超声清洗工艺，使清洗后的工件表面具有很好的洁净度；
(b)将步骤(a)所得的工件置于去离子水清洗室中，用去离子水冲洗3-8min；
(c)将步骤(b)所得的工件置于酒精蒸汽脱水室中，将酒精加热至沸腾状态，用酒精蒸汽对工件脱水5-10min；
(8)干燥：采用红外线对步骤(7)所得的工件进行烘干，烘干时间为3-5min，得精密元件。红外线是指波长为0.72～1000μm的电磁波，通常将波长在5.6μm以上的称远红外线，波长在5.6μm以下的称近红外线，由于湿物料及水分等在远红外区有很宽的吸收带，所以工业上常用远红外线来干燥物料，利用远红外线辐射物料，使物料中的水分气化，达到干燥的目的，红外线干燥的方法具有干燥速度快，干燥质量好，能量利用率高的优点。
作为优化，步骤(6)中的抛光液由以下原料混合而成：氢氟酸35-50ml、浓硫酸30-45ml、过氧化氢60-80ml、尿素3-5g和聚乙二醇0.1-0.5g。
作为优化，步骤(a)中的碱为氢氧化钠、氢氧化钾、三乙醇胺或氨水中的任意一种。
作为优化，步骤(a)中超声清洗的温度为40-60℃。在加温的条件下对工件进行超声清洗，清洗效果更好，工件表面无颗粒污染物。
作为优化，步骤(b)中去离子水的导电率为0.1-1us/cm。去离子水的导电率越低，表明去离子水的纯度越高，采用导电率为0.1-1us/cm的去离子水对工件进行冲洗，去除工件表面的碱液及残渣。
作为优化，步骤(2)中改制刀具的主要结构参数为后角3-5°，前角1-2°，刀尖露出刀柄长度为30-50mm，刀杆直径为5-10mm。
作为优化，步骤(2)中刀尖与工件回转中心偏差要求控制在0-0.005mm。
作为优化，步骤(1)中要求公差为0-0.04mm。允许尺寸的变动量称为尺寸公差，简称公差，公差越小，表明工件的尺寸精度越高。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
一是本发明一种精密元件的高效成型工艺，对棒料进行粗车，切除工件表面的大部分加工余量，提高效率，再对棒料进行半精车和精车，使工件达到全部尺寸和技术要求，保证工件的精度，采用合理的加工方法和工艺参数控制切削过程中积屑瘤的产生；
二是本发明一种精密元件的高效成型工艺，利用改制的刀具对工件进行切削，采用合理的装夹与减震方式，改善了工件的变形与振动情况，通过精准的对刀方法，保证了工件的高精度成型；
三是本发明一种精密元件的高效成型工艺，采用化学刻蚀抛光法对精密元件进行抛光，此方法简单、实用，既省去了制作掩膜层和光刻胶的时间和设备，降低了成本，还保证了抛光的质量，该方法突破了传统的化学抛光工艺，在同等条件下，不仅提高了刻蚀抛光效率，而且降低了刻蚀抛光成本；
四是本发明一种精密元件的高效成型工艺，依次在低频率、中频率、高频率下对工件进行超声清洗，采用多频率加温超声清洗工艺，使清洗后的工件表面具有很好的洁净度，工件表面无颗粒污染物；
五是本发明一种精密元件的高效成型工艺，利用远红外线辐射工件，使工件中的水分气化，达到干燥的目的，红外线干燥的方法具有干燥速度快，干燥质量好，能量利用率高的优点。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1：
一种精密元件的高效成型工艺，该成型工艺包括以下步骤：
(1)粗车削：在一般数控车床上，将棒料一端装入开口胎中，夹于机床主轴上，机床主轴带动棒料旋转作主运动，粗车刀夹持在刀架上作给进运动，粗车刀对棒料的外径进行粗车削，使外径到设计尺寸，要求公差为0mm；
(2)对刀与中心偏差补偿：在一般精密数控车床上，装夹步骤(1)所得的工件，用预先改制的刀具平行于工件端面，测量刀具与主轴/工件的回转中心偏差，将该偏差值输入机床进行补偿，使刀尖与工件回转中心达到高度的重合度，改制刀具的主要结构参数为后角3°，前角1°，刀尖露出刀柄长度为30mm，刀杆直径为5mm，刀尖与工件回转中心偏差要求控制在0mm；
(3)启动程序，空挡提速：在程序中预先设定进入切削前的起刀、驻刀点及停留时间；
(4)半精车削：对步骤(3)所得的工件进行半精车削，进给量为0.001mm/r，切削速度为100m/min；
(5)精车削：对步骤(4)所得的工件进行精车削，进给量为0.003mm/r，背吃刀量为0.003mm/r，转速为3000r/min；
(6)抛光：将步骤(5)所得的工件置于抛光液中，在搅拌速度为60r/min、温度为30℃下浸泡30min，取出工件，抛光液由以下原料混合而成：氢氟酸35ml、浓硫酸30ml、过氧化氢60ml、尿素3g和聚乙二醇0.1g；
(7)清洗：
(a)将步骤(6)所得的工件置于氢氧化钠水溶液中，依次在30KHz、100KHz、170KHz的频率下超声清洗，每一频率下超声清洗的时间均为3min，超声清洗的温度为40℃；
(b)将步骤(a)所得的工件置于去离子水清洗室中，用去离子水冲洗3min，去离子水的导电率为0.1us/cm；
(c)将步骤(b)所得的工件置于酒精蒸汽脱水室中，将酒精加热至沸腾状态，用酒精蒸汽对工件脱水5min；
(8)干燥：采用红外线对步骤(7)所得的工件进行烘干，烘干时间为3min，得精密元件。
实施例2：
一种精密元件的高效成型工艺，该成型工艺包括以下步骤：
(1)粗车削：在一般数控车床上，将棒料一端装入开口胎中，夹于机床主轴上，机床主轴带动棒料旋转作主运动，粗车刀夹持在刀架上作给进运动，粗车刀对棒料的外径进行粗车削，使外径到设计尺寸，要求公差为0.01mm；
(2)对刀与中心偏差补偿：在一般精密数控车床上，装夹步骤(1)所得的工件，用预先改制的刀具平行于工件端面，测量刀具与主轴/工件的回转中心偏差，将该偏差值输入机床进行补偿，使刀尖与工件回转中心达到高度的重合度，改制刀具的主要结构参数为后角3.5°，前角1.2°，刀尖露出刀柄长度为35mm，刀杆直径为6mm，刀尖与工件回转中心偏差要求控制在0.001mm；
(3)启动程序，空挡提速：在程序中预先设定进入切削前的起刀、驻刀点及停留时间；
(4)半精车削：对步骤(3)所得的工件进行半精车削，进给量为0.0015mm/r，切削速度为110m/min；
(5)精车削：对步骤(4)所得的工件进行精车削，进给量为0.004mm/r，背吃刀量为0.004mm/r，转速为3100r/min；
(6)抛光：将步骤(5)所得的工件置于抛光液中，在搅拌速度为70r/min、温度为35℃下浸泡35min，取出工件，抛光液由以下原料混合而成：氢氟酸40ml、浓硫酸32ml、过氧化氢65ml、尿素3.5g和聚乙二醇0.2g；
(7)清洗：
(a)将步骤(6)所得的工件置于氨水中，依次在40KHz、110KHz、180KHz的频率下超声清洗，每一频率下超声清洗的时间均为3.5min，超声清洗的温度为45℃；
(b)将步骤(a)所得的工件置于去离子水清洗室中，用去离子水冲洗3-8min，去离子水的导电率为0.2us/cm；
(c)将步骤(b)所得的工件置于酒精蒸汽脱水室中，将酒精加热至沸腾状态，用酒精蒸汽对工件脱水6min；
(8)干燥：采用红外线对步骤(7)所得的工件进行烘干，烘干时间为3.5min，得精密元件。
实施例3：
一种精密元件的高效成型工艺，该成型工艺包括以下步骤：
(1)粗车削：在一般数控车床上，将棒料一端装入开口胎中，夹于机床主轴上，机床主轴带动棒料旋转作主运动，粗车刀夹持在刀架上作给进运动，粗车刀对棒料的外径进行粗车削，使外径到设计尺寸，要求公差为0.02mm；
(2)对刀与中心偏差补偿：在一般精密数控车床上，装夹步骤(1)所得的工件，用预先改制的刀具平行于工件端面，测量刀具与主轴/工件的回转中心偏差，将该偏差值输入机床进行补偿，使刀尖与工件回转中心达到高度的重合度，改制刀具的主要结构参数为后角4°，前角1.5°，刀尖露出刀柄长度为40mm，刀杆直径为7.5mm，刀尖与工件回转中心偏差要求控制在0.0025mm；
(3)启动程序，空挡提速：在程序中预先设定进入切削前的起刀、驻刀点及停留时间；
(4)半精车削：对步骤(3)所得的工件进行半精车削，进给量为0.002mm/r，切削速度为125m/min；
(5)精车削：对步骤(4)所得的工件进行精车削，进给量为0.0065mm/r，背吃刀量为0.0065mm/r，转速为3250r/min；
(6)抛光：将步骤(5)所得的工件置于抛光液中，在搅拌速度为80r/min、温度为45℃下浸泡40min，取出工件，抛光液由以下原料混合而成：氢氟酸42.5ml、浓硫酸37.5ml、过氧化氢70ml、尿素4g和聚乙二醇0.3g；
(7)清洗：
(a)将步骤(6)所得的工件置于三乙醇胺溶液中，依次在55KHz、125KHz、195KHz的频率下超声清洗，每一频率下超声清洗的时间均为4min，超声清洗的温度为50℃；
(b)将步骤(a)所得的工件置于去离子水清洗室中，用去离子水冲洗5.5min，去离子水的导电率为0.5us/cm；
(c)将步骤(b)所得的工件置于酒精蒸汽脱水室中，将酒精加热至沸腾状态，用酒精蒸汽对工件脱水7.5min；
(8)干燥：采用红外线对步骤(7)所得的工件进行烘干，烘干时间为4min，得精密元件。
实施例4：
一种精密元件的高效成型工艺，该成型工艺包括以下步骤：
(1)粗车削：在一般数控车床上，将棒料一端装入开口胎中，夹于机床主轴上，机床主轴带动棒料旋转作主运动，粗车刀夹持在刀架上作给进运动，粗车刀对棒料的外径进行粗车削，使外径到设计尺寸，要求公差为0.03mm；
(2)对刀与中心偏差补偿：在一般精密数控车床上，装夹步骤(1)所得的工件，用预先改制的刀具平行于工件端面，测量刀具与主轴/工件的回转中心偏差，将该偏差值输入机床进行补偿，使刀尖与工件回转中心达到高度的重合度，改制刀具的主要结构参数为后角4.5°，前角1.8°，刀尖露出刀柄长度为45mm，刀杆直径为9mm，刀尖与工件回转中心偏差要求控制在0.004mm；
(3)启动程序，空挡提速：在程序中预先设定进入切削前的起刀、驻刀点及停留时间；
(4)半精车削：对步骤(3)所得的工件进行半精车削，进给量为0.0025mm/r，切削速度为140m/min；
(5)精车削：对步骤(4)所得的工件进行精车削，进给量为0.009mm/r，背吃刀量为0.009mm/r，转速为3400r/min；
(6)抛光：将步骤(5)所得的工件置于抛光液中，在搅拌速度为90r/min、温度为55℃下浸泡45min，取出工件，抛光液由以下原料混合而成：氢氟酸48ml、浓硫酸42ml、过氧化氢75ml、尿素4.5g和聚乙二醇0.4g；
(7)清洗：
(a)将步骤(6)所得的工件置于氢氧化钠水溶液中，依次在70KHz、140KHz、210KHz的频率下超声清洗，每一频率下超声清洗的时间均为4.5min，超声清洗的温度为55℃；
(b)将步骤(a)所得的工件置于去离子水清洗室中，用去离子水冲洗7min，去离子水的导电率为0.9us/cm；
(c)将步骤(b)所得的工件置于酒精蒸汽脱水室中，将酒精加热至沸腾状态，用酒精蒸汽对工件脱水9min；
(8)干燥：采用红外线对步骤(7)所得的工件进行烘干，烘干时间为4.5min，得精密元件。
实施例5：
一种精密元件的高效成型工艺，该成型工艺包括以下步骤：
(1)粗车削：在一般数控车床上，将棒料一端装入开口胎中，夹于机床主轴上，机床主轴带动棒料旋转作主运动，粗车刀夹持在刀架上作给进运动，粗车刀对棒料的外径进行粗车削，使外径到设计尺寸，要求公差为0.04mm；
(2)对刀与中心偏差补偿：在一般精密数控车床上，装夹步骤(1)所得的工件，用预先改制的刀具平行于工件端面，测量刀具与主轴/工件的回转中心偏差，将该偏差值输入机床进行补偿，使刀尖与工件回转中心达到高度的重合度，改制刀具的主要结构参数为后角5°，前角2°，刀尖露出刀柄长度为50mm，刀杆直径为10mm，刀尖与工件回转中心偏差要求控制在0.005mm；
(3)启动程序，空挡提速：在程序中预先设定进入切削前的起刀、驻刀点及停留时间；
(4)半精车削：对步骤(3)所得的工件进行半精车削，进给量为0.003mm/r，切削速度为150m/min；
(5)精车削：对步骤(4)所得的工件进行精车削，进给量为0.01mm/r，背吃刀量为0.01mm/r，转速为3500r/min；
(6)抛光：将步骤(5)所得的工件置于抛光液中，在搅拌速度为100r/min、温度为60℃下浸泡50min，取出工件，抛光液由以下原料混合而成：氢氟酸50ml、浓硫酸45ml、过氧化氢80ml、尿素5g和聚乙二醇0.5g；
(7)清洗：
(a)将步骤(6)所得的工件置于氢氧化钾水溶液中，依次在80KHz、150KHz、220KHz的频率下超声清洗，每一频率下超声清洗的时间均为5min，超声清洗的温度为60℃；
(b)将步骤(a)所得的工件置于去离子水清洗室中，用去离子水冲洗8min，去离子水的导电率为1us/cm；
(c)将步骤(b)所得的工件置于酒精蒸汽脱水室中，将酒精加热至沸腾状态，用酒精蒸汽对工件脱水10min；
(8)干燥：采用红外线对步骤(7)所得的工件进行烘干，烘干时间为5min，得精密元件。
本发明实现了精密元件的整体加工，大幅提高了加工效率，另外，精密元件表面粗糙度达到Ra0.01，满足了设计与使用要求，且具有很好的一致性，该精密元件在本工序中的合格率达到100％。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (10)
1.一种精密元件的高效成型工艺，其特征在于，该成型工艺包括以下步骤：
(1)粗车削；
(2)对刀与中心偏差补偿；
(3)启动程序，空挡提速；
(4)半精车削；
(5)精车削；
(6)抛光；
(7)清洗；
(8)干燥。
2.根据权利要求1所述的一种精密元件的高效成型工艺，其特征在于，该成型工艺包括以下步骤：
(1)粗车削：在一般数控车床上，采用粗车刀对棒料进行粗车削；
(2)对刀与中心偏差补偿：在一般精密数控车床上，装夹步骤(1)所得的工件，测量刀具与主轴/工件的回转中心偏差，将该偏差值输入机床进行补偿；
(3)启动程序，空挡提速：在程序中预先设定进入切削前的起刀、驻刀点及停留时间；
(4)半精车削：对步骤(3)所得的工件进行半精车削；
(5)精车削：对步骤(4)所得的工件进行精车削；
(6)抛光：将步骤(5)所得的工件置于抛光液中进行抛光；
(7)清洗：
(a)将步骤(6)所得的工件置于碱液中超声清洗；
(b)将步骤(a)所得的工件置于去离子水清洗室进行冲洗；
(c)将步骤(b)所得的工件置于酒精蒸汽脱水室进行脱水；
(8)干燥：采用红外线对步骤(7)所得的工件进行烘干。
3.根据权利要求2所述的一种精密元件的高效成型工艺，其特征在于，该成型工艺包括以下步骤：
(1)粗车削：在一般数控车床上，将棒料一端装入开口胎中，夹于机床主轴上，机床主轴带动棒料旋转作主运动，粗车刀夹持在刀架上作给进运动，粗车刀对棒料的外径进行粗车削，使外径到设计尺寸；
(2)对刀与中心偏差补偿：在一般精密数控车床上，装夹步骤(1)所得的工件，用预先改制的刀具平行于工件端面，测量刀具与主轴/工件的回转中心偏差，将该偏差值输入机床进行补偿，使刀尖与工件回转中心达到高度的重合度；
(3)启动程序，空挡提速：在程序中预先设定进入切削前的起刀、驻刀点及停留时间；
(4)半精车削：对步骤(3)所得的工件进行半精车削，进给量为0.001-0.003mm/r，切削速度为100-150m/min；
(5)精车削：对步骤(4)所得的工件进行精车削，进给量为0.003-0.01mm/r，背吃刀量为0.003-0.01mm/r，转速为3000-3500r/min；
(6)抛光：将步骤(5)所得的工件置于抛光液中，在搅拌速度为60-100r/min、温度为30-60℃下浸泡30-50min，取出工件；
(7)清洗：
(a)将步骤(6)所得的工件置于碱液中，依次在30-80KHz、100-150KHz、170-220KHz的频率下超声清洗，每一频率下超声清洗的时间均为3-5min；
(b)将步骤(a)所得的工件置于去离子水清洗室中，用去离子水冲洗3-8min；
(c)将步骤(b)所得的工件置于酒精蒸汽脱水室中，将酒精加热至沸腾状态，用酒精蒸汽对工件脱水5-10min；
(8)干燥：采用红外线对步骤(7)所得的工件进行烘干，烘干时间为3-5min，得精密元件。
4.根据权利要求3所述的一种精密元件的高效成型工艺，其特征在于：所述步骤(6)中的抛光液由以下原料混合而成：氢氟酸35-50ml、浓硫酸30-45ml、过氧化氢60-80ml、尿素3-5g和聚乙二醇0.1-0.5g。
5.根据权利要求4所述的一种精密元件的高效成型工艺，其特征在于：所述步骤(a)中的碱为氢氧化钠、氢氧化钾、三乙醇胺或氨水中的任意一种。
6.根据权利要求5所述的一种精密元件的高效成型工艺，其特征在于：所述步骤(a)中超声清洗的温度为40-60℃。
7.根据权利要求6所述的一种精密元件的高效成型工艺，其特征在于：所述步骤(b)中去离子水的导电率为10-20S/m。
8.根据权利要求3至7中任一项所述的一种精密元件的高效成型工艺，其特征在于：所述步骤(2)中改制刀具的主要结构参数为后角3-5°，前角1-2°，刀尖露出刀柄长度为30-50mm，刀杆直径为5-10mm。
9.根据权利要求8所述的一种精密元件的高效成型工艺，其特征在于：所述步骤(2)中刀尖与工件回转中心偏差要求控制在0-0.005mm。
10.根据权利要求9所述的一种精密元件的高效成型工艺，其特征在于：所述步骤(1)中要求公差为0-0.04mm。
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