CN109597285A - 一种平板显示光阻剥离设备 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种平板显示光阻剥离设备，包括槽体，槽体内设置有若干个用于输送玻璃面板的传动辊，在传动辊的上下分别设置有若干个雾化喷头，所述雾化喷头与外部的药液供给装置相连，在槽体的两端按照传送方向前后分别开有用于玻璃面板进出的进口与出口，其中，所述若干个传动辊相平行地设置在槽体中，且传动辊与水平方向呈一定倾斜角度地固定槽体内。本发明能够实现对于玻璃面板的有效剥膜，提高了产品良品率的同时，能够确保剥膜设备的工作安全性和使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及平板清洗设备技术领域，具体涉及一种平板显示光阻剥离设备。
背景技术
剥膜是LED/AMOLED生产过程中一个必不可少的缓解。剥膜是采用高浓度的碱液作脱膜液，将玻璃上余下的光刻胶剥离掉，将反应后的光刻胶带走，让玻璃保持洁净状态，从而使ITO玻璃形成与光刻掩模版完全一致的ITO图形。这样就完成了第一道薄膜导电晶体制程，一般至少需要5道相同的过程，在玻璃上形成复杂精密的电极图形，用相同的方法在玻璃上拉出其他的ITO电极图形，形成复杂精密的电极图形，可以更好的控制液晶分子的运动
但是，现有的玻璃面板的剥膜设备中，对于碱液在玻璃面板上的覆盖不够均匀，导致产品的良品率不够高，且剥膜过程中所存在的安全隐患较多，如何可靠防火防爆也是目前的剥膜设备急需解决的一个问题。
发明内容
本发明的目的是要提供一种平板显示光阻剥离设备，其能够实现对于玻璃面板的有效剥膜，提高了产品良品率的同时，能够确保剥膜设备的工作安全性和使用寿命。
为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：
本发明提供了一种平板显示光阻剥离设备，包括槽体，槽体内设置有若干个用于输送玻璃面板的传动辊，在传动辊处设置有若干个雾化喷头，所述雾化喷头与外部的药液供给装置相连，在槽体的两端按照传送方向前后分别开有用于玻璃面板进出的进口与出口，其中，所述若干个传动辊相平行地设置在槽体中，且传动辊与水平方向呈一定倾斜角度地固定槽体内。
对于上述技术方案，申请人还有进一步的优化措施。
进一步地，所述传动辊的轴心线与水平方向缩成的倾斜角度在5度至10度之间。
进一步地，在所述槽体的进口处依次设置有第一风刀和第一液刀，在所述槽体的出口处设置有第二风刀。
更进一步地，所述第二风刀包括相对设置的两个风刀，剥膜完成后的玻璃面板从所述第二风刀的两个风刀之间穿过后吹干。
进一步地，所述药液供给装置包括药液混合箱，药液混合箱的一侧开设有原药进口和进水口，在药液混合箱的底部开有药液出口，药液出口通过药液管与所述若干个雾化喷头分别相连。
更进一步地，所述药液混合箱的外侧设有冷却循环系统。
进一步地，所述槽体的底部开设有排液孔，所述排液孔通过输送管路与药液循环装置相连。
更进一步地，所述药液供给装置中的药液为有机碱。
进一步地，所述若干个雾化喷头间或交错地设置在所述传送辊的上方或者下方。
进一步地，所述槽体的侧板上设置灭火孔，所述灭火孔与外部设置的灭火器装置相连。
由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：
本发明的平板显示光阻剥离设备，其采用了传动辊倾斜设置的结构，使得玻璃面板随传动辊的传送进入槽体后，玻璃面板也是在倾斜状态下被喷淋药液的，药液能够受重力影响顺流而下，使得玻璃面板得以药液全覆盖，提高剥膜效果，进而提高产品的良品率。
进一步地，该平板显示光阻剥离设备的整体管路设计更为合理，能够工作更为安全可靠，同时对于药液的利用和回收更为充分。
附图说明
后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本发明的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：
图1是根据本发明一个实施例的平板显示光阻剥离设备的整体结构示意图；
图2是根据本发明一个实施例的平板显示光阻剥离设备的管路示意图。
其中，附图标记说明如下：
1、槽体，2、传动辊，3、雾化喷头，4、药液混合箱，5、药液循环装置，61、第一风刀，62、第一液刀，63、第二风刀，7、冷却循环系统，8、灭火孔。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
本实施例所描述一种平板显示光阻剥离设备，包括槽体1，槽体1内设置有若干个用于输送玻璃面板的传动辊2，在传动辊2处设置有若干个雾化喷头3，所述雾化喷头3与外部的药液供给装置相连，在槽体1的两端按照传送方向前后分别开有用于玻璃面板进出的进口与出口，其中，所述若干个传动辊2相平行地设置在槽体1中，且传动辊2与水平方向呈一定倾斜角度地固定槽体1内。通常而言，所述传动辊2的轴心线与水平方向缩成的倾斜角度较佳地是保持在5度至10度之间，这样的话，既能够保证玻璃面板在传动辊2上不至于滑落，同时还能够保证药液顺着玻璃面板平顺流淌。
所述槽体1的侧板上设置灭火孔8，所述灭火孔8与外部设置的灭火器装置相连。所述槽体1的底部开设有排液孔，所述排液孔通过输送管路与药液循环装置5相连，所述药液供给装置中的药液为有机碱。另外，所述若干个雾化喷头3间或交错地设置在所述传送辊的上方或者下方。
可知，本发明的平板显示光阻剥离设备，其采用了传动辊2倾斜设置的结构，使得玻璃面板随传动辊2的传送进入槽体1后，玻璃面板也是在倾斜状态下被喷淋药液的，药液能够受重力影响顺流而下，使得玻璃面板得以药液全覆盖，提高剥膜效果，进而提高产品的良品率。
进一步地，在所述槽体1的进口处依次设置有第一风刀61和第一液刀62，在所述槽体1的出口处设置有第二风刀63，同时为了检测玻璃面板进入槽体1的情况，同时开动设备相关组件，在槽体1的进口和出口分别设置有进口侧摇摆机构和出口侧摇摆机构
为了能够保证玻璃面板从槽体1送出后的干净整洁，所述第二风刀63包括相对设置的两个风刀，剥膜完成后的玻璃面板从所述第二风刀63的两个风刀之间穿过后吹干。
进一步地，所述药液供给装置包括药液混合箱4，药液混合箱4的一侧开设有原药进口和进水口，在药液混合箱4的底部开有药液出口，药液出口通过药液管与所述若干个雾化喷头3分别相连，所述药液混合箱4的外侧设有冷却循环系统7。
本实施例所描述的剥膜设备在工作时，电机通过链条传动和齿轮传动，玻璃面板移动当玻璃面板进槽体1时进口侧摇摆机构感知玻璃面板，通过控制单元将第一风刀61打开阻断本槽体1与相邻槽体1间的气流混合，同时第一液刀62紧接打开进行液膜阻隔，然后玻璃面板进入剥膜阶段，喷洒药液的喷雾头开始打开，进行药液的喷洒，同时出口侧的第二风刀63也开启，防止相邻槽体1的气流混合，同时与槽体1相连的抽风装置也同步进行工作，平衡槽体1内部的气压，当玻璃面板离开槽体1的时候，出口侧摇摆结构感知玻璃面板，通过控制风刀和液刀关闭，一次剥膜工艺完成。另外本工艺药液一般是有机碱易燃，而且要求高温环境（30~70°），所以防止设备爆炸，要求设置灭火器结构，同时槽体1上方的门板密封采用双层防爆结构，整体结构更为安全可靠。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种平板显示光阻剥离设备，其特征在于，包括槽体，槽体内设置有若干个用于输送玻璃面板的传动辊，在传动辊处设置有若干个雾化喷头，所述雾化喷头与外部的药液供给装置相连，在槽体的两端按照传送方向前后分别开有用于玻璃面板进出的进口与出口，其中，所述若干个传动辊相平行地设置在槽体中，且传动辊与水平方向呈一定倾斜角度地固定槽体内。
2.根据权利要求1所述的平板显示光阻剥离设备，其特征在于，所述传动辊的轴心线与水平方向缩成的倾斜角度在5度至10度之间。
3.根据权利要求1所述的平板显示光阻剥离设备，其特征在于，在所述槽体的进口处依次设置有第一风刀和第一液刀，在所述槽体的出口处设置有第二风刀。
4.根据权利要求3所述的平板显示光阻剥离设备，其特征在于，所述第二风刀包括相对设置的两个风刀，剥膜完成后的玻璃面板从所述第二风刀的两个风刀之间穿过后吹干。
5.根据权利要求1所述的平板显示光阻剥离设备，其特征在于，所述药液供给装置包括药液混合箱，药液混合箱的一侧开设有原药进口和进水口，在药液混合箱的底部开有药液出口，药液出口通过药液管与所述若干个雾化喷头分别相连。
6.根据权利要求5所述的平板显示光阻剥离设备，其特征在于，所述药液混合箱的外侧设有冷却循环系统。
7.根据权利要求1所述的平板显示光阻剥离设备，其特征在于，所述槽体的底部开设有排液孔，所述排液孔通过输送管路与药液循环装置相连。
8.根据权利要求5至7中任一项所述的平板显示光阻剥离设备，其特征在于，所述药液供给装置中的药液为有机碱。
9.根据权利要求1所述的平板显示光阻剥离设备，其特征在于，所述若干个雾化喷头间或交错地设置在所述传送辊的上方或者下方。
10.根据权利要求1所述的平板显示光阻剥离设备，其特征在于，所述槽体的侧板上设置灭火孔，所述灭火孔与外部设置的灭火器装置相连。
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|---|---|---|---|---|
| CN110794658A (zh) * | 2019-10-21 | 2020-02-14 | 苏州晶洲装备科技有限公司 | 一种显示面板剥离装置和显示面板剥离方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09155306A (ja) * | 1995-12-04 | 1997-06-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JP2000299268A (ja) * | 1999-04-13 | 2000-10-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 剥離装置および剥離方法 |
| JP2004053937A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Micro Engineering Inc | レジスト除去装置 |
| JP2008093577A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
| CN103995441A (zh) * | 2014-06-11 | 2014-08-20 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 光阻剥离方法及光阻剥离装置 |
| CN209590543U (zh) * | 2018-12-26 | 2019-11-05 | 苏州晶洲装备科技有限公司 | 一种平板显示光阻剥离设备 |
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Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09155306A (ja) * | 1995-12-04 | 1997-06-17 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| JP2000299268A (ja) * | 1999-04-13 | 2000-10-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 剥離装置および剥離方法 |
| JP2004053937A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Micro Engineering Inc | レジスト除去装置 |
| JP2008093577A (ja) * | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
| CN103995441A (zh) * | 2014-06-11 | 2014-08-20 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 光阻剥离方法及光阻剥离装置 |
| CN209590543U (zh) * | 2018-12-26 | 2019-11-05 | 苏州晶洲装备科技有限公司 | 一种平板显示光阻剥离设备 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110794658A (zh) * | 2019-10-21 | 2020-02-14 | 苏州晶洲装备科技有限公司 | 一种显示面板剥离装置和显示面板剥离方法 |
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