CN109531402A - 一种双面研磨机 - Google Patents

一种双面研磨机 Download PDF

Info

Publication number
CN109531402A
CN109531402A CN201811452355.9A CN201811452355A CN109531402A CN 109531402 A CN109531402 A CN 109531402A CN 201811452355 A CN201811452355 A CN 201811452355A CN 109531402 A CN109531402 A CN 109531402A
Authority
CN
China
Prior art keywords
fixed disk
grinding box
motor
reserve tank
liquid reserve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811452355.9A
Other languages
English (en)
Inventor
陈时兴
丁国平
李明骏
潘希成
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JIAXING BAISHENG OPTO-ELECTRONIC Co Ltd
Original Assignee
JIAXING BAISHENG OPTO-ELECTRONIC Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by JIAXING BAISHENG OPTO-ELECTRONIC Co Ltd filed Critical JIAXING BAISHENG OPTO-ELECTRONIC Co Ltd
Priority to CN201811452355.9A priority Critical patent/CN109531402A/zh
Publication of CN109531402A publication Critical patent/CN109531402A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/005Control means for lapping machines or devices
    • B24B37/015Temperature control
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27Work carriers
    • B24B37/28Work carriers for double side lapping of plane surfaces
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/34Accessories
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B55/00Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B57/00Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
    • B24B57/02Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents for feeding of fluid, sprayed, pulverised, or liquefied grinding, polishing or lapping agents

Abstract

本发明公开了一种双面研磨机,包括储液箱、研磨盒、第一固定盘、第二固定盘、第一电机、第二电机和水冷装置,所述储液箱上侧设有研磨盒,所述研磨盒内侧设有第一固定盘和第二固定盘,所述第一固定盘上侧设有第二电机,所述第二电机与第一固定盘之间设有传动轴,所述第二固定盘下侧设有第一电机,所述第一电机与第二固定盘之间设有传动轴,所述储液箱右侧设有控制器,所述研磨盒内侧设有水冷装置。双面研磨机在对铜进行抛光的过程中,通过储水管将研磨液在与铜金属接触产生的热量进行疏散,从而保证了研磨液的使用效果,适合推广使用,使得研磨盒有两个固定盘,从而增加了对铜金属的加工效率,从而减少了成本的使用,方便人们的使用。

Description

一种双面研磨机
技术领域
本发明涉及双面研磨机技术领域,具体为一种双面研磨机。
背景技术
双面精研机主要用于硅片、石英晶体、玻璃、陶瓷、蓝宝石、砷化镓、铌酸锂等零件的精研双面加工,也适用于阀板、阀片、光导纤维、计算机储存盘及其他片状金属、非金属零件的精研双面加工。
现有双面研磨机的使用缺陷,双面研磨机在对铜进行抛光的过程中,研磨液在与铜金属进行接触中温度会升高,从而降低了研磨液的使用效果,不适合推广使用,现有的研磨机才有一个固定盘,从而降低了对铜金属的加工效率,从而提高了成本的使用,不方便人们的使用。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种双面研磨机,解决了现有研磨液在与铜金属进行接触中温度会升高,从而降低了研磨液的使用效果,现有的研磨机才有一个固定盘,从而降低了对铜金属的加工效率,从而提高了成本的使用的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:一种双面研磨机,包括储液箱、研磨盒、第一固定盘、第二固定盘、第一电机、第二电机和水冷装置,所述储液箱上侧设有研磨盒,所述研磨盒与储液箱之间设有支架,所述研磨盒内侧设有第一固定盘和第二固定盘,所述第一固定盘上侧设有第二电机,所述第二电机与第一固定盘之间设有传动轴,所述第二固定盘下侧设有第一电机,所述第一电机与第二固定盘之间设有传动轴,所述储液箱右侧设有控制器,所述研磨盒内侧设有水冷装置;
所述水冷装置是由储水管、进水口和排水口组成,所述储水管、进水口和排水口为一体化机构,所述研磨盒右侧设有进水口,所述进水口是通过焊接与储水管固定连接,所述研磨盒左侧设有排水口,所述排水口是通过焊接与储水管固定连接。
优选的,述储液箱左侧设有泵体一,所述泵体一与研磨盒之间设有导管,所述泵体一是通过导线连接于控制器。
优选的,所述研磨盒内侧设有温度探测器,所述温度探测器是通过导线连接于控制器。
优选的,所述储液箱与研磨盒之间设有通管,所述通管上安装有电磁阀,所述电磁阀是通过导线连接于控制器。
优选的,所述进水口右侧设有泵体二,所述泵体二是通过螺纹与进水口固定连接。
优选的,所述储液箱底部分布有移动轮,所述移动轮与储液箱之间设有减震器。
(三)有益效果
本发明提供了一种双面研磨机。具备以下有益效果:
(1)、该一种双面研磨机,通过在研磨盒内部设置水冷装置,双面研磨机在对铜进行抛光的过程中,通过储水管将研磨液在与铜金属接触产生的热量进行疏散,从而保证了研磨液的使用效果,适合推广使用。
(2)、该一种双面研磨机,通过在研磨盒内侧设置第一固定盘和第二固定盘,使得研磨盒有两个固定盘,从而增加了对铜金属的加工效率,从而减少了成本的使用,方便人们的使用。
附图说明
图1为本发明整体的结构示意图;
图2为本发明水冷装置的结构示意图。
图中,储液箱-1、研磨盒-2、支架-3、第一固定盘-4、第二固定盘-5、第一电机-6、第二电机-7、传动轴-8、泵体一-9、导管-10、通管-11、电磁阀-12、控制器-13、温度探测器-14、移动轮-15、减震器-16、水冷装置-17、储水管-18、进水口-19、排水口-20、泵体二-21。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-2,本发明实施例提供一种技术方案:一种双面研磨机,包括储液箱1、研磨盒2、第一固定盘4、第二固定盘5、第一电机6、第二电机7和水冷装置17,所述储液箱1上侧设有研磨盒2,所述研磨盒2与储液箱1之间设有支架3,所述研磨盒2内侧设有第一固定盘4和第二固定盘5,所述第一固定盘4上侧设有第二电机7,所述第二电机7与第一固定盘4之间设有传动轴8,所述第二固定盘5下侧设有第一电机6,所述第一电机6与第二固定盘5之间设有传动轴8,所述储液箱1右侧设有控制器13,所述研磨盒2内侧设有水冷装置17,所述水冷装置17是由储水管18、进水口19和排水口20组成,所述储水管18、进水口19和排水口20为一体化机构,所述研磨盒2右侧设有进水口19,所述进水口19是通过焊接与储水管18固定连接,所述研磨盒2左侧设有排水口20,所述排水口20是通过焊接与储水管18固定连接。
请参阅图1,所述储液箱1左侧设有泵体一9,所述泵体一9与研磨盒2之间设有导管10,所述泵体一9是通过导线连接于控制器13,泵体一9的设置能加快导管10内侧溶液的流速。
请参阅图1,所述研磨盒2内侧设有温度探测器14,所述温度探测器14是通过导线连接于控制器13,温度探测器14的设置便于观察溶液的温度。
请参阅图1,所述储液箱1与研磨盒2之间设有通管11,所述通管11上安装有电磁阀12,所述电磁阀12是通过导线连接于控制器13,电磁阀12的设置便于对通管11的流速进行控制。
请参阅图2,所述进水口19右侧设有泵体二21,所述泵体二21是通过螺纹与进水口19固定连接,泵体二21的设置加快了进水口19进水速度。
请参阅图1,所述储液箱1底部分布有移动轮15,所述移动轮15与储液箱1之间设有减震器16,减震器16的设置降低储液箱1对移动轮15的压力。
工作原理:将铜金属挂固定在第一固定盘4和第二固定盘5上,储液箱1通过泵体一9将研磨液排放到研磨盒2内侧,第一电机6通过传动轴8带动第二固定盘5转动,第二电机7通过传动轴8带动第一固定盘4转动,通过在研磨盒2内侧设置第一固定盘4和第二固定盘5,使得研磨盒2有两个固定盘,从而增加了对铜金属的加工效率,从而减少了成本的使用,方便人们的使用,在研磨的同时,温度探测器14检测出研磨液的温度升高,温度探测器14将数据传输到控制器13,控制器13将指令传输到水冷装置17,泵体二21将通过进水口19向储水管18注水,储水管18对研磨盒2内侧研磨液的进行散热处理,从而保证了研磨液的使用效果,适合推广使用。
本发明的储液箱1、研磨盒2、支架3、第一固定盘4、第二固定盘5、第一电机6、第二电机7、传动轴8、泵体一9、导管10、通管11、电磁阀12、控制器13、温度探测器14、移动轮15、减震器16、水冷装置17、储水管18、进水口19、排水口20、泵体二21,部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件,其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知,本发明解决的问题是双面研磨机在对铜进行抛光的过程中,研磨液在与铜金属进行接触中温度会升高,从而降低了研磨液的使用效果,不适合推广使用,现有的研磨机才有一个固定盘,从而降低了对铜金属的加工效率,从而提高了成本的使用,不方便人们的使用,不方便人们的使用,本发明通过上述部件的互相组合,通过在研磨盒内部设置水冷装置,双面研磨机在对铜进行抛光的过程中,通过储水管将研磨液在与铜金属接触产生的热量进行疏散,从而保证了研磨液的使用效果,适合推广使用,通过在研磨盒内侧设置第一固定盘和第二固定盘,使得研磨盒有两个固定盘,从而增加了对铜金属的加工效率,从而减少了成本的使用,方便人们的使用。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.一种双面研磨机,其特征在于:包括储液箱(1)、研磨盒(2)、第一固定盘(4)、第二固定盘(5)、第一电机(6)、第二电机(7)和水冷装置(17),所述储液箱(1)上侧设有研磨盒(2),所述研磨盒(2)与储液箱(1)之间设有支架(3),所述研磨盒(2)内侧设有第一固定盘(4)和第二固定盘(5),所述第一固定盘(4)上侧设有第二电机(7),所述第二电机(7)与第一固定盘(4)之间设有传动轴(8),所述第二固定盘(5)下侧设有第一电机(6),所述第一电机(6)与第二固定盘(5)之间设有传动轴(8),所述储液箱(1)右侧设有控制器(13),所述研磨盒(2)内侧设有水冷装置(17);
所述水冷装置(17)是由储水管(18)、进水口(19)和排水口(20)组成,所述储水管(18)、进水口(19)和排水口(20)为一体化机构,所述研磨盒(2)右侧设有进水口(19),所述进水口(19)是通过焊接与储水管(18)固定连接,所述研磨盒(2)左侧设有排水口(20),所述排水口(20)是通过焊接与储水管(18)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种双面研磨机,其特征在于:所述储液箱(1)左侧设有泵体一(9),所述泵体一(9)与研磨盒(2)之间设有导管(10),所述泵体一(9)是通过导线连接于控制器(13)。
3.根据权利要求1所述的一种双面研磨机,其特征在于:所述研磨盒(2)内侧设有温度探测器(14),所述温度探测器(14)是通过导线连接于控制器(13)。
4.根据权利要求1所述的一种双面研磨机,其特征在于:所述储液箱(1)与研磨盒(2)之间设有通管(11),所述通管(11)上安装有电磁阀(12),所述电磁阀(12)是通过导线连接于控制器(13)。
5.根据权利要求1所述的一种双面研磨机,其特征在于:所述进水口(19)右侧设有泵体二(21),所述泵体二(21)是通过螺纹与进水口(19)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种双面研磨机,其特征在于:所述储液箱(1)底部分布有移动轮(15),所述移动轮(15)与储液箱(1)之间设有减震器(16)。
CN201811452355.9A 2018-11-30 2018-11-30 一种双面研磨机 Pending CN109531402A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811452355.9A CN109531402A (zh) 2018-11-30 2018-11-30 一种双面研磨机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811452355.9A CN109531402A (zh) 2018-11-30 2018-11-30 一种双面研磨机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109531402A true CN109531402A (zh) 2019-03-29

Family

ID=65851683

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811452355.9A Pending CN109531402A (zh) 2018-11-30 2018-11-30 一种双面研磨机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109531402A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110549238A (zh) * 2019-09-23 2019-12-10 大同新成新材料股份有限公司 一种精度高的芯片硅生产用研磨装置和操作方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2796940Y (zh) * 2005-05-30 2006-07-19 淄博矿山建材设备总厂 带内冷却系统的双面磨床
CN204893195U (zh) * 2015-08-06 2015-12-23 四川晶汇科技有限公司 一种焊接装置的循环水冷系统
CN106271938A (zh) * 2016-08-09 2017-01-04 宁波市鄞州箭精密机械有限公司 一种双面磨床
CN206732818U (zh) * 2017-05-19 2017-12-12 大丰锦辉风电设备有限公司 一种机舱罩磨具
CN207289747U (zh) * 2017-06-29 2018-05-01 福建新峰科技有限公司 一种合金双面自动打磨机

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2796940Y (zh) * 2005-05-30 2006-07-19 淄博矿山建材设备总厂 带内冷却系统的双面磨床
CN204893195U (zh) * 2015-08-06 2015-12-23 四川晶汇科技有限公司 一种焊接装置的循环水冷系统
CN106271938A (zh) * 2016-08-09 2017-01-04 宁波市鄞州箭精密机械有限公司 一种双面磨床
CN206732818U (zh) * 2017-05-19 2017-12-12 大丰锦辉风电设备有限公司 一种机舱罩磨具
CN207289747U (zh) * 2017-06-29 2018-05-01 福建新峰科技有限公司 一种合金双面自动打磨机

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110549238A (zh) * 2019-09-23 2019-12-10 大同新成新材料股份有限公司 一种精度高的芯片硅生产用研磨装置和操作方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103921205B (zh) 一种6英寸铌酸锂晶片或钽酸锂晶片的生产工艺
CN209335379U (zh) 一种带有自修正功能的石英晶体片研磨机
CN108145600B (zh) 研磨装置
CN109531402A (zh) 一种双面研磨机
CN209021758U (zh) 研磨液输送单元及化学机械研磨系统
CN208895895U (zh) 一种化学机械抛光设备用抛光液供给装置
CN107164109A (zh) 一种蓝宝石晶片退火前清洗液及其制备方法和清洗工艺
CN113334245B (zh) 一种研磨液供给系统
CN103611705A (zh) 金刚石线超声波清洗装置
CN105215835A (zh) 高纯及超纯电子化学品用容器的研磨工艺
CN204725333U (zh) 一种研磨液等均布输送的研磨机
CN108942678A (zh) 一种触摸屏抛光设备
CN102152204A (zh) 晶砣去胶装置
CN110270891B (zh) Vr投显用晶圆级玻璃基片生产工艺
CN208289641U (zh) 一种板材高效抛光装置
CN106863025A (zh) 一种2吋、4吋蓝宝石衬底背面缺陷修复加工方法
CN206455531U (zh) 研磨机磨刀装置
CN110116340A (zh) 一种碲锌镉晶片的抛光工艺
CN207873940U (zh) 一种单晶硅切片生产用研磨装置
CN109227257A (zh) 一种玻璃面板抛光机床及抛光方法
CN205700756U (zh) 一种胶体磨
CN108466125A (zh) 一种玻璃导光板侧面抛光装置
CN109530019B (zh) 碳化硅微粉循环研磨系统
CN205033056U (zh) 一种蓝宝石晶片加工用高效研磨机
CN205394286U (zh) 一种用于化学机械抛光设备的抛光液供应装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
CB02 Change of applicant information

Address after: 314022 No. 262 Xinsheng Road, Yuxin Town, Nanhu District, Jiaxing City, Zhejiang Province

Applicant after: Zhejiang Baisheng photoelectric Co., Ltd

Address before: 314022 No. 262 Xinsheng Road, Yuxin Town, Nanhu District, Jiaxing City, Zhejiang Province

Applicant before: JIAXING BAISHENG PHOTOELECTRIC Co.,Ltd.

CB02 Change of applicant information
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190329

RJ01 Rejection of invention patent application after publication