CN109468610B - 一种防报警的热交换系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种防报警的热交换系统，包括热交换装置、第一腔体、第二腔体、第一进水管路、第一出水管路、第二进水管路、第二出水管路，第一出水支管路，所述第一出水支管路分别与所述第一出水管路换热所述热交换装置连通；第二出水支管路，第二出水支管路分别与所述第二出水管路和所述热交换装置连通；所述第一出水支管路的内径小于所述第一出水管路的内径，所述第二出水支管路的内径小于所述第二出水管路的内径。其优点在于，通过设置小口径的出水支管路，使得腔体在完成PM过程后，腔体内的低温冷却水能够缓慢进入热交换装置内，从而避免低温冷却水短时间大流量进入热交换装置内，使得热交换装置内的冷却水不会大幅度降温，避免出现报警状况。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种防报警的热交换系统。
背景技术
在物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)机台中，两个TxZ腔体共同使用同一个热交换装置，热交换装置为两个腔体提供65℃的冷却水，系统如图1所示。当其中任一一个腔体进行预防性维护(Preventive Maintenance，PM)时，需要断开热交换装置与该腔体之间的冷却水循环回路。在PM过程中，65℃的冷却水在腔体内部停留时间过长，导致冷却水温度降至室温，在PM完成后，重新将该腔体与热交换装置之间冷却水循环回路连接，此时腔体内的低温的冷却水短时间内大量进入热交换装置，使得热交换装置内的温度大幅度低于65℃，进而导致热交换装置因低温报警。
现有的解决方法是认为多次缓慢打开与该腔体连通的阀门，从而对冷却水的流量进行控制，防止热交换装置报警。但是这种解决方法操作繁琐，耗时较长，且不易控制，使得热交换装置出现报警。
因此，亟需一种能够避免低温冷却水短时间大量进入热交换装置的热交换系统，防止热交换装置报警，减少操作步骤，提高工作效率。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术中的不足，提供一种防报警的热交换系统。
为实现上述目的，本发明采取的技术方案是：
一种防报警的热交换系统，用于物理气相沉积机台，包括热交换装置、第一腔体、第二腔体，所述热交换装置与所述第一腔体通过第一进水管路和第一出水管路形成第一循环回路，所述热交换装置与所述第二腔体通过第二进水管路和第二出水管路形成第二循环回路，所述第一进水管路上设置有第一阀门，所述第二进水管路上设置有第二阀门，还包括：
第一出水支管路，所述第一出水支管路的第一端与所述第一出水管路连通，所述第一出水支管路的第二端与所述热交换装置连通；
第二出水支管路，所述第二出水支管路的第一端与所述第二出水管路连通，所述第二出水支管路的第二端与所述热交换装置连通；
所述第一出水管路上设置有第三阀门，所述第二出水管路上设置有第四阀门；
所述第一出水支管路的内径小于所述第一出水管路的内径，所述第二出水支管路的内径小于所述第二出水管路的内径。
优选地，所述第一出水支管路上设置有第一单向阀，所述第二出水支管路上设置有第二单向阀。
优选地，所述第一出水支管路的内径与所述第一出水管路的内径之比小于1/2。
优选地，所述第二出水支管路的内径与所述第二出水管路的内径之比小于1/2。
优选地，所述第一出水支管路的内径与所述第二出水支管路的内径相同。
优选地，所述第一出水支管路与所述第二出水支管路连通，所述第一出水支管路与所述第二出水支管路形成第三出水管路，所述第三出水管路呈“T”形；
所述第三出水管路的第一端与所述第一出水管路连通，所述第三出水管路的第二端与所述第二出水管路连通，所述第三出水管路的第三端与所述热交换装置连通。
优选地，所述第三出水管路上设置有第一单向阀和第二单向阀，所述第一单向阀设置在所述第三出水管路的第一端，所述第二单向阀设置在所述第三出水管路的第二端。
优选地，所述第三出水管路的内径与所述第一出水管路的内径之比小于1/2；和/或
所述第三出水管路的内径与所述第二出水管路的内径之比小于1/2。
优选地，还包括：
温度检测装置，所述温度检测装置设置在所述热交换装置内，所述温度检测装置用于检测所述热交换装置内的冷却水的温度。
本发明采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：
本发明的一种防报警的热交换系统，通过设置小口径的出水支管路，使得腔体在完成PM过程后，腔体内的低温冷却水能够缓慢进入热交换装置内，从而避免低温冷却水短时间大流量进入热交换装置内，使得热交换装置内的冷却水不会大幅度降温，避免出现报警状况；操作简单便捷，无须多次反复调整进水管路上的阀门，降低操作难度和工作负荷，大幅度提高工作效率。
附图说明
图1是现有技术中的热交换系统的示意图。
图2是本发明的一个示意性实施例的热交换系统的示意图。
图3是本发明的一个优选实施例的热交换系统的示意图。
其中的附图标记为：热交换装置1；第一腔体2；第二腔体3；第一进水管路4；第一出水管路5；第二进水管路6；第二出水管路7；第一阀门8；第二阀门9；第一出水支管路10；第二出水支管路11；第三阀门12；第四阀门13；第一单向阀14；第二单向阀15；第三出水管路16；温度检测装置17。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。
实施例1
本发明的一个示意性实施例，如图2所示，一种防报警的热交换系统，包括热交换装置1、第一腔体2、第二腔体3，热交换装置1分别与第一腔体2、第二腔体3连通，形成对应的冷却水循环回路。
第一腔体2通过第一进水管路4和第一出水管路5与热交换装置1形成第一循环回路，热交换装置1内的冷却水通过第一进水管路4进入第一腔体2内，第一腔体2内的冷却水通过第一出水管路5进入到热交换装置1内。
第一腔体2还通过第一出水支管路10与热交换装置1连通，第一出水支管路10的第一端与第一出水管路5连通，第一出水支管路10的第二端与热交换装置1连通。
第一出水支管路10的内径小于第一出水管路5，使得第一出水支管路10内的冷却水流量小于第一出水管路5内的冷却水流量。
第一进水管路4上设置有第一阀门8，第一出水管路5上设置有第三阀门12，第一阀门8用于控制热交换装置1通过第一进水管路4向第一腔体2输送的冷却水的流量，第三阀门12用于控制第一腔体2通过第一出水管路5向热交换装置1输送的冷却水的流量。
第二腔体3通过第二进水管路6和第二出水管路7与热交换装置1形成第二循环回路，热交换装置1内的冷却水通过第二进水管路6进入第二腔体3内，第二腔体3内的冷却水通过第二出水管路7进入到热交换装置1内。
第二腔体3还通过第二出水支管路11与热交换装置1连通，第二出水支管路11的第一端与第二出水管路7连通，第二出水支管路11的第二端与热交换装置1连通。
第二出水支管路11的内径小于第二出水管路7，使得第二出水支管路11内的冷却水流量小于第二出水管路7内的冷却水流量。
第二进水管路6上设置有第二阀门9，第二出水管路7上设置有第四阀门13，第二阀门9用于控制热交换装置1通过第二进水管路6向第二腔体3输送的冷却水的流量，第四阀门13用于控制第二腔体3通过第二出水管路7向热交换装置1输送的冷却水的流量。
进一步地，在第一出水支管路10上还设置有第一单向阀14，第一单向阀14设置在第一出水支管路10的第一端。
进一步地，在第二出水支管路11上还设置有第二单向阀15，第二单向阀15设置在第二出水支管路11的第一端。
进一步地，热交换系统还包括温度检测装置17，温度检测装置17设置在热交换装置1内，用于检测冷却水的温度。
进一步地，第一出水支管路10的内径与第一出水管路5的内径之比小于1/2。
进一步地，第二出水支管路11的内径与第二出水管路7的内径之比小于1/2。
进一步地，第一出水支管路10的内径与第二出水支管路11的内径相同。
本实施例的热交换系统的工作方法如下：正常工作时，分别打开第一阀门8、第二阀门9、第三阀门12和第四阀门13，使得热交换装置1分别与第一腔体2和第二腔体3的冷却水循环回路贯通；当第一腔体2和第二腔体3进行PM时，分别关闭第一阀门8、第二阀门9、第三阀门12和第四阀门13；在第一腔体2和第二腔体3的PM过程完成时，分别打开第一阀门8和第二阀门9，使得热交换装置1内的冷却水分别通过第一进水管路4和第二进水管路6进入第一腔体2和第二腔体3，第一腔体2内的低温冷却水(小于65℃的冷却水)通过第一出水支管路10缓慢进入到热交换装置1内，第二腔体3内的低温冷却水(小于65℃的冷却水)通过第二出水支管路11缓慢进入到热交换装置1内；由于第一腔体2和第二腔体3内的低温冷却水缓慢进入热交换装置1，使得热交换装置1内的冷却水不会出现大幅度降温，从而避免出现报警的情况；当温度检测装置17检测得到的热交换装置1内的冷却水温度稳定后，分别打开第三阀门12和第四阀门13，使得第一腔体2内的冷却水通过第一出水管路5进入热交换装置1内，第二腔体3内的冷却水通过第二出水管路6进入到热交换装置1内。
实施例2
本发明的一个优选实施例，本实施例与实施例1的区别仅在于：第一出水支管路10与第二出水支管路11连通形成第三出水管路16。
一种防报警的热交换系统，包括热交换装置1、第一腔体2、第二腔体3、第一进水管路4、第一出水管路5、第二进水管路6、第二出水管路7、第一阀门8、第二阀门9、第三阀门12和第四阀门13，热交换装置1分别与第一腔体2、第二腔体3连通，形成对应的冷却水循环回路。
其中，热交换装置1、第一腔体2、第二腔体3、第一进水管路4、第一出水管路5、第二进水管路6、第二出水管路7、第一阀门8、第二阀门9、第三阀门12和第四阀门13的具体连接关系同实施例1，在此不再赘述。
第三出水管路16呈“T”形，第三出水管路16的第一端与第一出水管路5连通，第三出水管路16的第二端与第二出水管路7连通，第三出水管路16的第三端与热交换装置1连通。
第三出水管路16上还设置有第一单向阀14和第二单向阀15，第一单向阀14设置在第三出水管路16的第一端，第二单向阀15设置在第三出水管路16的第二端。
通过设置第一单向阀14和第二单向阀15，可以避免第一腔体2内冷却水通过第三出水管路16进入到第二腔体3内，以及避免第二腔体3内的冷却水通过第三出水管路16进入到第一腔体2内。
进一步地，第三出水管路16的内径小于第一出水管路5的内径，且小于第二出水管路7的内径。
进一步地，第三出水管路16的内径与第一出水管路5的内径之比小于1/2。
进一步地，第三出水管路16的内径与第二出水管路5的内径之比小于1/2。
进一步地，第三出水管路16的内径与第一出水管路5的内径之比小于1/2，且第三出水管路16的内径与第二出水管路5的内径之比小于1/2。
本实施例的热交换系统的工作方法同实施例1，在此不再赘述。
以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本发明的保护范围内。
Claims (9)
1.一种防报警的热交换系统，用于物理气相沉积机台，包括热交换装置(1)、第一腔体(2)、第二腔体(3)，所述热交换装置(1)与所述第一腔体(2)通过第一进水管路(4)和第一出水管路(5)形成第一循环回路，所述热交换装置(1)与所述第二腔体(3)通过第二进水管路(6)和第二出水管路(7)形成第二循环回路，所述第一进水管路(4)上设置有第一阀门(8)，所述第二进水管路(6)上设置有第二阀门(9)，其特征在于，还包括：
第一出水支管路(10)，所述第一出水支管路(10)的第一端与所述第一出水管路(5)连通，所述第一出水支管路(10)的第二端与所述热交换装置(1)连通；
第二出水支管路(11)，所述第二出水支管路(11)的第一端与所述第二出水管路(7)连通，所述第二出水支管路(11)的第二端与所述热交换装置(1)连通；
所述第一出水管路(5)上设置有第三阀门(12)，所述第二出水管路(7)上设置有第四阀门(13)；所述第三阀门(12)设于所述第一出水管路(5)与所述第一出水支管路(10)的连通处以及所述第一出水管路(5)与所述热交换装置(1)的连通处之间；所述第四阀门(13)设于所述第二出水管路(7)与所述第二出水支管路(11)的连通处以及所述第二出水管路(7)与所述热交换装置(1)的连通处之间；所述第一出水支管路(10)的内径小于所述第一出水管路(5)的内径，所述第二出水支管路(11)的内径小于所述第二出水管路(7)的内径。
2.根据权利要求1所述的防报警的热交换系统，其特征在于，所述第一出水支管路(10)上设置有第一单向阀(14)，所述第二出水支管路(11)上设置有第二单向阀(15)。
3.根据权利要求1所述的防报警的热交换系统，其特征在于，所述第一出水支管路(10)的内径与所述第一出水管路(5)的内径之比小于1/2。
4.根据权利要求1所述的防报警的热交换系统，其特征在于，所述第二出水支管路(11)的内径与所述第二出水管路(7)的内径之比小于1/2。
5.根据权利要求1所述的防报警的热交换系统，其特征在于，所述第一出水支管路(10)的内径与所述第二出水支管路(11)的内径相同。
6.一种防报警的热交换系统，用于物理气相沉积机台，包括热交换装置(1)、第一腔体(2)、第二腔体(3)，所述热交换装置(1)与所述第一腔体(2)通过第一进水管路(4)和第一出水管路(5)形成第一循环回路，所述热交换装置(1)与所述第二腔体(3)通过第二进水管路(6)和第二出水管路(7)形成第二循环回路，所述第一进水管路(4)上设置有第一阀门(8)，所述第二进水管路(6)上设置有第二阀门(9)，其特征在于，还包括：
呈“T”形的第三出水管路(16)，所述第三出水管路(16)的第一端与所述第一出水管路(5)连通，所述第三出水管路(16)的第二端与所述第二出水管路(7)连通，所述第三出水管路(16)的第三端与所述热交换装置(1)连通；
所述第一出水管路(5)上设置有第三阀门(12)，所述第二出水管路(7)上设置有第四阀门(13)；所述第三阀门(12)设于所述第一出水管路(5)与所述第三出水管路(16)的连通处以及所述第一出水管路(5)与所述热交换装置(1)的连通处之间；所述第四阀门(13)设于所述第二出水管路(7)与所述第三出水管路(16)的连通处以及所述第二出水管路(7)与所述热交换装置(1)的连通处之间；
所述第三出水管路(16)的内径小于所述第一出水管路(5)的内径，且小于所述第二出水管路(7)的内径。
7.根据权利要求6所述的防报警的热交换系统，其特征在于，所述第三出水管路(16)上设置有第一单向阀(14)和第二单向阀(15)，所述第一单向阀(14)设置在所述第三出水管路(16)的第一端，所述第二单向阀(15)设置在所述第三出水管路(16)的第二端。
8.根据权利要求6所述的防报警的热交换系统，其特征在于，所述第三出水管路(16)的内径与所述第一出水管路(5)的内径之比小于1/2；和/或
所述第三出水管路(16)的内径与所述第二出水管路(7)的内径之比小于1/2。
9.根据权利要求1或6任一所述的防报警的热交换系统，其特征在于，还包括：
温度检测装置(17)，所述温度检测装置(17)设置在所述热交换装置(1)内，所述温度检测装置(17)用于检测所述热交换装置(1)内的冷却水的温度。
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