CN109454570B - 真空吸附单元、真空吸附平台、真空吸附系统及检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空吸附单元、真空吸附平台、真空吸附系统及检测装置，所述真空吸附单元包括设置在真空吸附平台上的多个吸附孔、设置在真空吸附平台的一个抽气孔；所述多个吸附孔按照阵列排布；其特征在于：还包括设置在真空吸附平台内的通气道；所述通气道将所述一个抽气孔与所述多个吸附孔导通，且所述通气道从所述抽气孔出发到每个吸附孔的距离都相等；本发明通过长度相等的通气道实现抽气口与吸附孔的导通，使抽气孔输出的负压到达每一个吸附孔经过的路程相等，进而使所有吸附孔输出相等的负压，保证真空吸附平台吸力均匀。

Description

真空吸附单元、真空吸附平台、真空吸附系统及检测装置

〖技术领域〗

本发明涉及真空吸附技术领域，具体涉及真空吸附单元、真空吸附平台、真空吸附系统及检测装置。

〖背景技术〗

真空吸附平台主要用于吸附工件，对工件进行固定，便于检测。传统的真空吸附平台，通常包括上部的吸板与下部的底板，吸板与底板周边密封在一起，内部形成一个腔体，在吸板上均匀设置有很多与腔体相连通的吸附孔。真空泵对腔体抽真空时，腔体内形成负压，并通过吸附孔将负压传递到吸板的上平面，吸附住放置在其上的工件，实现工件在吸板上的快速紧固。上述传统的真空吸附平台，吸板与底板直接形成一个大的腔体，所有的吸附孔均与其对应，如果工件的面积比较小，不能完全覆盖住吸板上的所有吸附孔，则在对腔体抽真空时，大气会通过裸露在外的吸附孔进入到腔体内，进而会泄掉腔体内的部分真空负压，不仅会造成真空吸附平台无法牢固吸附工件，而且会造成能源的浪费。

公告号为CN203185174U的实用新型专利公开了一种真空吸附固定台，包括：位于上方的吸板，在所述吸板上开设有用于吸附板件的若干吸附孔；位于下方且与所述吸板贴合固定在一起的底板，在所述吸板与所述底板之间由中心向四周依次排列设有若干级真空腔；所述若干吸附孔设置在所述吸板上与所述若干级真空腔对应的位置，所述每一级真空腔所对应的底板上开设有抽气孔，所述抽气孔通过真空管与真空发生装置连接，在所述真空管上安装有控制阀。

上述专利虽然可以不受工件面积的影响，牢固吸附住工件，但是仍然存在以下问题：(1)每一级真空腔对应很多个吸附孔，从而无法提供均匀的真空吸力，致使各吸附孔的吸力大小不一，离抽气孔最近的位置吸力大，离抽气孔最远的位置吸力小；(2)当工件面积较小时，如果真空发生装置输出的气压相比工件面积较大时不变，吸附孔中的负压会增强，导致工件下陷，影响检测结果。

〖发明内容〗

本发明的第一个目的旨在提供一种真空吸附单元，保证吸力均匀。

为了实现上述目的，本发明采取了如下的技术方案：

一种真空吸附单元，包括设置在真空吸附平台上的多个吸附孔、设置在真空吸附平台的一个抽气孔；所述多个吸附孔按照阵列排布；所述真空吸附单元还包括设置在真空吸附平台内的通气道；所述通气道将所述一个抽气孔与所述多个吸附孔导通，且所述通气道从所述抽气孔出发到每个吸附孔的距离都相等。

进一步地，所述通气道为多级通气道；所述多级通气道按照从低级到高级的顺序依次导通，最低级通气道与所述抽气孔导通，最高级通气道与所述吸附孔导通。

作为具体的技术方案，所述真空吸附单元包括2^N个吸附孔，N≥4；所述多级通气道包括二个第一级通气道……2^n-1个第n级通气道、2ⁿ个第n+1级通气道……2^N-2个第N-1级通气道，2≤n≤N-2；一个所述第N-1级通气道包括一个第(N-1)级交点以及从第(N-1)级交点出发的四条第(N-1)级分支，四条第(N-1)级分支的末端分别与四个所述吸附孔导通，所述2^N-2个第N-1级通气道的第(N-1)级分支长度相等；所述第n级通气道包括一个第n级交点以及从第n级交点出发的两条第n级分支；所述第n+1级通气道包括一个第n+1级交点以及从第n+1级交点出发的两条第n+1级分支；所述两条第n级分支的末端分别与两个第n+1级交点导通；所述2^n-1个第n级通气道的第n级分支长度相等；所述2ⁿ个第n+1级通气道的第n+1级分支长度相等；一个所述第一级通气道包括从所述抽气口出发的一条第一级分支，所述第一级分支的末端分别与一个第二级交点导通，所述二个第一级通气道的第一级分支长度相等。

进一步地，一个所述第N-1级通气道的四条第(N-1)级分支的末端与位于矩形的四个顶点处的四个相邻吸附孔导通，一个所述第N-1级通气道的第N-1级支点位于所述矩形的对角线交点处；一个所述第n级交点位于相邻两个第n+1级交点的连线中垂线上；所述抽气口位于两个第二级交点的连线中垂线上；所述第一级分支……第n级分支、第n+1级分支……第(N-1)级分支均为直线。

进一步地，一个所述第n级交点位于相邻两个第n+1级交点的连线中点处；所述抽气口位于两个第二级交点的连线中点处。

作为具体的技术方案，所述真空吸附单元包括八个吸附孔；所述多级通气道包括两个第一级通气道以及两个第二级通气道；一个所述第二级通气道包括一个第二级交点以及从第二级交点出发的四条第二级分支，四条第二级分支的末端分别与四个所述吸附孔导通，所述两个第二级通气道的第二级分支长度相等；一个所述第一级通气道包括从所述抽气口出发的一条第一级分支，所述第一级分支的末端与一个第二级交点导通，所述二个第一级通气道的第一级分支长度相等。

进一步地，一个所述第二级通气道的四条第二级分支的末端与位于矩形的四个顶点处的四个相邻吸附孔导通，一个所述第二级通气道的第二级支点位于所述矩形的对角线交点处；所述抽气口位于两个第二级交点的连线中垂线上；所述第一级分支以及第二级分支均为直线。

进一步地，所述抽气口位于两个第二级交点的连线中点处。

作为具体的技术方案，所述真空吸附单元包括2^N个吸附孔，N≥3；所述多级通气道包括二个第一级通气道……2^n-1个第n级通气道、2ⁿ个第n+1级通气道……2^N-1个第N级通气道，2≤n≤N-1；一个所述第N级通气道包括一个第N级交点以及从第N级交点出发的两条第N级分支，两条第N级分支的末端分别与两个所述吸附孔导通，所述2^N-1个第N级通气道的第N级分支长度相等；所述第n级通气道包括一个第n级交点以及从第n级交点出发的两条第n级分支；所述第n+1级通气道包括一个第n+1级交点以及从第n+1级交点出发的两条第n+1级分支；所述两条第n级分支的末端分别将两个第n+1级交点导通；所述2^n-1个第n级通气道的第n级分支长度相等；所述2ⁿ个第n+1级通气道的第n+1级分支长度相等；一个所述第一级通气道包括从所述抽气口出发的一条第一级分支，所述第一级分支的末端分别与一个第二级交点导通，所述二个第一级通气道的第一级分支长度相等。

进一步地，一个所述第N级通气道的两条第N级分支的末端与相邻两个吸附孔导通，一个所述第N-1级通气道的第N-1级支点位于所述相邻两个吸附孔的连线中垂线上；一个所述第n级交点位于相邻两个第n+1级交点的连线中垂线上；所述抽气口位于两个第二级交点的连线中垂线上；所述第一级分支……第n级分支、第n+1级分支……第N级分支均为直线。

进一步地，一个所述第n级交点位于相邻两个第n+1级交点的连线中点处；所述抽气口位于两个第二级交点的连线中点处。

作为具体的技术方案，所述真空吸附单元包括四个吸附孔；所述多级通气道包括两个第一级通气道以及两个第二级通气道；一个所述第二级通气道包括一个第二级交点以及从第二级交点出发的两条第二级分支，两条第二级分支的末端分别与两个所述吸附孔导通，所述两个第二级通气道的第二级分支长度相等；一个所述第一级通气道包括从所述抽气口出发的一条第一级分支，所述第一级分支的末端与一个第二级交点导通，所述二个第一级通气道的第一级分支长度相等。

进一步地，所述四个吸附孔位于矩形的四个顶点处，一个第二级支点位于两个吸附孔的连线中垂线上，另一个第二级支点位于另外两个吸附孔的连线中垂线上，所述抽气口位于两个第二级支点的连线中垂线上；所述第一级分支与第二级分支均为直线。

进一步地，所述一个第二级支点位于两个吸附孔的连线中点处。另外一个第二级支点位于另外两个吸附孔的连线中点处，所述抽气口位于两个第二级支点的连线中点处。

作为具体的技术方案，所述真空吸附单元包括四个吸附孔；所述通气道包括一个第一级通气道；所述第一级通气道包括从抽气口出发的四条第一级分支，四条第一级分支的末端分别与四个所述吸附孔导通，所述四条第一级分支长度相等。

进一步地，所述抽气口位于所述四个吸附孔组成的矩形的对角线交点处；所述第一级分支均为直线。

作为具体的技术方案，所述真空吸附单元包括两个吸附孔；所述通气道包括两个第一级通气道；一个所述第一级通气道包括从抽气口出发的一条第一级分支，所述第一级分支的末端分别与一个所述吸附孔导通，所述两条第一级分支长度相等。

进一步地，所述抽气口位于所述两个吸附孔的中垂线上：所述第一级分支均为直线。

进一步地，所述抽气口位于所述两个吸附孔的连线中点处。

本发明的第二个目的旨在提供一种包括多个真空吸附单元的真空吸附平台，将真空吸附平台分成多个吸附区域，避免抽真空时，裸露在外的吸附孔会泄掉抽气孔输出的负压，造成真空吸附平台无法牢固吸附工件。

一种真空吸附平台，包括上述真空吸附单元；所述真空吸附单元的个数为多个；所述多个真空吸附单元按照阵列排布。

本发明的第三个目的旨在提供一种真空吸附系统，本发明的第三个目的旨在提供一种真空吸附系统，通过多个真空发生器分别输出负压给不同吸附区域，避免抽真空时，裸露在外的吸附孔会泄掉抽气孔输出的负压，造成真空吸附平台无法牢固吸附工件。

一种真空吸附系统，包括上述真空吸附平台；所述真空吸附平台包括多个按照阵列排布的吸附区域，每个吸附区域包括相同数量的真空吸附单元；所述真空吸附系统还包括控制单元、压缩空气进气口以及与所述吸附区域数量相等的真空发生器；所述真空发生器的压缩空气接收端与所述压缩空气进气口连接，接收所述压缩空气进气口输出的压缩空气；一个所述真空发生器的负压输出端分别与一个吸附区域的真空吸附单元的所有抽气口连接；所述控制单元与真空发生器连接，控制真空发生器处于开通状态或处于关断状态；当真空发生器处于开通状态时，真空发生器输出负压给抽气口；当真空发生器处于关断状态时，真空发生器停止输出负压给抽气口。

进一步地，所述真空吸附系统还包括进气口开关阀以及检测单元；所述进气口开关阀连入所述压缩空气进气口与所述真空发生器之间；所述进气口开关阀用于控制输入给真空发生器的压缩空气；所述检测单元用于检测放置在真空吸附平台上的工件覆盖的吸附区域，并将检测得到的工件覆盖的吸附区域发送给控制单元；所述控制单元与检测单元以及进气口开关阀连接，根据检测单元检测得到的工件覆盖的吸附区域面积与真空吸附平台全部吸附区域面积的比值控制进气开关阀的开关量。

本发明的第四个目的旨在提供一种检测装置，包括上述真空吸附系统、用于拍摄工件图像的相机以及用于显示工件图像的显示屏。

本发明有益效果：

本发明通过长度相等的通气道实现抽气口与吸附孔的导通，使抽气孔输出的负压到达每一个吸附孔经过的路程相等，进而使所有吸附孔输出相等的负压，保证真空吸附平台吸力均匀。进一步地，本发明通过长度相等的多级通气道，使抽气孔输出的负压到达每一个吸附孔经过的路程相等，进而使所有吸附孔输出相等的负压，保证真空吸附平台吸力均匀。因为两点之间直线最短，本发明通过将抽气口以及多级通气道的下一级支点设于上一级支点的连线中点处，且多级通气道的各级分支均为直线，实现了多级通气道的最短路程，缩短了多级通气道的加工长度。进一步地，本发明还提供一种包括多个真空吸附单元真空吸附平台。进一步地，本发明还提供一种真空吸附系统，通过多个真空发生器分别输出负压给不同吸附区域，由控制单元根据工件所处的吸附区域，输出控制信号给多个真空发生器，控制输出负压给相应吸附区域的真空发生器处于开通状态，控制未输出负压给相应吸附区域的处于关断状态，避免抽真空时，裸露在外的吸附孔会泄掉抽气孔输出的负压，造成真空吸附平台无法牢固吸附工件。进一步，本发明通过检测单元检测工件所处的吸附区域，由控制单元根据工件所处的区域面积控制进气开关阀的开关量，使全部真空发生器接收到的压缩空气量随着工件面积进行变化，防止因为工件面积变小，压缩空气进气口输出的压缩空气量不变导致每个吸附孔负压增强，进而导致工件下陷，部分工件进入吸附孔，影响对工件的作业或视觉检测。进一步地，本发明还提供了一种包括上述真空吸附系统的检测装置。

〖附图说明〗

为了更清楚地说明本发明实施例，下面对实施例中所需要使用的附图做简单的介绍。下面描述中的附图仅仅是本发明中的实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1是本发明实施例一真空吸附系统的整体结构框图；

图2是本发明实施例一真空吸附平台的爆炸图；

图3是本发明实施例一真空吸附单元中吸附孔的结构示意图；

图4是本发明实施例一真空吸附单元中抽气口与多级通气道的结构示意图；

图5是本发明实施例一真空吸附单元左半侧的抽气口与多级通气道的结构示意图；

图6是本发明实施例一真空吸附单元右半侧的抽气口与多级通气道的结构示意图；

图7是本发明实施例八真空吸附单元中抽气口与多级通气道的结构示意图；

图8是本发明实施例八真空吸附单元左半侧的抽气口与多级通气道的结构示意图；

图9是本发明实施例八真空吸附单元右半侧的抽气口与多级通气道的结构示意图；

附图说明：1，吸板；11，吸附孔；11a，最高级分支的末端；2，底板；21，抽气孔；221，第一级通气道；222，第二级通气道；2221，第二级支点；2222，第二级分支；223，第三级通气道；2231，第三级支点；2232，第三级分支；224，第四级通气道；2241，第四级支点；2242，第四级分支；225，第五级通气道；2251，第五级支点；2252，第五级分支；226，第六级通气道；2261，第六级支点；2262，第六级分支；227，第七级通气道；2271，第七级支点；2272，第七级分支。

〖具体实施方式〗

下面结合附图，对本发明进行详细的说明。

为了使本发明的目的、技术方案、优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例一

一种检测装置包括用于吸附工件的真空吸附系统、用于拍摄工件图像的照相机以及用于显示工件图像的显示屏。如图1所示，一种真空吸附系统包括压缩空气进气口、进气调节阀、真空发生器、真空吸附平台、控制单元以及检测单元。

如图1所示，在本实施例中，真空发生器的数量为六个；真空吸附平台包括六个抽气口21以及多个吸附孔11；压缩空气进气口接收压缩空气；进气调节阀的压缩空气输入端与压缩空气进气口连接，接收压缩空气进气口输出的压缩空气；进气调节阀的六个压缩空气输出端分别与六个真空发生器的压缩空气输入端连接，输出压缩空气给六个真空发生器；六个真空发生器的负压输出端分别与真空吸附平台的六个抽气口21连接，输出负压给六个抽气口21；六个抽气口21分别输出负压给设于真空吸附平台不同位置的吸附孔11，将真空吸附平台分成由六个抽气口21分开抽气的六个吸附区域；设于不同吸附区域的吸附孔11接收相应抽气口21输出的负压，吸附放置在该吸附区域上工件。

在本实施例中，进气调节阀用于控制真空发生器接收的压缩空气量；控制单元的第一控制信号输出端与进气调节阀的控制信号输入端连接，输出开关量控制信号给进气调节阀，控制进气调节阀的开关量，进气调节阀的开关量控制进气调节阀输出的压缩空气量与进气调节阀接收的压缩空气量的比值；控制单元的六个控制信号输出端分别与六个真空发生器连接，控制六个真空发生器处于开通状态或处于关断状态；当真空发生器处于开通状态时，真空发生器输出负压给真空吸附平台上的抽气口21；当真空发生器处于关断状态时，真空发生器停止输出负压给真空吸附平台的抽气口21；检测单元的检测信号输出端与控制单元的检测信号连接，检测工件所处的吸附区域，将工件所处的吸附区域的信息发送给控制单元。

在本实施例中，控制单元根据工件所处的吸附区域，输出控制信号给六个真空发生器，控制输出负压给相应吸附区域的真空发生器处于开通状态，控制未输出负压给相应吸附区域的处于关断状态，避免抽真空时，裸露在外的吸附孔11会泄掉抽气孔21输出的负压，造成真空吸附平台无法牢固吸附工件。

在本实施例中，真空吸附平台上的吸附孔11按照阵列排布，六个吸附区域按照阵列排布，且六个吸附区域涵盖的吸附孔11数量相等。

在本实施例中，假设工件占据了六个吸附区域，六个真空发生器均处于开通状态时，压缩空气进气口接收的压缩空气量为VIN，进气开关阀的开关量为K6，设K6为基准开关量，则进气开关阀输出的压缩空气量为VOUT16＝K6*VIN；进气开关阀按照均匀分配的方式输出压缩空气给六个真空发生器，即六个真空发生器接收到的压缩空气VOUT26＝VOUT26/6＝K6*VIN/6。

当工件仅占据n(1≤n＜6)个吸附区域时，即只有n个真空发生器处于开通状态时，如果不改变进气开关阀的开关量，n个真空发生器接收到的压缩空气VOUT2n＝K1*VIN/n；因为1≤n＜6，所以K1*VIN/n＞K1*VIN1/6，即VOUT2n＞VOUT26；当n＝1，VOUT21＝6*VOUT26，即只有一个真空发生器处于开通状态时，该真空发生器接收的压缩空气量是六个真空发生器均处于开通状态时，每个真空发生器接收到的压缩空气量的六倍，进而导致真空发生器输出的负压也变为原先的六倍，吸附孔11负压增强，导致工件下陷，部分工件进入吸附孔11，影响对工件的作业或视觉检测。

在本实施例中，当检测单元检测到工件仅占据n(1≤n＜6)个吸附区域时，检测单元发送反馈信号给控制单元；控制单元根据检测单元的反馈信号控制相应的n个真空发生器处于开通状态，并将进气开关阀的开关量调整为基准开关量K6的n/6倍，即进气开关阀的开关量Kn＝K6*n/6，进气开关阀输出的压缩空气量为VOUT1n＝Kn*VIN＝K6*n*VIN/6，n个真空发生器接收到的压缩空气VOUT2n＝VOUTln/n＝K6*VIN/6，与六个真空发生器均处于开通状态时，每个真空发生器接收到的压缩空气量相等，防止吸附孔负压增强，导致工件下陷，部分工件进入吸附孔11，影响对工件的作业或视觉检测。

在本实施例中，检测单元为相机；相机拍照后，通过图像识别，获得工件的实际面积及工件所覆盖的吸附区域，并将工件的实际面积与工件覆盖的吸附区域作为反馈信号发送给控制单元，控制单元根据此反馈信号调整进气开关阀的开关量，并控制多路真空发生器的工作状态，被工件覆盖的吸附区域对应的真空发生器处于开通状态，未被工件覆盖的吸附区域处于关断状态。

如图2所示，在本实施例中，真空吸附平台包括吸板1以及底板2，吸板1设置在底板2上方，与底板2紧密贴合。上述吸附孔11为设置在吸板1的贯通孔，上述抽气孔21为设置在底板2上的贯通孔。每个抽气孔21均通过设置底板上的通气道与位于相应吸附区域的吸附孔11导通，通气道均由底板2上表面下陷形成的凹槽构成。

在本实施例中，通气道为多级通气道；每个抽气孔21与位于相应吸附区域的吸附孔11以及相应的多级通气道组成真空吸附单元；真空吸附平台包括六个真空吸附单元。

如图3所示，在本实施例中，真空吸附单元中的多个吸附孔11按照阵列排布；如图4所示，在本实施例中，抽气孔21设置在每个真空吸附单元位于边界的吸附孔11组成的矩形的对角线交点处；多级通气道以抽气孔21为出发点，按照从低级到高级的顺序依次导通，最低级(即第一级)通气道与抽气孔21导通，最高级通气道与吸板11上的吸附孔11导通。

在本实施例中，真空吸附平台包括768(即128*6)个按照阵列排布的吸附孔11(如图2所示)；真空吸附单元包括2⁷(即768/6＝128＝2⁷)个吸附孔11(如图3所示)；多级通气道包括两个第一级通气道221、两个第二级通气道222、2²第三级通气道223、2³第四级通气道224、2⁴第五级通气道225以及2⁵第六级通气道226；每个第六级通气道226(在本实施例中，第六级通气道为最高级通气道)包括一个第六级交点2261以及从所述第六级交点2261出发的四条第六级分支2262(在本实施例中，第六级分支2262为最高级分支)，四条第六级分支2262的末端11a分别与位于矩形的四个顶点处的四个相邻吸附孔11对应，四条第六级分支2262分别将上述四个相邻吸附孔11与第六级交点2261导通；第六级交点2261位于上述相邻四个吸附孔11组成的矩形的对角线交点，四条第六级分支2262均为直线，即四条第六级分支2262的长度相等，且2⁵个第六级通气道226对应的第六级分支2262长度相等。

如图4所示，在本实施例中，每个第五级通气道225包括一个第五级交点2251以及从所述第五级交点2251出发的两条第五级分支2252，所述第五级交点2251设于相邻两个第六级交点2261的连线中点处，两条第五级分支2252为分别将相邻两个第六级交点2261与第五级交点2251连接的直线，即两条第五级分支2252的长度相等，且2⁴个第五级通气道225对应的第五级分支2252长度相等；每个第四级通气道224包括第四级交点2241以及从所述第四级交点2241出发的两条第四级分支2242，所述第四级交点2241设于相邻两个第五级交点2251的连线中点处，两条第四级分支2242为分别将相邻两个第五级交点2251与第四级交点2241连接的直线，即两条第四级分支2242的长度相等，且所有第四级通气道224对应的第四级分支2242长度相等。

如图4所示，每个第三级通气道223包括一个第三级交点2231以及从所述第三级交点2231出发的两条第三级分支2232，所述第三级交点2231设于相邻两个第四级交点2241的连线中点处，两条第三级分支2232分别为将相邻两个第四级交点2241与第三级交点2231连接的直线，即两条第三级分支2232的长度相等，且2²个第三级通气道223对应的第三级分支2232长度相等；每个第二级通气道222包括一个第二级交点2221以及从第二级交点2221出发的两条第二级分支2222，所述第二级交点2221位于相邻两个第三级交点2231的连线中点处，两条第二级分支2222分别为将相邻两个第三级交点2231与第二级交点2221连接的直线，即两条第二级分支2222的长度相等，且两个第二级通气道222对应的第二级分支2222长度相等；每个第一级通气道221包括第一级分支，第一级分支将第二级交点2221与抽气孔21导通，且抽气孔21位于两个第二级交点2221的连线中点处，第一级分支均为直线，即两个第一级通气道221对应的第一级分支长度相等。

在本实施例中，因为最高级通气道，即第六级通气道221对应4(即2²)个吸附孔11，每个真空吸附单元对应的吸附孔11的数量128＝2⁷＝2²(第六级通气道226)*2¹(第五级通气道225)*2¹(第四级通气道224)*2¹(第三级通气道223)*2¹(第二级通气道222)*2¹(第一级通气道221)；每个第六级通气道226对应吸附孔11的数量是4(即2²)个，每个真空吸附单元对应的第六级通气道226的数量为128/4(即2⁷/2²)＝2⁵；每个第五级通气道225对应的吸附孔11的数量是8(即2³)个，每个真空吸附单元对应的第五级通气道225的数量为128/8(即2⁷/2³)＝2⁴；每个第四级通气道224对应的吸附孔11的数量是16(即2⁴)个，每个真空吸附单元对应的第三级通气道223的数量为128/16(即2⁷/2⁴)＝2³；每个第二级通气道222对应的吸附孔11的数量是32(即2⁵)个，每个真空吸附单元对应的第二级通气道222的数量为128/32(即2⁷/2⁵)＝2²；每个第一级通气道221对应的吸附孔11的数量是64(即2⁶)个，每个真空吸附单元对应的第一级通气道221的数量为128/64(即2⁷/2⁶)＝2。

如图4，5，6所示，在本实施例中，箭头指示为抽气孔21输出的负压给最高级分支的末端，即第六级分支2262的末端的路径；真空吸附单元对应的吸附孔11保持均匀吸力的工作原理如下：抽气孔21输出的负压依次经过第一级通气道221的第一级分支，第二级通气道222的一条第二级分支2222，第三级通气道223的一条第三级分支2232，第四级通气道224的一条第四级分支2242，第五级通气道的一条第五级分支2252，第六级通气道的一条第六级分支2262，发送给一个吸附孔11；所有第一级分支长度相等，所有第二级分支2222长度相等，所有第三级分支2232长度相等，所有第四级分支2242长度相等，所有第五级分支2252长度相等，所有第六级分支2262长度相等，所以，抽气孔21输出的负压到达每一个吸附孔11经过的路程相等，因而所有吸附孔11输出相等的负压，保证吸板1上的吸力均匀。

在其它实施例中，每个第六级通气道226对应的第六级交点2261与相邻四个吸附孔11组成的矩形的对角线交点对应，四条第六级分支2262分别将四个吸附孔11与第六级交点2261导通，每个第六级通气道226对应的四条第六级分支2262长度相等，且所有第六级通气道226对应的第六级分支2262长度相等，但是第六级分支2262不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线；每个第五级通气道225对应的第五级交点2251位于相邻两个第六级交点2261连线的中垂线上，两条第五级分支2252分别将相邻两个第六级交点2261与第五级交点2251连接，每个第五级通气道225对应的两条第五级分支2252的长度相等，且所有第五级通气道225对应的第五级分支2252长度相等，但是第五级分支2252不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线；每个第四级通气道224对应的第四级交点2241位于相邻两个第五级交点2251连线的中垂线上，两条第四级分支2242分别将相邻两个第五级交点2251与第四级交点2241连接，每个第四级通气道224对应的两条第四级分支2242的长度相等，且所有第四级通气道224对应的第四级分支2242长度相等，但是第四级分支2242不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线；每个第三级通气道223对应的第三级交点2231位于相邻两个第四级交点2241连线的中垂线上，两条第三级分支2232分别将相邻两个第四级交点2241与第三级交点2231连接，每个第三级通气道223对应的两条第三级分支2232的长度相等，且所有第三级通气道223对应的两条第三级分支2232的长度相等，但是第三级分支2232不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线；每个第二级通气道222对应的两条第二级分支2222位于相邻两个第三级交点2231连线的中垂线上，两条第二级分支2222分别将相邻两个第三级交点2231与第二级交点2221连接，每个第二级通气道222对应的两条第二级分支2222的长度相等，且所有第二级通气道222对应的第二级分支2222的长度相等，但是第二级分支2222不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线；每个第一级通气道221对应的第一级分支长度相等，所有第一级通气道221对应的第一级分支长度相等，但是第一级分支不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线。

实施例二

本实施例与实施例一的区别在于：真空吸附单元包括2^N(4≤N＜7)个吸附孔11，真空吸附平台包括768/2^N个按照阵列排布的真空吸附单元，底板上一共设置有768/2^N个抽气孔，真空吸附平台包括768/2^N个吸附区域，每个吸附区域包括一个真空吸附单元，真空吸附系统包括768/2^N个真空发生器；多级通气道包括两个第一级通气道221……2^n-1个第n级通气道、2ⁿ个第n+1级通气道……2^N-2个第N-1级通气道，2≤n≤N-2。

在本实施例中，第N-1级通气道为最高级通气道。每个第N-1级通气道22(N-1)包括从第(N-1)级交点22(N-1)1出发的第(N-1)级分支22(N-1)2，第(N-1)级分支22(N-1)2为最高级分支；四条第(N-1)级分支22(N-1)2的末端11a分别与位于矩形的四个顶点处的四个相邻吸附孔11导通，第(N-1)级交点22(N-1)1位于上述相邻四个吸附孔11组成的矩形的对角线交点，四条第(N-1)级分支22(N-1)2分别将矩形四个顶点与第(N-1)级交点22(N-1)1导通，且2^N-2个第N-1级通气道对应的第(N-1)级分支22(N-1)2均为直线，即2^N-2个第(N-1)级通气道22(N-1)对应的第(N-1)级分支22(N-1)2长度相等；每个第n(1≤n≤N-2)级通气道224n包括从第n级交点22n1出发的两条第n级分支22n2，所述第n级交点22n1设于相邻两个第n+1级交点22(n+1)1的连线中点处，两条第n级分支22n2分别将相邻两个第(n+1)级交点22(n+1)1与第n级交点22n1导通；一个第n级分支22n2对应的两条第n级分支22n2均为直线，即两条第n级分支22n2的长度相等，2^n-1个第n级通气道22n对应的第n级分支22n2长度均相等。

在其它实施例中，第(N-1)级分支22(N-1)2可以为其他形状，比如折线、弧线，只要2^N-2个第N一1级通气道对应的第(N-1)级分支22(N-1)2长度均相等即可；第n级交点位于相邻两个第n+1级交点22(n+1)1的连线中垂线上，第n级分支22n2可以为其他形状，比如折线、弧线，只要2^n-1个第n级通气道对应的第n级分支22n2长度均相等即可；抽气口21位于相邻两个第二级交点2222的中垂线上，第一级分支可以为其他形状，比如折线、弧线，只要2个第一级分支的长度相等即可。

实施例三

本实施例与实施例一的区别在于：一个真空吸附单元包括八个吸附孔，真空吸附平台包括96个按照阵列排布的真空吸附单元，底板上一共设置有96个抽气孔，真空吸附平台包括96个吸附区域，每个吸附区域包括一个真空吸附单元，真空吸附系统包括96个真空发生器；多级通气道包括两个第一级通气道以及两个第二级通气道；一个第二级通气道包括一个第二级交点以及从第二级交点出发的四条第二级分支，四条第二级分支的末端分别与位于正方形四个顶点处的四个吸附孔导通，第二级交点位于所述正方形的对角线交点处，第二级分支为直线，即两个第二级通气道的第二级分支长度相等；一个第一级通气道包括从抽气口出发的一条第一级分支，第一级分支的末端与一个第二级交点导通，抽气口位于两个第二级交点的连线中点处，第一级分支为直线，即二个第一级通气道的第一级分支长度相等。

实施例四

本实施例与实施例三的区别在于：真空吸附平台包括6*2^4-m个按照阵列排布吸附区域，每个吸附区域包括2^m个按照阵列排布的真空吸附单元，m＝3，4；真空吸附系统包括6*2^4-m个真空发生器，一个真空发生器输出负压给一个吸附区域内的2^m个真空吸附单元对应的2^m个抽气口。

实施例五

本实施例与实施例一的区别在于：一个真空吸附单元包括四个吸附孔；真空吸附平台包括192个按照阵列排布的真空吸附单元，底板上一共设置有192个抽气孔，真空吸附平台包括192个吸附区域，每个吸附区域包括一个真空吸附单元，真空吸附系统包括192个真空发生器；通气道包括一个第一级通气道；所述第一级通气道包括从抽气口出发的四条第一级分支，四条第一级分支的末端分别与四个所述吸附孔导通，抽气口位于四个吸附孔组成的正方形的对角线交点处，四条第一级分支均为直线，即所述四条第一级分支长度相等。

实施例六

本实施例与实施例五的区别在于：真空吸附平台包括6*2^5-m个按照阵列排布吸附区域，每个吸附区域包括2^m个按照阵列排布的真空吸附单元，m＝3，4，5；真空吸附系统包括6*2^5-m个真空发生器，一个真空发生器输出负压给一个吸附区域内的2^m个真空吸附单元对应的2^m个抽气口。

实施例七

本实施例与实施例一的区别在于：真空吸附平台包括M*2⁷个按照阵列排布的真空吸附单元，M为偶数，且M≠6，吸板包括N*2⁷个吸附孔，底板上一共设置有M个抽气孔。

实施例八

如图7，8，9所示，本实施例与实施例一的区别在于：多级通气道包括两个第一级通气道221、两个第二级通气道222、2²个第三级通气道223、2³个第四级通气道224、2⁴个第五级通气道225、2⁵个第六级通气道226以及2⁶个第七级通气道227(最高级通气道)；每个第七级通气道227包括第七级交点2271以及从第七级交点2271出发的两条第六级分支2262，两条第七级分支2272(最高级分支)的末端11a分别与位于一条直线上的相邻两个吸附孔11导通，第七级交点2271位于上述相邻两个吸附孔11的连线中点处，两条第七级分支2272分别将上述两个吸附孔11与第七级交点2271导通，且两条第七级分支2272均为直线，即两条第七级分支2272的长度相等，且2⁶个第七级通气道227对应的第七级分支2272长度相等；每个第六级通气道226包括从第六级交点2261出发的两条第六级分支2262，每个第六级交点2261设于相邻两个第七级交点2261的连线中点处，两条第六级分支2262分别将相邻两个第七级交点2261与第六级交点2261导通，且两条第六级分支2262均为直线，即两条第六级分支2262的长度相等，且2⁵个第六级通气道226对应的第六级分支2262长度相等；每个第五级通气道225包括从第五级交点2251出发的两条第五级分支2252，所述第五级交点2251设于相邻两个第六级交点2261的连线中点处，两条第五级分支2252分别将相邻两个第六级交点2261与第五级交点2251导通，且两条第五级分支2252均为直线，即两条第五级分支2252的长度相等，且2⁴个第五级通气道225对应的第五级分支2252长度相等；每个第四级通气道224包括从第四级交点2241出发的两条第四级分支2242，所述第四级交点2241设于相邻两个第五级交点2251的连线中点处，两条第四级分支2242分别将相邻两个第五级交点2251与第四级交点2241导通，且两条第四级分支2242均为直线，即两条第四级分支2242的长度相等，且2³个第四级通气道224对应的第四级分支2242长度相等；每个第三级通气道223包括从第三级交点2231出发的两条第三级分支2232，所述第三级交点2231设于相邻两个第四级交点2241的连线中点处，两条第三级分支2232分别将相邻两个第四级交点2241与第三级交点2231导通，且两条第三级分支均为直线，即两条第三级分支2232的长度相等，且2²个第三级通气道223对应的第三级分支2232长度相等；每个第二级通气道222包括从第二级交点2221出发的两条第二级分支2222，所述第二级交点2221位于相邻两个第三级交点2231的连线中点处，两条第二级分支2222分别将相邻两个第三级交点2231与第二级交点2221导通，且两条第二级分支2222均为直线，即两条第二级分支2222的长度相等，且两个第二级通气道222对应的第二级分支2222长度相等；每个第一级通气道221包括第一级分支，第一级分支将第二级交点2221与抽气孔21导通，抽气孔21位于相邻两个第二级交点2221的连线中点处，且第一级分支均为直线，即两个第一级通气道221对应的第一级分支长度相等。

如图7，8，9所示，在本实施例中，因为第七级通气道227对应2(即2¹)个吸附孔11，吸板1上所有吸附孔11的数量128＝2⁷＝2¹(第七级通气道226)*2¹(第六级通气道226)*2¹(第五级通气道225)*2¹(第四级通气道224)*2¹(第三级通气道223)*2¹(第二级通气道222)*2¹(第一级通气道221)；每个第七级通气道227对应吸附孔11的数量是2(即2¹)个，每个真空吸附单元对应的第七级通气道227的数量为128/2(即2⁷/2¹)＝2⁶；每个第六级通气道226对应吸附孔11的数量是2(即2¹)个，每个真空吸附单元对应的第六级通气道226的数量为128/4(即2⁷/2²)＝2⁵；每个第五级通气道225对应的吸附孔11的数量是8(即2³)个，每个真空吸附单元对应的第五级通气道225的数量为128/8(即2⁷/2³)＝2⁴；每个第四级通气道224对应的吸附孔11的数量是16(即2⁴)个，每个真空吸附单元对应的第三级通气道223的数量为128/16(即2⁷/2⁴)＝2³；每个第二级通气道222对应的吸附孔11的数量是32(即2⁵)个，每个真空吸附单元对应的第二级通气道222的数量为128/32(即2⁷/2⁵)＝2²；每个第一级通气道221对应的吸附孔11的数量是64(即2⁶)个，每个真空吸附单元对应的第一级通气道221的数量为128/64(即2⁷/2⁶)＝2。

如图7，8，9所示，在本实施例中，箭头指示为抽气孔21输出的负压发送给一个吸附孔11的路径，吸板1上的吸附孔11保持均匀吸力的工作原理如下：抽气孔21输出的负压依次经过第一级通气道221的第一级分支，第二级通气道222的一条第二级分支2222，第三级通气道223的一条第三级分支2232，第四级通气道224的一条第四级分支2242，第五级通气道的一条第五级分支2252，第六级通气道的一条第六级分支2262以及第七级通气道的一条第七级分支2272，发送给一个吸附孔11；所有第一级分支长度相等，所有第二级分支2222长度相等，所有第三级分支2232长度相等，所有第四级分支2242长度相等，所有第五级分支2252长度相等，所有第六级分支2262长度相等，所有第七级分支2272的长度相等，所以抽气孔21输出的负压到达每一个吸附孔11经过的路程相等，所有吸附孔11输出相等的负压，保证吸板1上的吸力均匀。

在其它实施例中，每个第七级通气道227对应的第七级交点2271位于相邻两个吸附孔11连线的中垂线上，两条第七级分支2272分别将相邻两个吸附孔11与第七级交点2271导通，每个第七级通气道227对应的两条第七级分支2272长度相等，且所有第七级通气道227对应的第七级分支2272长度相等，但是第七级分支2272不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线；每个第六级通气道226对应的第六级交点2261位于相邻两个第七级交点2271连线的中垂线上，两条第六级分支2262分别将相邻两个第七级交点2271导通，每个第六级通气道226对应的两条第六级分支2262的长度相等，且所有第六级通气道226对应的第六级分支2262长度相等，但是第六级分支2262不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线；每个第五级通气道225对应的第五级交点2251位于相邻两个第六级交点2261连线的中垂线上，两条第五级分支2252分别将相邻两个第六级交点2261与第五级交点2251导通，每个第五级通气道225对应的两条第五级分支2252的长度相等，且所有第五级通气道225对应的第五级分支2252长度相等，但是第五级分支2252不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线；每个第四级通气道224对应的第四级交点2241位于相邻两个第五级交点2251连线的中垂线上，两条第四级分支2242分别将相邻两个第五级交点2251与第四级交点2241导通，每个第四级通气道224对应的两条第四级分支2242的长度相等，且所有第四级通气道224对应的第四级分支2242长度相等，但是第四级分支2242不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线；每个第三级通气道223对应的第三级交点2231位于相邻两个第四级交点2241连线的中垂线上，两条第三级分支2232分别将相邻两个第四级交点2241与第三级交点2231导通，每个第三级通气道223对应的两条第三级分支2232的长度相等，且所有第三级通气道223对应的两条第三级分支2232的长度相等，但是第三级分支2232不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线；每个第二级通气道222对应的两条第二级分支2222位于相邻两个第三级交点2231连线的中垂线上，两条第二级分支2222分别将相邻两个第三级交点2231与第二级交点2221导通，每个第二级通气道222对应的两条第二级分支2222的长度相等，且所有第二级通气道222对应的第二级分支2222的长度相等，但是第二级分支2222不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线；每个第一级通气道221对应的第一级分支长度相等，所有第一级通气道221对应的第一级分支长度相等，但是第一级分支不是直线，可以为其他形状，比如折线、弧线。

实施例九

本实施例与实施例八的区别在于：真空吸附单元包括2^N(3≤N＜7)个吸附孔11，真空吸附平台包括768/2^N个按照阵列排布的真空吸附单元，底板上一共设置有768/2^N个抽气孔。多级通气道包括两个第一级通气道221……2^n-1个第n级通气道、2ⁿ个第n+1级通气道……2^N-1个第N级通气道，2≤n≤N-1。第N级通气道22N为最高级通气道，每个第N级通气道包括从第N级交点22N1出发的两条第N级分支22N2，两条第N级分支22N2的末端11a分别与相邻两个吸附孔11导通，第N级交点22N1位于上述相邻两个吸附孔11的连线中点处，两条第N级分支22N2分别为将相邻两个吸附孔11与第N级交点22N1连接的直线，即两条第N级分支22N2的长度相等，且所有第N级通气道22N对应的第N级分支22N2长度相等；每个第n(1≤n≤N-1)级通气道224n包括从第n级交点22n1出发的两条第n级分支22n2，所述第n级交点22n1设于相邻两个第n+1级交点22(n+1)1的连线中点处，两条第n级分支22n2为分别将相邻两个第(n+1)级交点22(n+1)1与第n级交点22n1连接的直线，即两条第n级分支22n2的长度相等，且所有第n级通气道22n对应的第n级分支22n2长度相等。

在其它实施例中，第N级交点22N1位于上述相邻两个吸附孔11的连线中垂线上，第N级分支22N2可以为直线，也可以为其他形状，比如折线、弧线等，只要2^N-1个第N级分支22N2的长度相等即可；所述第n级交点22n1设于相邻两个第n+1级交点22(n+1)1的连线中垂线上，第n级分支22n2可以为直线，也可以为其他形状，比如折线、弧线等，只要2^n-1个第n级分支22n2长度相等即可。

实施例十

本实施例与实施例八的区别在于：一个真空吸附单元包括四个吸附孔；真空吸附平台包括768/4，即192个按照阵列排布的真空吸附单元，底板上一共设置有192个抽气孔，真空吸附平台包括192个吸附区域，每个吸附区域包括一个真空吸附单元，真空吸附系统包括192个真空发生器；多级通气道包括两个第一级通气道以及两个第二级通气道；一个第二级通气道包括一个第二级交点以及从所述第二级交点出发的两条第二级分支，第二级交点位于两个吸附孔的连线中点处，两条第二级分支的末端分别与两个吸附孔导通，两条第二级分支均为直线，即两条第二级分支长度相等，且两个第二级通道对应的第二级分支长度均相等；一个第一级通气道包括从抽气口出发的一条第一级分支，抽气口位于两个第二级交点的连线中点处，一个第一级分支的末端与一个第二级交点导通，二个第一级分支均为，即两个第一级分支长度相等。

在其它实施例中，第二级交点位于两个吸附孔的连线中垂线上，第二级分支可以为直线，也可以为其他形状，比如折线、弧线等，只要两个第二级分支的长度相等即可；抽气口位于两个第二级交点的连线中垂线上，第一级分支可以为直线，也可以为其他形状，比如折线、弧线等，只要两个第一级分支的长度相等即可。

实施例十一

本实施例与实施例十的区别在于：真空吸附平台包括6*2^5-m个按照阵列排布吸附区域，每个吸附区域包括2^m个按照阵列排布的真空吸附单元，2＜m≤5；真空吸附系统包括6*2^5-m个真空发生器，一个真空发生器输出负压给一个吸附区域内的2^m个真空吸附单元对应的2^m个抽气口。

实施例十二

本实施例与实施例八的区别在于：一个真空吸附单元包括两个吸附孔；真空吸附平台包括768/2，即384个按照阵列排布的真空吸附单元，底板上一共设置有384个抽气孔，真空吸附平台包括384个吸附区域，每个吸附区域包括一个真空吸附单元，真空吸附系统包括384个真空发生器；多级通气道包括两个第一级通气道；一个第一级通气道包括从抽气口出发的一条第一级分支，抽气口位于两个吸附孔的连线中点处，第一级分支的末端分别与一个所述吸附孔导通，两个第一级通气道对应的第一级分支均为直线，即两个第一级分支长度相等。

在其它实施例中，抽气口位于两个吸附孔的连线中垂线上；第一级分支可以为直线，也可以为其他形状，比如折线、弧线等。

实施例十三

本实施例与实施例十二的区别在于：真空吸附平台包括6*2^6-m个按照阵列排布吸附区域，每个吸附区域包括2^m个按照阵列排布的真空吸附单元，2＜m≤6；真空吸附系统包括6*2^5-6个真空发生器，一个真空发生器输出负压给一个吸附区域内的2^m个真空吸附单元对应的2^m个抽气口。

以上所述仅是本发明的优选实施例，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (16)

1.一种真空吸附单元，包括设置在真空吸附平台上的多个吸附孔、设置在真空吸附平台的一个抽气孔；所述多个吸附孔按照阵列排布；其特征在于：还包括设置在真空吸附平台内的通气道；所述通气道将所述一个抽气孔与所述多个吸附孔导通，且所述通气道从所述抽气孔出发到每个吸附孔的距离都相等；所述通气道为多级通气道；所述多级通气道按照从低级到高级的顺序依次导通，最低级通气道与所述抽气孔导通，最高级通气道与所述吸附孔导通；

所述真空吸附单元包括2^N个吸附孔，N≥4；所述多级通气道包括二个第一级通气道……2^n-1个第n级通气道、2ⁿ个第n+1级通气道……2^N-2个第N-1级通气道，2≤n≤N-2；一个所述第N-1级通气道包括一个第(N-1)级交点以及从第(N-1)级交点出发的四条第(N-1)级分支，四条第(N-1)级分支的末端分别与四个所述吸附孔导通，所述2^N-2个第N-1级通气道的第(N-1)级分支长度相等；所述第n级通气道包括一个第n级交点以及从第n级交点出发的两条第n级分支；所述第n+1级通气道包括一个第n+1级交点以及从第n+1级交点出发的两条第n+1级分支；所述两条第n级分支的末端分别与两个第n+1级交点导通；所述2^n-1个第n级通气道的第n级分支长度相等；所述2ⁿ个第n+1级通气道的第n+1级分支长度相等；一个所述第一级通气道包括从所述抽气口出发的一条第一级分支，所述第一级分支的末端分别与一个第二级交点导通，所述二个第一级通气道的第一级分支长度相等。

2.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于：一个所述第N-1级通气道的四条第(N-1)级分支的末端与位于矩形的四个顶点处的四个相邻吸附孔导通，一个所述第N-1级通气道的第N-1级支点位于所述矩形的对角线交点处；一个所述第n级交点位于相邻两个第n+1级交点的连线中垂线上；所述抽气口位于两个第二级交点的连线中垂线上；所述第一级分支……第n级分支、第n+1级分支……第(N-1)级分支均为直线。

3.根据权利要求2所述的真空吸附单元，其特征在于：一个所述第n级交点位于相邻两个第n+1级交点的连线中点处；所述抽气口位于两个第二级交点的连线中点处。

4.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于：所述真空吸附单元包括八个吸附孔；所述多级通气道包括两个第一级通气道以及两个第二级通气道；一个所述第二级通气道包括一个第二级交点以及从第二级交点出发的四条第二级分支，四条第二级分支的末端分别与四个所述吸附孔导通，所述两个第二级通气道的第二级分支长度相等；一个所述第一级通气道包括从所述抽气口出发的一条第一级分支，所述第一级分支的末端与一个第二级交点导通，所述两个第一级通气道的第一级分支长度相等。

5.根据权利要求4所述的真空吸附单元，其特征在于：一个所述第二级通气道的四条第二级分支的末端与位于矩形的四个顶点处的四个相邻吸附孔导通，一个所述第二级通气道的第二级支点位于所述矩形的对角线交点处；所述抽气口位于两个第二级交点的连线中垂线上；所述第一级分支以及第二级分支均为直线。

6.根据权利要求5所述的真空吸附单元，其特征在于：所述抽气口位于两个第二级交点的连线中点处。

7.一种真空吸附单元，包括设置在真空吸附平台上的多个吸附孔、设置在真空吸附平台的一个抽气孔；所述多个吸附孔按照阵列排布；其特征在于：还包括设置在真空吸附平台内的通气道；所述通气道将所述一个抽气孔与所述多个吸附孔导通，且所述通气道从所述抽气孔出发到每个吸附孔的距离都相等；所述通气道为多级通气道；所述多级通气道按照从低级到高级的顺序依次导通，最低级通气道与所述抽气孔导通，最高级通气道与所述吸附孔导通；

所述真空吸附单元包括2^N个吸附孔，N≥3；所述多级通气道包括二个第一级通气道……2^n-1个第n级通气道、2ⁿ个第n+1级通气道……2^N-1个第N级通气道，2≤n≤N-1；一个所述第N级通气道包括一个第N级交点以及从第N级交点出发的两条第N级分支，两条第N级分支的末端分别与两个所述吸附孔导通，所述2^N-1个第N级通气道的第N级分支长度相等；所述第n级通气道包括一个第n级交点以及从第n级交点出发的两条第n级分支；所述第n+1级通气道包括一个第n+1级交点以及从第n+1级交点出发的两条第n+1级分支；所述两条第n级分支的末端分别将两个第n+1级交点导通；所述2^n-1个第n级通气道的第n级分支长度相等；所述2ⁿ个第n+1级通气道的第n+1级分支长度相等；一个所述第一级通气道包括从所述抽气口出发的一条第一级分支，所述第一级分支的末端分别与一个第二级交点导通，所述二个第一级通气道的第一级分支长度相等。

8.根据权利要求7所述的真空吸附单元，其特征在于：一个所述第N级通气道的两条第N级分支的末端与相邻两个吸附孔导通，一个所述第N-1级通气道的第N-1级支点位于所述相邻两个吸附孔的连线中垂线上；一个所述第n级交点位于相邻两个第n+1级交点的连线中垂线上；所述抽气口位于两个第二级交点的连线中垂线上；所述第一级分支……第n级分支、第n+1级分支……第N级分支均为直线。

9.根据权利要求8所述的真空吸附单元，其特征在于：一个所述第n级交点位于相邻两个第n+1级交点的连线中点处；所述抽气口位于两个第二级交点的连线中点处。

10.一种真空吸附单元，包括设置在真空吸附平台上的多个吸附孔、设置在真空吸附平台的一个抽气孔；所述多个吸附孔按照阵列排布；其特征在于：还包括设置在真空吸附平台内的通气道；所述通气道将所述一个抽气孔与所述多个吸附孔导通，且所述通气道从所述抽气孔出发到每个吸附孔的距离都相等；所述通气道为多级通气道；所述多级通气道按照从低级到高级的顺序依次导通，最低级通气道与所述抽气孔导通，最高级通气道与所述吸附孔导通；所述真空吸附单元包括四个吸附孔；所述多级通气道包括两个第一级通气道以及两个第二级通气道；一个所述第二级通气道包括一个第二级交点以及从第二级交点出发的两条第二级分支，两条第二级分支的末端分别与两个所述吸附孔导通，所述两个第二级通气道的第二级分支长度相等；一个所述第一级通气道包括从所述抽气口出发的一条第一级分支，所述第一级分支的末端与一个第二级交点导通，所述两个第一级通气道的第一级分支长度相等。

11.根据权利要求10所述的真空吸附单元，其特征在于：所述四个吸附孔位于矩形的四个顶点处，一个第二级支点位于两个吸附孔的连线中垂线上，另一个第二级支点位于另外两个吸附孔的连线中垂线上，所述抽气口位于两个第二级支点的连线中垂线上；所述第一级分支与第二级分支均为直线。

12.根据权利要求11所述的真空吸附单元，其特征在于：所述一个第二级支点位于两个吸附孔的连线中点处，另外一个第二级支点位于另外两个吸附孔的连线中点处，所述抽气口位于两个第二级支点的连线中点处。

13.一种真空吸附平台，其特征在于：包括权利要求1-12任意一项所述的真空吸附单元；所述真空吸附单元的个数为多个；所述多个真空吸附单元按照阵列排布。

14.一种真空吸附系统，其特征在于：包括权利要求13所述的真空吸附平台；所述真空吸附平台包括多个按照阵列排布的吸附区域，每个吸附区域包括相同数量的真空吸附单元；所述真空吸附系统还包括控制单元、压缩空气进气口以及与所述吸附区域数量相等的真空发生器；所述真空发生器的压缩空气接收端与所述压缩空气进气口连接，接收所述压缩空气进气口输出的压缩空气；一个所述真空发生器的负压输出端分别与一个吸附区域的真空吸附单元的所有抽气口连接；所述控制单元与真空发生器连接，控制真空发生器处于开通状态或处于关断状态；当真空发生器处于开通状态时，真空发生器输出负压给抽气口；当真空发生器处于关断状态时，真空发生器停止输出负压给抽气口。

15.根据权利要求14所述真空吸附系统，其特征在于：还包括进气口开关阀以及检测单元；所述进气口开关阀连入所述压缩空气进气口与所述真空发生器之间；所述进气口开关阀用于控制输入给真空发生器的压缩空气；所述检测单元用于检测放置在真空吸附平台上的工件覆盖的吸附区域，并将检测得到的工件覆盖的吸附区域发送给控制单元；所述控制单元与检测单元以及进气口开关阀连接，根据检测单元检测得到的工件覆盖的吸附区域面积与真空吸附平台全部吸附区域面积的比值控制进气开关阀的开关量。

16.一种检测装置，其特征在于：包括权利要求14或15任意一项所述的真空吸附系统、用于拍摄工件图像的相机以及用于显示工件图像的显示屏。

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