CN109451644A - 等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备 - Google Patents
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-
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Abstract
本发明提供了一种等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备，属于低温等离子体技术领域。等离子体喷射装置包括输送管、喷头组件和喷头切换机构；输送管的上端用于与等离子体发生器连接；喷头组件包括多个喷头和连接轴，喷头均匀环绕在连接轴周围，并与连接轴连接。喷头与输送管的下端可分离连接；喷头切换机构包括固定板，固定板水平设置并与输送管固定连接；固定板上设置有安装孔，连接轴与安装孔滑动连接，连接轴通过弹性件与输送管或固定板连接。上述等离子体喷射装置在更换喷头时，操作简单方便并且效率较高。另外，由于多个喷头连接为一个整体，因此，在更换喷头后，被换下的喷头不易丢失。
Description
技术领域
本发明涉及低温等离子体技术领域，具体而言，涉及一种等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备。
背景技术
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。低温等离子体设备是指利用低温等离子体来对工件的表面进行处理或雾化镀膜的设备。处理不同的工件或对同一个工件的不同区域进行处理通常需要更换喷头，例如，常用的喷头有直管喷头、拉瓦尔喷头、狭缝喷头及细管喷头。
现有的低温等离子体设备在更换喷头时，一般需要采用专用工具将喷头拆下，然后将另外的喷头装上。整个更换过程比较繁琐，效率偏低。
发明内容
本发明的目的在于提供了一种等离子体喷射装置，其更换喷头比较方便。
本发明的另一目的在于提供一种低温等离子体设备，其采用了上述等离子体喷射装置。
本发明的另一目的在于提供一种喷头切换方法，其采用了上述等离子体喷射装置。
本发明是这样实现的：
一种等离子体喷射装置，用于低温等离子体设备，所述低温等离子体设备包括等离子体发生器，包括：
所述等离子体喷射装置包括输送管、喷头组件和喷头切换机构；所述输送管的上端用于与所述等离子体发生器连接；
所述喷头组件设置在所述输送管的下方，包括多个喷头和连接轴，所述喷头均匀环绕在所述连接轴周围，并与所述连接轴连接；所述喷头与所述输送管的下端可分离连接；
所述喷头切换机构包括固定板，所述固定板水平设置并与所述输送管固定连接；所述固定板上设置有安装孔，所述连接轴与所述安装孔滑动连接，所述连接轴通过弹性件与所述输送管或所述固定板连接；所述弹性件的弹力使得所述喷头组件具有朝上运动的趋势。
进一步，
所述喷头切换机构还包括推动组件和转动组件；所述推动组件包括伸缩杆和壳体，所述壳体与所述输送管固定连接，所述伸缩杆与所述壳体滑动连接；所述伸缩杆的自由端与所述连接轴连接；
所述转动组件与所述固定板连接，并与所述连接轴传动连接，用于驱动所述连接轴转动。
进一步，
所述壳体为缸体，所述伸缩杆为活塞杆；所述缸体竖直设置。
进一步，
所述转动组件包括电机、主动齿轮和被动齿轮，所述电机与所述固定板连接；所述主动齿轮与所述电机的输出轴连接，所述被动齿轮套设在所述连接轴上；所述主动齿轮与所述被动齿轮啮合；
所述被动齿轮的齿宽大于所述主动齿轮的齿宽。
进一步，
还包括控制器和传感器，所述传感器与所述缸体连接，用于检测所述活塞杆的位置；所述控制器与所述传感器和所述电机电连接。
进一步，
所述控制器为PLC或单片机。
进一步，
还包括定位机构，所述定位机构包括定位盘、定位销、导向筒和电磁铁；
所述定位盘水平设置，并套设在所述连接轴上，所述定位盘上均匀设置有多个定位孔，所述定位孔均匀围绕所述连接轴分布，所述定位孔的数量与所述喷头的数量相等；
所述定位销竖直设置在所述定位孔的上方或下方，并通过所述导向筒与所述机架滑动连接，并包括第一极限位置和第二极限位置；所述定位销与所述导向筒之间还设置有弹簧；所述电磁铁通电时，所述定位销被吸合，使得所述定位销位于第一极限位置，所述电磁铁断电时，所述定位销在所述弹簧的作用下能够运动至第二极限位置；
所述定位销位于第一极限位置时，所述定位销与所述定位孔分离，所述定位销位于第二极限位置时，所述定位销伸入到所述定位孔中；
所述转动组件还包括带传动组件，所述主动齿轮通过带传动组件与所述电机连接。
进一步，所述多个定位孔所在的圆周半径小于所述多个喷头所述在的圆周半径；所述定位孔为锥形孔，所述定位销包括尖端。
进一步，
所述喷头组件还包括多个连接杆，所述喷头通过所述连接杆与所述连接轴连接。
进一步，
所述喷头包括圆锥形的连接孔，所述输送管包括圆锥状的连接端；所述连接端的外表面设置有密封条，所述连接孔与所述连接端配合。
进一步，
所述喷头与所述连接杆可拆卸连接。
一种等离子体喷射装置，包括：
柜体、等离子体发生器以及所述的等离子体喷射装置；所述等离子体发生器与所述柜体连接，所述输送管竖直设置，所述输送管的上端与所述等离子体发生器连接；其中一个喷头与所述输送管连接。
本发明的有益效果是：
本发明通过上述设计得到的低温等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备，当需要更换喷头时，将喷头组件整体下拉，使得与连接管连接的喷头从输送管上被拉下；然后转动连接轴，当连接轴上预设的喷头转动到输送管正下方时，松开喷头组件。此时，由于弹性件的作用，输送管正下方的喷头与输送管配合；输送管中的等离子体能够通过该喷头喷射到工件的表面。
上述等离子体喷射装置在更换喷头时，操作简单方便并且效率较高。另外，由于多个喷头连接为一个整体，因此，在更换喷头后，被换下的喷头不易丢失。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本发明实施例提供的低温等离子体设备整体结构示意图；
图2是本发明实施例提供的图1的左视图；
图3是本发明实施例提供的等离子体喷射装置的喷头与输送管连接状态的结构示意图；
图4是本发明实施例提供的等离子体喷射装置的喷头与输送管分离状态的结构示意图；
图5是本发明实施例提供的喷头组件在图4中的俯视图；
图6是本发明实施例提供的在图4中定位销位于第一极限位置时的局部结构示意图；
图7是本发明实施例提供的在图4中定位销位于第二极限位置时的局部结构示意图；
图8是本发明实施例提供的定位盘的俯视图。
图标：100-等离子体喷射装置；110-输送管；112-连接端；120-喷头组件；121-喷头；1212-连接孔；122-连接杆；123-连接轴；130-喷头切换机构；131-固定板；132-弹性件；133-推动组件；1331-缸体；1332-活塞杆；1344-带传动组件134-转动组件；1341-电机；1342-主动齿轮；1343-从动齿轮；140-定位机构；142-定位盘；1422-定位孔；143-定位销；144-导向筒；145-电磁铁；；200-低温等离子体设备；210-柜体；220-等离子体发生器；230-X导轨；240-Y导轨；250-Z导轨；260-安装台；270-支撑杆。
具体实施方式
为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，指示方位或位置关系的术语为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之上或之下可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征之上、上方和上面包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征之下、下方和下面包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
实施例：
请参考图1，本实施例提供了一种低温等离子体设备200，其包括柜体210、等离子体发生器220、等离子体喷射装置100和安装台260；其中，等离子体发生器220安装在柜体210中，用于产生等离子体；等离子体喷射装置100与等离子体发生器220连接，并设置在安装台260上方，等离子体喷射装置100能够沿三维方向移动，从而对安装台260上工件的不同区域进行表面处理。
具体地，请参考图1和图2，柜体210是长方形立柜状，其包括两个对开的柜门，柜门上采用了透明玻璃；另外，为了便于表示柜体210的内部结构，柜体210的侧板也假设采用了透明材料制成。柜体210的上方设置有排风扇，用于将柜体210内的废气排出到室外。
低温等离子体发生器220安装在柜体210内，其通过连接管与气源连接。低温等离子发生器的主要工作原理是将低电压通过升压电路升至正高压及负高压，利用正高压及负高压电离空气(如N2、NH3及苯、醇等)产生大量的正离子及负离子，负离子的数量大于正离子的数量。本实施例中，低温等离子体发生器220的工作电压为220V，功率为1000W，气源压力为0.2-0.5MPa,气体流量为20-50LPM，辅助气源流量为0-5LPM。由于低温等离子体发生器220可以直接购买，并且，其与本实施例的关键点无太大关联，故不再对其进行详细描述。
另外，柜体210内安装有水平设置的X导轨230，Y导轨240和竖直设置的Z导轨250。其中，柜体210底部的固定设置两个Y导轨240，X导轨230通过两个支撑杆270与Y导轨240滑动配合，Z导轨250与X导轨230滑动连接。
等离子体喷射装置100与Z导轨250滑动连接，通过移动X导轨230或Z导轨250或等离子体喷射装置100能够实现等离子体喷射装置100在三维方向的移动。关于等离子体喷射装置100在三维方向移动的方式可参考数控龙门铣床刀具的移动方式；为避免赘述，不再对其进行详细描述。
请参考图3和图4，等离子体喷射装置100包括输送管110，喷头组件120和喷头切换机构130；输送管110竖直设置，其上端与等离子体发生器220连接，下端能够与喷头组件120中的任一喷头121可分离连接。喷头切换机构130用于将喷头组件120中与输送管110连接的喷头121进行切换。
请参考图5，具体的，喷头组件120包括连接轴123、多个喷头121和多个长度相等的连接杆122；连接杆122均匀环绕连接在连接轴123的圆周面上，喷头121分别与连接杆122的端部连接；多个喷头121所在圆周的圆心位于连接轴123上。上述喷头121上部用于与输送管110连接的一端结构和尺寸相同，底部结构不同；从而既能够与输送管110装配，又能够对工件表面采取不同的处理方式。
请继续参考图3和图4，喷头切换机构130包括固定板131，固定板131水平设置在喷头组件120的上方，并与输送管110固定连接。固定板131上设置有安装孔，连接轴123竖直设置并与安装孔滑动连接。连接轴123通过弹性件132与输送管110连接；弹性件132的弹力使得喷头组件120具有朝上运动的趋势，即朝靠近所述输送管的方向运动，使得喷头组件120中的一个喷头121与输送管110密封配合。
当需要切换喷头121时，将整个喷头组件120向下拉，克服弹性件132的弹力后，与连接管配合的喷头121从连接管上分离；此时，转动连接轴123，多个喷头121在连接杆122的带动下转动，当需要的喷头121转动到连接管正下方后，松开喷头组件120，弹性件132将喷头组件120向上拉动，连接管下方的喷头121与连接管配合；从而完成喷头121的切换。
进一步，为了便于连接管与喷头121的装配，并且使得连接管与喷头121之间密封配合。本实施例中，连接管的下端包括圆锥状的连接端112，连接端112的外圆锥表面上设置有凹槽，凹槽中设置有密封条；对应的，喷头121包括圆锥形的连接孔1212。当喷头121与连接管的正下方位置有较小的误差时，由于连接端112为圆锥状，并且连接孔1212也为圆锥状，因此，喷头121仍然能与连接管正常装配；从而降低了对喷头121运动精度的要求。
进一步，为了实现自动化喷头切换，本实施例中的喷头切换机构130还设置了推动组件133和转动组件134。推动组件133设置在喷头组件120上方，用于将喷头组件120整体向下推动，以便于使得连接管上的喷头121与连接管分离；当喷头121与连接管分离后，转动组件134能够驱动连接轴123转动。
具体地，推动组件133包括缸体1331和活塞杆1332，上述缸体1331为气缸；缸体1331通过连接板与输送管110固定连接，并竖直设置，活塞杆1332与缸体1331滑动连接，活塞杆1332的端部与连接轴123是上端活动连接。缸体1331通过气管与气源连接，气管上设置有电磁换向阀，通过调节电磁换向阀能够改变压缩空气在气缸内的流向，从而使得活塞杆1332向上或向下运动。
转动组件134包括电机1341、主动齿轮1342和被动齿轮，电机1341与固定板131固定连接，其输出轴竖直向下，主动齿轮1342与输出轴传动连接；被动齿轮套设在连接轴123上，与连接轴123键连接。被动齿轮与主动齿轮1342啮合，并且被动的齿宽大于活塞杆1332的行程；从而使得当被动齿轮在活塞杆1332的带动下随连接轴123运动时，被动齿轮与主动齿轮1342保持啮合。上述电机1341采用了伺服电机，可以直接购买。
进一步，为了实现自动化控制，本实施例中的喷头切换结构130还包括控制器(图中未示出)、位置传感器和角度传感器，位置传感器与缸体1331的外壁连接，用于检测活塞杆1332的位置。当活塞杆1332运动到下极限位时，即喷头121与连接管分离后，位置传感器给控制器发送信号；控制器转动组件134的电机1341转动，从而驱动连接轴123转动，使得另外需要的喷头121转动到输送管的下方(工作位)。转动完毕后，控制器控制电磁换向阀换向，使得活塞杆1332回退，从而带动连接管下方的喷头121与连接管配合。
具体检测预设的喷头121是否转动到输送管的下方(工作位)的方法如下：
每个喷头在控制器中对应不同的编号，假设此时位于工作位的1号喷头与需要更换的2号喷头的夹角为120度，则需要连接轴转动120度时，角度传感器检测到连接轴转动120度时，2号喷头刚好转动到工作位。此时，关闭电机。
上述控制器采用了单片机，其可以直接购买，控制器的具体电路结构及相关控制原理，请参考《80C51单片机仿真设计实例教程--基于Keil C和Proteus》清华大学出版社ISBN 978-7-302-41682-1或《单片机原理及应用》作者：冯文旭等著、出版日期：2008-08-01、版次：1ISBN：9787111243953、出版社：机械工业出版社。
位置传感器采用磁感应器(霍尔开关)，即在气缸外部的霍尔开关固定不动(但可调整霍尔开关位置)，气缸内部活塞上装有磁环(随活塞移动)，活塞上磁环移动到霍尔开关位置时，霍尔开关有信号输出，发出到位信号。传感器的具体结构请参考《传感器技术及应用》，机械工业出版社，金发庆主编。
请参考图6-图8，配合参考图3和图4，当预设的喷头转动到输送管的下方时，需要电机喷头组件及时停止转动，防止转动过位。因此，本实施例中的等离子体喷射装置还设置了定位机构140，当预设喷头转动到位时，定位机构140及时将喷头组件上的连接轴进行锁定，防止转动过位，使得不能碰头与输送管不能正常连接。
定位机构140包括定位盘142、定位销143、导向筒144和电磁铁145；定位盘142水平设置，并固定套设在连接轴上。定位盘142上均匀设置有多个定位孔1422，定位孔1422位于同一圆周上，并均匀围绕连接轴分布，定位孔1422的数量与喷头的数量相等。
定位销143竖直设置在定位孔1422的上方，并通过导向筒144与机架滑动连接，并包括第一极限位置(对应附图中的上极限位置)和第二极限位置(对应附图中的下极限位置)。定位销143与导向筒144之间还设置有弹簧；电磁铁145通电时，定位销143被吸合，使得定位销143位于第一极限位置，电磁铁145断电时，定位销143在弹簧的作用下能够运动至第二极限位置。电磁铁145与控制器电连接，其通电断电可以由控制器控制。由于定位销的行程远远小于电磁铁的有效距离，并且定位销的上端设置有铁板；因此，当定位销位于下极限位置时，电磁铁通电时，其磁场力能够将定位销拉回到上极限位置。
定位销143位于第一极限位置时，定位销143与定位孔1422分离；此时，连接轴在推动组件的带动下运动到下部位置时，其可以自由转动。
定位销143位于第二极限位置时，定位销143伸入到定位孔1422中；此时，连接轴在推动组件的带动下运动到下部位置时，由于定位销143位于定位孔1422中，连接轴被锁定。
转动组件还包括带传动组件1344，主动齿轮通过带传动组件1344与电机连接。设置带传动组件1344可以实现一级减速，然后利用齿轮进行二级减速；更为重要的是，带传动组件1344还能保护设备的安全性。由于定位机构140的锁定方式是利用定位销143锁定，当喷头组件转动到位时，如果电机还没停止转动，定位销143可能被切断，或者电机由于过载烧坏。
上述定位机构140的工作原理如下：
当需要更换的喷头转动到工作位时，角度传感器检测到连接轴已经转动预设角度，则给控制器发送信号；控制器控制电磁铁145断电，并同时控制电机停止转动。电磁铁145断电后，在弹簧的作用下，定位销143从上极限位置运动到下极限位置，并且插入到定位孔1422中。由于定位盘142和连接轴固定连接，此时，连接轴被锁定，使得喷头停止转动。此时，即便是电机的未及时停止或由于惯性继续转动，带传动可以通过打滑的方式保护电机和定位销143。上述定位机构140不仅能够及时将喷头定位在工位上，还能防止误差累积。
需要说明的是，本实施例为众多实施例中的一种，在其它实施例中，可以不设置控制器和传感器；或者，可以不设置推动组件133和转动组件134；或者，控制器还可以采用单片机；或者，推动组件133可以为液压缸或直线电机1341。或者，定位销还可以设置在定位盘的下方。
在其它实施例中，也可以不设置控制器，由于采用了转速较低的电机，并且经过二级减速，连接轴的转动速度较慢，此时，当需要更换的喷头转动到位时，可以人工控制电磁铁和电机。
实施例3：
本实施例提供了一种等离子体喷头切换方法，其采用了实施例1中提供的等离子体喷射装置，包括以下步骤：
a.对每个喷头进行编号，并将每个编号对应的喷头信息储存在控制器中；
b.当需要更换喷头时，先计算需要更换的喷头转动至工位时连接轴需要转动的角度；
c.启动电机驱动连接轴，当连接轴转动预设角度后，将连接轴锁定；
d.将喷头组件向上拉动，使得工位上的喷头与输送管连接。
外，本公开内容中提及的"竖直"、"水平"、"上端"和"下端"均是以设备正常安装使用时(即图1)为参考。此外，术语"水平"、"竖直"、"悬垂"等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如"水平"仅仅是指其方向相对"竖直"而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
以上所述仅为本发明的优选实施方式而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种等离子体喷射装置，用于低温等离子体设备，所述低温等离子体设备包括机架和等离子体发生器，其特征在于，包括：
所述等离子体喷射装置包括输送管、喷头组件和喷头切换机构；所述输送管竖直设置，所述输送管的上端用于与所述等离子体发生器连接；
所述喷头组件设置在所述输送管的下方，包括连接轴和多个喷头，所述喷头均匀环绕在所述连接轴周围，并与所述连接轴连接；所述喷头与所述输送管的下端可分离连接；
所述喷头切换机构包括固定板，所述固定板水平设置并与所述输送管固定连接；所述固定板上设置有安装孔，所述连接轴与所述安装孔滑动连接，所述连接轴通过弹性件与所述固定板连接；所述弹性件的弹力使得所述喷头组件具有朝上运动的趋势。
2.根据权利要求1所述的等离子体喷射装置，其特征在于：
所述喷头切换机构还包括推动组件和转动组件；所述推动组件包括伸缩杆和壳体，所述壳体与所述输送管固定连接，所述伸缩杆与所述壳体滑动连接；所述伸缩杆的自由端与所述连接轴连接；
所述转动组件与所述固定板连接，并与所述连接轴传动连接，用于驱动所述连接轴转动。
3.根据权利要求2所述的等离子体喷射装置，其特征在于：
所述壳体为缸体，所述伸缩杆为活塞杆；所述缸体竖直设置。
4.根据权利要求3所述的等离子体喷射装置，其特征在于：
所述转动组件包括电机、主动齿轮和被动齿轮，所述电机与所述固定板连接；所述主动齿轮与所述电机的输出轴传动连接，所述被动齿轮套设在所述连接轴上；所述主动齿轮与所述被动齿轮啮合；
所述被动齿轮的齿宽大于所述主动齿轮的齿宽。
5.根据权利要求4所述的等离子体喷射装置，其特征在于：
还包括控制器和位置传感器，所述位置传感器与所述缸体连接，用于检测所述活塞杆的位置；所述控制器与所述位置传感器和所述电机电连接。
6.根据权利要求4所述的等离子体喷射装置，其特征在于：
还包括定位机构，所述定位机构包括定位盘、定位销、导向筒和电磁铁；
所述定位盘水平设置，并套设在所述连接轴上，所述定位盘上均匀设置有多个定位孔，所述定位孔均匀围绕所述连接轴分布，所述定位孔的数量与所述喷头的数量相等；
所述定位销竖直设置在所述定位孔的上方或下方，并通过所述导向筒与所述机架滑动连接，并包括第一极限位置和第二极限位置；所述定位销与所述导向筒之间还设置有弹簧；所述电磁铁通电时，所述定位销被吸合，使得所述定位销位于第一极限位置，所述电磁铁断电时，所述定位销在所述弹簧的作用下能够运动至第二极限位置；
所述定位销位于第一极限位置时，所述定位销与所述定位孔分离，所述定位销位于第二极限位置时，所述定位销伸入到所述定位孔中；
所述转动组件还包括带传动组件，所述主动齿轮通过带传动组件与所述电机连接。
7.根据权利要求6所述的等离子体喷射装置，其特征在于：
所述多个定位孔所在的圆周半径小于所述多个喷头所述在的圆周半径；所述定位孔为锥形孔，所述定位销包括尖端。
8.根据权利要求1所述的等离子体喷射装置，其特征在于：所述喷头包括圆锥形的连接孔，所述输送管包括圆锥状的连接端；所述连接端的外表面设置有密封条，所述连接孔与所述连接端配合。
9.一种喷头切换方法，其特征在于，采用了权利要求1-8任一项所述的等离子体喷射装置，包括以下步骤：
a.对每个喷头进行编号，并将每个编号对应的喷头信息储存在控制器中；
b.当需要更换喷头时，先计算需要更换的喷头转动至工位时，连接轴需要转动的角度；
c.启动电机驱动连接轴，当连接轴转动预设角度后，将连接轴锁定；
d.将喷头组件向上拉动，使得工位上的喷头与输送管连接。
10.一种低温等离子体设备，其特征在于，包括：
柜体、等离子体发生器以及权利要求1至8任一项所述的等离子体喷射装置；所述等离子体发生器与所述柜体连接，所述输送管竖直设置，所述输送管的上端与所述等离子体发生器连接；其中一个喷头与所述输送管连接。
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|---|---|---|---|
| CN201811578990.1A CN109451644A (zh) | 2018-12-24 | 2018-12-24 | 等离子体喷射装置、喷头切换方法及低温等离子体设备 |
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