CN109390222B - 准直器检具及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种准直器检具及其使用方法，准直器检具包括：底座，底座具有第一端面、与第一端面相对的第二端面、以及连接第一端面和第二端面的外壁；至少一个限位块，凸出设置于底座的第一端面上，沿垂直于外壁的方向上，限位块内具有贯穿限位块的第一固定孔；至少一个第一固定件，用于贯穿第一固定孔；至少一个第二固定件，凸出设置于底座的第一端面上。本发明所述准直器检具能够模拟所述准直器在客户端(例如为溅射机台端)的安装方法，通过采用将所述准直器装配于所述准直器检具上的方式，所述准直器检具能够检测所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置是否正确、检测所述准直器的外径公差和形变，且检测效率和检测精度较高。

Description

准直器检具及其使用方法

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种准直器检具及其使用方法。

背景技术

溅射工艺是一种物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)的镀膜方式，通常用于沉积半导体结构中所使用的薄膜。溅射工艺就是利用被加速的带电粒子轰击靶坯，带电粒子与靶坯表面的材料原子发生碰撞，从而使靶坯的材料原子从表面溢出，从而实现在基底表面的薄膜沉积。根据应用环境以及溅射要求的不同，靶坯的形状也不同，例如圆形靶坯、矩形靶坯、环状靶坯或不规则形状的异型靶坯。

在溅射工艺过程中，通常在基底和靶坯之间插入准直器(Collimator)，准直器具有蜂窝状的控制孔结构，通过调整各控制孔的深宽比，使通过位于所述准直器周边部的控制孔的溅射粒子量多过通过位于中央部的控制孔的溅射粒子量，从而能够弥补周边部的膜厚不足的问题，进而提高所沉积薄膜的厚度均一性。

但是，将准直器装配于溅射机台端时，容易出现装配失败的问题。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种准直器检具及其使用方法，提高对准直器的检测效率和检测精度，且检测方便。

为解决上述问题，本发明提供一种准直器检具，包括：底座，所述底座具有第一端面、与所述第一端面相对的第二端面、以及连接所述第一端面和第二端面的外壁；至少一个限位块，凸出设置于所述底座的第一端面上，沿垂直于所述外壁的方向上，所述限位块内具有贯穿所述限位块的第一固定孔；至少一个第一固定件，用于贯穿所述第一固定孔；至少一个第二固定件，凸出设置于所述底座的第一端面上。

可选的，所述底座的形状为圆柱体或圆环体。

可选的，所述限位块的数量为多个，且所述限位块以所述底座的横截面中心为圆心，沿圆周方向排布。

可选的，所述第二固定件的数量与所述限位块的数量相等，所述第二固定件与所述限位块间隔排布。

可选的，所述第二固定件的数量为多个，且所述第二固定件以所述底座的横截面中心为圆心，沿圆周方向排布。

可选的，相邻所述限位块之间的第二固定件数量为多个，且相邻所述限位块之间的第二固定件数量相等。

可选的，所述准直器检具还包括：限位环，凸出设置于所述底座的第一端面上，且平行于所述第一端面的方向上，所述限位环的尺寸小于所述底座的尺寸。

可选的，所述限位块凸出设置于所述限位环靠近所述外壁一侧的第一端面上，所述第二固定件凸出设置于所述限位环远离所述外壁一侧的第一端面上。

可选的，所述第一固定孔为螺纹孔，所述第一固定件为螺栓；或者，所述第一固定孔为通孔，所述第一固定件为定位销。

可选的，所述第一固定孔与所述第一固定件一一对应。

可选的，所述第二固定件固定于所述底座的第一端面上。

可选的，所述第二固定件为定位销。

可选的，所述准直器检具还包括：至少一个第二固定孔，所述第二固定孔沿所述第一端面指向所述第二端面的方向贯穿所述底座；所述第二固定件用于贯穿所述第二固定孔且凸出于所述底座的第一端面。

可选的，所述第二固定孔为螺纹孔，所述第二固定件为螺栓；者，所述第二固定孔为通孔，所述第二固定件为定位销。

可选的，所述第二固定件为定位销，所述定位销包括杆部，或者所述定位销包括头部以及固定于所述头部上的杆部。

可选的，所述第二固定孔与所述第二固定件一一对应。

可选的，所述底座的材料为钢或不锈钢，所述限位块的材料为钢或不锈钢，所述第一固定件的材料为钢或不锈钢，所述第二固定件的材料为钢或不锈钢。

相应的，本发明还提供一种准直器检具的使用方法，包括：提供准直器，所述准直器包括环状主体、设置于所述主体一端的控制孔结构、以及环绕所述主体侧壁的安装支撑环，所述安装支撑环固定于所述主体远离所述控制孔结构一侧的侧壁上，所述安装支撑环具有至少一个贯穿所述安装支撑环的安装孔，且沿所述控制孔结构指向所述安装支撑环的方向上，所述安装支撑环还具有至少一个贯穿所述安装支撑环部分高度的安装槽；提供本发明所述的准直器检具，所述准直器检具的第一固定孔与所述准直器的安装槽相匹配且一一对应，所述准直器检具的第二固定件与所述准直器的安装孔相匹配且一一对应；将所述准直器装配于所述准直器检具上，使所述第二固定件插入至所述安装孔内、使所述第一固定件依次连接所述第一固定孔和安装槽。

可选的，当所述准直器和准直器检具装配失败时，判定所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置错误；当所述准直器和准直器检具装配成功时，判定所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置正确。

可选的，所述安装支撑环具有背向所述控制孔结构的第三端面、以及与所述第三端面相对的第四端面。

可选的，所述底座的形状为环形体；将所述准直器装配于所述准直器检具上的步骤包括：使所述第四端面朝向所述第一端面；使所述第四端面朝向所述第一端面后，将所述准直器嵌入至所述准直器检具中，采用所述第一固定件依次连接所述第一固定孔和安装槽，并使所述第二固定件插入至所述安装孔内。

可选的，所述准直器检具还包括：限位环，凸出设置于所述底座的第一端面上，且平行于所述第一端面的方向上，所述限位环的尺寸小于所述底座的尺寸，其中，所述限位块凸出设置于所述限位环靠近所述外壁一侧的第一端面上，所述第二固定件凸出设置于所述限位环远离所述外壁一侧的第一端面上；将所述准直器装配于所述准直器检具上的步骤包括：使所述第三端面朝向所述第一端面；使所述第三端面朝向所述第一端面后，将所述准直器嵌入至所述限位环和所述第一端面围成的区域内，采用所述第一固定件依次连接所述第一固定孔和安装槽，并使所述第二固定件插入至所述安装孔内。

可选的，所述第一固定孔为螺纹孔，采用螺栓作为所述第一固定件；或者，所述第一固定孔为通孔，采用定位销作为所述第一固定件。

可选的，所述第二固定件固定于所述底座的第一端面上；所述安装孔为通孔，采用定位销作为所述第二固定件。

可选的，所述准直器检具还包括：至少一个第二固定孔，所述第二固定孔沿所述第一端面指向所述第二端面的方向贯穿所述底座；使所述第二固定件插入至所述安装孔内的步骤包括：采用所述第二固定件连接所述第二固定孔和安装孔。

可选的，所述安装孔为螺纹孔，所述第二固定孔为螺纹孔，采用螺栓作为所述第二固定件；所述安装孔为通孔，所述第二固定孔为通孔，采用定位销作为所述第二固定件。

可选的，采用定位销作为所述第二固定件，所述定位销包括杆部，或者所述定位销包括头部以及固定于所述头部上的杆部。

可选的，所述主体的形状为圆环体，所述安装支撑环的形状为圆环体，所述底座的形状为圆柱体或圆环体。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

提供一种准直器检具，所述准直器检包括：至少一个限位块，凸出设置于所述底座的第一端面上，沿垂直于所述外壁的方向上，所述限位块内具有贯穿所述限位块的第一固定孔；至少一个第一固定件，用于贯穿所述第一固定孔；至少一个第二固定孔，所述第二固定孔沿所述第一端面指向所述第二端面的方向贯穿所述底座；至少一个第二固定件，用于贯穿所述第二固定孔且凸出于所述底座的第一端面。所述准直器检具能够模拟所述准直器在客户端(例如为溅射机台端)的安装方法，即根据所述准直器的尺寸、形状、安装孔和安装槽的形貌和尺寸、以及所述安装孔和安装槽的相对位置，制造相匹配的准直器检具，所述准直器检具的第一固定孔和第二固定件的位置是固定的；因此将所述准直器装配于所述准直器检具上后，能够使所述第二固定件插入至所述安装孔内、使所述第一固定件依次连接所述第一固定孔和安装槽；相应的，当所述准直器和准直器检具装配失败时，判定所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置错误，当所述准直器和准直器检具装配成功时，判定所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置正确；所以，通过所述准直器检具能够检测所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置是否正确、检测所述准直器的外径公差和形变，且检测效率和检测精度较高；此外，所述准直器检具能够一次完成对所述安装孔和安装槽的检测，还能够在制成所述准直器的机械加工后即可实现对所述准直器的安装孔和安装槽的检测，检测方便且机动性强。

附图说明

图1是本发明准直器检具第一实施例中朝向第一端面方向的立体图；

图2是图1所示准直器检具中朝向第二端面方向的立体图；

图3是本发明准直器检具第二实施例的立体图；

图4是一种准直器在朝向控制孔结构方向的立体图；

图5是图4所示准直器在朝向侧壁方向的立体图；

图6是本发明准直器检具的使用方法第一实施例中，将图4和图5所示准直器装配于图1和图2所示准直器检具上的示意图；

图7是本发明准直器检具的使用方法第一实施例中，图4和图5所示准直器与图1和图2所示准直器检具实现装配后的示意图；

图8是本发明准直器检具的使用方法第二实施例中，将图4和图5所示准直器装配于图3所示准直器检具上的示意图；

图9是本发明准直器检具的使用方法第二实施例中，图4和图5所示准直器与图3所示准直器检具实现装配后的示意图。

具体实施方式

由背景技术可知，将准直器装配于溅射机台端时，容易出现装配失败的问题。分析其装配失败的原因在于：

准直器主要包括环状主体、设置于所述主体一端的控制孔结构、以及环绕所述主体侧壁的安装支撑环；所述安装支撑环固定于所述主体远离所述控制孔结构的一侧的侧壁上，所述安装支撑环具有至少一个贯穿所述安装支撑环的安装孔，且沿所述控制孔结构指向所述安装支撑环的方向上，所述安装支撑环还具有至少一个贯穿所述安装支撑环部分高度的安装槽。在溅射过程中，通过所述安装孔和安装槽，以实现所述准直器在客户端(例如为溅射基台端)的装配。

所述主体的形状通常为圆环体，所述安装支撑环的形状通常为圆环体，但是，所述准直器在机械加工完成后，容易出现圆度不佳的问题，且所述安装孔和安装槽的相对位置难以保证，从而容易导致所述准直器难以在客户端实现装配。

为了解决所述技术问题，本发明提供一种准直器检具，所述准直器检具能够模拟所述准直器在溅射机台端的安装方法，即根据所述准直器的尺寸、形状、安装孔和安装块的形貌和尺寸、以及所述安装孔和安装块的相对位置，制造相匹配的准直器检具；相应的，当所述准直器和准直器检具装配失败时，判定所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置错误，当所述准直器和准直器检具装配成功时，判定所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置正确；所以，通过所述准直器检具能够检测所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置是否正确、检测所述准直器的外径公差和形变，且检测效率和检测精度较高；此外，所述准直器检具能够一次完成对所述安装孔和安装槽的检测，还能够在制成所述准直器的机械加工后即可实现对所述准直器的安装孔和安装槽的检测，检测方便、机动性强。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

结合参考图1和图2，示出了本发明准直器检具第一实施例的立体图，其中，图1是朝向第一端面方向的立体图，图2是朝向第二端面方向的立体图。

本实施例中，所述准直器检具100用于模拟准直器(Collimator)在客户端(例如为溅射机台端)的安装方法，即所述准直器检具100与所述准直器相匹配，所述准直器检具100用于检测所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置是否正确。

具体地，所述准直器检具100包括：底座110，所述底座110具有第一端面111、与所述第一端面111相对的第二端面112、以及连接所述第一端面111和第二端面的外壁113。

所述底座110的形状根据所述准直器的形状而定。本实施例中，所述底座110的形状为圆环体。但所述底座110的形状不仅限于圆环体。在其他一些实施例中，所述底座还可以为根据所述准直器而定的规则形状为不规则形状。

本实施例中，所述底座110的形状为圆环体，相应的，所述底座110中心具有贯穿所述底座100的中心孔(未标示)，通过所述中心孔，便于所述准直器检具100的手持，而且还有利于减小所述准直器检具100的重量，从而便于所述准直器检具100的搬运。

所述准直器检具100用于模拟准直器在客户端的安装方法，因此所述底座110的尺寸根据所述准直器的预设尺寸而定。

本实施例中，所述底座110内径的公差与所述准直器外径的公差相同，从而能够检测所述准直器的外径公差和形变。其中，公差指的是尺寸允许的变动量。

本实施例中，所述底座110的材料为钢。在其他实施例中，所述底座的材料还可以为不锈钢。

具体地，所述底座110的材料为45#钢。45#钢的机械性能较好，且具有较高的硬度，从而能够避免所述准直器检具100发生变形，进而避免因变形而对所述准直器的检测结构产生影响。

继续参考图1和图2，所述准直器检具100还包括：至少一个限位块120，凸出设置于所述底座110的第一端面111上，沿垂直于所述外壁113的方向上，所述限位块120内具有贯穿所述限位块120的第一固定孔125；至少一个第一固定件130，用于贯穿所述第一固定孔125。

通常，所述准直器上设有安装槽，所述第一固定孔125用于实现与所述安装槽的对准，从而通过所述第一固定件130依次连接所述第一固定孔125和安装槽，进而模拟所述准直器的安装槽在客户端的装配。

相应的，本实施例中，所述第一固定孔125与所述第一固定件130一一对应。

本实施例中，所述第一固定孔125的位置根据所述安装槽在所述准直器上的预设位置而定，即所述第一固定孔125在所述底座100上的位置为固定的，因此，通过固定所述第一固定孔125的位置，从而能够在对所述准直器进行检测时，判断所述安装槽的实际位置是否正确。

因此，所述第一固定孔125的数量根据所述安装槽的预设数量而定，所述第一固定孔125的孔径根据所述安装槽的预设尺寸而定。

所述限位块120作为所述第一固定孔125的载体，从而限定所述第一固定孔125的位置，因此所述限位块120的数量以及所述限位块120在所述第一端面111上的位置根据所述准直器的安装槽的设定而定。

本实施例中，所述限位块120的数量为多个，且所述限位块120以所述底座100的横截面中心为圆心，沿圆周方向排布。

具体地，根据实际工艺需求，所述限位块120的数量为三个。但所述限位块120的数量不仅限于三个。

所述第一固定件130用于依次连接所述第一固定孔125和安装槽，相应的，所述第一固定件130与所述第一固定孔125相匹配。

本实施例中，所述第一固定孔125为通孔，即所述第一固定孔125的侧壁不具有螺纹，所述第一固定件130相应为定位销。在其他实施例中，所述第一固定孔为螺纹孔，所述第一固定件相应为螺栓。

因此，在所述准直器检具100的实际应用中，可以实现所述限位块120和所述第一固定件130的装配和拆卸，从而便于所述准直器检具100与所述准直器的装配，还便于所述准直器检具100的搬运。

所述限位块120的材料为钢或不锈钢，所述第一固定件130的材料为钢或不锈钢。本实施例中，所述限位块120的材料为45#钢，所述第一固定件130的材料为45#钢。

对所述限位块120和第一固定件130的材料的具体描述，请参考前述对所述底座110的材料的相应描述，本实施例在此不再赘述。

继续参考图1和图2，所述准直器检具100还包括：至少一个第二固定件140，凸出于设置于所述底座100的第一端面111上。

通常，所述准直器上还设有安装孔，所述第二固定件140用于插入至所述安装孔内，从而模拟所述准直器的安装孔在客户端的装配。

本实施例中，所述第二固定件140的位置根据所述安装孔在所述准直器上的预设位置而定，即所述第二固定件140在所述底座100上的位置为固定的，因此，通过固定所述第二固定件140的位置，从而能够在对所述准直器进行检测时，判断所述安装孔的实际位置是否正确。

因此，所述第二固定件140的数量根据所述安装孔的预设数量而定，所述第二固定件140的直径根据所述安装孔的预设孔径而定，所述第二固定件140与所述安装孔相匹配。

本实施例中，所述第二固定件140的数量为多个，且所述第二固定件140以所述底座100的横截面中心为圆心，沿圆周方向排布。也就是说，所述第二固定件140和所述限位块120位于同心圆上。

具体地，相邻所述限位块120之间的第二固定件140数量为多个，且相邻所述限位块120之间的第二固定件140数量相等。

本实施例中，根据实际工艺需求，相邻所述限位块120之间的第二固定件140数量为四个，即所述第二固定件140的总数量为十二个。但所述第二固定件140的总数量不仅限于十二个。

在其他实施例中，所述第二固定件的数量还可以与所述限位块的数量相等，且所述第二固定件与所述限位块间隔排布，也就是说，相邻所述限位块之间的第二固定件数量为一个。

需要说明的是，本实施例中，所述准直器检具100还包括：至少一个第二固定孔(图未示)，所述第二固定孔沿所述第一端面111指向所述第二端面112的方向贯穿所述底座100。

相应的，所述第二固定件140用于贯穿所述第二固定孔且凸出于所述底座100的第一端面111。因此，本实施例中，所述第二固定孔与所述第二固定件140一一对应，且所述第二固定孔与所述第二固定件140相匹配。

本实施例中，所述第二固定孔为通孔，即所述第二固定孔的侧壁不具有螺纹，所述第二固定件140相应为定位销。在其他实施例中，所述第二固定孔为螺纹孔，所述第二固定件相应为螺栓。

具体地，当所述第二固定件140为定位销时，所述定位销仅包括杆部，即所述定位销为柱形；或者，所述定位销包括头部以及固定于所述头部上的杆部，即所述定位销为“T”形。

其中，所述第二固定孔和第二固定件140的形貌根据所述安装孔的形貌而定。

因此，在所述准直器检具100的实际应用中，可以实现所述第二固定件140和所述底座110的装配和拆卸，从而便于所述准直器检具100的搬运。

在其他实施例中，所述第二固定件还可以固定于所述底座的第一端面上，例如所述第二固定件可以焊接于所述底座的第一端面上，从而有利于提高所述第二固定件与所述底座的连接强度。相应的，当所述第二固定件固定于所述底座的第一端面上时，所述第二固定件为定位销，以便实现所述准直器检具100的实际应用。

所述第二固定件140的材料为钢或不锈钢。本实施例中，所述第二固定件140的材料为45#钢。

对所述第二固定件140的材料的具体描述，请参考前述对所述底座110的材料的相应描述，本实施例在此不再赘述。

参考图3，示出了本发明准直器检具第二实施例的立体图。

本实施例与前述实施例相同之处，本实施例在此不再赘述。本实施例与前述实施例的不同之处在于：所述准直器检具300还包括：限位环350，凸出设置于所述底座310的第一端面311上，且平行于所述第一端面311的方向上，所述限位环350的尺寸小于所述底座310的尺寸，即所述限位环350在所述第一端面311上的投影位于所述第一端面311内。

所述限位环350用于使所述准直器嵌入至所述限位环350和所述第一端面311围成的区域内，从而对所述准直器起到固定和限位作用。

相应的，本实施例中，根据所述准直器的固定孔和固定槽的预设位置，所述限位块320凸出设置于所述限位环350靠近所述外壁313一侧的第一端面311上，所述第二固定件340凸出设置于所述限位环350远离所述外壁313一侧的第一端面311上。

本实施例中，所述底座310的形状为圆柱体或圆环体，相应的，所述限位环350的形状为圆环体。

需要说明的是，所述限位环350用于使所述准直器嵌入至所述限位环350和所述第一端面311围成的区域内，因此当所述底座310的形状为圆环体时，可以减小所述底座310的内径，甚至所述底座310的形状可以为圆柱体，从而增加所述底座的重量，进而有利于提高所述准直器检具300的平稳度。

所述限位环350的材料为钢或不锈钢。本实施例中，所述限位环350的材料为45#钢。

对所述限位环350的材料的具体描述，请参考前述对所述底座110的材料的相应描述，本实施例在此不再赘述。

对所述准直器检具的具体描述，请参考前述实施例中的相应描述，本实施例在此不再赘述。

相应的，本发明还提供一种准直器检具的使用方法。

结合参考图4至图7，图4和图5是一种准直器的立体图，图6和图7是本发明准直器检具的使用方法第一实施例的示意图。

以下结合附图，对本实施例准直器检具的使用方法的步骤做详细说明。

结合参考图4和图5，图4是一种准直器在朝向控制孔结构方向的立体图，图5是图4所示准直器在朝向侧壁方向的立体图，提供准直器200，所述准直器200包括环状主体210、设置于所述主体210一端的控制孔结构215、以及环绕所述主体210侧壁的安装支撑环220，所述安装支撑环220固定于所述主体210远离所述控制孔结构215一侧的侧壁上，所述安装支撑环220具有至少一个贯穿所述安装支撑环220的安装孔240，且沿所述控制孔结构215指向所述安装支撑环220的方向上，所述安装支撑环220还具有至少一个贯穿所述安装支撑环220部分高度的安装槽225。

所述准直器200具有蜂窝状的控制孔结构215，所述控制孔结构215包括多个控制孔(未标示)，通过调整各控制孔的深宽比，从而通过溅射工艺以在基底上形成薄膜时，使通过位于所述准直器200周边区域的控制孔的溅射粒子量多于通过位于中央区域的控制孔的溅射粒子量，从而能够弥补基底周边区域的膜厚不足的问题，进而提高所沉积薄膜的厚度均一性。

本实施例中，根据实际工艺需求，所述主体210的形状为圆环体，相应的，所述安装支撑环220的形状为圆环体。

所述准直器200通过所述安装孔240和安装槽225，以实现在客户端(例如为溅射基台端)的装配。

所述安装槽225贯穿所述安装支撑环220部分高度。具体地，所述安装槽225为“U”型槽。

本实施例中，所述安装孔240为通孔。在其他实施例中，根据实际工艺需求，所述安装孔还可以为螺纹孔，即所述安装孔的侧壁具有螺纹。

本实施例中，根据实际工艺需求，所述准直器200的材料为铝。在其他实施例中，所述准直器还可以为其他可适用于溅射工艺的材料。

本实施例中，所述安装支撑环220具有背向所述控制孔结构215的第三端面222、以及与所述第三端面222相对的第四端面221。

所述准直器200与现有技术相同，对所述准直器200的具体描述，本实施例在此不再赘述。

结合参考图1和图2，提供本发明准直器检具第一实施例所述的准直器检具100，所述准直器检具100的第一固定孔与125与所述准直器200(如图5所示)的安装槽225(如图5所示)相匹配且一一对应，所述准直器检具100的第二固定件140与所述准直器200的安装孔240(如图5所示)相匹配且一一对应。

本实施例中，所述底座110的形状为环形体。

本实施例中，所述主体210的形状为圆环体，所述安装支撑环220的形状为圆环体，相应的，所述底座110的形状为圆环体。

其中，为了实现后续所述准直器检具100与所述准直器200的装配，所述底座110的内径大于所述本体110的外径，且所述底座110的内径小于所述安装支撑环220的外径。

本实施例中，所述第一固定孔125为通孔，即所述第一固定孔125的侧壁不具有螺纹，则采用定位销作为所述第一固定件140。在其他实施例中，所述第一固定孔为螺纹孔，即所述第一固定孔的侧壁具有螺纹，则采用螺栓作为所述第一固定件。

需要说明的是，本实施例中，所述准直器检具100还包括：至少一个第二固定孔(图未示)，所述第二固定孔沿所述第一端面111指向所述第二端面112的方向贯穿所述底座100。

相应的，所述第二固定件140用于贯穿所述第二固定孔且凸出于所述底座100的第一端面111。因此，本实施例中，所述第二固定孔与所述第二固定件140一一对应，且所述第二固定孔与所述第二固定件140相匹配。

所以，在所述准直器检具100的实际应用中，可以实现所述第二固定件140和所述底座110的装配和拆卸。

本实施例中，所述第二固定件140与所述准直器200的安装孔240相匹配，且所述安装孔240为通孔，因此所述第二固定孔相应为通孔，且采用定位销作为所述第二固定件140。

具体地，由于后续将所述准直器200装配于所述准直器检具100上时，所述准直器200需嵌入至所述准直器检具100中，即所述准直器检具100套设于所述准直器200上，因此为了实现所述第二固定件140在所述安装孔240和所述第二固定孔中的固定，当所述第二固定件140为定位销时，所述定位销包括头部以及固定于所述头部上的杆部，即所述定位销为“T”形，且所述定位销的头部尺寸大于所述安装孔240的孔径。

在其他实施例中，所述安装孔为螺纹孔，则所述第二固定孔相应为螺纹孔，且采用螺栓作为所述第二固定件。

也就是说，本实施例中，所述第二固定孔和第二固定件140的形貌根据所述安装孔240的形貌而定。

在其他实施例中，所述第二固定件还可以固定于所述底座的第一端面上，例如所述第二固定件可以焊接于所述底座的第一端面上，从而有利于提高所述第二固定件与所述底座的连接强度。相应的，当所述第二固定件固定于所述底座的第一端面上时，所述第二固定件为定位销，以便实现后续所述准直器检具100和所述准直器200的装配。

对所述准直器检具100的具体描述，请参考本发明准直器检具第一实施例的相应描述，本实施例在此不再赘述。

结合参考图6和图7，图6是将图4和图5所示准直器装配于图1和图2所示准直器检具上的示意图，图7是图4和图5所示准直器与图1和图2所示准直器检具实现装配后的示意图，将所述准直器200装配于所述准直器检具100上，使所述第二固定件140(如图6所示)插入至所述安装孔240(如图6所示)内、使所述第一固定件130(如图6所示)依次连接所述第一固定孔125(如图6所示)和安装槽225(如图6所示)。

本实施例中，将所述准直器200装配于所述准直器检具100上的步骤包括：使所述第四端面221(如图6所示)朝向所述第一端面111(如图6所示)；使所述第四端面221朝向所述第一端面111后，将所述准直器200嵌入至所述准直器检具100中，采用所述第一固定件130依次连接所述第一固定孔125和安装槽225，并使所述第二固定件140插入至所述安装孔240内。

本实施例中，所述准直器检具100还包括所述第二固定孔(图未示)，因此使所述第二固定件140插入至所述安装孔内240的步骤包括：采用所述第二固定件140连接所述第二固定孔和安装孔240。

需要说明的是，所述安装孔240为通孔，所述第二固定孔为通孔，所述第二固定件140为定位销，因此，将所述准直器200嵌入至所述准直器检具100中后，先采用所述第一固定件130依次连接所述第一固定孔125和安装槽225，之后，采用所述第二固定件140依次连接所述安装孔240和第二固定孔。也就是说，所述第二固定件140沿所述第三端面222指向所述第四端面221的方向插入至所述安装孔240和第二固定孔内。

通过先采用所述第一固定件130依次连接所述第一固定孔125和安装槽225，便于所述准直器200的定位，从而便于后续所述第二固定件140的装配。

所述第二固定件140为定位销，由于所述定位销的头部尺寸大于所述安装孔240的孔径，因此将所述第二固定件140依次连接所述安装孔240和第二固定孔后，所述定位销的头部置于所述准直器200的第三端面222上，从而防止所述第二固定件140的脱落。

在其他一些实施例中，所述安装孔为螺纹孔，所述第二固定孔为螺纹孔，所述第二固定件为螺栓。相应的，采用所述第一固定件依次连接所述第一固定孔和安装槽后，采用所述第二固定件依次连接所述安装孔和第二固定孔，或者，依次连接所述第二固定孔和安装孔。

本实施例中，所述准直器检具100能够模拟所述准直器200在客户端(例如为溅射机台端)的安装方法，即根据所述准直器200的尺寸、形状、安装孔240和安装槽225的形貌和尺寸、以及所述安装孔240和安装槽225的相对位置，制造了相匹配的准直器检具100，所述准直器检具100的第一固定孔125和第二固定件140的位置是固定的；因此将所述准直器200装配于所述准直器检具100上后，能够使所述第二固定件140插入至所述安装孔240和第二固定孔内、使所述第一固定件130依次连接所述第一固定孔125和安装槽225。

相应的，当所述准直器200和所述准直器检具100装配失败时，判定所述准直器200的安装孔240和安装槽225的相对位置错误；当所述准直器200和准直器检具100装配成功时，判定所述准直器200的安装孔240和安装槽225的相对位置正确。所以，通过所述准直器检具100能够检测所述准直器200的安装孔240和安装槽225的相对位置是否正确、检测所述准直器200的外径公差和形变，且检测效率和检测精度较高。

此外，通过将所述准直器200装配于所述准直器检具100上，所述准直器检具100能够一次完成对所述安装孔240和安装槽225的检测，还能够在制成所述准直器200的机械加工后即可实现对所述安装孔240和安装槽225的检测，检测方便且机动性强。

所以，通过所述准直器检具100对所述准直器200的检测，从而及时知晓所述准直器200的安装孔240和安装槽225的相对位置是否正确，进而及时反馈至后续准直器200的制造工序中，以降低所述准直器200的报废率。

相应的，本发明还提供另一种准直器检具的使用方法。

继续参考图4和图5，并结合参考图8和图9，图4和图5是一种准直器的立体图，图8和图9是本发明准直器检具的使用方法第二实施例的示意图。

以下结合附图，对本实施例准直器检具的使用方法的步骤做详细说明。

图8是将图4和图5所示准直器装配于图3所示准直器检具上的示意图，图9是图4和图5所示准直器与图3所示准直器检具实现装配后的示意图。

本实施例与前述实施例相同之处，本实施例在此不再赘述。本实施例与前述实施例的不同之处在于：

所述准直器检具300还包括：限位环350(如图8所示)，凸出设置于所述底座310(如图8所示)的第一端面311(如图8所示)上，且平行于所述第一端面311的方向上，所述限位环350的尺寸小于所述底座310的尺寸，其中，所述限位块320(如图8所示)凸出设置于所述限位350环靠近所述外壁313一侧的第一端面311上，所述第二固定件340(如图8所示)凸出设置于所述限位环350远离所述外壁313一侧的第一端面311上。

本实施例中，所述底座310的形状为圆柱体或圆环体。

对所述准直器检具300的具体描述，请参考本发明准直器检具第二实施例的相应描述，本实施例在此不再赘述。

相应的，将所述准直器200装配于所述准直器检具300上的步骤包括：使所述第三端面222朝向所述第一端面311；使所述第三端面222朝向所述第一端面311后，将所述准直器200嵌入至所述限位环350和所述第一端面311围成的区域内，采用所述第一固定件330依次连接所述第一固定孔325(如图8所示)和安装槽225(如图8所示)，并使所述第二固定件340插入至所述安装孔240(如图8所示)内。

具体地，将所述准直器200嵌入至所述限位环350和所述第一端面311围成的区域内后，先采用所述第一固定件130依次连接所述第一固定孔125和安装槽225，之后，采用所述第二固定件140依次连接所述安装孔240和第二固定孔。

本实施例中，所述安装孔240为通孔，所述第二固定孔为通孔，相应采用定位销作为所述第二固定件140。具体地，所述定位销包括杆部，即所述定位销为柱形，或者，所述定位销包括头部以及固定于所述头部上的杆部，即所述定位销为“T”形。

由于所述准直器200嵌入至所述限位环350和所述第一端面311围成的区域内，因此所述准直器检具300可放置于承载平台上，相应的，无论采用柱形定位销或“T”形定位销，均可实现所述第二固定件140在所述安装孔240和第二固定孔内的固定，所述第二固定件140不会发生脱落。

在其他一些实施例中，所述安装孔为螺纹孔，所述第二固定孔为螺纹孔，则采用螺栓作为所述第二固定件。相应的，采用所述第一固定件依次连接所述第一固定孔和安装槽后，采用所述第二固定件依次连接所述安装孔和第二固定孔。

对本实施例所述准直器检具300的使用方法的具体描述，请参考前述使用方法第一实施例中的相应描述，本实施例在此不再赘述。

虽然本发明己披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (27)

1.一种准直器检具，其特征在于，所述准直器检具用于检测准直器的安装孔和安装槽的相对位置是否正确，以及检测所述准直器的外径公差和形变；所述准直器检具包括：

底座，所述底座具有第一端面、与所述第一端面相对的第二端面、以及连接所述第一端面和第二端面的外壁；

至少一个限位块，凸出设置于所述底座的第一端面上，沿垂直于所述外壁的方向上，所述限位块内具有贯穿所述限位块的第一固定孔；

至少一个第一固定件，用于贯穿所述第一固定孔；

至少一个第二固定件，凸出设置于所述底座的第一端面上；

将所述准直器装配于所述准直器检具上后，所述第二固定件插入至所述准直器的安装孔内，所述第一固定件依次连接第一固定孔和所述准直器的安装槽；

所述底座的形状为圆柱体或圆环体，所述底座内径的公差与所述准直器外径的公差相同。

2.如权利要求1所述的准直器检具，其特征在于，所述限位块的数量为多个，且所述限位块以所述底座的横截面中心为圆心，沿圆周方向排布。

3.如权利要求2所述的准直器检具，其特征在于，所述第二固定件的数量与所述限位块的数量相等，所述第二固定件与所述限位块间隔排布。

4.如权利要求1所述的准直器检具，其特征在于，所述第二固定件的数量为多个，且所述第二固定件以所述底座的横截面中心为圆心，沿圆周方向排布。

5.如权利要求4所述的准直器检具，其特征在于，相邻所述限位块之间的第二固定件数量为多个，且相邻所述限位块之间的第二固定件数量相等。

6.如权利要求1所述的准直器检具，其特征在于，所述准直器检具还包括：限位环，凸出设置于所述底座的第一端面上，且平行于所述第一端面的方向上，所述限位环的尺寸小于所述底座的尺寸。

7.如权利要求6所述的准直器检具，其特征在于，所述限位块凸出设置于所述限位环靠近所述外壁一侧的第一端面上，所述第二固定件凸出设置于所述限位环远离所述外壁一侧的第一端面上。

8.如权利要求1所述的准直器检具，其特征在于，所述第一固定孔为螺纹孔，所述第一固定件为螺栓；

或者，所述第一固定孔为通孔，所述第一固定件为定位销。

9.如权利要求1所述的准直器检具，其特征在于，所述第一固定孔与所述第一固定件一一对应。

10.如权利要求1所述的准直器检具，其特征在于，所述第二固定件固定于所述底座的第一端面上。

11.如权利要求10所述的准直器检具，其特征在于，所述第二固定件为定位销。

12.如权利要求1所述的准直器检具，其特征在于，所述准直器检具还包括：至少一个第二固定孔，所述第二固定孔沿所述第一端面指向所述第二端面的方向贯穿所述底座；

所述第二固定件用于贯穿所述第二固定孔且凸出于所述底座的第一端面。

13.如权利要求12所述的准直器检具，其特征在于，所述第二固定孔为螺纹孔，所述第二固定件为螺栓；

或者，所述第二固定孔为通孔，所述第二固定件为定位销。

14.如权利要求13所述的准直器检具，其特征在于，所述第二固定件为定位销，所述定位销包括杆部，或者所述定位销包括头部以及固定于所述头部上的杆部。

15.如权利要求12所述的准直器检具，其特征在于，所述第二固定孔与所述第二固定件一一对应。

16.如权利要求1所述的准直器检具，其特征在于，所述底座的材料为钢或不锈钢，所述限位块的材料为钢或不锈钢，所述第一固定件的材料为钢或不锈钢，所述第二固定件的材料为钢或不锈钢。

17.一种准直器检具的使用方法，包括：

提供准直器，所述准直器包括环状主体、设置于所述主体一端的控制孔结构、以及环绕所述主体侧壁的安装支撑环，所述安装支撑环固定于所述主体远离所述控制孔结构一侧的侧壁上，所述安装支撑环具有至少一个贯穿所述安装支撑环的安装孔，且沿所述控制孔结构指向所述安装支撑环的方向上，所述安装支撑环还具有至少一个贯穿所述安装支撑环部分高度的安装槽；

提供如权利要求1所述的准直器检具，所述准直器检具的第一固定孔与所述准直器的安装槽相匹配且一一对应，所述准直器检具的第二固定件与所述准直器的安装孔相匹配且一一对应；

将所述准直器装配于所述准直器检具上，使所述第二固定件插入至所述安装孔内、使所述第一固定件依次连接所述第一固定孔和安装槽。

18.如权利要求17所述的准直器检具的使用方法，其特征在于，当所述准直器和准直器检具装配失败时，判定所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置错误；

当所述准直器和准直器检具装配成功时，判定所述准直器的安装孔和安装槽的相对位置正确。

19.如权利要求17所述的准直器检具的使用方法，其特征在于，所述安装支撑环具有背向所述控制孔结构的第三端面、以及与所述第三端面相对的第四端面。

20.如权利要求19所述的准直器检具的使用方法，其特征在于，所述底座的形状为环形体；

将所述准直器装配于所述准直器检具上的步骤包括：使所述第四端面朝向所述第一端面；使所述第四端面朝向所述第一端面后，将所述准直器嵌入至所述准直器检具中，采用所述第一固定件依次连接所述第一固定孔和安装槽，并使所述第二固定件插入至所述安装孔内。

21.如权利要求19所述的准直器检具的使用方法，其特征在于，所述准直器检具还包括：限位环，凸出设置于所述底座的第一端面上，且平行于所述第一端面的方向上，所述限位环的尺寸小于所述底座的尺寸，其中，所述限位块凸出设置于所述限位环靠近所述外壁一侧的第一端面上，所述第二固定件凸出设置于所述限位环远离所述外壁一侧的第一端面上；

将所述准直器装配于所述准直器检具上的步骤包括：使所述第三端面朝向所述第一端面；使所述第三端面朝向所述第一端面后，将所述准直器嵌入至所述限位环和所述第一端面围成的区域内，采用所述第一固定件依次连接所述第一固定孔和安装槽，并使所述第二固定件插入至所述安装孔内。

22.如权利要求20或21所述的准直器检具的使用方法，其特征在于，所述第一固定孔为螺纹孔，采用螺栓作为所述第一固定件；

或者，所述第一固定孔为通孔，采用定位销作为所述第一固定件。

23.如权利要求20或21所述的准直器检具的使用方法，其特征在于，所述第二固定件固定于所述底座的第一端面上；

所述安装孔为通孔，采用定位销作为所述第二固定件。

24.如权利要求20或21所述的准直器检具的使用方法，其特征在于，所述准直器检具还包括：至少一个第二固定孔，所述第二固定孔沿所述第一端面指向所述第二端面的方向贯穿所述底座；

使所述第二固定件插入至所述安装孔内的步骤包括：采用所述第二固定件连接所述第二固定孔和安装孔。

25.如权利要求24所述的准直器检具的使用方法，其特征在于，所述安装孔为螺纹孔，所述第二固定孔为螺纹孔，采用螺栓作为所述第二固定件；

所述安装孔为通孔，所述第二固定孔为通孔，采用定位销作为所述第二固定件。

26.如权利要求25所述的准直器检具的使用方法，其特征在于，采用定位销作为所述第二固定件，所述定位销包括杆部，或者所述定位销包括头部以及固定于所述头部上的杆部。

27.如权利要求17所述的准直器检具的使用方法，其特征在于，所述主体的形状为圆环体，所述安装支撑环的形状为圆环体，所述底座的形状为圆柱体或圆环体。

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