CN109374928A - 一种基于等离聚焦的近场扫描探针 - Google Patents
一种基于等离聚焦的近场扫描探针 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109374928A CN109374928A CN201811060049.0A CN201811060049A CN109374928A CN 109374928 A CN109374928 A CN 109374928A CN 201811060049 A CN201811060049 A CN 201811060049A CN 109374928 A CN109374928 A CN 109374928A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- focusing
- optical fiber
- scanning probe
- field scanning
- face
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 54
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 8
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 6
- 239000004568 cement Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 7
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 2
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 238000004621 scanning probe microscopy Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005842 biochemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000000399 optical microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 1
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 1
- 238000009156 water cure Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/18—SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
- G01Q60/22—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于等离聚焦的近场扫描探针，包括光纤和波导结构，所述的光纤中央设有贯穿其长度方向的通光孔，光纤端面设有波导结构，所述的波导结构包括支架和聚焦结构，所述的支架位于光纤和聚焦结构之间，所述的聚焦结构采用锥体结构，并覆盖光纤端面的通光孔，聚焦结构由部分球体基座和锥体组成，球体基座的一端与光纤端面连接，另一端与锥体的侧面相切，锥体的另一侧面与光纤的端面倾斜连接，其尖端超出光纤的侧面。本发明采用光刻方式加工尖端聚焦结构，加工方式灵活，精度高，时长极短，成本低，方便大批量生产制备，可以通过调节加工过程中的光胶聚合的激光功率及扫描速率，控制尖端结构的弹性系数及模量，从而适用于多类型样本检测。
Description
技术领域
本发明涉及一种扫描探针，尤其涉及一种基于等离聚焦的近场扫描探针。
背景技术
表面等离子体是当光入射到金属表面所激发的一种沿着金属表面传播的电子疏密波，其波长远小于可见光的波长，因此将传播的能量汇聚在超越衍射极限的纳米级尺度，因此通过研究表面等离子体波导，定向传播并聚焦能量，是物理光学的一个重要课题。表面等离子体聚焦的原理是基于金属表面自由电子对特定波段的光能的选择性吸收，因此具有特定的吸收-散射光谱，由于这种吸收对于外界环境极为敏感，所以相应的光谱分析可以实现针对外界环境的实时传感，被广泛应用于生物化学反应监测，食品检测，环境保护等诸多领域。而对于聚焦功能而言，由于能量被聚焦在小范围内，所以能够在聚焦点产生较高的电场密度，通过与脉冲激光结合，可以诱导材料的非线性特性，从而应用于非线性光学研究领域。
近场扫描技术则是力图将显微范围拓展至光波长约十分之一的近场纳米尺度，与传统以光信号为载体的光学显微术不同的是，近场扫描技术以实体探针为载体，能够以纳米级的尺度逼真地还原样品信息。此外，利用探针作为激发源去刺激样品，则可以进一步获取待测样品的物理化学参数。涉及的领域包括表面形貌的原子力扫描，近场光学的探测，针尖增强的拉曼技术。以针尖增强拉曼技术为例，它是对样品表面与入射光频率不同的散射光谱进行分析以得到样品的分子振动与转动方面的信息，能够非常便捷地用于材料成分分析。
目前采用的近场扫描技术采用的探针是以拉锥型的光纤或者尖端镶嵌微球的形式作为载体，制备方式受传统加工工艺的限制，因此在等离聚焦波导设计的优化上没有长足的进步，结构的固定导致探针的模量或者弹性系数固化，无法适应多种材质探测的需求。同样的，由于加工工艺的制约，其整体结构并不能达到比较好的聚焦效果，使得探针的聚焦增强能力受限。
发明内容
发明目的：本发明目的是提供一种基于等离聚焦的近场扫描探针，提高了光能聚焦效率，增强针尖聚焦强度，解决了现有技术中探针能量聚焦能力不足，增强能力受限的问题。
技术方案：本发明包括光纤和波导结构，所述的光纤中央设有贯穿其长度方向的通光孔，光纤端面设有波导结构，所述的波导结构包括支架和聚焦结构，所述的支架位于光纤和聚焦结构之间，所述的聚焦结构采用锥体结构，并覆盖光纤端面的通光孔。
所述的聚焦结构由部分球体基座和锥体组成，所述球体基座的一端与光纤端面连接，另一端与锥体的侧面相切，锥体的另一侧面与光纤的端面倾斜连接，其尖端超出光纤的侧面。
所述的聚焦结构采用光刻方法制备，并采用光固化胶水固化于光纤端面。
所述的聚焦结构表面镀有金属层，以具有等离激元效应。
所述金属层的厚度为30nm～200nm。
所述聚焦结构的光能量导入方式包括光纤内部传导和外部照明。
所述的光纤采用单模或多模光纤。
所述光纤的外径为125μm～800μm。
所述光纤的端面作抛光处理。
所述的支架采用圆柱体结构，用以稳定整体结构。
工作原理：光从光纤导入，从具有聚焦结构的光纤端面射出，光束在聚焦结构内多次发生反射，从而诱导表面等离子体波传导至最尖端，形成纳米级的高密度电磁热点，该探针与扫描探针显微镜集成后，通过扫描样品，电磁热点与待测样品进行接触从而激发光学信号，进而对纳米尺度的表面化学成分进行鉴别。
有益效果：本发明采用光刻方式加工尖端聚焦结构，加工方式灵活，精度高，时长极短，成本低，方便大批量生产制备，可以通过调节加工过程中的光胶聚合的激光功率及激光扫描速度，控制尖端结构的弹性系数及模量，从而适用于多类型样本检测；本发明的探针在检测单点近场信号的同时，能够采集该处的高度形貌信息，实现原子力显微成像的功能；本发明的聚集结构在光学传导路径上进行优化，能优化聚焦的增强因子，从而提升探针激发近场光信号的效率。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
如图1所示，本发明包括光纤1和三维微纳波导结构，光纤1的端面需作抛光处理，光纤1中央设有贯穿其长度方向的通光孔2，光纤1为单模或多模光纤，其外径范围为125μm～800μm。光纤1端面设有用于等离激元聚焦的三维微纳波导结构，该波导结构包括支架3和聚焦结构4，支架3垂直设于光纤1和聚焦结构4之间，聚焦结构4采用锥体结构，并覆盖光纤1端面的通光孔2。聚焦结构4采用光刻方法制备，并固化于光纤1端面，使用材料为光固化胶水，包括正性和负性光刻胶。制备好的聚焦结构4表面镀有30nm～200nm的金属层，金或银，以具有等离激元效应。支架3由圆柱体构成，用以稳定整体结构。
聚焦结构4由部分球体基座和锥体组成，球体基座的一端与光纤1端面连接，另一端与锥体的侧面相切，锥体的另一侧面与光纤1的端面倾斜连接，整体结构倾斜超出光纤1的端面。聚焦结构4的球体基座覆盖光纤1的通光孔2，球体半径为30μm，锥体高度为70μm，其相对于光纤1端面平面的倾斜角度为15°～75°，根据具体实施的光纤种类可修改相应尺寸。
聚焦结构4的光能量导入方式包含光纤内部传导和外部照明两种模式，应用场景包括但不限于原子力表面纳米形貌扫描，近场光学探测，针尖增强拉曼检测。对于内部传导，光从光纤1中央的通光孔2导入，从具有聚焦结构4的光纤1端面射出，光束在聚焦结构4内多次发生反射，由此在结构表面诱导表面等离子体波传导至最尖端，形成纳米级高密度电磁热点；对于外部照明，则直接用激光辐照聚焦结构4，以激发样品尖端产生增强的高密度电场。该探针与扫描探针显微镜集成后，通过扫描样品，电磁热点与待测样品进行接触从而激发光学信号。该探针的聚焦点在纳米尺度，具有纳米尺度的表面化学成分鉴别能力，而三维光刻技术的应用保证了设计的灵活性、可重复性以及大批量制备的可行性，具有低成本高性能的优势。
具体使用方法1为：
(1)取一根单模光纤，规格8/125μm，去除其端面的涂覆层，利用光纤切割刀切平两个端面，然后分别用丙酮(纯度99.7％)、酒精(纯度99.9％)、去离子水(电阻率18.2MΩ)超声(40W)清洗10分钟，然后用氮气(纯度99.7％)吹干；
(2)利用光刻技术将三维微纳波导结构制备于光纤底面，并在波导结构表面镀上70nm的金层，波导结构包含主体聚焦结构以及支架结构，其中聚焦结构由覆盖单模光纤通光孔且半径为30μm的圆球基座和高度为70μm并倾斜探出光纤的锥体组合构成，支架部分由20～30μm高的圆柱体构成；
(3)将光纤探针组装于近场显微镜上，用连续可见激光对探针尖端部分照明，同时利用近场显微镜的光学收集装置收集近场光学信息。
使用方法2为：
(1)取一根多模光纤，规格62.5/125μm，去除其端面的涂覆层，利用光纤切割刀切平两个端面，然后分别用丙酮(纯度99.7％)、酒精(纯度99.9％)、去离子水(电阻率18.2MΩ)超声(40W)清洗10分钟，然后用氮气(纯度99.7％)吹干；
(2)利用光刻技术将三维微纳波导结构制备于光纤底面，并在波导结构表面镀上70nm的金层，波导结构包含主体聚焦结构以及支架结构，其中聚焦结构由覆盖单模光纤通光孔且半径为40μm的圆球基座和高度为80μm并倾斜探出光纤的锥体组合构成，支架部分由20～30μm高的圆柱体构成；
(3)将光纤探针组装于近场显微镜上，将连续可见激光导入光纤内部进行内激发，同时利用近场显微镜的光学收集装置收集近场光学信息。
Claims (10)
1.一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，包括光纤(1)和波导结构，所述的光纤(1)中央设有贯穿其长度方向的通光孔(2)，光纤(1)端面设有波导结构，所述的波导结构包括支架(3)和聚焦结构(4)，所述的支架(3)位于光纤(1)和聚焦结构(4)之间，所述的聚焦结构(4)采用锥体结构，并覆盖光纤(1)端面的通光孔(2)。
2.根据权利要求1所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述的聚焦结构(4)由部分球体基座和锥体组成，所述球体基座的一端与光纤(1)端面连接，另一端与锥体的侧面相切，锥体的另一侧面与光纤(1)的端面倾斜连接，其尖端超出光纤(1)的侧面。
3.根据权利要求1或2所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述的聚焦结构(4)采用光刻方法制备，并固化于光纤(1)端面。
4.根据权利要求3所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述的聚焦结构(4)表面镀有金属层。
5.根据权利要求4所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述金属层的厚度为30nm～200nm。
6.根据权利要求1所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述聚焦结构(4)的光能量导入方式包括光纤内部传导和外部照明。
7.根据权利要求1所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述的光纤(1)采用单模或多模光纤。
8.根据权利要求1或7所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述光纤(1)的外径为125μm～800μm。
9.根据权利要求8所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述光纤(1)的端面作抛光处理。
10.根据权利要求1所述的一种基于等离聚焦的近场扫描探针，其特征在于，所述的支架(3)采用圆柱体结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811060049.0A CN109374928B (zh) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | 一种基于等离聚焦的近场扫描探针 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811060049.0A CN109374928B (zh) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | 一种基于等离聚焦的近场扫描探针 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109374928A true CN109374928A (zh) | 2019-02-22 |
| CN109374928B CN109374928B (zh) | 2020-10-27 |
Family
ID=65405136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811060049.0A Expired - Fee Related CN109374928B (zh) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | 一种基于等离聚焦的近场扫描探针 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109374928B (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110488043A (zh) * | 2019-08-07 | 2019-11-22 | 电子科技大学 | 自由电子激发增强近场信号的扫描近场光学显微镜 |
| WO2022165927A1 (zh) * | 2021-02-04 | 2022-08-11 | 西安交通大学 | 一种用于激发和收集近场光信号的散射式锥形尖端光纤探针及其工作方法 |
Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1050266A (zh) * | 1989-08-28 | 1991-03-27 | 斯皮拉尔研究发展公司 | 近场反射型显微技术处理方法及显微镜 |
| CN1510694A (zh) * | 2002-12-23 | 2004-07-07 | 中国科学技术大学 | 振动特性优良的光纤探针及其制作方法 |
| CN101173885A (zh) * | 2006-10-30 | 2008-05-07 | 中国科学院化学研究所 | 微区稳态/瞬态光电检测与扫描成像的近场光学显微镜系统 |
| US20090261250A1 (en) * | 2008-04-16 | 2009-10-22 | Nanyang Technological University | Plasmonic structure lens and its application for online inspection |
| WO2010011186A1 (en) * | 2008-07-25 | 2010-01-28 | Agency For Science, Technology And Research | A method of fabricating a cantilever structure and a cantilever structure |
| US8793811B1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-07-29 | Anasys Instruments | Method and apparatus for infrared scattering scanning near-field optical microscopy |
| CN103954802A (zh) * | 2014-05-13 | 2014-07-30 | 中国科学技术大学 | 长波长扫描近场显微分析系统 |
| CN104237568A (zh) * | 2014-09-16 | 2014-12-24 | 上海应用技术学院 | 一种扫描近场光学显微镜有源集成探针及其制备方法 |
| US8984661B2 (en) * | 2012-09-21 | 2015-03-17 | The Regents Of The University Of California | Probes for multidimensional nanospectroscopic imaging and methods of fabrication thereof |
| US9372203B1 (en) * | 2014-07-23 | 2016-06-21 | James Massie Design, Inc. | Actuators for securing probes in a scanning probe microscope |
| CN106338546A (zh) * | 2016-08-18 | 2017-01-18 | 东南大学 | 一种高空间分辨质谱成像装置 |
| CN106770167A (zh) * | 2016-12-26 | 2017-05-31 | 哈尔滨工程大学 | 光镊式光纤拉曼探针及制作方法 |
| EP3176589A1 (en) * | 2015-12-02 | 2017-06-07 | Anasys Instruments | Method and apparatus for infrared scattering scanning near-field optical microscopy with background suppression |
| CN107589278A (zh) * | 2016-07-08 | 2018-01-16 | 中国科学院理化技术研究所 | 基于光纤探针的反射式偏振调制近场扫描光学显微镜系统 |
| CN107621552A (zh) * | 2016-07-15 | 2018-01-23 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种基于悬臂型圆孔探针的偏振调制扫描近场光学显微镜系统装置 |
| JP2018091695A (ja) * | 2016-12-01 | 2018-06-14 | 国立大学法人金沢大学 | 走査型プローブ顕微鏡 |
| US20180174851A1 (en) * | 2015-02-05 | 2018-06-21 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Thin film metal silicides and methods for formation |
-
2018
- 2018-09-12 CN CN201811060049.0A patent/CN109374928B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1050266A (zh) * | 1989-08-28 | 1991-03-27 | 斯皮拉尔研究发展公司 | 近场反射型显微技术处理方法及显微镜 |
| CN1510694A (zh) * | 2002-12-23 | 2004-07-07 | 中国科学技术大学 | 振动特性优良的光纤探针及其制作方法 |
| CN101173885A (zh) * | 2006-10-30 | 2008-05-07 | 中国科学院化学研究所 | 微区稳态/瞬态光电检测与扫描成像的近场光学显微镜系统 |
| US20090261250A1 (en) * | 2008-04-16 | 2009-10-22 | Nanyang Technological University | Plasmonic structure lens and its application for online inspection |
| WO2010011186A1 (en) * | 2008-07-25 | 2010-01-28 | Agency For Science, Technology And Research | A method of fabricating a cantilever structure and a cantilever structure |
| US8984661B2 (en) * | 2012-09-21 | 2015-03-17 | The Regents Of The University Of California | Probes for multidimensional nanospectroscopic imaging and methods of fabrication thereof |
| US8793811B1 (en) * | 2013-03-15 | 2014-07-29 | Anasys Instruments | Method and apparatus for infrared scattering scanning near-field optical microscopy |
| CN103954802A (zh) * | 2014-05-13 | 2014-07-30 | 中国科学技术大学 | 长波长扫描近场显微分析系统 |
| US9372203B1 (en) * | 2014-07-23 | 2016-06-21 | James Massie Design, Inc. | Actuators for securing probes in a scanning probe microscope |
| CN104237568A (zh) * | 2014-09-16 | 2014-12-24 | 上海应用技术学院 | 一种扫描近场光学显微镜有源集成探针及其制备方法 |
| US20180174851A1 (en) * | 2015-02-05 | 2018-06-21 | The Trustees Of The University Of Pennsylvania | Thin film metal silicides and methods for formation |
| EP3176589A1 (en) * | 2015-12-02 | 2017-06-07 | Anasys Instruments | Method and apparatus for infrared scattering scanning near-field optical microscopy with background suppression |
| CN107589278A (zh) * | 2016-07-08 | 2018-01-16 | 中国科学院理化技术研究所 | 基于光纤探针的反射式偏振调制近场扫描光学显微镜系统 |
| CN107621552A (zh) * | 2016-07-15 | 2018-01-23 | 中国科学院理化技术研究所 | 一种基于悬臂型圆孔探针的偏振调制扫描近场光学显微镜系统装置 |
| CN106338546A (zh) * | 2016-08-18 | 2017-01-18 | 东南大学 | 一种高空间分辨质谱成像装置 |
| JP2018091695A (ja) * | 2016-12-01 | 2018-06-14 | 国立大学法人金沢大学 | 走査型プローブ顕微鏡 |
| CN106770167A (zh) * | 2016-12-26 | 2017-05-31 | 哈尔滨工程大学 | 光镊式光纤拉曼探针及制作方法 |
Non-Patent Citations (8)
| Title |
|---|
| ANGELA E. KLEIN等: "Polarization-Resolved Near-Field Mapping of Plasmonic Aperture Emission by a Dual-SNOM System", 《NANO LETT.》 * |
| GIANLUIGI ZITO1等: "Nanometal Skin of Plasmonic Heterostructures for Highly Efficient Near-Field Scattering Probes", 《SCIENTIFIC REPORTS》 * |
| IVAN S等: "Active control over nanofocusing with nanorod plasmonic antennas", 《OPTICS EXPRESS》 * |
| JING CHEN等: "Optical cavity-enhanced localized surface plasmon resonance for high-quality sensing", 《IEEE PHOTONICS TECHNOLOGY LETTERS》 * |
| JING YANG等: "Fabrication of high-quality SNOM probes by pre-treating the fibres before chemical etching", 《JOURNAL OF MICROSCOPY》 * |
| MARCO CONSALES等: "Lab-on-Fiber Technology Toward Multifunctional Optical Nanoprobes", 《ACS NANO》 * |
| P. UEBEL等: "A gold-nanotip optical fiber for plasmon-enhanced near-field detection", 《APPL. PHYS. LETT.》 * |
| XIANG CHEN等: "Plasmonic Nanofocusing Probe Nanofocusing Probe", 《INT J THERMOPHYS》 * |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110488043A (zh) * | 2019-08-07 | 2019-11-22 | 电子科技大学 | 自由电子激发增强近场信号的扫描近场光学显微镜 |
| CN110488043B (zh) * | 2019-08-07 | 2021-05-04 | 电子科技大学 | 自由电子激发增强近场信号的扫描近场光学显微镜 |
| WO2022165927A1 (zh) * | 2021-02-04 | 2022-08-11 | 西安交通大学 | 一种用于激发和收集近场光信号的散射式锥形尖端光纤探针及其工作方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109374928B (zh) | 2020-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111398231B (zh) | 一种基于金刚石nv色心的扫描探测系统 | |
| US9001324B2 (en) | Optical fiber surface enhanced raman spectroscopy (SERS) probe | |
| US7529158B2 (en) | Optical near-field generator and recording apparatus using the optical near-field generator | |
| CN109470710A (zh) | 基于同轴双圆锥透镜的暗场共焦亚表面检测装置和方法 | |
| JP6179905B2 (ja) | 光学デバイスおよび分析装置 | |
| CN109580640A (zh) | 一种环形光式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法 | |
| CN105403538B (zh) | 一种测量碳纳米管手性的方法及装置 | |
| CN1815197A (zh) | 基于纳米颗粒表面增强拉曼谱的光子晶体光纤探针传感器 | |
| CN111505342B (zh) | 一种锥形光纤结合纳米线的等离激元探针及其工作方法 | |
| US20170052211A1 (en) | Measuring device and method for determining mass and/or mechanical properties of a biological system | |
| CN109374928A (zh) | 一种基于等离聚焦的近场扫描探针 | |
| CN107402443A (zh) | 一种基于倒置显微镜和微球透镜的光学超分辨率成像系统及采用该系统的动态成像方法 | |
| JP2006214942A (ja) | 光ファイバープローブ、光検出装置及び光検出方法 | |
| Sauer et al. | In situ surface-enhanced Raman spectroscopy of monodisperse silver nanowire arrays | |
| KR20170001659A (ko) | 집적 회로들의 광학적 나노프로빙 | |
| David et al. | Two-dimensional optical nanovortices at visible light | |
| CN104792746B (zh) | 一种利用表面等离激元散射对纳米物质进行成像的检测方法 | |
| CN107621274B (zh) | 一种光纤传感器及其声波探测应用方法 | |
| Zhu et al. | Au nanocone array with 3D hotspots for biomarker chips | |
| Yin et al. | Sensitivity-enhanced U-shaped fiber SERS probe with photoreduced silver nanoparticles | |
| CN109752798B (zh) | 基于同轴双波导光纤的光学纳米天线探测器及其制备方法 | |
| CN101672783A (zh) | 一种单根一维纳米材料光致荧光角度分辨测量系统 | |
| Youfu et al. | Femtosecond laser ablated polymer SERS fiber probe with photoreduced deposition of silver nanoparticles | |
| CN104181110A (zh) | 一种基于显微镜的激光双调制反射光谱检测系统 | |
| CN102261954A (zh) | 一种利用纳米微粒排列形状测量近场光强分布的方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20201027 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |