CN109374666A - 检测激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂含量的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于粉末冶金技术领域，具体涉及一种检测激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂含量的方法，包括以下步骤：1)采用取样器随机取出20g待检粉末，并将待检粉末平均分为5份；2)将待检粉末均匀的平铺在导电胶上并进行喷金处理；3)在扫描电子显微镜中采用50～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；4)在确定可疑的粉末夹杂后，采用能谱分析仪，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂；5)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量。采用扫描电子显微镜及其自带的能谱分析仪设备，更方面、准确、全面和快捷的检验激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂的数量。
Description
技术领域：
本发明属于粉末冶金技术领域，具体涉及一种检测激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂含量的方法，采用扫描电子显微镜(SEM)及其自带的能谱分析仪(EDS)设备，更方面、准确、全面和快捷的检验激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂的数量。
背景技术：
激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂主要可以分为两类，即：金属夹杂和非金属夹杂。金属夹杂主要来源于不锈钢筛网、储粉罐和储粉瓶等方面；而非金属夹杂则主要来源于母合金，真空熔炼过程中，熔渣、保温材料和炉料中的非金属夹杂，都有可能成为夹杂来源，因此原始粉末中的非金属夹杂主要是陶瓷、熔渣等夹杂，形状各异，其主要化学成分为Al、Si、Ca、Ti、Mg、C，尺寸也由几千微米到几百微米不等。金属粉末中夹杂物的种类、数量和尺寸等因素会直接影响成型件的力学性能和使用寿命。对超细金属粉末中夹杂情况进行准确评估，可以保证成型件的可靠性，因此是十分重要的。但是，粉末中夹杂含量较低，如：200g粉末中要求的夹杂颗粒不超过5颗，传统的人工检测方法效率和准确性均较低。而相关专利《一种检测金属粉末中非金属夹杂含量的方法》(申请公布号：CN 108043586A)中提到的方法虽然可以提高检测效率，但是只能检测非金属夹杂，对金属夹杂仍然无法高效、准确的进行检查。
发明内容：
为了克服传统的人工检测技术的不足之处，本发明的目的在于提供一种检测激光选区熔化用超细钛合金粉末(超细钛合金粉末粒度63μm以下)中夹杂含量的方法，通过扫描电子显微镜(SEM)及自带的能谱分析仪(EDS)设备检测粉末中金属、非金属夹杂，该方法具有操作简便、检测效率和准确率高和检测全面的优点。
本发明的技术方案是：
一种检测激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂含量的方法，包括以下步骤：
1)对结构钛合金(如：TC4ELI钛合金)超细粉末中的夹杂进行检测，结构钛合金(如：TC4ELI钛合金等)超细粉末的粒度范围为63μm以下，采用取样器并在带有氩气保护装置的设备内随机取出1kg粉末，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
2)将1kg粉末在带有氩气保护装置的设备内随机取出20g作为待检粉末，并将待检粉末平均分为5份，每份4g，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
3)将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上，避免出现粉末重叠过多的现象；
4)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度＜10Pa；
5)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
6)在扫描电子显微镜中采用10～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
7)在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜自带的能谱分析仪，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，能谱分析仪的设备参数：电压20KV，放大倍数500倍；
8)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定结构钛合金(如：TC4ELI钛合金)超细粉末是否符合使用要求。
一种检测激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂含量的方法，包括以下步骤：
1)对Ti2AlNb基钛合金超细粉末中的夹杂进行检测，Ti2AlNb基钛合金超细粉末的粒度范围为63μm以下，采用取样器并在带有氩气保护装置的设备内随机取出1kg粉末，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
2)将1kg粉末在带有氩气保护装置的设备内随机取出20g作为待检粉末，并将待检粉末平均分为5份，每份4g，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
3)将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上，避免出现粉末重叠过多的现象；
4)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度＜10Pa；
5)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
6)在扫描电子显微镜中采用10～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
7)在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜自带的能谱分析仪，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，能谱分析仪的设备参数：电压20KV，放大倍数1000倍；
8)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定Ti2AlNb基钛合金超细粉末是否符合使用要求。
一种检测激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂含量的方法，包括以下步骤：
1)对高温钛合金超细粉末中的夹杂进行检测，高温钛合金(如：Ti60钛合金等)超细粉末的粒度范围为63μm以下，采用取样器并在带有氩气保护装置的设备内随机取出1kg粉末，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
2)将1kg粉末在带有氩气保护装置的设备内随机取出20g作为待检粉末，并将待检粉末平均分为5份，每份4g，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
3)将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上，避免出现粉末重叠过多的现象；
4)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度＜10Pa；
5)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
6)在扫描电子显微镜中采用10～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
7)在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜自带的能谱分析仪，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，能谱分析仪的设备参数：电压20KV，放大倍数3000倍；
8)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定高温钛合金超细粉末是否符合使用要求。
一种检测激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂含量的方法，包括以下步骤：
1)对TiAl基金属间化合物超细粉末中的夹杂进行检测，TiAl基金属间化合物(如：45XD合金等)超细粉末的粒度范围为63μm以下，采用取样器并在带有氩气保护装置的设备内随机取出1kg粉末，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
2)将1kg粉末在带有氩气保护装置的设备内随机取出20g作为待检粉末，并将待检粉末平均分为5份，每份4g，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
3)将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上，避免出现粉末重叠过多的现象；
4)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度＜10Pa；
5)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
6)在扫描电子显微镜中采用10～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
7)在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜自带的能谱分析仪，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，能谱分析仪的设备参数：电压20KV，放大倍数5000倍；
8)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定TiAl基金属间化合物超细粉末是否符合使用要求。
本发明的设计思想是：
本发明提供通过扫描电子显微镜(SEM)设备检测粉末中金属、非金属夹杂的新方法。首先，将待检测的粉末均匀平铺在粘有导电胶带的载物台上；随后，在扫描电子显微镜(SEM)设备中，由于形态上的明显差异，可以在视场中直接观察到可疑的粉末夹杂；最后，采用扫描电子显微镜(SEM)及自带的能谱分析仪(EDS)设备对可疑粉末夹杂进行成分分析，以确定是否为夹杂。
本发明的优点及有益效果在于：
与现有检测方法相比，本发明采用扫描电子显微镜(SEM)及其自带的能谱分析仪(EDS)分多次对待测粉末直接进行检测，在取样和制样时不会引入其他的污染物，并且在检测效率、准确性和全面性方面均较现有方法明显提升。
附图说明：
图1：粘有导电胶的载物台示意图。
图2：粘有待测粉末的载物台示意图。
图3：均匀分布的待测粉末形貌图。
图4：喷金后的待测粉末示意图。
图5：粉末显微形貌观察图。
图6：粉末形貌及EDS分析结果。其中，(a)为形貌图，(b)为EDS分析图。
具体实施方式：
在具体实施过程中，本发明是通过扫描电子显微镜(SEM)及自带的能谱分析仪(EDS)设备检测激光选区熔化打印用超细钛合金粉末中金属、非金属夹杂的方法，具体检测方法如下：
(1)采用取样器随机取出20g粉末作为待检粉末，并将待检粉末平均分为5份(每份4g)，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
(2)如图1所示，将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上(见图2)，应避免出现粉末重叠过多的现象，使待测粉末均匀分布，见图3；
(3)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度＜10Pa，喷金后的待测粉末见图4；
(4)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜(SEM)中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
(5)如图5所示，在扫描电子显微镜(SEM)中采用50～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
(6)如图6所示，在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜(SEM)自带的能谱分析仪(EDS)，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，EDS设备参数：电压20KV，放大倍数：2000～8000倍；
(7)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定激光选区熔化用超细钛合金粉末是否符合使用要求。
下面，通过实施例和附图对本发明进一步详细阐述。
实施例1
本实施例中，对结构钛合金(如：TC4ELI钛合金)超细粉末中的夹杂进行检测，包括以下步骤：
1)采用取样器随机取出20g作为待检粉末，结构钛合金(如：TC4ELI钛合金等)超细粉末的粒度为63μm以下，并将待检粉末平均分为5份(每份4g)，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
2)将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上，应避免出现粉末重叠过多的现象；
3)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度8Pa；
4)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜(SEM)中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
5)在扫描电子显微镜(SEM)中采用50～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
6)在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜(SEM)自带的能谱分析仪(EDS)，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，EDS设备参数：电压20KV，放大倍数5000倍；
7)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定结构钛合金(如：TC4ELI钛合金)超细粉末是否符合使用要求。
实施例2
本实施例中，对Ti2AlNb基钛合金超细粉末中的夹杂进行检测，包括以下步骤：
1)采用取样器随机取出20g作为待检粉末，Ti2AlNb基钛合金超细粉末的粒度为63μm以下，并将待检粉末平均分为5份(每份4g)，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
2)将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上，应避免出现粉末重叠过多的现象；
3)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度5Pa；
4)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜(SEM)中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
5)在扫描电子显微镜(SEM)中采用50～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
6)在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜(SEM)自带的能谱分析仪(EDS)，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，EDS设备参数：电压20KV，放大倍数4000倍；
7)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定Ti2AlNb基钛合金超细粉末是否符合使用要求。
实施例3
本实施例中，对高温钛合金超细粉末中的夹杂进行检测，包括以下步骤：
1)采用取样器随机取出20g作为待检粉末，高温钛合金(如：Ti60钛合金等)超细粉末的粒度为63μm以下，并将待检粉末平均分为5份(每份4g)，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
2)将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上，应避免出现粉末重叠过多的现象；
3)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度3Pa；
4)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜(SEM)中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
5)在扫描电子显微镜(SEM)中采用50～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
6)在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜(SEM)自带的能谱分析仪(EDS)，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，EDS设备参数：电压20KV，放大倍数6000倍；
7)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定高温钛合金超细粉末是否符合使用要求。
实施例4
本实施例中，对TiAl基金属间化合物超细粉末中的夹杂进行检测，包括以下步骤：
1)采用取样器随机取出20g作为待检粉末，TiAl基金属间化合物(如：45XD合金等)超细粉末的粒度为63μm以下，并将待检粉末平均分为5份(每份4g)，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
2)将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上，应避免出现粉末重叠过多的现象；
3)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度6Pa；
4)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜(SEM)中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
5)在扫描电子显微镜(SEM)中采用50～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
6)在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜(SEM)自带的能谱分析仪(EDS)，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，EDS设备参数：电压20KV，放大倍数6000倍；
7)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定TiAl基金属间化合物超细粉末是否符合使用要求。
如图5所示，从粉末显微形貌观察图可以看出，常规的钛合金超细粉末呈现出球状或椭球状，而疑似的夹杂则显现出不规则的形状(图5中标示)。
如图6和表1所示，从粉末形貌及EDS分析结果可以看出，图6中的合金的名义成分为Ti-6Al-4V(at.％)，而EDS分析结果显示其中含有大量的杂质元素，因此可以确定该疑似物即为夹杂。
表1
| Element(元素) | Wt.％(重量百分比) | At.％(原子百分比) |
| O | 48.10 | 68.12 |
| Na | 7.45 | 7.34 |
| Si | 9.22 | 7.44 |
| S | 1.17 | 0.83 |
| Cl | 5.23 | 3.34 |
| K | 3.58 | 2.07 |
| Ca | 5.69 | 3.22 |
| Ti | 5.99 | 2.83 |
| Fe | 7.82 | 3.17 |
| Br | 5.75 | 1.63 |
表1中，Element为检测元素，Wt.％为检测元素的重量百分比，At.％为检测元素的原子百分比。
实施例结果表明，本发明提供通过扫描电子显微镜(SEM)设备检测粉末中金属、非金属夹杂的新方法，采用扫描电子显微镜及其自带的能谱分析仪设备，更方面、准确、全面和快捷的检验激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂的数量。
Claims (4)
1.一种检测激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂含量的方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)对结构钛合金超细粉末中的夹杂进行检测，结构钛合金超细粉末的粒度范围为63μm以下，采用取样器并在带有氩气保护装置的设备内随机取出1kg粉末，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
2)将1kg粉末在带有氩气保护装置的设备内随机取出20g作为待检粉末，并将待检粉末平均分为5份，每份4g，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
3)将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上，避免出现粉末重叠过多的现象；
4)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度＜10Pa；
5)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
6)在扫描电子显微镜中采用10～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
7)在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜自带的能谱分析仪，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，能谱分析仪的设备参数：电压20KV，放大倍数500倍；
8)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定结构钛合金超细粉末是否符合使用要求。
2.一种检测激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂含量的方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)对Ti2AlNb基钛合金超细粉末中的夹杂进行检测，Ti2AlNb基钛合金超细粉末的粒度范围为63μm以下，采用取样器并在带有氩气保护装置的设备内随机取出1kg粉末，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
2)将1kg粉末在带有氩气保护装置的设备内随机取出20g作为待检粉末，并将待检粉末平均分为5份，每份4g，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
3)将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上，避免出现粉末重叠过多的现象；
4)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度＜10Pa；
5)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
6)在扫描电子显微镜中采用10～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
7)在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜自带的能谱分析仪，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，能谱分析仪的设备参数：电压20KV，放大倍数1000倍；
8)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定Ti2AlNb基钛合金超细粉末是否符合使用要求。
3.一种检测激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂含量的方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)对高温钛合金超细粉末中的夹杂进行检测，高温钛合金超细粉末的粒度范围为63μm以下，采用取样器并在带有氩气保护装置的设备内随机取出1kg粉末，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
2)将1kg粉末在带有氩气保护装置的设备内随机取出20g作为待检粉末，并将待检粉末平均分为5份，每份4g，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
3)将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上，避免出现粉末重叠过多的现象；
4)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度＜10Pa；
5)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
6)在扫描电子显微镜中采用10～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
7)在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜自带的能谱分析仪，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，能谱分析仪的设备参数：电压20KV，放大倍数3000倍；
8)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定高温钛合金超细粉末是否符合使用要求。
4.一种检测激光选区熔化用超细钛合金粉末中夹杂含量的方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)对TiAl基金属间化合物超细粉末中的夹杂进行检测，TiAl基金属间化合物超细粉末的粒度范围为63μm以下，采用取样器并在带有氩气保护装置的设备内随机取出1kg粉末，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
2)将1kg粉末在带有氩气保护装置的设备内随机取出20g作为待检粉末，并将待检粉末平均分为5份，每份4g，取样时需佩戴无粉橡胶手套，以防止引入污染物影响检测结果；
3)将导电胶粘在载物台上，并将粉末均匀的平铺在导电胶上，避免出现粉末重叠过多的现象；
4)将粘有待测粉末的载物台放入喷金设备中进行喷金处理，喷金参数为：电流20～30mA，真空度＜10Pa；
5)将制备好的待测粉末放入扫描电子显微镜中，设备参数为：电压20KV，电流128～133mA；
6)在扫描电子显微镜中采用10～8000倍视场对粉末进行形貌观察，以确定可疑的粉末夹杂；
7)在确定可疑的粉末夹杂后，采用扫描电子显微镜自带的能谱分析仪，对可疑的粉末夹杂进行能谱分析，以确定是否为粉末夹杂，能谱分析仪的设备参数：电压20KV，放大倍数5000倍；
8)重复上述步骤4次，对20g粉末进行全面检测，并记录夹杂粉末的数量，以评价20g粉末中夹杂的含量，从而判定TiAl基金属间化合物超细粉末是否符合使用要求。
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