CN109323655B - 一种基于形变防止光散的套刻测量装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于形变防止光散的套刻测量装置,其结构包括调节竖杆、旋转器、光刻探头、置物座、底座、支撑杆,固定旋杆与螺纹座带有螺纹槽,两者相互配合用于固定稳定光聚装置,同时使定位块压紧材料板和套板,并固定翘板与压块契合稳定,防止压紧材料板和套板在光刻套刻期间由于振动而错位,进而减小套刻误差,扣环共有四个,且相互配合围绕光刻探头扣紧,同时形变板之间相互贴合,配合支撑板形成一个小空间,使光刻探头在雕刻时,防止光源涣散,提高效率。
Description
技术领域
本发明是一种基于形变防止光散的套刻测量装置,属于光刻套刻装置领域。
背景技术
雕刻技术分为多种,其中光刻套刻使利用激光及套板对材料进行雕刻,但是在装载材料与套板时,容易出现偏差,且由于激光雕刻时仍然会出现小幅振动,进而使材料与套板出现轻微错位,再者由于光源传播时环境的亮度会使其出现散射,影响效率。
但现有套刻测量装置存在以下弊端:
在装载材料与套板时,由于没有可以依据参考的实物件,故容易出现偏差,且由于激光雕刻时仍然会出现小幅振动,进而使材料与套板出现轻微错位,引起套刻误差,再者由于光源传播时环境的亮度会使其出现散射,影响效率。
发明内容
针对现有技术存在的不足,本发明目的是提供一种基于形变防止光散的套刻测量装置,以解决在装载材料与套板时,由于没有可以依据参考的实物件,故容易出现偏差,且由于激光雕刻时仍然会出现小幅振动,进而使材料与套板出现轻微错位,引起套刻误差,再者由于光源传播时环境的亮度会使其出现散射,影响效率的问题。
为了实现上述目的,本发明是通过如下的技术方案来实现:一种基于形变防止光散的套刻测量装置,其结构包括调节竖杆、旋转器、光刻探头、置物座、底座、支撑杆,所述调节竖杆底部与底座后端固定连接,所述调节竖杆与底座顶部相互垂直,所述置物座底部与底座顶部固定连接,所述底座底部与支撑杆顶部为螺纹连接,所述支撑杆顶部与底座底部为垂直连接,所述旋转器右端与光刻探头左端为一体化结构,所述旋转器左端与调节竖杆上端为活动连接,旋转器为可旋转且可升降结构,便于调节光刻探头;
所述置物座由主框架、固定旋杆、螺纹座、稳定光聚装置、滑轨组成,所述主框架外壁与螺纹座外壁相焊接,所述稳定光聚装置底部与滑轨内部为活动连接,所述固定旋杆右端与稳定光聚装置底部相贴合,所述固定旋杆中端与螺纹座内壁为螺纹连接,所述稳定光聚装置顶部与主框架上端相贯通,固定旋杆与螺纹座带有螺纹槽,两者相互配合用于固定稳定光聚装置。
显著的,所述稳定光聚装置由聚光扣、定位夹、支撑板、滑块组成,所述聚光扣底部与支撑板顶部固定连接,所述支撑板中端与定位夹外壁为机械连接,所述支撑板底部与滑块顶部相焊接,所述支撑板与滑块顶部相互垂直,聚光扣底部与支撑板通过螺丝连接,以此为基点,在形变后,便于恢复原样。
显著的,所述稳定光聚装置底部与滑轨内部相连接,所述稳定光聚装置设有滑块,所述滑块底部与滑轨内部相贴合。
显著的,所述聚光扣由扣环、固定块、形变板组成,所述扣环外壁与固定块内壁为一体化结构,所述固定块外壁与形变板上端固定链接,所述形变板底部与支撑板顶部通过螺丝固定连接,扣环共有四个,且相互配合围绕光刻探头扣紧。
显著的,所述定位夹由固定翘板、压块、通孔、弹簧、定位块组成,所述固定翘板顶部与压块底部相贴合,所述压块右端与定位块左端相连接,所述定位块中端与弹簧做单为嵌入式连接,所述通孔外壁与支撑板上端相贯通,所述通孔外壁与支撑板内壁为卡槽连接,通孔上设有过滤网层,防止在雕刻时外部杂物通过通孔进入。
有益效果
在进行使用时,将套刻板放置在置物座顶部,通过移动滑轨上的支撑板,紧贴套刻板,同时旋转固定旋杆,固定旋杆与螺纹座带有螺纹槽,两者相互配合用于固定稳定光聚装置,固定旋杆旋转紧贴滑块,用于滑块与滑轨之间的侧向固定,再将材料板放置进去,同时往上拨动固定翘板,并压紧压块,使定位块克服弹簧往右划出,压紧材料板和套板,此时松开固定翘板,使其与压块契合稳定,防止压紧材料板和套板在光刻套刻期间由于振动而错位,旋转器为可旋转且可升降结构,便于调节光刻探头,光刻探头为激光探头,转动旋转器使光刻探头垂直朝下,同时扣环共有四个,且相互配合围绕光刻探头扣紧,同时形变板之间相互贴合,配合支撑板形成一个小空间,使光刻探头在雕刻时,防止光源涣散,提高效率。
相较于现有技术,本发明存在以下优点:
1、固定旋杆与螺纹座带有螺纹槽,两者相互配合用于固定稳定光聚装置,同时使定位块压紧材料板和套板,并固定翘板与压块契合稳定,防止压紧材料板和套板在光刻套刻期间由于振动而错位,进而减小套刻误差。
2、扣环共有四个,且相互配合围绕光刻探头扣紧,同时形变板之间相互贴合,配合支撑板形成一个小空间,使光刻探头在雕刻时,防止光源涣散,提高效率。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本发明一种基于形变防止光散的套刻测量装置的结构示意图;
图2为本发明置物座的正视剖面图;
图3为本发明置物座的俯视剖面图;
图4为本发明稳定光聚装置的正视剖面图;
图5为本发明图4中聚光扣的放大图;
图6为本发明聚光扣的动作图;
图7为本发明图4中定位夹的放大图。
图中:调节竖杆-1、旋转器-2、光刻探头-3、置物座-4、底座-5、支撑杆-6、主框架-41、固定旋杆-42、螺纹座-43、稳定光聚装置-44、滑轨-45、聚光扣-441、定位夹-442、支撑板-443、滑块-444、扣环-4411、固定块-4412、形变板-4413、固定翘板-4421、压块-4422、通孔-4423、弹簧-4424、定位块-4425。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本发明。
请参阅图1,本发明提供一种基于形变防止光散的套刻测量装置技术方案:其结构包括调节竖杆1、旋转器2、光刻探头3、置物座4、底座5、支撑杆6,所述调节竖杆1底部与底座5后端固定连接,所述调节竖杆1与底座5顶部相互垂直,所述置物座4底部与底座5顶部固定连接,所述底座5底部与支撑杆6顶部为螺纹连接,所述支撑杆6顶部与底座5底部为垂直连接,所述旋转器2右端与光刻探头3左端为一体化结构,所述旋转器2左端与调节竖杆1上端为活动连接,旋转器2为可旋转且可升降结构,便于调节光刻探头3,光刻探头3为激光探头,故此为激光套刻;
请参阅图2-图3,所述置物座4由主框架41、固定旋杆42、螺纹座43、稳定光聚装置44、滑轨45组成,所述主框架41外壁与螺纹座43外壁相焊接,所述稳定光聚装置44底部与滑轨45内部为活动连接,所述固定旋杆42右端与稳定光聚装置44底部相贴合,所述固定旋杆42中端与螺纹座43内壁为螺纹连接,所述稳定光聚装置44顶部与主框架41上端相贯通,固定旋杆42与螺纹座43带有螺纹槽,两者相互配合用于固定稳定光聚装置44,固定旋杆42旋转紧贴滑块444,用于滑块444与滑轨45之间的侧向固定。
请参阅图4,所述稳定光聚装置44由聚光扣441、定位夹442、支撑板443、滑块444组成,所述聚光扣441底部与支撑板443顶部固定连接,所述支撑板443中端与定位夹442外壁为机械连接,所述支撑板443底部与滑块444顶部相焊接,所述支撑板443与滑块444顶部相互垂直,聚光扣441底部与支撑板443通过螺丝连接,以此为基点,在形变后,便于恢复原样。
所述稳定光聚装置44底部与滑轨45内部相连接,所述稳定光聚装置44设有滑块444,所述滑块444底部与滑轨45内部相贴合。
请参阅图5-图6,所述聚光扣441由扣环4411、固定块4412、形变板4413组成,所述扣环4411外壁与固定块4412内壁为一体化结构,所述固定块4412外壁与形变板4413上端固定链接,所述形变板4413底部与支撑板443顶部通过螺丝固定连接,扣环4411共有四个,且相互配合围绕光刻探头3扣紧,同时形变板4413之间相互贴合,配合支撑板443形成一个小空间,使光刻探头3在雕刻时,防止光源涣散,提高效率。
请参阅图7,所述定位夹442由固定翘板4421、压块4422、通孔4423、弹簧4424、定位块4425组成,所述固定翘板4421顶部与压块4422底部相贴合,所述压块4422右端与定位块4425左端相连接,所述定位块4425中端与弹簧4424做单为嵌入式连接,所述通孔4423外壁与支撑板443上端相贯通,所述通孔4423外壁与支撑板443内壁为卡槽连接,通孔4423上设有过滤网层,防止在雕刻时外部杂物通过通孔4423进入,通孔4423同时具备通气效果,使光刻探头3雕刻时产生的热能得到排散,同时定位块4425可以挤压固定套板,配合支撑板443挤压材料板,使材料板与套板紧紧贴合,减小套刻误差。
在进行使用时,将套刻板放置在置物座4顶部,通过移动滑轨45上的支撑板443,紧贴套刻板,同时旋转固定旋杆42,固定旋杆42与螺纹座43带有螺纹槽,两者相互配合用于固定稳定光聚装置44,固定旋杆42旋转紧贴滑块444,用于滑块444与滑轨45之间的侧向固定,再将材料板放置进去,同时往上拨动固定翘板4421,并压紧压块4422,使定位块4425克服弹簧4424往右划出,压紧材料板和套板,此时松开固定翘板4421,使其与压块4422契合稳定,防止压紧材料板和套板在光刻套刻期间由于振动而错位,旋转器2为可旋转且可升降结构,便于调节光刻探头3,光刻探头3为激光探头,转动旋转器2使光刻探头3垂直朝下,同时扣环4411共有四个,且相互配合围绕光刻探头3扣紧,同时形变板4413之间相互贴合,配合支撑板443形成一个小空间,使光刻探头3在雕刻时,防止光源涣散,提高效率。
本发明解决在装载材料与套板时,由于没有可以依据参考的实物件,故容易出现偏差,且由于激光雕刻时仍然会出现小幅振动,进而使材料与套板出现轻微错位,引起套刻误差,再者由于光源传播时环境的亮度会使其出现散射,影响效率的问题,本发明通过上述部件的互相组合,固定旋杆与螺纹座带有螺纹槽,两者相互配合用于固定稳定光聚装置,同时使定位块压紧材料板和套板,并固定翘板与压块契合稳定,防止压紧材料板和套板在光刻套刻期间由于振动而错位,进而减小套刻误差,扣环共有四个,且相互配合围绕光刻探头扣紧,同时形变板之间相互贴合,配合支撑板形成一个小空间,使光刻探头在雕刻时,防止光源涣散,提高效率。
以上仅描述了本发明的基本原理和优选实施方式,本领域人员可以根据上述描述作出许多变化和改进,这些变化和改进应该属于本发明的保护范围。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (5)
1.一种基于形变防止光散的套刻测量装置,其结构包括调节竖杆(1)、旋转器(2)、光刻探头(3)、置物座(4)、底座(5)、支撑杆(6),其特征在于: 所述调节竖杆(1)底部与底座(5)后端固定连接,所述调节竖杆(1)与底座(5)顶部相互垂直,所述置物座(4)底部与底座(5)顶部固定连接,所述底座(5)底部与支撑杆(6)顶部为螺纹连接,所述支撑杆(6)顶部与底座(5)底部为垂直连接,所述旋转器(2)右端与光刻探头(3)左端为一体化结构,所述旋转器(2)左端与调节竖杆(1)上端为活动连接; 所述置物座(4)由主框架(41)、固定旋杆(42)、螺纹座(43)、稳定光聚装置(44)、滑轨(45)组成,所述主框架(41)外壁与螺纹座(43)外壁相焊接,所述稳定光聚装置(44)底部与滑轨(45)内部为活动连接,所述固定旋杆(42)右端与稳定光聚装置(44)底部相贴合,所述固定旋杆(42)中端与螺纹座(43)内壁为螺纹连接,所述稳定光聚装置(44)顶部与主框架(41)上端相贯通。
2.根据权利要求1所述的一种基于形变防止光散的套刻测量装置,其特征在于:所述稳定光聚装置(44)由聚光扣(441)、定位夹(442)、支撑板(443)、滑块(444)组成,所述聚光扣(441)底部与支撑板(443)顶部固定连接,所述支撑板(443)中端与定位夹(442)外壁为机械连接,所述支撑板(443)底部与滑块(444)顶部相焊接,所述支撑板(443)与滑块(444)顶部相互垂直。
3.根据权利要求1所述的一种基于形变防止光散的套刻测量装置,其特征在于:所述稳定光聚装置(44)底部与滑轨(45)内部相连接,所述稳定光聚装置(44)设有滑块(444),所述滑块(444)底部与滑轨(45)内部相贴合。
4.根据权利要求2所述的一种基于形变防止光散的套刻测量装置,其特征在于:所述聚光扣(441)由扣环(4411)、固定块(4412)、形变板(4413)组成,所述扣环(4411)外壁与固定块(4412)内壁为一体化结构,所述固定块(4412)外壁与形变板(4413)上端固定链接,所述形变板(4413)底部与支撑板(443)顶部通过螺丝固定连接。
5.根据权利要求2所述的一种基于形变防止光散的套刻测量装置,其特征在于:所述定位夹(442)由固定翘板(4421)、压块(4422)、通孔(4423)、弹簧(4424)、定位块(4425)组成,所述固定翘板(4421)顶部与压块(4422)底部相贴合,所述压块(4422)右端与定位块(4425)左端相连接,所述定位块(4425)中端与弹簧(4424)做单为嵌入式连接,所述通孔(4423)外壁与支撑板(443)上端相贯通,所述通孔(4423)外壁与支撑板(443)内壁为卡槽连接。
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