CN109297927A - 光谱仪的装调装置及方法 - Google Patents
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Abstract
一种光谱仪的装调装置及方法，包括如下步骤：观察出射聚焦透镜后的光线不同位置处的光斑，固定准直透镜的位置；根据入射狭缝与线阵相机之间的角度关系，将反射镜与衍射光栅以预定角度进行相互固定；将反射镜及衍射光栅以同一轴线转动设置在壳体中，对反射镜及衍射光栅进行转动调节，直至衍射光栅的检测级所对应的衍射光会聚到线阵相机中；进行会聚透镜装调；及确定线阵相机的波长分布曲线。通过准直光线的主要部分经过反射镜后反射至衍射光栅；转动调节反射镜及衍射光栅，衍射光栅的检测级所对应的衍射光会聚到线阵相机中，从而避免了对反射镜及衍射光栅相对入射狭缝或线阵相机的角度进行重复调整，提高光谱仪在装调效率，有效提升光谱仪的产量。
Description
技术领域
本发明涉及光谱仪的装配技术，特别是涉及一种光谱仪的装调装置及方法。
背景技术
近红外光谱是20世纪30年代以来发展最快、最引人注目的光谱分析技术。近红外光谱以其速度快、不破坏样品、操作简单、稳定性好、效率高等特点，已广泛应用于各个领域，特别是在欧美及日本等发达国家，很多近红外光谱分析法已被列为标准方法。结合图1，部分光栅光谱仪的构造是由壳体(带入射狭缝)、准直透镜、反射镜、衍射光栅、会聚透镜、及线阵相机组成。光经过入射狭缝后，成为以入射狭缝为中心的发散光，经过焦点在入射狭缝的准直透镜后，变成平行光，平行光经反射镜反射，然后经过衍射光栅衍射，在不同衍射角上形成不同衍射级次，不同波长的光，衍射光通过会聚透镜聚焦到线阵相机，实现光谱的记录和/或输出。近红外光谱仪对各个部件的公差要求严格，安装误差对光谱仪的性能有很大影响，为满足公差要求，现有方案的光谱仪在装调过程中一般进行反复的调节，导致光谱仪在装调效率较低，对光谱仪的产量或应用造成影响。
发明内容
基于此，有必要针对光谱仪装调效率较低的问题，提供一种光谱仪的装调装置及方法。
一种光谱仪的装调装置，包括光斑检测组件、分光调节组件、光功率测量装置、及校正光源；所述光斑检测组件包括CCD相机、及连接所述CCD相机的检测镜头；所述分光调节组件包括支撑台、及转动设置在所述支撑台上的承载板。
上述光谱仪的装调装置，准直透镜出射的光束经过检测镜头聚焦到CCD相机的像面上，在CCD相机的像面上产生光斑，CCD相机根据光斑的光学特征而产生相应的电信号，为根据CCD相机所产生的电信号判断不同位置的光斑的光学特征是否相同，从而确定准直透镜是否安装准确。
在其中一个实施例中，所述光斑检测组件还包括位移台，所述位移台包括底板、及滑动设置在所述底板上的面板；所述CCD相机安装在所述面板上。
在其中一个实施例中，所述光斑检测组件还包括调节支架，所述CCD相机通过所述调节支架连接所述面板，所述调节支架包括连接所述面板的外筒、及穿设在所述外筒中的的内杆。
在其中一个实施例中，所述分光调节组件还包括设置在所述承载板上的第一安装条、及第二承载条；所述承载板上设有第一延伸槽、及第二延伸槽；所述第一安装条容置在所述第一延伸槽中，所述第二安装条容置在所述第二延伸槽中。
在其中一个实施例中，所述校正光源为汞氩灯。
一种光谱仪的装调方法，包括如下步骤：
观察出射聚焦透镜后的光线不同位置处的光斑，当不同位置处的光斑特征一致时，固定准直透镜的位置；
根据入射狭缝与线阵相机之间的角度关系，将反射镜与衍射光栅以预定角度进行相互固定；
将所述反射镜及所述衍射光栅以同一轴线转动设置在壳体中，对所述反射镜及所述衍射光栅进行转动调节，直至所述衍射光栅的检测级所对应的衍射光会聚到所述线阵相机中；
进行会聚透镜装调；及
确定所述线阵相机的波长分布曲线。
上述光谱仪的装调方法，通过将反射镜与衍射光栅以预定角度进行相互固定，确保准直光线的主要部分经过反射镜后反射至衍射光栅；转动调节反射镜及衍射光栅，衍射光栅的检测级所对应的衍射光会聚到线阵相机中，从而避免了对反射镜及衍射光栅相对入射狭缝或线阵相机的角度进行重复调整，提高了光谱仪在装调效率，有效提升光谱仪的产量。
在其中一个实施例中，观察出射所述聚焦透镜后的光线不同位置处的光斑时，根据当不同位置处的光斑尺寸的一致性，确认所述聚焦透镜是否准确放置；当不同位置处的光斑尺寸的大小不一致时，根据不同位置的光斑的尺寸的变化特性，对所述准直透镜的位置进行调整。
在其中一个实施例中，观察出射所述聚焦透镜后的光线不同位置处的光斑时，根据当不同位置处的光斑功率密度的一致性，确认所述聚焦透镜是否准确放置；当不同位置处的光斑功率密度不一致时，根据不同位置的光斑功率密度的变化特性，对所述准直透镜的位置进行调整。
在其中一个实施例中，将所述反射镜与所述衍射光栅以预定角度进行相互固定过程中，根据所述衍射光栅的检测级所对应的衍射角，以及所述入射狭缝与所述线阵相机之间的角度关系，确定反射镜和衍射光栅之间的预定角度。
在其中一个实施例中，在对所述反射镜及所述衍射光栅进行转动调节过程中，对从所述衍射光栅出射的零级衍射光进行检测，当接收到的光功率最小时，将所述反射镜及所述衍射光栅固定。
附图说明
图1为光谱仪的结构示意图；
图2为光谱仪的装调方法的流程图；
图3为光斑检测组件的立体示意图；
图4为图3所示的光斑检测组件的分解示意图；
图5为分光调节组件安装在光谱仪中的立体示意图；
图6为分光调节组件的分解示意图。
具体实施方式
为了便于理解本发明，下面将对本发明进行更全面的描述。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。
请参阅图1、图2及图5，本发明提供一种光谱仪的装调方法，用于对光谱仪600进行装配和调节，该光谱仪600包括壳体610、设置在壳体610中的准直透镜620、设置在壳体610中的反射镜630、设置在壳体610中的衍射光栅640、设置在壳体610中的会聚透镜650、及安装在壳体610上的线阵相机660。该光谱仪的精确装调方法包括如下步骤：
S10：观察出射聚焦透镜620后的光线不同位置处的光斑，当不同位置处的光斑特征一致时，固定准直透镜620的位置；
S20：根据入射狭缝611与线阵相机660之间的角度关系，将反射镜630与衍射光栅640以预定角度进行相互固定；
S30：将反射镜630及衍射光栅640以同一轴线转动设置在壳体610中，对反射镜630及衍射光栅640进行转动调节，直至衍射光栅640的检测级所对应的衍射光会聚到线阵相机660中；
S40：进行会聚透镜650装调；
S50：确定线阵相机660的波长分布曲线。
通过将反射镜630与衍射光栅640以预定角度进行相互固定，确保准直光线的主要部分经过反射镜630后反射至衍射光栅640；转动调节反射镜630及衍射光栅640，衍射光栅640的检测级所对应的衍射光会聚到线阵相机660中，从而避免了对反射镜630及衍射光栅640相对入射狭缝611或线阵相机660的角度进行重复调整，提高了光谱仪600在装调效率，有效提升光谱仪600的产量。
在其中一个实施方式中，为确认不同位置处的光斑特征一致，步骤S10具体还包括：
根据当不同位置处的光斑尺寸的一致性，确认聚焦透镜620是否准确放置；当不同位置处的光斑尺寸的大小不一致时，根据不同位置的光斑的尺寸的变化特性，调整准直透镜620的位置后，然后再次观察不同位置处的光斑尺寸；具体地，若在远离准直透镜620的方向上，光斑的尺寸渐大，则将准直透镜620向靠近入射狭缝611的方向移动；若在远离准直透镜620的方向上，光斑的尺寸渐小，则将准直透镜620向远离入射狭缝611的方向移动。
在其中一个实施方式中，为确认不同位置处的光斑特征一致，步骤S10具体包括：
根据当不同位置处的光斑功率密度的一致性，确认聚焦透镜620是否准确放置；当不同位置处的光斑功率密度不一致时，根据不同位置的光斑的功率密度的变化特性，调整准直透镜620的位置后，然后再次观察不同位置处的光斑功率密度；具体地，若在远离准直透镜620的方向上，光斑的功率密度渐大，则将准直透镜620向远离入射狭缝611的方向移动；若在远离准直透镜620的方向上，光斑的功率密度渐小，则将准直透镜620向靠近入射狭缝611的方向移动。
在其中一个实施方式中，为确定反射镜630与衍射光栅640之间的预定角度，步骤S20具体还包括：
根据衍射光栅640的检测级所对应的衍射角，以及入射狭缝611与线阵相机660之间的角度关系，确定反射镜630和衍射光栅640之间的预定角度；具体地，在本实施方式中，入射狭缝611与线阵相机660处于同一平面上，准直透镜620平行入射狭缝611的所在平面，会聚透镜650平行线阵相机660的像面，故出射准直透镜620与入射会聚透镜650的光线平行，衍射光栅640的检测级为一级，衍射光栅640的一级衍射光所对应的衍射角为θ，故垂直反射镜630的直线L可平分衍射角为θ，因而在本实施方式中，反射镜630和衍射光栅640之间的预定角度为0.5θ。
在其中一个实施方式中，为确保入射到会聚透镜650的与衍射光栅640检测级对应光线达到最强效果，S30具体还包括：
在对反射镜630及衍射光栅640进行转动调节过程中，对从衍射光栅640出射的零级衍射光进行检测，当接收到的光功率最小时，将反射镜630及衍射光栅640固定。
具体地，衍射光栅640的检测级为一级，通过调节衍射光栅640的角度，减弱零级衍射光的光强，令入射光的能力集中到一级衍射光，故在当接收到的零级衍射光光功率最小时，可确定一级衍射光的能量最强，从而使得从会聚透镜650的出射光最大程度地会聚到相机的像面上。
具体地，在步骤S50中，将校正光源放在与入射狭缝611对应处，校正光源产生的光线经过反射镜630及衍射光栅640后，产生的特征谱线经会聚透镜650入射到线阵相机660的像面；通过线阵相机660的探测，记录下各个谱线对应的线阵相机660像素坐标，在线阵相机660上，坐标为n的像素所对应的波长为：
λp(n)＝λ1+C1n+C2n2+C3n3 (1)
其中，λ1为第一个像素对应的波长，C1、C2、C3分别为线阵相机660所对应的一阶系数、二阶系数、三阶系数。校正光源的不同特征谱线所产生的λ1与n之间的对应关系进行三项拟合，从而可得出整个线阵相机660上的波长分布曲线。
请参阅图3至图6，上述光谱仪600的精确装调方法，基于一种光谱仪的装调装置，包括光斑检测组件20、分光调节组件30、光功率测量装置、及校正光源；光斑检测组件20包括CCD相机21、及连接CCD相机21的检测镜头22；分光调节组件30包括支撑台31、及转动设置在支撑台31上的承载板32。
准直透镜620出射的光束经过检测镜头22聚焦到CCD相机21的像面上，在CCD相机21的像面上产生光斑，CCD相机21根据光斑的光学特征而产生相应的电信号，为根据CCD相机21所产生的电信号判断不同位置的光斑的光学特征是否相同，光斑检测组件20还包括分析处理机构，分析处理机构接收CCD相机21所发出的电信号，并对不同位置的光斑的光学特征进行比较，从而确定准直透镜620是否安装准确；在本实施方式中，分析处理机构为电脑主机。
在将反射镜630与衍射光栅640以预定角度进行相互固定时，可分别将放射镜及衍射光栅640以预定角度安装在承载板32上，通过令承载板32相对转动支撑台31转动，即可实现对反射镜630及衍射光栅640进行的转动调节；具体地，支撑台31设置在壳体610中。
请参阅图3及图4，在其中一个实施方式中，为方便调节CCD相机21及检测镜头22的位置，以从不同位置，检测从准直透镜620射出后的光斑，光斑检测组件20还包括位移台23，位移台23包括底板231、及滑动设置在底板231上的面板232；CCD相机21安装在面板232上；具体地，为使面板232与底板231滑动连接，位移台23还包括安装在底板231上的导轨233，面板232通过导轨233滑动设置在底板231上；在利用CCD相机21及检测镜头22对从准直透镜620出射的光束的光斑特征进行检测时，将底板231安装到与准直透镜620对应的位置，导轨233的滑动方向与入射狭缝611到准直透镜620的方向平行，通过使面板232滑动到不同位置，当CCD相机21接收到光斑的光学特征在面板232滑动过程中保持不变，即可确定准直透镜620安装准确。
在其中一个实施方式中，为方便调节CCD相机21的高度，以使检测镜头22能准确对应准直透镜620出射的光束，光斑检测组件20还包括调节支架24，CCD相机21通过调节支架24连接面板232，调节支架24包括连接面板232的外筒241、及穿设在外筒241中的的内杆242；具体地，调节支架24还包括穿设在外筒241上的连接件243，通过连接件243对内杆242的挤压，从而锁定CCD相机21或检测镜头22相对面板232的高度。
请参阅图5及图6，在其中一个实施方式中，为在对反射镜630及衍射光栅640进行转动调节后，能确保反射镜630能将准直光束主体反射衍射光栅640，以及将衍射光栅640出射的衍射光能准确到达线阵相机660的像面，分光调节组件30还包括设置在承载板32上的第一安装条33、及第二承载条34。
承载板32上设有第一延伸槽321、及第二延伸槽322；第一安装条33容置在第一延伸槽321中，第二安装条34容置在第二延伸槽322中；反射镜630安装在第一安装条33上，衍射光栅640安装在第二安装条34上；具体地，第一延伸槽321与第二延伸槽322的夹角与根据入射狭缝611与线阵相机660之间的角度关系设定，从而确保在第一安装条33在第一延伸槽321中滑动时，或第二安装条34在第二延伸槽322中滑动时，反射镜630与衍射光栅640之间的夹角不变；通过调节第一安装条33在第一延伸槽321中的位置，或第二安装条34在第二延伸槽322中的位置，从而确保反射镜630能将准直光束主体反射衍射光栅640，以及将衍射光栅640出射的衍射光能准确到达线阵相机660的像面。
在其中一个实施方式中，为检测从衍射光栅640的零级出射的光强，光功率检测装置为光功率计。
在其中一个实施方式中，校正光源为汞氩灯。
通过利用检测镜头22及CCD相机21观察出射聚焦透镜620后的光线不同位置处的光斑，当不同位置处的光斑特征一致时，固定准直透镜620的位置，从而提升准直透镜620的安装精度，确保准直透镜620的准直效果。
本实施例中，通过将反射镜与衍射光栅以预定角度进行相互固定，确保准直光线的主要部分经过反射镜后反射至衍射光栅；转动调节反射镜及衍射光栅，衍射光栅的检测级所对应的衍射光会聚到线阵相机中，从而避免了对反射镜及衍射光栅相对入射狭缝或线阵相机的角度进行重复调整，提高了光谱仪在装调效率，有效提升光谱仪的产量。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种光谱仪的装调装置，其特征在于，包括光斑检测组件、分光调节组件、光功率测量装置、及校正光源；所述光斑检测组件包括CCD相机、及连接所述CCD相机的检测镜头；所述分光调节组件包括支撑台、及转动设置在所述支撑台上的承载板。
2.根据权利要求1所述的光谱仪的装调装置，其特征在于，所述光斑检测组件还包括位移台，所述位移台包括底板、及滑动设置在所述底板上的面板；所述CCD相机安装在所述面板上。
3.根据权利要求2所述的光谱仪的装调装置，其特征在于，所述光斑检测组件还包括调节支架，所述CCD相机通过所述调节支架连接所述面板，所述调节支架包括连接所述面板的外筒、及穿设在所述外筒中的的内杆。
4.根据权利要求1所述的光谱仪的装调装置，其特征在于，所述分光调节组件还包括设置在所述承载板上的第一安装条、及第二承载条；所述承载板上设有第一延伸槽、及第二延伸槽；所述第一安装条容置在所述第一延伸槽中，所述第二安装条容置在所述第二延伸槽中。
5.根据权利要求1所述的光谱仪的装调装置，其特征在于，所述校正光源为汞氩灯。
6.一种光谱仪的装调方法，其特征在于，包括如下步骤：
观察出射聚焦透镜后的光线不同位置处的光斑，当不同位置处的光斑特征一致时，固定准直透镜的位置；
根据入射狭缝与线阵相机之间的角度关系，将反射镜与衍射光栅以预定角度进行相互固定；
将所述反射镜及所述衍射光栅以同一轴线转动设置在壳体中，对所述反射镜及所述衍射光栅进行转动调节，直至所述衍射光栅的检测级所对应的衍射光会聚到所述线阵相机中；
进行会聚透镜装调；及
确定所述线阵相机的波长分布曲线。
7.根据权利要求6所述的光谱仪的装调方法，其特征在于，观察出射所述聚焦透镜后的光线不同位置处的光斑时，根据当不同位置处的光斑尺寸的一致性，确认所述聚焦透镜是否准确放置；当不同位置处的光斑尺寸的大小不一致时，根据不同位置的光斑的尺寸的变化特性，对所述准直透镜的位置进行调整。
8.根据权利要求6所述的光谱仪的装调方法，其特征在于，观察出射所述聚焦透镜后的光线不同位置处的光斑时，根据当不同位置处的光斑功率密度的一致性，确认所述聚焦透镜是否准确放置；当不同位置处的光斑功率密度不一致时，根据不同位置的光斑功率密度的变化特性，对所述准直透镜的位置进行调整。
9.根据权利要求6所述的光谱仪的装调方法，其特征在于，将所述反射镜与所述衍射光栅以预定角度进行相互固定过程中，根据所述衍射光栅的检测级所对应的衍射角，以及所述入射狭缝与所述线阵相机之间的角度关系，确定反射镜和衍射光栅之间的预定角度。
10.根据权利要求6所述的光谱仪的装调方法，其特征在于，在对所述反射镜及所述衍射光栅进行转动调节过程中，对从所述衍射光栅出射的零级衍射光进行检测，当接收到的光功率最小时，将所述反射镜及所述衍射光栅固定。
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110346041A (zh) * | 2019-07-16 | 2019-10-18 | 昆山书豪仪器科技有限公司 | 一种光谱仪 |
| WO2020037997A1 (zh) * | 2018-08-21 | 2020-02-27 | 深圳市太赫兹科技创新研究院 | 光谱仪的装调装置及方法 |
| CN111426384A (zh) * | 2020-03-31 | 2020-07-17 | 执鼎医疗科技（杭州）有限公司 | 用于频域oct系统的光谱仪装置及其调试安装方法 |
| CN112379570A (zh) * | 2020-11-25 | 2021-02-19 | 东莞埃科思科技有限公司 | 一种投影机装调方法和装置 |
| CN116482867A (zh) * | 2023-06-25 | 2023-07-25 | 中国科学院上海高等研究院 | 一种光束线站的自动反馈调光系统及方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10040813A1 (de) * | 2000-08-21 | 2002-03-21 | Zeiss Carl | Spektrometeranordnung |
| CN2687911Y (zh) * | 2003-12-31 | 2005-03-23 | 南开大学 | 可调谐光栅外腔半导体激光器 |
| CN101135575A (zh) * | 2007-10-15 | 2008-03-05 | 中国科学技术大学 | 具有双反射镜的直接计数式变栅距单光栅光位移传感器 |
| CN102706830A (zh) * | 2012-03-26 | 2012-10-03 | 北京空间机电研究所 | 一种固定光栅的Czerny-Turner型光纤光谱仪 |
| CN105444993A (zh) * | 2014-08-28 | 2016-03-30 | 汉口学院 | 一种光学系统综合性能测试仪 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102155990B (zh) * | 2011-03-28 | 2012-09-19 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种中阶梯光栅光谱仪的装调方法 |
| CN103199439B (zh) * | 2013-03-26 | 2015-06-10 | 温州泛波激光有限公司 | 半导体激光装置 |
| CN104062007B (zh) * | 2014-06-05 | 2016-02-17 | 深圳先进技术研究院 | 手机光谱仪模块及具有该手机光谱仪模块的手机光谱仪 |
| CN104280121B (zh) * | 2014-10-21 | 2016-05-25 | 中国科学院光电研究院 | 一种大孔径空间外差干涉光谱成像仪装调方法 |
| TWI546523B (zh) * | 2015-09-04 | 2016-08-21 | 財團法人國家實驗研究院 | 多波段光譜分離裝置 |
| CN106329305A (zh) * | 2016-08-23 | 2017-01-11 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 一种基于平行光栅对的可快速调谐的色散补偿装置 |
| CN107706736A (zh) * | 2017-10-23 | 2018-02-16 | 深圳市杰普特光电股份有限公司 | 半导体激光器快轴准直设备 |
| CN109297927B (zh) * | 2018-08-21 | 2020-10-13 | 深圳市太赫兹科技创新研究院 | 光谱仪的装调装置及方法 |
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Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10040813A1 (de) * | 2000-08-21 | 2002-03-21 | Zeiss Carl | Spektrometeranordnung |
| CN2687911Y (zh) * | 2003-12-31 | 2005-03-23 | 南开大学 | 可调谐光栅外腔半导体激光器 |
| CN101135575A (zh) * | 2007-10-15 | 2008-03-05 | 中国科学技术大学 | 具有双反射镜的直接计数式变栅距单光栅光位移传感器 |
| CN102706830A (zh) * | 2012-03-26 | 2012-10-03 | 北京空间机电研究所 | 一种固定光栅的Czerny-Turner型光纤光谱仪 |
| CN105444993A (zh) * | 2014-08-28 | 2016-03-30 | 汉口学院 | 一种光学系统综合性能测试仪 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 周辉: "小型高分辨率平场凹面光栅光谱仪的研究", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库》 * |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020037997A1 (zh) * | 2018-08-21 | 2020-02-27 | 深圳市太赫兹科技创新研究院 | 光谱仪的装调装置及方法 |
| CN110346041A (zh) * | 2019-07-16 | 2019-10-18 | 昆山书豪仪器科技有限公司 | 一种光谱仪 |
| CN111426384A (zh) * | 2020-03-31 | 2020-07-17 | 执鼎医疗科技（杭州）有限公司 | 用于频域oct系统的光谱仪装置及其调试安装方法 |
| CN111426384B (zh) * | 2020-03-31 | 2022-12-27 | 执鼎医疗科技（杭州）有限公司 | 用于频域oct系统的光谱仪装置及其调试安装方法 |
| CN112379570A (zh) * | 2020-11-25 | 2021-02-19 | 东莞埃科思科技有限公司 | 一种投影机装调方法和装置 |
| CN112379570B (zh) * | 2020-11-25 | 2022-05-03 | 东莞埃科思科技有限公司 | 一种投影机装调方法 |
| CN116482867A (zh) * | 2023-06-25 | 2023-07-25 | 中国科学院上海高等研究院 | 一种光束线站的自动反馈调光系统及方法 |
| CN116482867B (zh) * | 2023-06-25 | 2023-08-22 | 中国科学院上海高等研究院 | 一种光束线站的自动反馈调光系统及方法 |
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