CN109269986B - 相控阵激光超声检测系统 - Google Patents

相控阵激光超声检测系统 Download PDF

Info

Publication number
CN109269986B
CN109269986B CN201811140322.0A CN201811140322A CN109269986B CN 109269986 B CN109269986 B CN 109269986B CN 201811140322 A CN201811140322 A CN 201811140322A CN 109269986 B CN109269986 B CN 109269986B
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
ultrasonic
optical fiber
array
phased array
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201811140322.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109269986A (zh
Inventor
丁辉
晏井利
李家奇
戴挺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Southeast University
Original Assignee
Southeast University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Southeast University filed Critical Southeast University
Priority to CN201811140322.0A priority Critical patent/CN109269986B/zh
Publication of CN109269986A publication Critical patent/CN109269986A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109269986B publication Critical patent/CN109269986B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/1702Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with opto-acoustic detection, e.g. for gases or analysing solids
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/24Probes
    • G01N29/2418Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/24Probes
    • G01N29/2418Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics
    • G01N29/2425Probes using optoacoustic interaction with the material, e.g. laser radiation, photoacoustics optoacoustic fluid cells therefor

Abstract

本发明公开了一种相控阵激光超声检测系统,它包括超声相控阵发射系统、接收系统以及控制系统,超声相控阵发射系统包括用于产生多束延时射出的光路的激光器组件、将多束光路输出形成所需阵列的线阵光纤组件或面阵光纤组件,线阵光纤组件或面阵光纤组件激励产生的超声波束角度可调且焦距可变,控制系统包括数据采集卡以及与数据采集卡电路连接的计算机。本发明激光超声相控阵技术可以实现超声声束在二维平面内的任意入射角度的偏转和聚焦,从而完成不同深度区域的检测;基于激光超声相控阵检测技术可以实现熔池内部流动、熔池内部轮廓、底部未熔合、内部夹渣和气孔的检验;通过检测结果调整打印工艺可以实现零件制造质量。

Description

相控阵激光超声检测系统
技术领域
本发明属于增材制造在线监测技术领域,特别涉及一种相控阵激光超声检测系统。
背景技术
直接能量沉积(Direct Energy Deposition, DED)技术是金属增材制造的主流方法,通过激光、等离子、电子束等热源,在沉积区域产生熔池并高速移动,熔化同步送进的材料粉末或丝,逐层沉积从而实现任意复杂形状零件的净近成形。然而,由于制造工艺设计不合理、设备长期运行稳定性以及外界环境等因素,金属增材制件不可避免的存在工艺缺陷,制约金属增材制造技术的发展和应用。
国内外一直致力于增材制造在线监测技术的研究,期望实现制造过程的闭环控制,从而避免工艺缺陷的产生。如采用在线超声检测模块监测打印层孔隙率、采用超声表面波在线检测冶金缺陷等、采用光学摄像头和红外热像技术观察熔池表面形貌、温度场分布等。然而,熔池内部质量的监测才是实现高质量打印的关键,典型缺陷如气孔、裂纹和未熔等大多在熔化和凝固过程产生;熔池内部流动状态以及熔化和凝固过程的液固界面推移与打印参数密切相关。所以,在线监测熔池内部状态对实现增材制造在线监测和闭环控制的至关重要。
非接触式超声波检测技术,包括激光超声、电磁超声和空气耦合超声等是实现增材制造过程内部质量检验的潜在手段,特别是激光超声可以实现高空间分辨率的检测。但是应用到增材制造在线监测还需要考虑到如何激励激光以获得到指定角度、频率和波型的超声波、如何对熔池内部的超声信号进行分析以及检测系统如何与增材制造系统融合等问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种可以实现金属增材制造过程中熔池深度、熔池底部未熔合、熔池内部气孔和夹渣的在线检测,从而调整打印工艺减小缺陷出现几率,提高工件的打印质量的相控阵激光超声检测系统。
为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:一种相控阵激光超声检测系统,它包括超声相控阵发射系统、接收系统以及控制系统,所述超声相控阵发射系统包括用于产生多束延时射出的光路的激光器组件、将多束所述光路输出形成所需阵列的线阵光纤组件或面阵光纤组件,线阵光纤组件或面阵光纤组件激励产生的超声波束角度可调且焦距可变,所述控制系统包括数据采集卡以及与数据采集卡电路连接的计算机。
优化的,所述激光器组件包括连续激光器、用于将所述连续激光器发射出的光路转换为多束光路并延时发出的皮秒激光开关以及用于连接连续激光器和线阵光纤组件或面阵光纤组件的光纤耦合接头。
优化的,所述激光器组件包括脉冲激光器、用于动态调节所述光纤阵列长度的压电膨胀器,至少有部分光纤的中段绕于所述压电膨胀器上,所有所述光纤的一端部与所述脉冲激光器连接,另一端部按线阵或面阵排布。
优化的,所述激光器组件包括脉冲激光器、与至少部分光纤连接的光学延迟线,所有所述光纤的一端部与所述光学延迟线连接,另一端部按线阵或面阵排布。
优化的,所述面阵光纤组件包括二维面阵光纤组,且二维面阵光纤组输出端为多根长度一致并按照一定间距排列成矩形阵列或环形阵列。
优化的,所述面阵光纤组件包括用来实现增材制造对象的表面的点聚焦、线聚焦或面聚焦的光阑和聚焦镜。
优化的,所述计算机具有相控阵超声延长法则控制模块、超声数据扇形成像模块以及信号分析反馈模块。
优化的,所述接收系统包括接受光纤、光纤耦合接头以及激光干涉仪;或其包括振镜组件和激光干涉仪,所述激光干涉仪为具有亚皮秒级精度的干涉仪或激光拾振仪,
优化的,所述激光干涉仪可以替换为:具有非接触式接收超声波功能的电磁超声探头和空气耦合超声探头。
本发明的有益效果在于:提出的激光超声相控阵技术可以实现超声声束在二维平面内的任意入射角度的偏转和聚焦,从而完成不同深度区域的检测;基于激光超声相控阵检测技术可以实现熔池内部流动、熔池内部轮廓、底部未熔合、内部夹渣和气孔的检验;通过检测结果调整打印工艺可以实现零件制造质量。
附图说明
图1 本发明的结构示意图;
图2 (a)本发明中二维面阵激光激励点延迟法则示意图;
图2 (b)一维线阵激光激励点延迟法则示意图;
图3 本发明的熔池深度测量原理图;
图4 本发明的熔池底部未熔合检测原理图;
图5 本发明的熔池内部夹渣和气体检测原理图。
具体实施方式
下面结合附图所示的实施例对本发明作以下详细描述:
实施例一
如图1所示,相控阵激光超声检测系统包括超声相控阵发射系统、接收系统以及控制系统。
所述超声相控阵发射系统包括用于产生多束延时射出的光路的激光器组件、将多束所述光路输出形成所需阵列的面阵光纤组件。
所述激光器组件可以有以下三种组成方案:
1.它包括连续激光器、用于将所述连续激光器发射出的光路转换为多束光路并延时发出的皮秒激光开关以及用于连接连续激光器和线阵光纤组件或面阵光纤组件的光纤耦合接头;2.它包括脉冲激光器、用于动态调节所述光纤阵列长度的压电膨胀器,至少有部分光纤的中段绕于所述压电膨胀器上,所有所述光纤的一端部与所述脉冲激光器连接,另一端部按线阵或面阵排布;3.它包括脉冲激光器、与至少部分光纤连接的光学延迟线,所有所述光纤的一端部与所述光学延迟线连接,另一端部按线阵或面阵排布。
在本实施例中,所述激光器组件包括连续激光器1、用于将所述连续激光器发射出的光路转换为多束光路的皮秒激光开关2、用于连接连续激光器1和线阵光纤组件或面阵光纤组件的光纤耦合接头3。面阵光纤组件可根据需求换成线阵光线组件,在本实施例中,面阵光纤组件包括二维面阵光纤组4、用来实现增材制造对象的表面的点聚焦、线聚焦或面聚焦的光阑5和聚焦镜6,聚焦镜也可根据需求换成柱镜,二维面阵光纤组4输出端为多根长度一致并按照一定间距排列成矩形阵列或环形阵列。二维面阵光纤组和接收光纤均与同轴送粉/丝喷嘴8固定,可以分布在其同侧或者异侧,以实现熔池熔化和凝固过程的在线和实时检测,也可以采用振镜系统跟随同轴送粉/丝喷嘴扫查。
所述接收系统包括接受光纤10、光纤耦合接头11、激光干涉仪12。激光干涉仪为具有亚皮秒级精度的干涉仪或激光拾振仪,亦或为具有非接触式接收超声波功能的电磁超声探头和空气耦合超声探头。
所述控制系统包括数据采集卡13以及与数据采集卡13电路连接的计算机14。计算机14具有相控阵超声延长法则控制模块、超声数据扇形成像模块以及信号分析反馈模块。
利用上述装备进行金属增材制造熔池内部质量在线监测方法包括以下步骤:
S1.根据增材制造工艺参数预估熔池深度范围;
S2.根据熔池参数设计相控阵超声聚焦法则;
S3.基于所设计的聚焦法则,利用计算机软件实现光开关的延时控制;
S4.利用激励光斑的延时控制,实现不同聚焦深度超声波的时序发射;
S5.利用非接触式超声拾振装置接收穿过熔池界面的超声信号;
S6.利用计算机软件对超声信号进行扇扫成像;
S7.对接收到的超声信号和图像进行实时分析,获得液固界面回波、缺陷回波等检测信息,并反馈打印系统;
S8.跟随喷嘴移动扫查,重复以上超声激励和接收步骤,完成打印检测。
具体而言,上述激光超声的激励过程为:首先连续激光器1发射具有一定波长和功率的激光束;激光束经过皮秒级光开关2分散成N束激光束,并且这N束激光是按照一定的延迟法则来实现不同激光束的发射时间;N束激光通过N条光纤组合4进入增材制造腔体9内部并按照二维阵列形式排列输出照射在打印工件7的表面;如果需要实现特殊的点聚焦、线聚焦或者矩阵聚焦,则通过光澜5和聚焦镜6进一步调节;由于阵列式激光按照一定的延时照射在打印工件7表面,则在打印工件7内部可以形成特定偏转角度和焦点位置的超声波,用于内部质量检测。激光超声的接收过程为:当超声进入熔池后,受到熔池内部气孔和夹渣的散射,以及底部液固界面的反射等,利用激光干涉仪12在工件表面接收这些信号、然后利用数据采集卡13进行数模转换,并将数据传输至计算机14,实现超声信号的成像和分析,并反馈检测结果。
激光超声相控阵延迟法则的设计原理如图2(a)所示,以二维激光激励点阵面的中心为原点o,激励点阵中心和熔池中心线间距a、预估熔池深度d,在深度2d范围内,设置K个不同深度焦点,焦点Fi(i=1…K)坐标为(a,0, -di);计算二维整列上每个激光激励点(xn,yn,0)到焦点Fi处的声程,形成矩阵M*M矩阵Si;利用声程矩阵Si除以声速,即得到每个激光激励点到焦点Fi处的时间延迟法则;重复上述步骤,获得K组时间延迟法则,并导入控制软件实现相控阵超声激励。图2(b)为一维线阵情况,其延迟法则设计原理与二维情况一致。
熔池深度测量原理如图3所示,激励点和接收点的间距为2a,斜入射的超声波经过底部液固界面反射到接收点,通过记录超声传播时间,乘以超声传播速度得到声程s,利用三角函数关系,得到熔池深度。
熔池底部未熔合检测原理如图4所示,当不存在未熔合时,熔池与基体液固界面完好,对超声反射作用强烈,当存在未熔时,未熔粉末对超声具有吸收作用,则反射波幅会大大降低,所以根据反射波幅可以判断是否存在未熔合。检测时,将完全熔合位置的超声反射回波设置屏幕的80%,进行扫查监测,如果反射波幅低于40%,即可判定出现未熔合,不低于40%,即可判定熔合。
熔池内部气孔和夹渣检测示意图如图5所示,通过阵列激光可以控制超声发射至不同深度的聚焦点,即具有一定的发射角度。通过收集发射到每个聚焦点的波形数组,并以相应的角度对波形数组进行旋转,构建二维矩阵成扇扫图,如图5所示,通过工件与图像的叠合,可以快速判断缺陷的深度、位置,并动态地观察缺陷在熔池中的运动。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施,并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种利用相控阵激光超声检测系统进行监测的方法,相控阵激光超声检测系统包括超声相控阵发射系统、接收系统以及控制系统,其特征在于:所述超声相控阵发射系统包括用于产生多束延时射出的光路的激光器组件、将多束所述光路输出形成所需阵列的线阵光纤组件或面阵光纤组件,线阵光纤组件或面阵光纤组件激励产生的超声波束角度可调且焦距可变,所述控制系统包括数据采集卡以及与数据采集卡电路连接的计算机,利用相控阵激光超声检测系统进行金属增材制造熔池内部质量在线监测方法包括以下步骤:
S1.根据增材制造工艺参数预估熔池深度范围;
S2.根据熔池参数设计相控阵超声聚焦法则;
S3.基于所设计的聚焦法则,利用计算机软件实现光开关的延时控制;
S4.利用激励光斑的延时控制,实现不同聚焦深度超声波的时序发射;
S5.利用非接触式超声拾振装置接收穿过熔池界面的超声信号;
S6.利用计算机软件对超声信号进行扇扫成像;
S7.对接收到的超声信号和图像进行实时分析,获得液固界面回波、缺陷回波检测信息,并反馈打印系统;
S8.跟随喷嘴移动扫查,重复以上超声激励和接收步骤,完成打印检测。
2.根据权利要求1所述的利用相控阵激光超声检测系统进行监测的方法,其特征在于:所述激光器组件包括连续激光器、用于将所述连续激光器发射出的光路转换为多束光路并延时发出的皮秒激光开关以及用于连接连续激光器和线阵光纤组件或面阵光纤组件的光纤耦合接头。
3.根据权利要求1所述的利用相控阵激光超声检测系统进行监测的方法,其特征在于:所述激光器组件包括脉冲激光器、用于动态调节所述光纤阵列长度的压电膨胀器,至少有部分光纤的中段绕于所述压电膨胀器上,所有所述光纤的一端部与所述脉冲激光器连接,另一端部按线阵或面阵排布。
4.根据权利要求1所述的利用相控阵激光超声检测系统进行监测的方法,其特征在于:所述激光器组件包括脉冲激光器、与至少部分光纤连接的光学延迟线,所有所述光纤的一端部与所述光学延迟线连接,另一端部按线阵或面阵排布。
5.根据权利要求1所述的利用相控阵激光超声检测系统进行监测的方法,其特征在于:所述面阵光纤组件包括二维面阵光纤组,且二维面阵光纤组输出端为多根长度一致并按照一定间距排列成矩形阵列或环形阵列。
6.根据权利要求1所述的利用相控阵激光超声检测系统进行监测的方法,其特征在于:所述面阵光纤组件包括用来实现增材制造对象的表面的点聚焦、线聚焦或面聚焦的光阑和聚焦镜。
7.根据权利要求1所述的利用相控阵激光超声检测系统进行监测的方法,其特征在于:所述计算机具有相控阵超声延长法则控制模块、超声数据扇形成像模块以及信号分析反馈模块。
8.根据权利要求1所述的利用相控阵激光超声检测系统进行监测的方法,其特征在于:所述接收系统包括接受光纤、光纤耦合接头以及激光干涉仪;或其包括振镜组件和激光干涉仪,所述激光干涉仪为具有亚皮秒级精度的干涉仪或激光拾振仪。
9.根据权利要求8所述的利用相控阵激光超声检测系统进行监测的方法,其特征在于:所述激光干涉仪可以替换为:具有非接触式接收超声波功能的电磁超声探头和空气耦合超声探头。
CN201811140322.0A 2018-09-28 2018-09-28 相控阵激光超声检测系统 Active CN109269986B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811140322.0A CN109269986B (zh) 2018-09-28 2018-09-28 相控阵激光超声检测系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811140322.0A CN109269986B (zh) 2018-09-28 2018-09-28 相控阵激光超声检测系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109269986A CN109269986A (zh) 2019-01-25
CN109269986B true CN109269986B (zh) 2021-12-24

Family

ID=65198668

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811140322.0A Active CN109269986B (zh) 2018-09-28 2018-09-28 相控阵激光超声检测系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN109269986B (zh)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110082655A (zh) * 2019-05-13 2019-08-02 国网北京市电力公司 可视化设备检测方法及仪器及其在智能电网中的应用
CN110658260B (zh) * 2019-09-29 2022-02-01 北京星航机电装备有限公司 一种增材制造点阵结构蒙皮与点阵端点未连接缺陷相控阵超声检测系统及方法
CN111610257B (zh) * 2020-05-18 2021-07-20 武汉大学 一种金属增材制造非均质组织的阵列超声聚焦成像修正方法
CN111595949B (zh) * 2020-05-18 2021-07-20 武汉大学 一种自适应不规则表面的激光超声成像检测系统及检测方法
CN111830134A (zh) * 2020-07-15 2020-10-27 上海工程技术大学 一种超声无损检测系统
CN112945863A (zh) * 2021-02-02 2021-06-11 上海工程技术大学 一种增材制造合金材料的力学性能无损检测系统及方法
CN113030264A (zh) * 2021-03-22 2021-06-25 上海航天设备制造总厂有限公司 一种3d打印在线缺陷检测的多振镜快速同步扫描装置
CN113155967A (zh) * 2021-04-22 2021-07-23 上海工程技术大学 一种相控阵非线性激光超声检测系统
CN113533363A (zh) * 2021-04-30 2021-10-22 中广核检测技术有限公司 一种pbf增材制造同轴光路在线扫查的装置及方法
CN114018821A (zh) * 2021-09-18 2022-02-08 宝宇(武汉)激光技术有限公司 一种光纤双频干涉激光超声探伤设备及方法
CN114295731B (zh) * 2021-12-28 2023-02-21 杭州电子科技大学 一种基于激光激励纵波测量亚表面缺陷深度的方法
CN115112636B (zh) * 2022-06-29 2023-06-16 哈尔滨工业大学 一种基于相位控制阵列激光集束激励的光热三维特征重构系统和重构方法
CN115922061A (zh) * 2022-12-07 2023-04-07 长沙大科激光科技有限公司 基于超声实时测量的铜铝异种金属搭接焊方法
CN116429700A (zh) * 2023-03-13 2023-07-14 哈尔滨工业大学(威海) 一种增材钛合金激光电磁超声缺陷检测系统及激光电磁超声saft成像检测方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101329427A (zh) * 2007-09-06 2008-12-24 北京高光科技有限公司 光纤延伸器
JP2010230558A (ja) * 2009-03-27 2010-10-14 Nippon Steel Corp レーザパルスビームの熱弾性効果を用いたレーザ超音波検査方法
US9164066B1 (en) * 2012-06-19 2015-10-20 The Boeing Company Laser ultrasound array system
CN106124621A (zh) * 2016-06-13 2016-11-16 华中科技大学 一种适用于电子束熔丝增材制造的电磁超声监测系统
CN106596732A (zh) * 2016-12-14 2017-04-26 西安交通大学 基于高能光纤阵列束传输的激光超声增强激励系统及方法
CN107102061A (zh) * 2017-05-17 2017-08-29 大连理工大学 金属材料高能束增减材‑在线激光超声检测复合加工方法
CN108448252A (zh) * 2018-02-09 2018-08-24 大连理工大学 一种大带宽、大角度、连续扫描光控相控阵天线接收装置及方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105834423B (zh) * 2016-05-12 2021-04-13 武汉天昱智能制造有限公司 一种基于增材制造加工的在线分层检测方法
CN106018288B (zh) * 2016-06-17 2019-01-11 中国航空工业集团公司北京航空材料研究院 激光超声在线无损检测增材制造零件的方法
CN107402044B (zh) * 2017-07-28 2019-11-22 华中科技大学 一种金属增材制造构件质量在线无损检测系统及方法
CN108444921B (zh) * 2018-03-19 2021-02-26 长沙理工大学 一种基于信号相关分析的增材制造构件在线检测方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101329427A (zh) * 2007-09-06 2008-12-24 北京高光科技有限公司 光纤延伸器
JP2010230558A (ja) * 2009-03-27 2010-10-14 Nippon Steel Corp レーザパルスビームの熱弾性効果を用いたレーザ超音波検査方法
US9164066B1 (en) * 2012-06-19 2015-10-20 The Boeing Company Laser ultrasound array system
CN106124621A (zh) * 2016-06-13 2016-11-16 华中科技大学 一种适用于电子束熔丝增材制造的电磁超声监测系统
CN106596732A (zh) * 2016-12-14 2017-04-26 西安交通大学 基于高能光纤阵列束传输的激光超声增强激励系统及方法
CN107102061A (zh) * 2017-05-17 2017-08-29 大连理工大学 金属材料高能束增减材‑在线激光超声检测复合加工方法
CN108448252A (zh) * 2018-02-09 2018-08-24 大连理工大学 一种大带宽、大角度、连续扫描光控相控阵天线接收装置及方法

Non-Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Bao Mi等.IMPLEMENTATION OF FIBER PHASED ARRAY ULTRASOUND GENERATION SYSTEM AND SIGNAL ANALYSIS FOR WELD PENETRATION CONTROL.《http://smartech.gatech.edu/bitstream/handle/1853/5275/mi_bao_200311.pdf?sequence=1&isALLOWED=Y》.2016,第2,15-18,25-27,41页. *
Cracks measurement using fiber-phased array laser ultrasound generation;Cuixiang Pei等;《JOURNAL OF APPLIED PHYSICS》;20130422;第113卷;"A. Overall system design and setup",图1 *
Cuixiang Pei等.Cracks measurement using fiber-phased array laser ultrasound generation.《JOURNAL OF APPLIED PHYSICS》.2013,第113卷第163101-1~7页. *
Generation of a steerable ultrasonic beam using a phased array of low power semiconductor laser sources and fiber optic delivery;C I Swift等;《Smart Mater. Struct. 》;20070413;第16卷;全文 *
IMPLEMENTATION OF FIBER PHASED ARRAY ULTRASOUND GENERATION SYSTEM AND SIGNAL ANALYSIS FOR WELD PENETRATION CONTROL;Bao Mi等;《http://smartech.gatech.edu/bitstream/handle/1853/5275/mi_bao_200311.pdf?sequence=1&isALLOWED=Y》;20160809;第2,15-18,25-27,41页 *
Non-contact optical fibre phased array generation of ultrasound for non-destructive evaluation of materials and processes;J. Yang等;《Ultrasonics》;19931231;第31卷(第6期);全文 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN109269986A (zh) 2019-01-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109269986B (zh) 相控阵激光超声检测系统
CN109269985B (zh) 金属移动熔池内部缺陷的高频超声在线监测方法
CN101852774B (zh) 探伤系统及探伤方法
CN109269439B (zh) 金属熔池内部轮廓在线测量设备及方法
CN111610254B (zh) 一种基于高速振镜协同的激光超声全聚焦成像检测装置及方法
CN108169331B (zh) 薄板栅格翼结构焊缝相控阵超声检测装置及检测方法
CN112304870B (zh) 一种点对点式激光超声的pbf增材制造在线检测系统和方法
CN101281172A (zh) 激光声表面波应力测试系统
CN113118461B (zh) 3d打印过程中检查3d打印物体的打印质量的方法和装置,及3d打印系统
CN102866144A (zh) 固体材料表面疲劳裂纹的无损检测方法
JP2019143992A (ja) 鋳造品の検査方法および検査装置
JP2009115830A (ja) レーザ超音波検査装置
KR101746922B1 (ko) 전영역 펄스-에코 레이저 초음파전파영상화 장치 및 방법
CN109682759A (zh) 一种实现超声快速扫描和定点聚焦的激光超声激发与检测系统及方法
CN110687204A (zh) 一种激光超声检测的方法及装置
KR101698746B1 (ko) 위상배열초음파탐사장치 및 이를 이용한 비파괴검사방법
CN102608209B (zh) 爆炸焊接复合材料界面波纹的超声检测设备及其检测方法
CN109799191B (zh) 固体材料粗糙表面声扰动的光学非接触检测装置及方法
CN211627451U (zh) 一种激光超声检测的装置
WO2022254805A1 (ja) 欠陥検出装置及び欠陥検出方法
JP2002257793A (ja) レーザ超音波検査装置
EP1049071B1 (en) Multieyed acoustical microscopic lens system
US20230004142A1 (en) Method, system and device for acquisition and processing of elastic waves and field sensor data for real-time in-situ monitoring of additive manufacturing
JPH0211867B2 (zh)
US20180172644A1 (en) Method and system for acoustically scanning a sample

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant