CN109248880A - 一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置 - Google Patents
一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109248880A CN109248880A CN201811289046.4A CN201811289046A CN109248880A CN 109248880 A CN109248880 A CN 109248880A CN 201811289046 A CN201811289046 A CN 201811289046A CN 109248880 A CN109248880 A CN 109248880A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- agitator tank
- cavity
- water pipe
- drum
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 72
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 47
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 47
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 47
- 238000003756 stirring Methods 0.000 title claims abstract description 45
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 10
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 68
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 20
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 6
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 239000003921 oil Substances 0.000 claims description 3
- 239000004576 sand Substances 0.000 claims description 3
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 10
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 4
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000002791 soaking Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 abstract description 3
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 26
- 229910017920 NH3OH Inorganic materials 0.000 description 12
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000013043 chemical agent Substances 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 3
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 241000894006 Bacteria Species 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 244000005700 microbiome Species 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000002893 slag Substances 0.000 description 1
- -1 sodium etc. Chemical class 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
本发明公开了一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，包括底座，所述底座上固定设有搅拌箱，所述搅拌箱下设有空腔一，所述搅拌箱的侧壁内开设有空腔二，所述空腔二内填充有导热介质，所述导热介质内设有若干加热棒，所述搅拌箱设有封盖，所述搅拌箱内设有凹槽，所述凹槽内设有转盘，所述转盘上固定设有立柱，所述立柱周围与所述转盘之间固定设有搅拌挡板，所述搅拌挡板远离所述立柱的一侧中部固定设有搅拌杆。有益效果：相较于普通的浸泡清洗，针对性的清洁，增加了清洗的洁净度和清洗效率。增加了去除有机污染物的力度。通过在空腔一内设有超声波发生器，使得搅拌箱内的硅片在经受搅拌清洗外，增加超声波清洗，双重清洗，进一步的增加清洗的力度。
Description
技术领域
本发明涉及滚筒式搅拌式清洗硅片装置领域，具体来说，涉及一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置。
背景技术
光伏是太阳能光伏发电系统的简称，是一种利用太阳电池半导体材料的光伏效应，将太阳光辐射能直接转换为电能的一种新型发电系统，其中所使用的半导体器件生产中硅片须经严格清洗。微量污染也会导致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。这些杂质有的以原子状态或离子状态，有的以薄膜形式或颗粒形式存在于硅片表面。有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维。无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，严重影响少数载流子寿命和表面电导；碱金属如钠等，引起严重漏电；颗粒污染包括硅渣、尘埃、细菌、微生物、有机胶体纤维等，会导致各种缺陷。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。
目前市场上的光伏硅片清洗设备在进行清洗的时候，大都只进行简单的浸泡清洗，清洗的不彻底，并且效率底下，导致硅片上任然会存在污染物。
针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
发明内容
本发明的目的在于提供一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，包括底座，所述底座上固定设有搅拌箱，所述搅拌箱下设有空腔一，所述搅拌箱的侧壁内开设有空腔二，所述空腔二内填充有导热介质，所述导热介质内设有若干加热棒，所述搅拌箱设有封盖，所述搅拌箱内设有凹槽，所述凹槽内设有转盘，所述转盘上固定设有立柱，所述立柱周围与所述转盘之间固定设有搅拌挡板，所述搅拌挡板远离所述立柱的一侧中部固定设有搅拌杆，所述搅拌杆贯穿所述搅拌箱且，延伸至所述空腔一内，所述搅拌杆位于所述空腔一内的一端固定设有第一皮带轮，所述底座的一侧固定设有正反电机，所述正反电机的输出端设有第二皮带轮，所述第一皮带轮与所述第二皮带轮之间通过皮带相连接，所述皮带贯穿所述空腔一，所述空腔一内固定设有若干超声波发生器，所述超声波发生器的输出端设有超声波震板，所述超声波震板位于所述搅拌箱的底部，搅拌箱底部开设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与第一水管相连接，所述第一水管上设有第一阀门，所述第二通孔与第二水管相连接，所述第二水管上设有第二阀门，所述第二水管远离所述第二通孔的一端与水泵相连接，所述水泵的另一端设有第三水管，所述第三水管分别与数量为两个的第四水管相连通，所述第四水管上设有第三阀门，所述第四水管分别与临时储液箱相连接。
进一步的，所述空腔二为密封空腔二，且，所述导热介质为高温导热油或者导热砂构成。
进一步的，所述搅拌箱上设有活动轴，所述封盖通过所述活动轴与所述搅拌箱活动连接。
进一步的，所述封盖上设有通气孔。
进一步的，所述通气孔外设有尾气处理装置，所述尾气处理装置包括通气管，所述通气管的一端与所述通气孔相连通，所述通气管远离所述通气孔的一端与水箱相连接，所述通气管位于所述水箱内部底端。
进一步的，所述搅拌箱的内壁设有弧形挡条。
进一步的，所述第三水管通过三通管与数量为四个的第四水管相连接。
进一步的，所述第一水管远离所述第一通孔的一端与废液收集箱相连接。
进一步的，所述第一通孔和所述第二通孔上均设有过滤网。
进一步的，所述搅拌杆与所述搅拌箱接触处设有密封圈。
综上所述，本发明的有益效果为：
(1)、通过设置搅拌箱使得，当需要进行清洗硅片的时候，将硅片放置到搅拌箱内，然后向搅拌箱内注入H2O2和NH3OH化学试剂以及水浸泡一小时，后启动正反电机，进行第一次清洗，使得H2O2和NH3OH化学试剂与硅片同时旋转，令硅片上溶解掉的化学试剂能够通过搅拌清洗掉，然后将H2O2和NH3OH化学试剂抽出，清洗后，注入HCL、H2O2和水进行第二次清洗，来清除掉Al、Fe、Na等金属离子，相较于普通的浸泡清洗，针对性的清洁，增加了清洗的洁净度和清洗效率。
(2)、通过在搅拌箱的周围增加加热棒和导热介质，使得整个H2O2和NH3OH化学试剂与水能够得到加热，增加了去除有机污染物的力度。
(3)、通过在空腔一内设有超声波发生器，使得搅拌箱内的硅片在经受搅拌清洗外，增加超声波清洗，双重清洗，进一步的增加清洗的力度。
(4)、通过设置数量为两个的临时储液箱，待上述第一次清洗的化学试剂，能够转移到其中一个临时储液箱中，然后注入第二次清洗所需的化学试剂，带清洗完毕后，将第二次清洗所需的化学试剂转移到另外一个临时储液箱中，将清洗完毕的硅片转移后，注入待洗的硅片后，将临时储液箱内的第一次清洗的化学试剂转移到搅拌箱中进行第一次清洗，如此反复，能够节约化学药剂的使用，节约能源，减少资源的浪费。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是根据本发明实施例的一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置的结构示意图；
图2是图1中A处的放大图；
图3是根据本发明实施例的一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置中搅拌箱的结构示意图。
附图标记：
1、底座；2、搅拌箱；3、空腔一；4、空腔二；5、导热介质；6、加热棒；7、封盖；8、凹槽；9、转盘；10、立柱；11、搅拌挡板；12、搅拌杆；13、第一皮带轮；14、正反电机；15、第二皮带轮；16、皮带；17、超声波发生器；18、超声波震板；19、第一通孔；20、第二通孔；21、第一水管；22、第一阀门；23、第二水管；24、第二阀门；25、水泵；26、第三水管；27、第四水管；28、第三阀门；29、临时储液箱；30、活动轴；31、通气孔；32、通气管；33、水箱；34、弧形挡条；35、三通管；36、废液收集箱；37、过滤网。
具体实施方式
下面，结合附图以及具体实施方式，对发明做出进一步的描述：
请参阅图1-2，根据本发明实施例的一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，包括底座1，所述底座1上固定设有搅拌箱2，所述搅拌箱2下设有空腔一3，所述搅拌箱2的侧壁内开设有空腔二4，所述空腔二4内填充有导热介质5，所述导热介质5内设有若干加热棒6，所述搅拌箱2设有封盖7，所述搅拌箱2内设有凹槽8，所述凹槽8内设有转盘9，所述转盘9上固定设有立柱10，所述立柱10周围与所述转盘9之间固定设有搅拌挡板11，所述搅拌挡板11远离所述立柱10的一侧中部固定设有搅拌杆12，所述搅拌杆12贯穿所述搅拌箱2且，延伸至所述空腔一3内，所述搅拌杆12位于所述空腔一3内的一端固定设有第一皮带轮13，所述底座1的一侧固定设有正反电机14，所述正反电机14的输出端设有第二皮带轮15，所述第一皮带轮13与所述第二皮带轮15之间通过皮带16相连接，所述皮带16贯穿所述空腔一3，所述空腔一3内固定设有若干超声波发生器17，所述超声波发生器17的输出端设有超声波震板18，所述超声波震板18位于所述搅拌箱2的底部，搅拌箱2底部开设有第一通孔19和第二通孔20，所述第一通孔19与第一水管21相连接，所述第一水管21上设有第一阀门22，所述第二通孔20与第二水管23相连接，所述第二水管23上设有第二阀门24，所述第二水管23远离所述第二通孔20的一端与水泵25相连接，所述水泵25的另一端设有第三水管26，所述第三水管26分别与数量为两个的第四水管27相连通，所述第四水管27上设有第三阀门28，所述第四水管27分别与临时储液箱29相连接。
通过本发明的上述方案，能够通过设置搅拌箱2，当需要进行清洗硅片的时候，将硅片放置到搅拌箱2内，然后向搅拌箱2内注入H2O2和NH3OH化学试剂以及水浸泡一小时，后启动正反电机14，进行第一次清洗，使得H2O2和NH3OH化学试剂与硅片同时旋转，令硅片上溶解掉的化学试剂能够通过搅拌清洗掉，然后将H2O2和NH3OH化学试剂抽出，清洗后，注入HCL、H2O2和水进行第二次清洗，来清除掉Al、Fe、Na等金属离子，相较于普通的浸泡清洗，针对性的清洁，增加了清洗的洁净度和清洗效率。通过在搅拌箱2的周围增加加热棒6和导热介质5，使得整个H2O2和NH3OH化学试剂与水能够得到加热，增加了去除有机污染物的力度。通过在空腔一3内设有超声波发生器17，使得搅拌箱2内的硅片在经受搅拌清洗外，增加超声波清洗，双重清洗，进一步的增加清洗的力度。通过设置数量为两个的临时储液箱29，待上述第一次清洗的化学试剂，能够转移到其中一个临时储液箱29中，然后注入第二次清洗所需的化学试剂，带清洗完毕后，将第二次清洗所需的化学试剂转移到另外一个临时储液箱29中，将清洗完毕的硅片转移后，注入待洗的硅片后，将临时储液箱29内的第一次清洗的化学试剂转移到搅拌箱2中进行第一次清洗，如此反复，能够节约化学药剂的使用，节约能源，减少资源的浪费。
在具体应用中，对于空腔二4来说，所述空腔二4为密封空腔二，且，所述导热介质5为高温导热油或者导热砂构成。对于搅拌箱2来说，所述搅拌箱2上设有活动轴30，所述封盖7通过所述活动轴30与所述搅拌箱2活动连接。对于封盖7来说，所述封盖7上设有通气孔31。对于通气孔31来说，所述通气孔31外设有尾气处理装置，所述尾气处理装置包括通气管，所述通气管32的一端与所述通气孔31相连通，所述通气管32远离所述通气孔31的一端与水箱33相连接，所述通气管32位于所述水箱33内部底端。对于搅拌箱2来说，所述搅拌箱2的内壁设有弧形挡条34。对于第三水管26来说，所述第三水管26通过三通管35与数量为四个的第四水管27相连接。对于第一水管21来说，所述第一水管21远离所述第一通孔19的一端与废液收集箱36相连接。对于第一通孔19来说，所述第一通孔19和所述第二通孔20上均设有过滤网37。对于搅拌杆12来说，所述搅拌杆12与所述搅拌箱2接触处设有密封圈。
综上所述，借助于本发明的上述技术方案，通过设置搅拌箱2，当需要进行清洗硅片的时候，将硅片放置到搅拌箱2内，然后向搅拌箱2内注入H2O2和NH3OH化学试剂以及水浸泡一小时，后启动正反电机14，进行第一次清洗，使得H2O2和NH3OH化学试剂与硅片同时旋转，令硅片上溶解掉的化学试剂能够通过搅拌清洗掉，然后将H2O2和NH3OH化学试剂抽出，清洗后，注入HCL、H2O2和水进行第二次清洗，来清除掉Al、Fe、Na等金属离子，相较于普通的浸泡清洗，针对性的清洁，增加了清洗的洁净度和清洗效率。通过在搅拌箱2的周围增加加热棒6和导热介质5，使得整个H2O2和NH3OH化学试剂与水能够得到加热，增加了去除有机污染物的力度。通过在空腔一3内设有超声波发生器17，使得搅拌箱2内的硅片在经受搅拌清洗外，增加超声波清洗，双重清洗，进一步的增加清洗的力度。通过设置数量为两个的临时储液箱29，待上述第一次清洗的化学试剂，能够转移到其中一个临时储液箱29中，然后注入第二次清洗所需的化学试剂，带清洗完毕后，将第二次清洗所需的化学试剂转移到另外一个临时储液箱29中，将清洗完毕的硅片转移后，注入待洗的硅片后，将临时储液箱29内的第一次清洗的化学试剂转移到搅拌箱2中进行第一次清洗，如此反复，能够节约化学药剂的使用，节约能源，减少资源的浪费。通过设置尾气处理装置能够将产生的废气通过尾气处理装置进行处理，减少了尾气污染环境的几率，通过搅拌箱的内壁设有弧形挡条34，能够增加搅拌的效率。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，其特征在于，包括底座(1)，所述底座(1)上固定设有搅拌箱(2)，所述搅拌箱(2)下设有空腔一(3)，所述搅拌箱(2)的侧壁内开设有空腔二(4)，所述空腔二(4)内填充有导热介质(5)，所述导热介质(5)内设有若干加热棒(6)，所述搅拌箱(2)设有封盖(7)，所述搅拌箱(2)内设有凹槽(8)，所述凹槽(8)内设有转盘(9)，所述转盘(9)上固定设有立柱(10)，所述立柱(10)周围与所述转盘(9)之间固定设有搅拌挡板(11)，所述搅拌挡板(11)远离所述立柱(10)的一侧中部固定设有搅拌杆(12)，所述搅拌杆(12)贯穿所述搅拌箱(2)且，延伸至所述空腔一(3)内，所述搅拌杆(12)位于所述空腔一(3)内的一端固定设有第一皮带轮(13)，所述底座(1)的一侧固定设有正反电机(14)，所述正反电机(14)的输出端设有第二皮带轮(15)，所述第一皮带轮(13)与所述第二皮带轮(15)之间通过皮带(16)相连接，所述皮带(16)贯穿所述空腔一(3)，所述空腔一(3)内固定设有若干超声波发生器(17)，所述超声波发生器(17)的输出端设有超声波震板(18)，所述超声波震板(18)位于所述搅拌箱(2)的底部，搅拌箱(2)底部开设有第一通孔(19)和第二通孔(20)，所述第一通孔(19)与第一水管(21)相连接，所述第一水管(21)上设有第一阀门(22)，所述第二通孔(20)与第二水管(23)相连接，所述第二水管(23)上设有第二阀门(24)，所述第二水管(23)远离所述第二通孔(20)的一端与水泵(25)相连接，所述水泵(25)的另一端设有第三水管(26)，所述第三水管(26)分别与数量为两个的第四水管(27)相连通，所述第四水管(27)上设有第三阀门(28)，所述第四水管(27)分别与临时储液箱(29)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，其特征在于，所述空腔二(4)为密封空腔二，且，所述导热介质(5)为高温导热油或者导热砂构成。
3.根据权利要求1所述的一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，其特征在于，所述搅拌箱(2)上设有活动轴(30)，所述封盖(7)通过所述活动轴(30)与所述搅拌箱(2)活动连接。
4.根据权利要求1所述的一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，其特征在于，所述封盖(7)上设有通气孔(31)。
5.根据权利要求4所述的一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，其特征在于，所述通气孔(31)外设有尾气处理装置，所述尾气处理装置包括通气管，所述通气管(32)的一端与所述通气孔(31)相连通，所述通气管(32)远离所述通气孔(31)的一端与水箱(33)相连接，所述通气管(32)位于所述水箱(33)内部底端。
6.根据权利要求1所述的一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，其特征在于，所述搅拌箱(2)的内壁设有弧形挡条(34)。
7.根据权利要求1所述的一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，其特征在于，所述第三水管(26)通过三通管(35)与数量为四个的第四水管(27)相连接。
8.根据权利要求1所述的一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，其特征在于，所述第一水管(21)远离所述第一通孔(19)的一端与废液收集箱(36)相连接。
9.根据权利要求1所述的一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，其特征在于，所述第一通孔(19)和所述第二通孔(20)上均设有过滤网(37)。
10.根据权利要求1所述的一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置，其特征在于，所述搅拌杆(12)与所述搅拌箱(2)接触处设有密封圈。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811289046.4A CN109248880B (zh) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811289046.4A CN109248880B (zh) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109248880A true CN109248880A (zh) | 2019-01-22 |
| CN109248880B CN109248880B (zh) | 2024-04-12 |
Family
ID=65044365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811289046.4A Active CN109248880B (zh) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109248880B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110756550A (zh) * | 2019-10-08 | 2020-02-07 | 宁波九镆科技有限公司 | 一种玻璃纤维厂废玻璃丝资源化工艺 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107731719A (zh) * | 2017-11-08 | 2018-02-23 | 林孝振 | 一种理疗仪生产用晶圆清洗装置 |
| CN207746882U (zh) * | 2017-11-30 | 2018-08-21 | 浙江游星电子科技有限公司 | 一种研磨硅片用清洗设备 |
| CN108480305A (zh) * | 2018-04-12 | 2018-09-04 | 绍兴文理学院 | 一种光伏硅片清洗设备 |
| CN207887573U (zh) * | 2017-12-28 | 2018-09-21 | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 | 一种高纯石英砂自动逆流动态清洗装置 |
-
2018
- 2018-10-31 CN CN201811289046.4A patent/CN109248880B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107731719A (zh) * | 2017-11-08 | 2018-02-23 | 林孝振 | 一种理疗仪生产用晶圆清洗装置 |
| CN207746882U (zh) * | 2017-11-30 | 2018-08-21 | 浙江游星电子科技有限公司 | 一种研磨硅片用清洗设备 |
| CN207887573U (zh) * | 2017-12-28 | 2018-09-21 | 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司 | 一种高纯石英砂自动逆流动态清洗装置 |
| CN108480305A (zh) * | 2018-04-12 | 2018-09-04 | 绍兴文理学院 | 一种光伏硅片清洗设备 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110756550A (zh) * | 2019-10-08 | 2020-02-07 | 宁波九镆科技有限公司 | 一种玻璃纤维厂废玻璃丝资源化工艺 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109248880B (zh) | 2024-04-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105289449A (zh) | 一种具有除垢功能的反应釜 | |
| CN107790429A (zh) | 太阳能电池硅片清洗装置 | |
| CN101295622B (zh) | 清洗晶圆的装置及方法 | |
| CN205673273U (zh) | 一种高效节能水洗机 | |
| CN104190641B (zh) | 多型号轴承清洗机 | |
| CN206853215U (zh) | 磨床磨削液过滤装置 | |
| CN207971150U (zh) | 咸鸭蛋清洗器 | |
| CN109248880A (zh) | 一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置 | |
| CN106216310A (zh) | 核电站放射性沾污物件专用去污设备 | |
| CN107658246A (zh) | 一种太阳能硅片清洗工艺 | |
| CN111112215A (zh) | 一种含有臭氧的碱性溶液清洗硅片的方法 | |
| CN204134938U (zh) | 多型号轴承清洗机 | |
| CN209406962U (zh) | 一种滚筒式搅拌式清洗硅片装置 | |
| CN107486459A (zh) | 一种闪烁体晶条批量清洗夹具及清洗方法 | |
| CN206779045U (zh) | 一种玻璃微珠生产设备的清洗设备 | |
| CN206882280U (zh) | 球型料筐自动清洗机 | |
| CN204865233U (zh) | 节水型循环过滤装置 | |
| CN209520101U (zh) | 水龙头清洗测试一体机 | |
| KR20100013870A (ko) | 세척 장치 | |
| CN206343426U (zh) | 核电站放射性沾污物件专用去污设备 | |
| CN212375392U (zh) | 一种水利机械零部件用除锈处理装置 | |
| CN102873047B (zh) | 一种高纯镓容器的清洗方法 | |
| CN207025985U (zh) | 具备溶液浓度检测功能的轴承清洗机 | |
| CN103191883B (zh) | 绝缘油油样瓶清洗方法及使用的清洗设备 | |
| CN208116285U (zh) | 一种超声波清洗机用清洗槽 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| TA01 | Transfer of patent application right | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20240312 Address after: Room 2004, Building 2, Lushang Fenghuang Square, Tangye Street, Licheng District, Jinan City, Shandong Province, 250109 Applicant after: Fanzai Energy (Shandong) Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: No. 339 Changhong Middle Street, Wukang Town, Moganshan High tech Zone, Huzhou City, Zhejiang Province, 313200 Applicant before: ZHEJIANG YIYANG SOLAR TECHNOLOGY CO.,LTD. Country or region before: China |
|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |