CN109243945B - 一种瓣状电极及制造方法、产生均匀电场的方法、变像管 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种带电粒子光学成像元件,具体涉及一种瓣状电极及制造方法、产生均匀电场的方法、构成的变像管。为解决保持系统总体性能功能指标不变的条件下,变像管尺寸难以缩小的技术问题,本发明提供了一种瓣状电极及制造方法、产生均匀电场的方法、变像管。一种瓣状电极,由沿圆周方向分为8n个沿同一圆周间隔、均匀设置的电极瓣构成;产生均匀电场的方法,对各电极瓣电压按规律设定后可产生均匀电场。本发明还包括一种变像管,所述变像管由沿光路依次设置的光阴极、栅网、聚焦电极、上述瓣状电极和荧光屏组成。本发明可应用于变像管条纹相机,同时实现对电子束的聚焦和偏转,可有效的降低变像管中电极的数量,减小其尺寸。
Description
技术领域
本发明属于光学成像元件技术领域,具体涉及一种瓣状电极及制造方法、产生均匀电场的方法、构成的变像管。
背景技术
变像管条纹相机是一种实现超快瞬态光信号的光电转换、聚焦成像、扫描偏转以及图像增强与处理的超快诊断设备。由于其记录速度极快[理论极限时间分辨率高达10飞秒(fs),1fs=10-15s],加之其具有能使光增强以及从红外到紫外、X射线等不同波段信号探测能力,如今它已成为10-8~10-13s范围内超快时间分辨诊断研究领域的主力军。源于应用领域的多样性以及需求侧重点的不同,目前变像管条纹相机也鲜明地呈现出性能侧重型发展趋势。
针对量子阱半导体的能量弛豫、飞秒时间量级化学反应动力学,以及飞秒激光诊断等诸多超快诊断过程的研究,要求变像管条纹相机时间分辨性能要达到飞秒量级;由于相关瞬态过程的光信号通常都有相当的强度变化范围,要求变像管系统的设计同时也要兼顾动态范围这个指标。近年来,随着条纹相机在激光雷达技术中的创新应用,变像管条纹相机的小型化已成为必要,并成为人们关注的焦点。
变像管是变像管条纹相机中必须的元器件,变像管的大小对变像管条纹相机的尺寸大小有着重要影响。现有变像管的结构如图1所示,包括依次设置的光阴极11、栅网12、聚焦电极13、阳极16、偏转电极17和荧光屏15,光电子从光阴极11射出后,经珊网12、聚焦电极13、阳极16聚焦后,再进入偏转电极17经其偏转以后,在荧光屏15上成像,完成对光电子的成像作用。
目前针对变像管条纹相机的小型化,最常用的方法是同比缩小变像管各组成部分,但这无疑将削弱变像管条纹相机的技术特色,如有效输入窗口减小势必将降低其信号探测的动态范围等。因而非常有必要考虑新的设计思路,在保持系统总体性能功能指标不变的条件下,实现变像管条纹相机的小型化。
发明内容
本发明的目的在于,解决在保持总体性能功能指标不变的条件下,变像管尺寸难以缩小的技术问题,而提供了一种瓣状电极及制造方法、产生均匀电场的方法、构成的变像管,用于变像管条纹相机。
本发明的技术方案是:
一种瓣状电极,其特殊之处在于:包括8n个相同的弧面状电极瓣;所述电极瓣沿同一圆周间隔、均匀设置,相邻两个电极瓣之间的距离处处相等,整体形成一圆筒状电极;相邻两个电极瓣之间的缝隙沿圆筒状电极轴向贯通;每两个电极瓣内圆弧段之间的间隔角度为2δ,为使得电极能够获得均匀的电场分布,所述2δ大于5°,小于等于10°;其中,n为大于等于1的整数;且在各电极瓣分别设置相应的电位,使得其对电子束具有聚焦-偏转复合功能。
进一步地,n=1,此时瓣状电极有八个电极瓣,能够满足获得均匀电场分布的要求,并且此时瓣状电极的加工相对简单方便。
一种瓣状电极的制造方法,其特殊之处在于:将圆筒状电极,绕圆周、沿母线方向均匀切除8n个中心角相同的弧面段,形成8n个相同的电极瓣,相邻两个电极瓣之间的距离处处相等;相邻两个电极瓣的内圆弧段之间的间隔角度为2δ;所述n为大于等于1的整数,0°<2δ≤10°;且在各电极瓣分别设置相应的电位,使得其对电子束具有聚焦-偏转复合功能。
本发明同时提供了一种利用上述瓣状电极产生均匀电场的方法,为更清楚的理解本发明的技术方案,首先介绍下本发明的发明构思:
n=1,2,3…
上式方括号内的两项叫做n次谐波电位,其第一项相对于子午面左右对称,而第二项相对于此面反对称。当2δ很小时,可以认为缝隙间电位为线性变化。各电极所加电位分别为±Vd和±mVd。由于此场位关于对称面具有对称性,同时关于具有反对称性,因而上述空间电位的傅立叶展开式中没有正弦部分,且n只能取1,3,5等奇数。则由(1)、(2)式可知,谐波电位u(n)(r,z)满足以下方程:
设电极表面谐波电位为un,则沿方位角方向做傅立叶分析即可求出各个un值。
根据以上论述知,在r=R处有
n=1,3,5…
利用电极间隙电位线性变化近似,(5)式可解析表达为:
式中m为电压比例系数;
这意味着导致四级偏转像差的六极场以及十极场分量都为0,从而在较大范围内可得到均匀横向偏转场,
基于上述发明构思,根据以下方式给瓣状电极施加电压以产生均匀电场:
1)编号
将所述电极瓣从子午面顺时针数起分别记为第一组电极瓣、第二组电极瓣、第三组电极瓣、第四组电极瓣、第五组电极瓣、第六组电极瓣、第七组电极瓣和第八组电极瓣,每组均含有n个电极瓣。
2)给各电极瓣施加偏转电压:
定义X为所述圆筒状电极横截面上直角坐标系的X轴,Y为所述圆筒状电极横截面上直角坐标系的Y轴,m为电压比例系数;
第一、给各电极瓣按以下规律施加Y方向偏转电压;
第一组电极瓣和第八组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压Vy,第二组电极瓣和第七组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压mVy,第三组电极瓣和第六组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压-mVy,第四组电极瓣和第五组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压-Vy;
第二、给各电极瓣按以下规律加X方向偏转电压;
第二组电极瓣和第三组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压Vx,第一组电极瓣和第四组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压mVx,第五组电极瓣和第八组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压-mVx,第六组电极瓣和第七组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压-Vx;
如果在上述八瓣偏转器上同时馈以x偏转与y偏转两组偏转电压时,只要两个方向的电压设置均满足上述规律,则在较大的范围内其两个横向偏转场近似为常数而可视为均匀场。
2)给所有电极瓣均加相同的聚焦电压Vc。
该瓣状电极还能与常用的静电透镜电极相结合而形成复合聚焦-偏转系统。当八瓣偏转器各电极仍加上透镜的电极电压时,其所产生的场虽有非轴对称的多极场分量,但多极场分量为16极场或者更多极场,因而不影响近轴区的聚焦效果,而且也不会产生三级、五级等几何像差;此时,如果在各瓣电极上再叠加满足二极场电压,便可实现附加的偏转场,从而形成静电复合聚焦-偏转系统。
Vc、Vx与Vy分别为聚焦透镜所需电位、八瓣偏转系统各电极所需的峰值电位设置。
根据上述瓣状电极构成的一种变像管,其特殊之处在于:包括沿光路依次设置的光阴极、珊网、聚焦电极、瓣状电极和荧光屏,此时不必再单独设置阳极进行聚焦,使得变像管的尺寸大幅减小,在总体性能功能指标不变的情况下,实现了变像管的小型化。
本发明的有益效果:
1、本发明通过将电极设置为瓣状,且在瓣状电极的各瓣分别设置相应的电位,使得其对电子束具有聚焦-偏转复合功能;相比传统的变像管设计方案,这将减少功能电极的数量,便于实现变像管的小型化设计;
2、本发明的瓣状电极当作为独立元件使用时,可分别实现对电子束的聚焦或偏转功能(一维或二维);在二维偏转应用中,相比传统的双偏转器设计方案,该元件具备较低的偏转象差,容易得到无失真扫描图像,因而性能更优;同时,瓣状电极也将等效增加偏转区的轴向长度,这将显著提高偏转灵敏度和时间分辨率;
3.本发明通过将瓣状电极设置为圆柱对称型结构,使得在工程加工中可实现较高的加工精度和组装精度,因而具备良好的实用性和可操作性。
附图说明
图1是现有常用阳极和平板状偏转器变像管的框架图;
图2是本发明实施例瓣状电极一维偏转的结构图;
图3是本发明实施例瓣状电极二维偏转的结构图;
图4是本发明实施例复合聚焦-偏转系统电位设置的示意图;
图5是本发明实施例瓣状电极内部电位分布的示意图;
图6是本发明实施例瓣状电极变像管的框架图;
图7是本发明实施例变像管y方向电子轨迹的示意图;
图8是本发明实施例变像管x方向电子轨迹的示意图;
附图标记说明:
图1中:11-光阴极、12-栅网、13-聚焦电极、15-荧光屏、16-阳极、17-偏转电极;
图2至图8中:1-光阴,2-栅网,3-聚焦电极,4-瓣状电极,41-第一电极瓣,42-第二电极瓣,43-第三电极瓣,44-第四电极瓣,45-第五电极瓣,46-第六电极瓣,47-第七电极瓣,48-第八电极瓣,49-子午面,5-荧光屏,6-阳极,7-偏转电极。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本发明作详细说明。
如图2至图4所示,一种瓣状电极4,包括8个相同的弧面状电极瓣;电极瓣沿同一圆周间隔、均匀设置,整体形成一圆筒状电极;相邻两个电极瓣之间的缝隙沿圆筒状电极轴向贯通;每两个电极瓣内圆弧段之间的间隔角度2δ为10°,瓣状电极4的半径R为30mm;相邻两个电极瓣之间的距离处处相等。
该瓣状电极4在加工时,将一圆筒状电极,绕圆周、沿母线方向均匀切除8个相同的弧面段,形成8个相同的电极瓣。
在本实施例中,设定Vd=100V、将上述数值带入公式(7),可以进行分析,得到瓣状电极4内部电场分布如图5所示。可知在此电位设置下,瓣状电极4内部近轴区域为横向均匀偏转场,也即瓣状电极4具有偏转功能。
利用上述瓣状电极4产生均匀电场的方法,步骤如下:
1)编号:
将电极瓣从子午面49顺时针数起,分别记为第一电极瓣41、第二电极瓣42、第三电极瓣43、第四电极瓣44、第五电极瓣45,第六电极瓣46、第七电极瓣47和第八电极瓣48。
2)给各电极瓣施加偏转电压:
第一、给各电极瓣按以下规律施加Y方向偏转电压;
第一电极瓣41和第八电极瓣48均加偏转电压Vy,第二电极瓣42和第七电极瓣47均加偏转电压mVy,第三电极瓣43和第六电极瓣46均加偏转电压-mVy,第四电极瓣和第五电极瓣均加偏转电压-Vy;
第二、给各电极瓣按以下规律加X方向偏转电压;
第二电极瓣42和第三电极瓣43均加偏转电压Vx,第一电极瓣41和第四电极瓣44均加偏转电压mVx,第五电极瓣45和第八电极瓣48均加偏转电压-mVx,第六电极瓣46和第七电极瓣47均加偏转电压-Vx;
3)给所有电极瓣均加相同的聚焦电压Vc。
利用上述瓣状电极4构成的一种变像管,包括沿光路依次设置的光阴极1、珊网2、聚焦电极3、瓣状电极4和荧光屏5,如图6所示;
为有限元分析计算方便起见,对本实施例的定性分析过程中,我们仅考虑一维y偏转的情形,也即使Vx=0。
本实施例中,设置光阴极1电位Vpc=-1100V,栅网2电位VG=0V,聚焦电极3电位VF=-800V,Vc=200V,Vy=500V,聚焦电极3和瓣状电极4的内径相等。
作为对此变像管聚焦及偏转特性的进一步分析,我们考虑了从光阴极1不同位置出发的光电子的主轨迹,如图7、图8所示。其中图7为从y方向观测所得的电子轨迹,图8为x方向观测所得的电子轨迹。依图可知,电子束在x横向受到聚焦电极3和瓣状电极4的聚焦作用,而在y横向则同时还受到瓣状电极4所形成的偏转场的作用。
Claims (5)
1.一种瓣状电极,其特征在于:包括8n个相同的弧面状电极瓣;所述电极瓣沿同一圆周间隔、均匀设置,相邻两个电极瓣之间的距离处处相等,整体形成一圆筒状电极;相邻两个电极瓣之间的缝隙沿圆筒状电极轴向贯通;每两个电极瓣内圆弧段之间的间隔角度为2δ,所述2δ大于5°,小于等于10°;其中,n为大于等于1的整数;且在各电极瓣分别设置相应的电位,使得其对电子束具有聚焦-偏转复合功能。
2.根据权利要求1所述的一种瓣状电极,其特征在于:n=1。
3.一种瓣状电极的制造方法,其特征在于:将圆筒状电极,绕圆周、沿母线方向均匀切除8n个相同的弧面段,形成8n个相同的电极瓣,相邻两个电极瓣之间的距离处处相等;相邻两个电极瓣内圆弧段之间的间隔角度为2δ;所述n为大于等于1的整数,0°<2δ≤10°;且在各电极瓣分别设置相应的电位,使得其对电子束具有聚焦-偏转复合功能。
4.利用权利要求1或2的瓣状电极产生均匀电场的方法,其特征在于:
1)编号
将所述电极瓣从子午面顺时针数起分别记为第一组电极瓣、第二组电极瓣、第三组电极瓣、第四组电极瓣、第五组电极瓣、第六组电极瓣、第七组电极瓣和第八组电极瓣,每组均含有n个电极瓣;
2)给各电极瓣施加偏转电压
定义X为所述圆筒状电极横截面上直角坐标系的X轴,Y为所述圆筒状电极横截面上直角坐标系的Y轴,m为电压比例系数;
第一、给各电极瓣按以下规律施加Y方向偏转电压:
第一组电极瓣和第八组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压Vy,第二组电极瓣和第七组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压mVy,第三组电极瓣和第六组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压-mVy,第四组电极瓣和第五组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压-Vy;
第二、给各电极瓣按以下规律加X方向偏转电压:
第二组电极瓣和第三组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压Vx,第一组电极瓣和第四组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压mVx,第五组电极瓣和第八组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压-mVx,第六组电极瓣和第七组电极瓣中的每一片电极瓣均加偏转电压-Vx;
3)给所有电极瓣均加相同的聚焦电压Vc。
5.利用权利要求1或2所述瓣状电极构成的一种变像管,其特征在于:包括沿光路依次设置的光阴极(1)、珊网(2)、聚焦电极(3)、瓣状电极(4)和荧光屏(5)。
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