CN109163509A - 一种真空干燥装置及真空干燥方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空干燥装置，包括干燥槽、盖板和加热装置，盖板用于密封所述干燥槽的槽口，干燥槽内与槽口相对的底面上设有若干转动座，加热装置设置在干燥槽内的四周侧壁上；还包括基片架和传动装置，所述基片架通过所述槽口放入所述干燥槽内，所述传动装置用于带动所述转动座转动；所述基片架上设有若干挂具，所述挂具与所述基片架活动连接；所述基片架通过所述挂具与所述转动座固定连接，所述挂具与所述转动座同步转动；一种真空干燥方法，包括以下步骤：步骤一：产品入槽；步骤二：密封并抽真空；步骤三：干燥产品；步骤四：解压并取出产品；本发明不仅能实现产品均匀的快速的干燥，节约能源，提高效率，而且自动化程度较高。

Description

一种真空干燥装置及真空干燥方法

技术领域

本发明涉及真空干燥技术领域，尤其涉及一种真空干燥装置及真空干燥方法。

背景技术

真空干燥烘箱，是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备，它首先利用真空泵进行抽气抽湿，使工作室内形成真空状态，降低水的沸点和饱和蒸汽压；同时使被干燥物料受到热载体(蒸汽、热水或导热油)的间接加热，让物料中的水分气化；最后再通过真空泵及时抽走气化的水分，加快干燥的速度。这种用蒸汽夹套间接加热物料，并在高真空下排气的方法，特别适应于不耐高温、在高温下易于氧化的物料或干燥时容易产生粉末的物料，以及干燥过程中排出的蒸汽必须回收的物料干燥作业。

现有的烘箱干燥水的速度慢(特别是塑料电镀产品)；这使得金属或电镀后的产品表面下部易有水滴形成，水滴在慢速的干燥过程中，会与金属层产生反应，形成氧化层，造成水渍；导致产品外观不良。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明的目的在于提供一种不仅能实现产品均匀的快速的干燥，节约能源，提高效率，而且自动化程度较高真空干燥装置；以及自动化程度较高，烘干速度较快的真空干燥方法。

本发明通过以下技术方案来实现：一种真空干燥装置，包括干燥槽、盖板和加热装置，所述盖板用于密封所述干燥槽的槽口，所述干燥槽内与所述槽口相对的底面上设有若干转动座，所述加热装置设置在所述干燥槽内的四周侧壁上；

还包括基片架和传动装置，所述基片架通过所述槽口放入所述干燥槽内，所述传动装置用于带动所述转动座转动；

所述基片架上设有若干挂具，所述挂具与所述基片架活动连接；

所述基片架通过所述挂具与所述转动座固定连接，所述挂具与所述转动座同步转动。

进一步地，所述传动装置设有至少一个，所述传动装置包括密封座和贯穿所述密封座中心轴的转动轴，所述密封座贯穿所述干燥槽的侧壁，所述转动轴靠近所述转动座一侧设有传动轮，所述传动轮设置在所述干燥槽内部，所述传动轮根据所述转动轴的转动带动所述转动座同步转动。

更进一步地，所述转动座包括旋转轮、基座和设置在所述基座上的轴向孔，所述轴向孔向下与所述旋转轮的中心孔连通，所述挂具通过轴套与所述转动座固定连接，所述轴套一端与所述挂具固定连接，另一端通过所述轴向孔与所述旋转轮的中心孔固定连接，所述旋转轮根据所述传动轮的传动，带动与所述轴套固定连接的挂具同步转动。

进一步地，还包括设置在所述干燥槽内的导向装置、第一定位装置和第二定位装置，所述导向装置用于放置所述基片架时的导向，所述第一定位装置和所述第二定位装置均用于所述基片架的位置的固定。

更进一步地，所述导向装置包括至少两个导向板，两个所述导向板设置在所述干燥槽上槽口内壁上，所述导向板的一端与所述槽口的内壁固定连接；

所述第一定位装置用于固定所述基片架靠近所述槽口一端，所述第一定位装置为定位座和/或者定位轴承；

所述第二定位装置用于固定所述基片架位于所述干燥槽远离所述槽口的底端，所述定位装置包括底部固定座和底部盲板，所述底部盲板用于固定所述转动座和所述基片架靠近所述转动座的一端。

更进一步地，所述底部固定座上设有至少两个折弯板，所述折弯板用于所述的基片架的导向和固定作用，所述折弯板的导向方向与所述导向装置相同。

进一步地，还包括感应开关，所述感应开关设置在所述槽口处，所述感应开关用于感应设置在基片架上的产品的进入，并打开所述加热装置和所述传动装置，所述加热装置用于对所述基片架上的产品进行加热。

更进一步地，所述加热装置为紫外灯管、红外灯管、导热板、导热油或加热管。

进一步地，所述干燥槽上设有一个通孔，所述通孔用于连接真空泵，所述盖板为铝盖板或不锈钢盖板。

一种真空干燥方法，包括以下步骤：

步骤一：产品入槽，将处理过的产品挂在所述基片架的挂具上，所述基片架通过行车装置放入所述干燥槽内；

步骤二：密封并抽真空，采用所述盖板将所述干燥槽的槽口进行密封后，使用外部的自动真空泵通过所述干燥槽上的通孔，对所述真空干燥装置进行快速抽真空至10000pa以内，抽气时间0.8-1.2min；

步骤三：干燥产品，感应开关感应所述基片架进入所述干燥槽内后，打开所述加热装置和所述传动装置，使温度达到75℃后加热10min；

步骤四：解压并取出产品，完成步骤三中的干燥后，对真空中干燥装置进行放气解压，放气时间0.8-1.2min，打开盖板采用行车装置将挂在所述基片架取出。

本发明的一种真空干燥装置及真空干燥方法，具有如下有益效果：

(1)本发明公开的真空干燥装置，通过高温使产品迅速烘干，且产品能通过挂具自转，是产品表面的温度均匀，产品质量好，效率高；

(2)本发明公开的真空干燥方法，自动化程度较高，烘干速度较快，节约能源；

(3)本发明公开的真空干燥装置，不仅能实现产品均匀的快速的干燥，节约能源，提高效率，而且自动化程度较高。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它附图。

图1是本发明真空干燥装置的结构示意图；

图2是本发明真空干燥装置的侧视图；

图3是本发明中基片架和挂具的组合结构示意图；

图4是本发明中基片架和挂具组合的侧视图；

图5是本发明中转动座的结构图；

图6是本发明中传动装置的结构图。

其中，图中附图标记对应为：

1-干燥槽，2-盖板，3-加热装置，4-槽口，5-基片架，6-挂具，7-转动座，701-旋转轮，702-基座，703-轴向孔，704-轴套，8-传动装置，801-转动轴，802-传动轮，803-密封座，9-导向装置，10-第一定位装置，1001-定位座，1002-定位轴承，11-底部固定座，12-底部盲板，13-观察窗。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

参考说明书附图1至图6，一种真空干燥装置，包括干燥槽1、盖板2和加热装置3，所述盖板2用于密封所述干燥槽1的槽口4，所述干燥槽1内与所述槽口4相对的底面上设有若干转动座7，所述加热装置3设置在所述干燥槽1内的四周侧壁上；

还包括基片架5和传动装置8，所述基片架5通过所述槽口4放入所述干燥槽1内，所述传动装置8用于带动所述转动座7转动；

所述基片架5上设有若干挂具6，所述挂具6与所述基片架5活动连接；所述基片架5通过所述挂具6与所述转动座7固定连接，所述挂具6与所述转动座7同步转动；本发明通过高温使产品迅速烘干，且产品能通过挂具6自转，是产品表面的温度均匀，产品质量好，效率高。

所述干燥槽1上设有一个通孔，所述通孔用于连接真空泵，所述盖板2为铝盖板2或不锈钢盖板2。

所述传动装置8设有一个，所述传动装置8包括密封座803和贯穿所述密封座803中心轴的转动轴801，所述密封座803贯穿所述干燥槽1的侧壁，所述转动轴801靠近所述转动座7一侧设有传动轮802，所述传动轮802设置在所述干燥槽1内部，所述传动轮802根据所述转动轴801的转动带动所述转动座7同步转动。

具体的，所述传动装置8通过传动带带动其他的转动座7同步转动；

所述转动座7包括旋转轮701、基座702和设置在所述基座702上的轴向孔703，所述轴向孔703向下与所述旋转轮701的中心孔连通，所述挂具6通过轴套704与所述转动座7固定连接，所述轴套704一端与所述挂具6固定连接，另一端通过所述轴向孔703与所述旋转轮701的中心孔固定连接，所述旋转轮701根据所述传动轮802的传动，带动与所述轴套704固定连接的挂具6同步转动。

还包括设置在所述干燥槽1内的导向装置9、第一定位装置10和第二定位装置，所述导向装置9用于放置所述基片架5时的导向，所述第一定位装置10和所述第二定位装置均用于所述基片架5的位置的固定。

还包括感应开关，所述感应开关设置在所述槽口4处，所述感应开关用于感应设置在基片架5上的产品的进入，并打开所述加热装置3和所述传动装置8，所述加热装置3用于对所述基片架5上的产品进行加热；进一步地，传动装置8还可以通过外部的其他装置带动其转动。

实施例2

参考说明书附图1至图6，一种真空干燥装置，包括干燥槽1、盖板2和加热装置3，所述盖板2用于密封所述干燥槽1的槽口4，所述干燥槽1内与所述槽口4相对的底面上设有若干转动座7，所述加热装置3设置在所述干燥槽1内的四周侧壁上；

还包括基片架5和传动装置8，所述基片架5通过所述槽口4放入所述干燥槽1内，所述传动装置8用于带动所述转动座7转动；

所述基片架5上设有若干挂具6，所述挂具6与所述基片架5活动连接；

所述基片架5通过所述挂具6与所述转动座7固定连接，所述挂具6与所述转动座7同步转动；本发明通过高温使产品迅速烘干，且产品能通过挂具6自转，是产品表面的温度均匀，产品质量好，效率高。

所述干燥槽1上设有一个通孔，所述通孔用于连接真空泵，所述盖板2为铝盖板2或不锈钢盖板2。

所述传动装置8的数量与所述转动座7的数量相同，所述传动装置8包括密封座803和贯穿所述密封座803中心轴的转动轴801，所述密封座803贯穿所述干燥槽1的侧壁，所述转动轴801靠近所述转动座7一侧设有传动轮802，所述传动轮802设置在所述干燥槽1内部，所述传动轮802根据所述转动轴801的转动带动所述转动座7同步转动；每个传动装置8带动相对应的转动座7同步转动。所述转动座7包括旋转轮701、基座702和设置在所述基座702上的轴向孔703，所述轴向孔703向下与所述旋转轮701的中心孔连通，所述挂具6通过轴套704与所述转动座7固定连接，所述轴套704一端与所述挂具6固定连接，另一端通过所述轴向孔703与所述旋转轮701的中心孔固定连接，所述旋转轮701根据所述传动轮802的传动，带动与所述轴套704固定连接的挂具6同步转动。

具体的，传动轮802和旋转轮701为可以相互咬合的齿轮，进一步的传动齿轮带动旋转齿轮同步转动。

还包括设置在所述干燥槽1内的导向装置9、第一定位装置10和第二定位装置，所述导向装置9用于放置所述基片架5时的导向，所述第一定位装置10和所述第二定位装置均用于所述基片架5的位置的固定。

具体的，所述导向装置9包括至少两个导向板，两个所述导向板设置在所述干燥槽1上槽口4内壁上，所述导向板的一端与所述槽口4的内壁固定连接；

所述第一定位装置10用于固定所述基片架5靠近所述槽口4一端，所述第一定位装置10为定位座1001和/或者定位轴承1002；

所述第二定位装置用于固定所述基片架5位于所述干燥槽1远离所述槽口4的底端，所述定位装置包括底部固定座11和底部盲板12，所述底部盲板12用于固定所述转动座7和所述基片架5靠近所述转动座7的一端。

更进一步的，所述底部固定座11上设有至少两个折弯板，所述折弯板用于所述的基片架5的导向和固定作用，所述折弯板的导向方向与所述导向装置9相同。

还包括感应开关，所述感应开关设置在所述槽口4处，所述感应开关用于感应设置在基片架5上的产品的进入，并打开所述加热装置3和所述传动装置8，所述加热装置3用于对所述基片架5上的产品进行加热；进一步地，传动装置8还可以通过外部的其他装置带动其转动。

具体的，所述加热装置3为紫外灯管、红外灯管、导热板、导热油或加热管。

具体的，所述干燥槽1侧壁上还设有观察窗13，观察窗13用于观察真空干燥装置中对产品的干燥情况。

与实施例1的不同之处在于：

所述传动装置8的数量与所述转动座7的数量相同，所述传动装置8包括密封座803和贯穿所述密封座803中心轴的转动轴801，所述密封座803贯穿所述干燥槽1的侧壁，所述转动轴801靠近所述转动座7一侧设有传动轮802，所述传动轮802设置在所述干燥槽1内部，所述传动轮802根据所述转动轴801的转动带动所述转动座7同步转动；每个传动装置8带动相对应的转动座7同步转动。

传动轮802和旋转轮701为可以相互咬合的齿轮，进一步的传动齿轮带动旋转齿轮同步转动。

所述导向装置9包括至少两个导向板，两个所述导向板设置在所述干燥槽1上槽口4内壁上，所述导向板的一端与所述槽口4的内壁固定连接；

所述第一定位装置10用于固定所述基片架5靠近所述槽口4一端，所述第一定位装置10为定位座1001和/或者定位轴承1002；

所述第二定位装置用于固定所述基片架5位于所述干燥槽1远离所述槽口4的底端，所述定位装置包括底部固定座11和底部盲板12，所述底部盲板12用于固定所述转动座7和所述基片架5靠近所述转动座7的一端。

所述底部固定座11上设有至少两个折弯板，所述折弯板用于所述的基片架5的导向和固定作用，所述折弯板的导向方向与所述导向装置9相同。

所述加热装置3为紫外灯管、红外灯管、导热板、导热油或加热管。

所述干燥槽1侧壁上还设有观察窗13，观察窗13用于观察真空干燥装置中对产品的干燥情况。

实施例3

一种真空干燥方法，应用实施例1或实施例2所述的真空干燥装置的真空干燥方法，包括以下步骤：

步骤一：产品入槽，将处理过的产品挂在所述基片架5的挂具6上，所述基片架5通过行车装置放入所述干燥槽1内；

步骤二：密封并抽真空，采用所述盖板2将所述干燥槽1的槽口4进行密封后，使用外部的自动真空泵通过所述干燥槽1上的通孔，对所述真空干燥装置进行快速抽真空至10000pa以内，抽气时间0.8-1.2min；

步骤三：干燥产品，所述感应开关感应所述基片架5进入所述干燥槽1内后，打开所述加热装置3和所述传动装置8，使温度达到75℃后加热10min；

步骤四：解压并取出产品，完成步骤三中的干燥后，对真空中干燥装置进行放气解压，放气时间0.8-1.2min，打开盖板2采用行车装置将挂在所述基片架5取出；本发明的真空干燥方法自动化程度较高，烘干速度较快，节约能源。

具体的，步骤一中处理过的产品包括如下处理步骤：

S1：除油，将除油粉喷涂在产品上，在60-70℃的环境下处理2-5min；S2：清洗，将除油后的产品使用自来水清洗至少一次，每次清洗0.5-2min；S3：活化，将S2中得到的产品进行酸活化，在33-37℃的环境下，处理0.5-2min；S4：清洗，将活化后的产品使用自来水进行清洗至少一次，每次清洗0.5-2min；S5：钝化，将S4中得到的产品进行钝化处理，在33-37℃的环境下，处理0.5-2min；目的是在产品上形成一层致密钝化膜；S6：清洗，将钝化后的产品使用自来水进行清洗至少一次，每次清洗0.5-2min；S7：纯水洗，将S6中得到的产品使用温度为48-52℃，电导率小于20μS/cm的纯水，清洗至少一次，每次0.5-2min；S8：纯水洗，将S7中得到的产品使用温度为48-52℃，电导率小于3μS/cm的纯水，清洗至少一次，每次0.5-2min；S9：快速干燥，将S8中得到的产品放入快速干燥箱内，进行加热后，进行大风量循环，同时将工件快速再加热到74-76℃，持续2.9-3.1min，快速干燥的目的是扫除产品表面的大水滴，提高工件温度。

实施例4

一种真空干燥方法，应用实施例1或实施例2所述的真空干燥装置的真空干燥方法，包括以下步骤：

步骤一：产品入槽，将处理过的产品挂在所述基片架5的挂具6上，所述基片架5通过行车装置放入所述干燥槽1内；

步骤二：密封并抽真空，采用所述盖板2将所述干燥槽1的槽口4进行密封后，使用外部的自动真空泵通过所述干燥槽1上的通孔，对所述真空干燥装置进行快速抽真空至10000pa以内，抽气时间1min；

步骤三：干燥产品，所述感应开关感应所述基片架5进入所述干燥槽1内后，打开紫外灯管、红外灯管、导热板、导热油或加热管和所述传动装置8，使温度达到75℃后加热10min；

步骤四：解压并取出产品，完成步骤三中的干燥后，对真空中干燥装置进行放气解压，放气时间1min，打开盖板2采用行车装置将挂在所述基片架5取出，进而取出产品；本发明的真空干燥方法自动化程度较高，烘干速度较快，节约能源。

具体的，步骤一中处理过的产品包括如下处理步骤：

S1：除油，将除油粉喷涂在产品上，在65℃的环境下处理4min；S2：清洗，将除油后的产品使用自来水清洗三次，每次清洗0.5-2min；S3：活化，将S2中得到的产品采用(硫酸、盐酸或有机酸)进行酸活化，在33-37℃的环境下，处理1.5min；S4：清洗，将活化后的产品使用自来水进行清洗三次，每次清洗1.5min；S5：钝化，将S4中得到的产品采用(铬酸或钝化盐)进行钝化处理，在35℃的环境下，处理1.5min；目的是在产品上形成一层致密钝化膜；S6：清洗，将钝化后的产品使用自来水进行清洗两次次，每次清洗1.5min；S7：纯水洗，将S6中得到的产品使用温度为50℃，电导率小于20μS/cm的纯水，清洗三次，每次1.5min；S8：纯水洗，将S7中得到的产品使用温度为50℃，电导率小于3μS/cm的纯水，清洗一次，每次1.5min；S9：快速干燥，将S8中得到的产品放入快速干燥箱内，进行加热后，进行大风量循环，同时将工件快速再加热到75℃，持续3min；快速干燥的目的是扫除产品表面的大水滴，提高工件温度。

本发明公开的真空干燥装置，通过高温使产品迅速烘干，且产品能通过挂具自转，是产品表面的温度均匀，产品质量好，节约能源，提高效率，而且自动化程度较高；

本发明公开的真空干燥方法，自动化程度较高，烘干速度较快，节约能源。

上述说明示出并描述了本发明的优选实施例，如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.一种真空干燥装置，包括干燥槽(1)、盖板(2)和加热装置(3)，所述盖板(2)用于密封所述干燥槽(1)的槽口(4)，其特征在于，所述干燥槽(1)内与所述槽口(4)相对的底面上设有若干转动座(7)，所述加热装置(3)设置在所述干燥槽(1)内的四周侧壁上；

还包括基片架(5)和传动装置(8)，所述基片架(5)通过所述槽口(4)放入所述干燥槽(1)内，所述传动装置(8)用于带动所述转动座(7)转动；

所述基片架(5)上设有若干挂具(6)，所述挂具(6)与所述基片架(5)活动连接；

所述基片架(5)通过所述挂具(6)与所述转动座(7)固定连接，所述挂具(6)与所述转动座(7)同步转动。

2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述传动装置设有至少一个，所述传动装置(8)包括密封座(803)和贯穿所述密封座(803)中心轴的转动轴(801)，所述密封座(803)贯穿所述干燥槽(1)的侧壁，所述转动轴(801)靠近所述转动座(7)一侧设有传动轮(802)，所述传动轮(802)设置在所述干燥槽(1)内部，所述传动轮(802)根据所述转动轴(801)的转动带动所述转动座(7)同步转动。

3.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述转动座(7)包括旋转轮(701)、基座(702)和设置在所述基座(702)上的轴向孔(703)，所述轴向孔(703)向下与所述旋转轮(701)的中心孔连通，所述挂具(6)通过轴套(704)与所述转动座(7)固定连接，所述轴套(704)一端与所述挂具(6)固定连接，另一端通过所述轴向孔(703)与所述旋转轮(701)的中心孔固定连接，所述旋转轮(701)根据所述传动轮(802)的传动，带动与所述轴套(704)固定连接的挂具(6)同步转动。

4.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，还包括设置在所述干燥槽(1)内的导向装置(9)、第一定位装置(10)和第二定位装置，所述导向装置(9)用于放置所述基片架(5)时的导向，所述第一定位装置(10)和所述第二定位装置均用于所述基片架(5)的位置的固定。

5.根据权利要求4所述的真空干燥装置，其特征在于，所述导向装置(9)包括至少两个导向板，两个所述导向板设置在所述干燥槽(1)上槽口(4)内壁上，所述导向板的一端与所述槽口(4)的内壁固定连接；

所述第一定位装置(10)用于固定所述基片架(5)靠近所述槽口(4)一端，所述第一定位装置(10)为定位座(1001)和/或者定位轴承(1002)；

所述第二定位装置用于固定所述基片架(5)位于所述干燥槽(1)远离所述槽口(4)的底端，所述定位装置包括底部固定座(11)和底部盲板(12)，所述底部盲板(12)用于固定所述转动座(7)和所述基片架(5)靠近所述转动座(7)的一端。

6.根据权利要求5所述的真空干燥装置，其特征在于，所述底部固定座(11)上设有至少两个折弯板，所述折弯板用于所述的基片架(5)的导向和固定作用，所述折弯板的导向方向与所述导向装置(9)相同。

7.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，还包括感应开关，所述感应开关设置在所述槽口(4)处，所述感应开关用于感应设置在基片架(5)上的产品的进入，并打开所述加热装置(3)和所述传动装置(8)，所述加热装置(3)用于对所述基片架(5)上的产品进行加热。

8.根据权利要求7所述的真空干燥装置，其特征在于，所述加热装置(3)为紫外灯管、红外灯管、导热板、导热油或加热管。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的真空干燥装置，其特征在于，所述干燥槽(1)上设有一个通孔，所述通孔用于连接真空泵，所述盖板(2)为铝盖板(2)或不锈钢盖板(2)。

10.一种真空干燥方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：产品入槽，将处理过的产品挂在所述基片架(5)的挂具(6)上，所述基片架(5)通过行车装置放入所述干燥槽(1)内；

步骤二：密封并抽真空，采用所述盖板(2)将所述干燥槽(1)的槽口(4)进行密封后，使用外部的自动真空泵通过所述干燥槽(1)上的通孔，对所述真空干燥装置进行快速抽真空至10000pa以内，抽气时间0.8-1.2min；

步骤三：干燥产品，感应开关感应所述基片架(5)进入所述干燥槽(1)内后，打开所述加热装置(3)和所述传动装置(8)，使温度达到75℃后加热10min；

步骤四：解压并取出产品，完成步骤三中的干燥后，对真空中干燥装置进行放气解压，放气时间0.8-1.2min，打开盖板(2)采用行车装置将挂在所述基片架(5)取出；

所述真空干燥装置为权利要求1-9任意一项所述的真空干燥装置。