CN109142795B - 一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 63
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 50
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 60
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 48
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 28
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 28
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 18
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 12
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 9
- 239000010445 mica Substances 0.000 claims description 9
- 229910052618 mica group Inorganic materials 0.000 claims description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 8
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 6
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 3
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 218
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 16
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 13
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 12
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 9
- 238000000418 atomic force spectrum Methods 0.000 description 5
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000877 morphologic effect Effects 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 239000005995 Aluminium silicate Substances 0.000 description 1
- 235000012211 aluminium silicate Nutrition 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N kaolin Chemical compound O.O.O=[Al]O[Si](=O)O[Si](=O)O[Al]=O NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000012460 protein solution Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
- G01Q60/28—Adhesion force microscopy
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
本发明公开了一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法，属于原子力显微镜粘滞力测量技术领域。包括如下步骤：(1)清洗基体；(2)制备样品：在经过步骤(1)清洗的基体上设有首尾连接的N个样品，N为大于或等于2的自然数，得到待比较样品；(3)粘滞力图像的测量：用原子力显微镜的adhesion通道对经过步骤(2)得到的待比较样品扫描测量，得到adhesion图像，从adhesion图像观察待比较样品的粘滞力大小。本发明能够利用原子力显微镜，简单、快速、直观地比较出不同样品与针尖之间的粘滞力大小，降低数据处理工作量，省时省力。
Description
技术领域
本发明涉及原子力显微镜粘滞力测量技术领域，具体涉及一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法。
背景技术
原子力显微镜是利用探针针尖与样品之间作用力来获得样品表面高分辨率的形貌信息的一种设备，原子力显微镜不仅可以表征样品表面的形貌信息，在表征样品的力学、电学以及磁学等方面的性能也发挥了巨大的作用，其中通过力曲线来获得探针针尖与样品表面之间粘滞力的大小是一个重要的应用领域。
通常力曲线的测量是在探针与样品单点接触的模式下获得的，但是利用接触模式得到的力曲线只能提供样品表面单点的作用力信息，并且该粘滞力的数值与样品表面的粗糙度、针尖与样品之间接触面积的大小都有较大的关系，因此，单点力曲线的信息通常不具有代表性。
为了获得样品表面与针尖之间作用力大小的真实值，现有技术中，需要在样品表面的不同位置进行数十次的测量后取平均值，从而反映出样品表面与针尖之间粘滞力的大小。
虽然单点力曲线的测量较为简单，但是在需要比较不同样品与针尖之间粘滞力的大小时，每个样品都需要重复数十次的测量，然后计算得到其平均值后再进行比较，后续的数据处理工作量大，耗时费力，因此需要开发一个新的快速测量比较样品表面粘滞力大小的方法。
发明内容
本发明针对现有技术存在的上述不足，提出一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法，本发明能够利用原子力显微镜，简单、快速、直观地比较出不同样品与针尖之间的粘滞力大小，降低数据处理工作量，省时省力。
为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：
一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法，包括如下步骤：
(1)清洗基体；
(2)制备样品：在经过步骤(1)清洗的基体上设有首尾连接的N个样品，N为大于或等于2的自然数，得到待比较样品；
(3)粘滞力图像的测量：用原子力显微镜的adhesion通道对经过步骤(2)得到的待比较样品扫描测量，得到adhesion图像，从adhesion图像观察待比较样品的粘滞力大小。
进一步的，所述相邻两个样品交叠且不完全重合。
进一步的，所述步骤(1)中的基体采用玻璃、石英、云母或硅片中的一种。
进一步的，所述步骤(1)清洗基体包括如下步骤：
A:清水清洗：选取表面平整的基体，用清水清洗3-5次；
B:乙醇清洗：经过步骤A清洗的基体用乙醇继续清洗3-5次；
C:去离子水清洗：经过步骤B清洗过的基体用去离子水清洗3-5次，并将洗涤后的基体保存在去离子水中。
进一步的，所述步骤A清水清洗为搅拌清洗。
进一步的，所述步骤(2)中的N个样品均为液体样品，相邻两个样品中的一个样品干燥后再滴加相邻两个样品中的另一个样品。
进一步的，所述N个样品均通过移液枪滴加在经过步骤(1)清洗的基体上。
进一步的，所述步骤(2)中的N个样品均为固体样品，N个样品均通过双面胶粘贴在经过步骤(1)清洗的基体上。
本发明具有的有益效果：
1、一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法，通过步骤(1)清洗基体能够提高试验精度，不会因为基体没有得到清洗，造成样品表面不干净，增大实验误差，甚至造成原子力显微镜探针的污染；
通过在经过步骤(1)清洗的基体上设置首尾连接的2个或2个以上的样品，能够使2个或2个以上的样品连续起来，有利于原子力显微镜一次性连续划过2个或2个以上的样品，使2个或2个以上的样品受到相同原子力显微镜探针的作用，提高试验效率，减少了工作量，提高了试验精度，为同一幅图像中2个或2个以上的样品与探针之间粘滞力大小的直观比较奠定基础；此外，2个或2个以上的样品首尾连接，还能够节省样品占用的基体面积，节省基体的用料，降低试验成本；缩短探针滑过的距离，提高检测效率；
通过用原子力显微镜的adhesion通道对经过步骤(2)得到的待比较样品扫描测量，得到adhesion图像，能够直观快速地从adhesion图像观察待比较样品的粘滞力大小。
所以本发明不仅操作步骤简单、快速，而且可以实现在同一幅图像中2个或2个以上的样品与探针之间粘滞力大小的直观比较，减少了工作量，极大的提高了实验效率。
2、通过使相邻两个样品交叠且不完全重合，能够使相邻两个样品在相互明确区分的基础上，实现2个或2个以上的样品的首尾连接。
3、通过令步骤(1)中的基体采用玻璃、石英、云母或硅片中的一种，能够为基体提供多个选择，适用于不同基体上粘滞力的比较。
4、通过在表面平整的基体上用清水清洗3-5次，清水清洗中的清水是指自来水，能够清洗掉基体上的颗粒杂质，为接下来的乙醇清洗做好基础，提高清洗效果；如果没有清水清洗，将会增大乙醇和去离子水的用量，造成乙醇和去离子水的浪费，而清水清洗既节约了乙醇和去离子水，而且提高了试验精度；其中，选取表面平整的基体，是位了避免基体上的凸起或者凹陷对试验精度的影响；再者，用清水清洗3-5次，是因为基体经过清水洗3-5次后，基体上的杂质颗粒可以被清洗干净；
通过将经过步骤A清洗的基体用乙醇继续清洗3-5次，能够清洗掉基体上的有机物。因为虽然基体经过了清水清洗，并被清水清洗掉基体上的杂质颗粒，但是基体上残存的有机物并不能被清水清洗掉，所以在清水清洗的基础上还需要进行乙醇清洗，而乙醇清洗3-5次后，基体上残存的有机物被清洗干净；
通过在经过步骤B清洗过的基体上继续用去离子水清洗3-5次，并将洗涤后的基体保存在去离子水中。能够清洗掉在乙醇清洗后，残留在基体上的乙醇，其中，去离子水清洗3-5次后，残存在基体上的乙醇被清洗干净；再者，洗涤后的基体保存在去离子水中，能够使清洗干净后的基体不再被外界污染，提高试验精度。
5、因为步骤A清水清洗为搅拌清洗，搅拌清洗是在用清水清洗时，对放有基体的清水进行搅动，使基体在清水中能够旋转起来，所以，能够使清水在清洗掉基体上的颗粒杂质，例如浮灰时，提高清水对基体的冲击力度，提高对基体的清洗效果而且不会损伤基体，进而提高试验的准确度；同时也提高了清洗效率。
6、当步骤(2)中的N个样品均为液体样品时，通过在相邻两个样品中的一个样品干燥后再滴加相邻两个样品中的另一个样品。能够避免因为相邻两个样品中的一个样品还没有干燥就滴加另一个样品，造成相邻两个样品相互掺杂，出现无法准确区分相邻两个样品的情况，避免出现影响试验精度，甚至造成无效试验的后果，即这一设置，保证了试验能够正常进行。
7、当步骤(2)中的N个样品均为固体样品时，通过让N个样品均通过双面胶粘贴在经过步骤(1)清洗的基体上。能够适用于固体样品在基体上的固定，双面胶易于取得，价格低廉，降低试验成本。
附图说明
图1是实施例1的待比较样品分布图；
图2是实施例2的待比较样品分布图；
图3是实施例3的待比较样品分布图；
图4是实施例4的待比较样品分布图；
图5是实施例5的待比较样品分布图。
具体实施方式
为了更好地理解本发明，下面结合附图对本发明进行进一步的阐述。
实施例1：
如图1所示，样品一和样品二均为液体样品，具体的，样品一为高岭土悬浮液,样品二为硅藻土悬浮液。
样品一和样品二的粘滞力比较方法，包括如下步骤：
(1)清洗基体：
A:清水清洗：选取表面平整的玻璃，用清水清洗3次；
B:乙醇清洗：经过步骤A清洗的玻璃用乙醇继续清洗3次；
C:去离子水清洗：经过步骤B清洗过的玻璃用去离子水清洗3次，并将洗涤后的玻璃保存在去离子水中。
(2)制备样品：在经过步骤(1)清洗的玻璃上用移液枪先滴加样品一，待样品一干燥后，再用移液枪滴加样品二，样品一和样品二交叠且不完全重合，即：样品二与样品一交叠的面积小于样品一的面积或者样品二的面积，图1中的阴影部分为样品一和样品二的交叠部分，待样品二干燥后，得到待比较样品，如图1所示。
(3)粘滞力图像的测量：选取弹性系数为0.4N/m的探针，将激光聚焦到探针的前端，选择adhesion通道，用原子力显微镜的adhesion通道对经过步骤(2)得到的待比较样品扫描测量，得到adhesion图像，通过对adhesion图像进行分析就可以直观观察到探针与样品一，探针与样品二之间粘滞力的大小。原子力显微镜的型号为Bruker Dimension Edge。
实施例2
如图2所示，样品三、样品四、样品五和样品六均为液体样品，具体的，样品三、样品四、样品五和样品六分别为四个不同的小分子蛋白质溶液。
样品三、样品四、样品五和样品六的粘滞力比较方法，包括如下步骤：
(1)清洗基体：
A:清水清洗：选取表面平整的硅片，用清水清洗4次；
B:乙醇清洗：经过步骤A清洗的硅片用乙醇继续清洗4次；
C:去离子水清洗：经过步骤B清洗过的硅片用去离子水清洗4次，并将洗涤后的硅片保存在去离子水中。
(2)制备样品：在经过步骤(1)清洗的硅片上，用移液枪先滴加样品三，待样品三干燥后，再用移液枪滴加样品四，样品四与样品三交叠且不完全重合，待样品四干燥后，再用移液枪滴加样品五，样品五与样品四交叠且不完全重合，待样品五干燥后，再用移液枪滴加样品六，样品六与样品五交叠且不完全重合，样品六与样品三交叠且不完全重合，如图2所示，样品三、样品四、样品五和样品六依次首尾交叠形成环形，这样还能够节省样品在硅片上占用的面积，减小硅片的面积，节省硅片，待样品六干燥后，得到待比较样品。
(3)粘滞力图像的测量：选取弹性系数为0.7N/m的探针，并将激光聚焦到探针的前端，选择adhesion通道，用原子力显微镜的adhesion通道对经过步骤(2)得到的待比较样品扫描测量，得到adhesion图像，通过对adhesion图像进行分析就可以直观观察到探针与样品三、样品四、样品五和样品六之间粘滞力的大小。原子力显微镜的型号为BrukerDimension Edge。
实施例3
如图3所示，样品七、样品八、样品九、样品十、样品十一和样品十二均为液体样品，具体的，所述样品七、样品八、样品九、样品十、样品十一和样品十二为不同个类的树脂和不同个类的固化剂的混合液。
样品七、样品八、样品九、样品十、样品十一和样品十二的粘滞力比较方法，包括如下步骤：
(1)清洗基体：
A:清水清洗：选取表面平整的石英，用清水清洗5次；
B:乙醇清洗：经过步骤A清洗的石英用乙醇继续清洗5次；
C:去离子水清洗：经过步骤B清洗过的石英用去离子水清洗5次，并将洗涤后的石英保存在去离子水中。
(2)制备样品：在经过步骤(1)清洗的石英上用移液枪先滴加样品七，待样品七干燥后，再用移液枪滴加样品八，样品八在样品七的右侧，样品八与样品七交叠且不完全重合，待样品八干燥后，再用移液枪滴加样品九，样品九在样品八的右侧，样品九与样品八交叠且不完全重合，待样品九干燥后，再用移液枪滴加样品十，样品十在样品九的下侧，样品十与样品九交叠且不完全重合，样品十与样品八交叠且不完全重合，待样品十干燥后，再用移液枪滴加样品十一，样品十一在样品十的左侧，样品十一与样品十交叠且不完全重合，样品十一与样品八交叠且不完全重合，样品十一与样品七交叠且不完全重合，待样品十一干燥后，再用移液枪滴加样品十二，样品十二在样品十一的下侧，样品十二与样品十一交叠且不完全重合，样品十二与样品十交叠且不完全重合，待样品十二干燥后，得到待比较样品，如图3所示。
(3)粘滞力图像的测量：选择弹性系数为0.5N/m的探针，并调节激光聚焦到探针前端，选择adhesion通道，用原子力显微镜的adhesion通道对经过步骤(2)得到的待比较样品扫描测量，得到adhesion图像，通过对adhesion图像进行分析就可以直观观察到探针与样品七、样品八、样品九、样品十、样品十一和样品十二之间粘滞力的大小。原子力显微镜的型号为BrukerDimension Edge。
实施例4
如图4所示，样品十三、样品十四和样品十五均为固体样品，具体的，样品十三、样品十四和样品十五为不同的橡胶薄膜。
样品十三、样品十四和样品十五的粘滞力比较方法，包括如下步骤：
(1)清洗基体：
A:清水清洗：选取表面平整的云母片，用清水清洗3次；
B:乙醇清洗：经过步骤A清洗的云母片用乙醇继续清洗3次；
C:去离子水清洗：经过步骤B清洗过的云母片用去离子水清洗3次，并将洗涤后的云母片保存在去离子水中。
(2)制备样品：在经过步骤(1)清洗的云母片上，用双面胶先粘贴样品十三，待样品十三固定在云母片上后，再用双面胶粘贴样品十四，样品十四在样品十三的右侧，样品十四与样品十三交叠且不完全重合，待样品十四固定好后，再用双面胶粘贴样品十五，样品十五在样品十四的下侧，样品十五与样品十四交叠且不完全重合，样品十五与样品十三交叠且不完全重合，样品十三、样品十四和样品十五的形状大小都相同，待样品十五固定好后，各样品接触区域完全平整，得到待比较样品，如图4所示，样品十三、样品十四和样品十五依次首尾交叠形成环形，这样能够节省样品在云母片上占用的面积，减少探针滑过的距离，提高检测效率。
(3)粘滞力图像的测量：选择弹性系数为0.6N/m的探针，并调节激光聚焦到探针前端，选择adhesion通道，用原子力显微镜的adhesion通道对经过步骤(2)得到的待比较样品扫描测量，得到adhesion图像，通过对adhesion图像进行分析就可以直观观察到探针与样品十三、样品十四和样品十五之间粘滞力的大小。原子力显微镜的型号为BrukerDimension Edge。
实施例5
如图5所示，样品十六、样品十七、样品十八、样品十九和样品二十均为固体样品，具体的，样品十六、样品十七、样品十八、样品十九和样品二十为不同的无机氧化物薄膜。
样品十六、样品十七、样品十八、样品十九和样品二十的粘滞力比较方法，包括如下步骤：
(1)清洗基体：
A:清水清洗：选取表面平整的硅片，用清水清洗3次；
B:乙醇清洗：经过步骤A清洗的硅片用乙醇继续清洗3次；
C:去离子水清洗：经过步骤B清洗过的硅片用去离子水清洗3次，并将洗涤后的硅片保存在去离子水中。
(2)制备样品：在经过步骤(1)清洗的硅片上用双面胶先粘贴样品十六，待样品十六固定在硅片上后，再用双面胶粘贴样品十七，样品十七与样品十六交叠且不完全重合，待样品十七固定好后，再用双面胶粘贴样品十八，样品十八与样品十七交叠且不完全重合，待样品十八固定好后，再用双面胶粘贴样品十九，样品十九与样品十八交叠且不完全重合，样品十九与样品十六交叠且不完全重合，待样品十九固定好后，再用双面胶粘贴样品二十，样品二十与样品十九交叠且不完全重合，样品二十与样品十八交叠且不完全重合，样品二十与样品十七交叠且不完全重合，样品二十与样品十六交叠且不完全重合，样品十六、样品十七、样品十八、样品十九和样品二十的形状大小都相同，待样品二十固定好后,各样品接触区域完全平整，得到待比较样品。如图5所示，用双面胶将样品十六、样品十七、样品十八和样品十九依次首尾交叠形成环形固定，再将样品二十放于样品十九的右上方，使样品二十在样品十六、样品十七、样品十八和样品十九形成的环形中间。
(3)粘滞力图像的测量：选择弹性系数为0.5N/m的探针，并调节激光聚焦到探针前端，选择adhesion通道，用原子力显微镜的adhesion通道对经过步骤(2)得到的待比较样品扫描测量，得到adhesion图像，通过对adhesion图像进行分析就可以直观观察到探针与样品十六、样品十七、样品十八、样品十九和样品二十之间粘滞力的大小。原子力显微镜的型号为Bruker DimensionEdge。
Claims (5)
1.一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)清洗基体；
(2)制备样品：在经过步骤(1)清洗的基体上设有首尾连接的N个样品，N为大于或等于2的自然数，相邻两个样品交叠且不完全重合，得到待比较样品；
当N个样品均为液体样品时，相邻两个样品中的一个样品干燥后再滴加相邻两个样品中的另一个样品；
当N个样品均为固体样品时，N个样品均通过双面胶粘贴在经过步骤(1)清洗的基体上；
(3)粘滞力图像的测量：用原子力显微镜的adhesion通道对经过步骤(2)得到的待比较样品扫描测量，得到adhesion图像，从adhesion图像观察待比较样品的粘滞力大小。
2.根据权利要求1所述的一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法，其特征在于，所述步骤(1)中的基体采用玻璃、石英、云母或硅片中的一种。
3.根据权利要求2所述的一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法，其特征在于，所述步骤(1)清洗基体包括如下步骤：
A:清水清洗：选取表面平整的基体，用清水清洗3-5次；
B:乙醇清洗：经过步骤A清洗的基体用乙醇继续清洗3-5次；
C:去离子水清洗：经过步骤B清洗过的基体用去离子水清洗3-5次，并将洗涤后的基体保存在去离子水中。
4.根据权利要求3所述的一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法，其特征在于，所述步骤A清水清洗为搅拌清洗。
5.根据权利要求1所述的一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法，其特征在于，当所述N个样品均为液体样品时，N个样品均通过移液枪滴加在经过步骤(1)清洗的基体上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811286078.9A CN109142795B (zh) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811286078.9A CN109142795B (zh) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109142795A CN109142795A (zh) | 2019-01-04 |
| CN109142795B true CN109142795B (zh) | 2021-05-28 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811286078.9A Active CN109142795B (zh) | 2018-10-31 | 2018-10-31 | 一种基于原子力显微镜的粘滞力比较方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109142795B (zh) |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20070119396A (ko) * | 2006-06-15 | 2007-12-20 | 포항공과대학교 산학협력단 | 미세 상호 작용력 측정장치 및 측정방법 |
| CN101849021A (zh) * | 2007-06-14 | 2010-09-29 | 浦项工科大学校产学协力团 | 作为用于生物芯片的分析工具的原子力显微镜 |
| CN102077091A (zh) * | 2008-06-30 | 2011-05-25 | 积水医疗株式会社 | 用于结合测定的多孔性固相和使用所述多孔性固相的结合测定法 |
| CN103217555A (zh) * | 2013-05-14 | 2013-07-24 | 曹毅 | 一种用于测量单分子间作用力的方法 |
| CN103757675A (zh) * | 2014-01-20 | 2014-04-30 | 厦门大学 | 一种afm硅针尖脉冲电镀纳米厚度致密金薄膜方法 |
| CN106290367A (zh) * | 2016-08-22 | 2017-01-04 | 李剑超 | 一种基于化学组合扰动的复杂液状物全息成像方法 |
| CN107037240A (zh) * | 2017-04-06 | 2017-08-11 | 中山大学惠州研究院 | 一种基于原子力显微镜表征分子间作用力的方法 |
-
2018
- 2018-10-31 CN CN201811286078.9A patent/CN109142795B/zh active Active
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20070119396A (ko) * | 2006-06-15 | 2007-12-20 | 포항공과대학교 산학협력단 | 미세 상호 작용력 측정장치 및 측정방법 |
| CN101849021A (zh) * | 2007-06-14 | 2010-09-29 | 浦项工科大学校产学协力团 | 作为用于生物芯片的分析工具的原子力显微镜 |
| CN102077091A (zh) * | 2008-06-30 | 2011-05-25 | 积水医疗株式会社 | 用于结合测定的多孔性固相和使用所述多孔性固相的结合测定法 |
| CN103217555A (zh) * | 2013-05-14 | 2013-07-24 | 曹毅 | 一种用于测量单分子间作用力的方法 |
| CN103757675A (zh) * | 2014-01-20 | 2014-04-30 | 厦门大学 | 一种afm硅针尖脉冲电镀纳米厚度致密金薄膜方法 |
| CN106290367A (zh) * | 2016-08-22 | 2017-01-04 | 李剑超 | 一种基于化学组合扰动的复杂液状物全息成像方法 |
| CN107037240A (zh) * | 2017-04-06 | 2017-08-11 | 中山大学惠州研究院 | 一种基于原子力显微镜表征分子间作用力的方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 利用原子力显微镜测量石英岩表面分子沉积膜的粘着力;王德国;《石油大学学报（自然科学版）》;19990831;全文 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109142795A (zh) | 2019-01-04 |
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