CN109097819A - 一种交叉孔零件的电解抛光治具 - Google Patents
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Abstract
本发明一种交叉孔零件的电解抛光治具，包括阳极座、阴极座、阳极支撑座、阴极支座、阴极块一、阴极块二、绝缘组件、导线接头、钨针；阳极座为凸形体，阳极座的凸起部套设有阴极座，阴极座通过绝缘组件紧固连接到阳极座上；阳极座的凸起部上端通过螺栓固接有两个阳极支撑座；阴极座上设有多个阴极支座和一个导线接头，阴极支座上设有钨针；阴极块一和阴极块二设置在零件两侧；阴极块一和阴极块二通过导线与阴极座连接。工装结构合理，可以保证电解抛光的治具能够充分的导电和阴阳极的绝缘。本发明结构新颖，可以作为电抛治具处理异形零件结构。
Description
技术领域
本发明属于机械制造业技术领域，IC装备零部件的零件中有一种设备零部件为流量计，该零件内部需要通气体，则设计要求其内部孔的粗糙度达到Ra0.1，这样对于机加工和表面处理都提出了极高的要求。电解抛光就是能够提高表面粗糙度的最佳方式。
背景技术
随着电子集成电路，智能制造的快速发展和普及，对于IC装备的需求量也日益增加。国家也将集成电路制造归到9大专项中的02专项进行攻关和研发。流量计就是IC装备中一种重要的零部件，其特点是，工作状态是控制气体的流向和流速，则对于孔的内壁粗糙度要求较高。电解抛光的特点是﹕①抛光的表面不会产生变质层﹐无附加应力﹐并可去除或减小原有的应力层﹔②对难于用机械抛光的硬质材料﹑软质材料以及薄壁﹑形状复杂﹑细小的零件和制品都能加工﹔③增加亮度。则非常适合于此种零件的最终粗糙度要求
发明内容
本发明的目的是一种交叉孔零件的电解抛光治具，图1为零件孔分布图，其内部设计特征为交叉孔.，而且孔直径非常小，若保证所有孔位均能够阴极覆盖，则需要使用较细的钨针来达到效果，那么钨针的排布和治具的结构就是具有一定的难度。
为了实现上述目的，本实用发明的技术方案是：
一种交叉孔零件的电解抛光治具，包括阳极座、阴极座、阳极支撑座、阴极支座、阴极块一、阴极块二、绝缘组件、导线接头、钨针；阳极座为凸形体，阳极座的凸起部套设有阴极座，阴极座通过绝缘组件紧固连接到阳极座上；阳极座的凸起部上端通过螺栓固接有两个阳极支撑座；阴极座上设有多个阴极支座和一个导线接头，阴极支座上设有钨针；阴极块一和阴极块二设置在零件两侧；阴极块一和阴极块二通过导线与阴极座连接。
阳极座采用纯钛材质，通过阳极支撑座与被抛光零件相连接。
阴极座为纯钛材质，呈阴极座为U形体，具有多角度滑槽，保证与待抛零件孔位置一致。
阳极支撑座为纯钛材质，阳极支撑座呈Z形体，一端与阳极座相连接，另一端与零件用螺钉锁紧。
阴极支座中间用线切割加工出小孔用于放置钨针，并具有螺纹孔便于锁紧钨针。
阴极块一和阴极块二与零件用绝缘螺钉和垫片连接，并用导线连接到阴极座上。
绝缘组件材料为PET塑料，与阳极和阴极分别连接，保证阳极与阴极绝缘。
本发明的有益效果是：
1.工装设计结构合理，使用二级纯钛的材料和PET塑料，可以保证电解抛光的治具能够充分的导电和阴阳极的绝缘。
2.阴极支撑块的结构可以在三轴机床和线切割上加工完成，制造成本低，而不会因为交叉空间孔而使用五轴机床加工。
3.用过阴极块的外部接入，使得两处阴极可以顺畅连接，避免出现由于结构紧凑还能够装夹方便的效果
4.本发明结构新颖，可以作为电抛治具处理异形零件结构。
附图说明
图1为本发明整体结构图之一。
图2为本发明整体结构图之二。
图3为阳极座示意图。
图4为阴极座示意图。
图5为阳极支撑座示意图。
图6为阴极支座示意图。
图7为阴极块1示意图。
图8为阴极块2示意图。
图9为绝缘组件示意图。
图10为导线接头示意图。
图11为装配示意图剖视图。
具体实施方式
结合附图1-11标记对本发明进行详细说明。
一种交叉孔零件的电解抛光治具，包括阳极座1、阴极座2、阳极支撑座3、阴极支座4、阴极块一5、阴极块二6、绝缘组件7、导线接头8、钨针9；
阳极座1为凸形体，阳极座1的凸起部套设有阴极座2，阴极座2通过绝缘组件7紧固连接到阳极座1上；
阳极座1的凸起部上端通过螺栓固接有两个阳极支撑座3；
阴极座2上设有多个阴极支座4和一个导线接头8，阴极支座4上设有钨针9；
阴极块一5和阴极块二6设置在零件两侧；阴极块一5和阴极块二6 通过导线与阴极座2连接。
阳极座1采用纯钛材质，通过阳极支撑座3与被抛光零件相连接。
阴极座2为纯钛材质，呈阴极座2为U形体，具有多角度滑槽，保证与待抛零件孔位置一致。
阳极支撑座3为纯钛材质，阳极支撑座3呈Z形体，一端与阳极座相连接，另一端与零件用螺钉锁紧。
阴极支座4中间用线切割加工出小孔用于放置钨针9，并具有螺纹孔便于锁紧钨针。
阴极块一5和阴极块二6与零件用绝缘螺钉和垫片连接，并用导线连接到阴极座2上。
绝缘组件8材料为PET塑料，与阳极和阴极分别连接，保证阳极与阴极绝缘。
将钨针完全探入到孔内，交叉排布，涵盖每个孔，并且两个阴极块也与零件进行连接。
专用的阴极座，将其环绕在阳极基座周围，便于保证各个孔位都能够插入钨针。由于孔径小，为了保证电解抛光阴极不能与零件搭接，则钨针需要选择￠1mm的直径，还需要专门设计支撑钨针的阴极基座，保证钨针能够快速的拔插及定位锁紧。就需要对阴极基座设计各个方向的滑槽便于阴极支座的角度限制。而零件除了内孔以为，内部的凹槽侧壁也要电解抛光，就需要单独设计出两款阴极块与之连接，但必须保证零件与阴极块之间是绝缘的，则就需要使用塑料螺钉和垫片与之隔离开。还要保证电解液能够进入到零件内部进行电解抛光。
实施例
1.将阴极块一和阴极块二分别用绝缘螺钉和垫片连接到零件上。
2.再将连接好的零件安装到阳极座上，并将零件用二级纯钛的金属螺钉锁紧到阳极支撑座上。再将导线分别将阴极块一和阴极快二与阴极座相连接。
3.再通过阴极支座导引钨针探入到零件内部，在钨针外露侧会设计出端面限位的结构，保证操作者将钨针插入到合适的位置而不用担心钨针与零件相接触。
4.当连接完毕后将整套治具用电流检测仪器进行检测，一段搭接到零件上，一段搭接到阴极座上，如果表针显示数值为零，则证明可以使用。最后将整套治具安装到挂具上即可放入槽液中进行电解抛光。
Claims (7)
1.一种交叉孔零件的电解抛光治具，其特征在于：
包括阳极座、阴极座、阳极支撑座、阴极支座、阴极块一、阴极块二、绝缘组件、导线接头、钨针；
阳极座为凸形体，阳极座的凸起部套设有阴极座，阴极座通过绝缘组件紧固连接到阳极座上；
阳极座的凸起部上端通过螺栓固接有两个阳极支撑座；
阴极座上设有多个阴极支座和一个导线接头，阴极支座上设有钨针；
阴极块一和阴极块二设置在零件两侧；阴极块一和阴极块二通过导线与阴极座连接。
2.根据权利要求1所述的一种交叉孔零件的电解抛光治具。其特征在于：阳极座采用纯钛材质，通过阳极支撑座与被抛光零件相连接。
3.根据权利要求1所述的一种交叉孔零件的电解抛光治具，其特征在于：
阴极座为纯钛材质，呈阴极座为U形体，具有多角度滑槽，保证与待抛零件孔位置一致。
4.根据权利要求1所述的一种交叉孔零件的电解抛光治具，其特征在于：
阳极支撑座为纯钛材质，阳极支撑座呈Z形体，一端与阳极座相连接，另一端与零件用螺钉锁紧。
5.根据权利要求1所述的一种交叉孔零件的电解抛光治具，其特征在于：
阴极支座中间用线切割加工出小孔用于放置钨针，并具有螺纹孔便于锁紧钨针。
6.根据权利要求1所述的一种交叉孔零件的电解抛光治具，其特征在于：阴极块一和阴极块二与零件用绝缘螺钉和垫片连接，并用导线连接到阴极座上。
7.根据权利要求1所述的一种交叉孔零件的电解抛光治具，其特征在于：
绝缘组件材料为PET塑料，与阳极和阴极分别连接，保证阳极与阴极绝缘。
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