CN109087877B - 一种晶圆流片用散热性能检测装置 - Google Patents

一种晶圆流片用散热性能检测装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及晶圆流片检测装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片用散热性能检测装置，其可节约水资源，提高使用性；同时方便移动检测头使其与样品进行接触，提高使用效果；且减轻余热对样品散热效果的影响，提高使用可靠性；同时方便将样品从限位环内取出，提高使用效果；包括工作台、支撑架、三组检测头、三组显示器、进水管、出水管和三组限位环，三组显示器分别与三组检测头电连接；还包括连通管、抽液泵和加热器，进水管输入端和出水管输出端分别与抽液泵输入端和加热器输出端连接；支撑架包括四组第一伸缩电机和顶板；还包括放置盒和调节件，放置盒底端与工作台顶端接触；还包括移动件，限位环底端与放置槽内底壁接触。

Description

一种晶圆流片用散热性能检测装置
技术领域
本发明涉及晶圆流片检测装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片用散热性能检测装置。
背景技术
众所周知，晶圆流片用散热性能检测装置是一种用于晶圆流片生产过程中，对其散热性能进行检测，以保证其质量的辅助装置，其在晶圆流片质检领域中得到广泛的使用；现有的晶圆流片用散热性能检测装置包括工作台、支撑架、三组检测头、三组显示器、进水管、出水管和三组限位环，支撑架设置在工作台顶端，三组检测头分别设置在支撑架内顶壁左半区域、右半区域和中部上，三组显示器分别设置在支撑架顶端左半区域、右半区域和中部上，且三组显示器分别与三组检测头电连接，三组限位环分别设置在工作台顶端左半区域、右半区域和中部上，且三组限位环分别位于三组检测头正下方，工作台上半区域上设置有放置腔，进水管和出水管分别设置在工作台右端上侧和左端上侧上，且进水管和出水管均与放置腔相通；现有的晶圆流片用散热性能检测装置使用时只需将三组检测样品分别放入三组限位环内进行固定，并使三组检测头分别与三组检测样品接触，之后通过进水管内放置腔内输入热水，使热水的热量传送到检测样品上，同时通过检测头对样品温度进行检测，当达到规定数值时停止向放置腔内输入热水，使样品自行进行散热，并在散热过程中通过显示器对样品的温度进行实时查看并进行记录，直至样品温度恢复到初始值时停止检测，并将样品取出，最后对检测结果进行归纳总结即可；现有的晶圆流片用散热性能检测装置使用中发现，加热时会耗费较多热水，导致其较耗资源，使用性有限；并且每次使用时均需人工移动检测头使其与样品进行接触，较为麻烦；且加热后工作台上还会留有余热，从而影响样品的散热效果，导致其使用可靠性有限；并且样品位于限位环内部，后续对其进行取出时较为麻烦，从而导致其使用效果有限。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种可节约水资源，提高使用性；同时方便移动检测头使其与样品进行接触，提高使用效果；且减轻余热对样品散热效果的影响，提高使用可靠性；同时方便将样品从限位环内取出，提高使用效果的晶圆流片用散热性能检测装置。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，包括工作台、支撑架、三组检测头、三组显示器、进水管、出水管和三组限位环，支撑架设置在工作台顶端，三组检测头分别设置在支撑架内顶壁左半区域、右半区域和中部上，三组显示器分别设置在支撑架顶端左半区域、右半区域和中部上，且三组显示器分别与三组检测头电连接，三组限位环分别位于三组检测头正下方，工作台上半区域上设置有放置腔，进水管和出水管分别设置在工作台右端上侧和左端上侧上，且进水管和出水管均与放置腔相通；还包括连通管、抽液泵和加热器，所述抽液泵和加热器分别设置在工作台左端上半区域和右端上半区域上，且进水管输入端和出水管输出端分别与抽液泵输入端和加热器输出端连接，所述连通管设置在抽液泵的底部输出端上，且连通管与加热器相通；所述支撑架包括四组第一伸缩电机和顶板，四组第一伸缩电机分别设置在工作台顶端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，并在四组第一伸缩电机的顶部输出端上均设置有第一驱动杆，且四组第一驱动杆顶端分别与顶板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；还包括放置盒和调节件，所述调节件设置在顶板上，放置盒设置在调节件上，所述放置盒顶端设置有放置槽，且放置盒底端与工作台顶端接触；还包括移动件，所述移动件设置在放置槽内，且移动件与限位环连接，所述限位环底端与放置槽内底壁接触。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，所述调节件包括四组第二伸缩电机，所述四组第二伸缩电机分别设置在顶板底端左前区域、左后区域、右前区域和右后区域上，并在四组第二伸缩电机的底部输出端上均设置有第二驱动杆，且所述四组第二驱动杆底端分别与放置盒顶端前侧左半区域和右半区域以及顶端后侧左半区域和右半区域连接。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，所述移动件包括第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块，所述第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块均放置在放置槽内，且第一连接块右端、第二连接块左右两端、第三连接块左右两端和第四连接块左端分别与三组限位环左右两端连接。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，所述第一连接块左端与放置槽内左侧壁下端接触，第四连接块右端与放置槽内右侧壁下端接触，所述第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块前端均与放置槽内前侧壁下端接触，第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块后端均与放置槽内后侧壁下端接触。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，所述工作台内部设置有通槽，且连通管位于通槽内部。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，还包括两组提手，所述两组提手分别设置在第一连接块和第四连接块顶端。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，还包括制冷器和两组第二控制阀，所述制冷器设置在工作台右端上半区域上，且制冷器位于加热器后侧，所述连通管输出端上设置有分流管，并在分流管输出端上设置有两组分流支管，且两组分流支管输出端分别设置在加热器和制冷器输入端上，所述两组第二控制阀分别设置在两组分流支管上。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，还包括输入管和第一控制阀，所述输入管设置在出水管上，第一控制阀设置在输入管上。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，还包括三组固定架，所述三组固定架分别设置在工作台左右两侧上，且三组固定架顶端分别与抽液泵、加热器和制冷器底端连接。
与现有技术相比本发明的有益效果为：其可通过抽液泵将放置腔内的液体输入至加热器内进行加热，从而可对水体进行重复使用，以便节约水资源，提高使用性；同时通过四组第一伸缩电机同时控制四组第一驱动杆带动顶板进行上下移动，从而方便移动检测头使其与样品进行接触，提高使用效果；且可通过控制调节件带动放置盒向上移动，使其底端离开工作台，从而减轻余热对样品散热效果的影响，提高使用可靠性；同时通过将移动件连同三组限位环从放置盒内取出，从而方便将样品从限位环内取出，提高使用效果。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是图1的右视图；
图3是本发明的结构示意图；
附图中标记：1、工作台；2、检测头；3、显示器；4、进水管；5、出水管；6、限位环；7、连通管；8、抽液泵；9、加热器；10、第一伸缩电机；11、顶板；12、第一驱动杆；13、放置盒；14、移动件；15、第二伸缩电机；16、第二驱动杆；17、第一连接块；18、第三连接块；19、提手；20、制冷器；21、第二控制阀；22、分流管；23、分流支管；24、输入管；25、第一控制阀；26、固定架。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1至图3所示，本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，包括工作台1、支撑架、三组检测头2、三组显示器3、进水管4、出水管5和三组限位环6，支撑架设置在工作台顶端，三组检测头分别设置在支撑架内顶壁左半区域、右半区域和中部上，三组显示器分别设置在支撑架顶端左半区域、右半区域和中部上，且三组显示器分别与三组检测头电连接，三组限位环分别位于三组检测头正下方，工作台上半区域上设置有放置腔，进水管和出水管分别设置在工作台右端上侧和左端上侧上，且进水管和出水管均与放置腔相通；还包括连通管7、抽液泵8和加热器9，抽液泵和加热器分别设置在工作台左端上半区域和右端上半区域上，且进水管输入端和出水管输出端分别与抽液泵输入端和加热器输出端连接，连通管设置在抽液泵的底部输出端上，且连通管与加热器相通；支撑架包括四组第一伸缩电机10和顶板11，四组第一伸缩电机分别设置在工作台顶端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，并在四组第一伸缩电机的顶部输出端上均设置有第一驱动杆12，且四组第一驱动杆顶端分别与顶板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；还包括放置盒13和调节件，调节件设置在顶板上，放置盒设置在调节件上，放置盒顶端设置有放置槽，且放置盒底端与工作台顶端接触；还包括移动件14，移动件设置在放置槽内，且移动件与限位环连接，限位环底端与放置槽内底壁接触；其可通过抽液泵将放置腔内的液体输入至加热器内进行加热，从而可对水体进行重复使用，以便节约水资源，提高使用性；同时通过四组第一伸缩电机同时控制四组第一驱动杆带动顶板进行上下移动，从而方便移动检测头使其与样品进行接触，提高使用效果；且可通过控制调节件带动放置盒向上移动，使其底端离开工作台，从而减轻余热对样品散热效果的影响，提高使用可靠性；同时通过将移动件连同三组限位环从放置盒内取出，从而方便将样品从限位环内取出，提高使用效果。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，调节件包括四组第二伸缩电机15，四组第二伸缩电机分别设置在顶板底端左前区域、左后区域、右前区域和右后区域上，并在四组第二伸缩电机的底部输出端上均设置有第二驱动杆16，且四组第二驱动杆底端分别与放置盒顶端前侧左半区域和右半区域以及顶端后侧左半区域和右半区域连接；其可通过四组第二伸缩电机同时控制四组第二驱动杆带动放置盒向上移动，使其底端离开工作台，从而减轻余热对样品散热效果的影响，提高使用可靠性。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，移动件包括第一连接块17、第二连接块、第三连接块18和第四连接块，第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块均放置在放置槽内，且第一连接块右端、第二连接块左右两端、第三连接块左右两端和第四连接块左端分别与三组限位环左右两端连接；其可通过将第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块连同三组限位环从放置盒内取出，从而方便将样品从限位环内取出，提高使用效果。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，第一连接块左端与放置槽内左侧壁下端接触，第四连接块右端与放置槽内右侧壁下端接触，第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块前端均与放置槽内前侧壁下端接触，第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块后端均与放置槽内后侧壁下端接触；其可增强第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块在放置盒内的稳固性，以便保证三组限位环在放置盒内的稳固性，提高使用效果。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，工作台内部设置有通槽，且连通管位于通槽内部；其可对连通管进行保护，提高使用性。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，还包括两组提手19，两组提手分别设置在第一连接块和第四连接块顶端；其可方便将第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块连同三组限位环从放置盒内取出，提高使用性。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，还包括制冷器20和两组第二控制阀21，制冷器设置在工作台右端上半区域上，且制冷器位于加热器后侧，连通管输出端上设置有分流管22，并在分流管输出端上设置有两组分流支管23，且两组分流支管输出端分别设置在加热器和制冷器输入端上，两组第二控制阀分别设置在两组分流支管上；其可通过制冷器对水体进行冷却，以便加快工作台的冷却速度，减轻余热对样品散热效果的影响，提高使用可靠性。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，还包括输入管24和第一控制阀25，输入管设置在出水管上，第一控制阀设置在输入管上；其可方便向连通管内部补充水分，提高使用性。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，还包括三组固定架26，三组固定架分别设置在工作台左右两侧上，且三组固定架顶端分别与抽液泵、加热器和制冷器底端连接；其可增强抽液泵、加热器和制冷器与工作台间的支撑效果和稳固性。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，其在使用时先将三组检测样品分别放入三组限位环内进行固定，然后控制四组第一伸缩电机同时带动四组第一驱动杆上的顶板向下移动，直至使三组检测头分别与三组检测样品接触，之后打开第一控制阀和加热器处的第二控制阀，然后通过输入管进行输水，并通过抽液泵将水体输入至加热器内进行加热，加热后的水体输入到放置腔内并使热水的热量传送到检测样品上，同时通过抽液泵将放置腔内的液体抽出并重新输入到加热器内进行加热，对水体进行重复使用，节约水资源，之后通过检测头对样品温度进行检测，当达到规定数值时停止加热器进行加热并关闭加热器处的第二控制阀打开制冷器处的第二控制阀，通过制冷器对输入到连通管内的水体进行冷却，从而对工作台进行冷却，与此同时，控制四组第一伸缩电机同时带动四组第一驱动杆上的顶板向上移动，并控制四组第二伸缩电机同时带动四组第二驱动杆上的放置盒向上移动，使放置盒底端离开工作台，之后使样品自行进行散热，并在散热过程中通过显示器对样品的温度进行实时查看并进行记录，直至样品温度恢复到初始值时停止检测，之后控制四组第二伸缩电机同时带动四组第二驱动杆上的放置盒向下移动，使放置盒底端与工作台接触，然后手握提手并将第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块连同三组限位环从放置盒内取出，最后将样品取出并对检测结果进行归纳总结即可。
本发明的一种晶圆流片用散热性能检测装置，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；并且上述各部件的型号不限，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，且检测头和显示器是现有设计和技术，本案对其没有任何的技术改进，伸缩电机为市面常见设备，自带控制模块和电线，插电即可使用，未改变其内部结构。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (5)

1.一种晶圆流片用散热性能检测装置，包括工作台（1）、支撑架、三组检测头（2）、三组显示器（3）、进水管（4）、出水管（5）和三组限位环（6），支撑架设置在工作台顶端，三组检测头分别设置在支撑架内顶壁左半区域、右半区域和中部上，三组显示器分别设置在支撑架顶端左半区域、右半区域和中部上，且三组显示器分别与三组检测头电连接，三组限位环分别位于三组检测头正下方，工作台上半区域上设置有放置腔，进水管和出水管分别设置在工作台右端上侧和左端上侧上，且进水管和出水管均与放置腔相通；其特征在于，还包括连通管（7）、抽液泵（8）和加热器（9），抽液泵和加热器分别设置在工作台左端上半区域和右端上半区域上，且进水管输入端和出水管输出端分别与抽液泵输入端和加热器输出端连接，连通管设置在抽液泵的底部输出端上，且连通管与加热器相通；所述支撑架包括四组第一伸缩电机（10）和顶板（11），四组第一伸缩电机分别设置在工作台顶端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，并在四组第一伸缩电机的顶部输出端上均设置有第一驱动杆（12），且四组第一驱动杆顶端分别与顶板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；还包括放置盒（13）和调节件，调节件设置在顶板上，放置盒设置在调节件上，放置盒顶端设置有放置槽，且放置盒底端与工作台顶端接触；还包括移动件，移动件设置在放置槽内，且移动件与限位环连接，限位环底端与放置槽内底壁接触；
所述调节件包括四组第二伸缩电机（15），四组第二伸缩电机分别设置在顶板底端左前区域、左后区域、右前区域和右后区域上，并在四组第二伸缩电机的底部输出端上均设置有第二驱动杆（16），且四组第二驱动杆底端分别与放置盒顶端前侧左半区域和右半区域以及顶端后侧左半区域和右半区域连接；
所述移动件包括第一连接块（17）、第二连接块、第三连接块（18）和第四连接块，第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块均放置在放置槽内，且第一连接块右端、第二连接块左右两端、第三连接块左右两端和第四连接块左端分别与三组限位环左右两端连接；
所述第一连接块左端与放置槽内左侧壁下端接触，第四连接块右端与放置槽内右侧壁下端接触，第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块前端均与放置槽内前侧壁下端接触，第一连接块、第二连接块、第三连接块和第四连接块后端均与放置槽内后侧壁下端接触；
还包括三组固定架（26），三组固定架分别设置在工作台左右两侧上，且三组固定架顶端分别与抽液泵、加热器和制冷器底端连接。
2.如权利要求1所述的一种晶圆流片用散热性能检测装置，其特征在于，所述工作台内部设置有通槽，且连通管位于通槽内部。
3.如权利要求1所述的一种晶圆流片用散热性能检测装置，其特征在于，还包括两组提手（19），两组提手分别设置在第一连接块和第四连接块顶端。
4.如权利要求2所述的一种晶圆流片用散热性能检测装置，其特征在于，还包括制冷器（20）和两组第二控制阀（21），制冷器设置在工作台右端上半区域上，且制冷器位于加热器后侧，连通管输出端上设置有分流管（22），并在分流管输出端上设置有两组分流支管（23），且两组分流支管输出端分别设置在加热器和制冷器输入端上，两组第二控制阀分别设置在两组分流支管上。
5.如权利要求1所述的一种晶圆流片用散热性能检测装置，其特征在于，还包括输入管（24）和第一控制阀（25），输入管设置在出水管上，第一控制阀设置在输入管上。
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