CN109060208B - 力学检测设备及采用该力学检测设备的检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种力学检测设备及采用该力学检测设备的检测方法。该设备包括：承载体，配置有至少两个检测标记，至少两个检测标记的中心点位于沿第一方向的直线上；第一力学检测仪，通过第一连接轴能够与第一待检测施力元件相连接，用于检测所述第一待检测施力元件对所述第一连接轴所施加的沿所述第一连接轴的轴向方向上的作用力；其中第一连接轴的轴心上设置有通孔，所述第一连接轴的轴向方向平行于所述第一方向；光发射仪，能够通过第一连接轴上的通孔朝所述第一待检测施力元件发射光束；图像采集元件，用于获取包括至少两个所述检测标记的图像信息。该设备能够保证用于校准的标准力学推拉计的受力中心与施力元件的施力中心位于同一水平直线。

Description

力学检测设备及采用该力学检测设备的检测方法

技术领域

本发明涉及检测技术领域，尤其是指一种力学检测设备及采用该力学检测设备的检测方法。

背景技术

在有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示器(又称为有机电激光显示器)的制造过程中，采用掩膜板进行材料蒸镀为必不可少的工艺过程。掩膜板在制作时，如图1所示，需要通过抓取件1对金属掩膜板2进行相对拉伸，同时通过抵压件3对支撑框架4进行预压变形，以适应金属掩膜板2安装于支撑框架4上时由于张网拉力造成的内缩，只有抓取件1对金属掩膜板2的拉伸力与抵压件3对支撑框架4的抵压力两者之间准确配合，才能够保证张网的精度。

一般而言，为保证足够的张网精度，抓取件1的拉力精度需控制在±0.1N；抵压件3和压力精度需控制在±0.3N。现有技术为保证抓取件1和抵压件3能够达到上述施力精度，通常采用标准力学推拉计进行校准。

上述利用标准力学推拉计对抓取件1和抵压件3的施力精度进行校准的过程，需要保证标准力学推拉计的受力中心与抓取件1和抵压件3的施力中心分别位于同一水平直线，然而现有技术的校准方式却很难满足该一要求。

发明内容

本发明技术方案的目的是提供一种力学检测设备及采用该力学检测设备的检测方法，用于解决现有技术对施力元件的施力精度进行校准时，很难保证用于校准的标准力学推拉计的受力中心与施力元件的施力中心位于同一水平直线的问题。

本发明实施例提供一种力学检测设备，其中，包括：

承载体，所述承载体上配置有至少两个检测标记，且所述至少两个检测标记的中心点位于沿第一方向的直线上；

设置于所述承载体上的第一力学检测仪，通过第一连接轴能够与第一待检测施力元件相连接，用于检测所述第一待检测施力元件对所述第一连接轴所施加的沿所述第一连接轴的轴向方向上的作用力；其中所述第一连接轴的轴心上设置有通孔，所述第一连接轴的轴向方向平行于所述第一方向；

设置于所述承载体上的光发射仪，能够通过所述第一连接轴上的通孔朝所述第一待检测施力元件发射光束；

图像采集元件，位于所述承载体的上方，用于获取包括至少两个所述检测标记的图像信息。

可选地，所述的力学检测设备，其中，所述力学检测设备还包括：

处理器，用于根据所述图像信息，获取所述至少两个检测标记的中心点相对于预设坐标原点的相对位置坐标，根据所述相对位置坐标发出位置调整信号；

坐标调节装置，所述承载体设置于所述坐标调节装置上，所述坐标调节装置被配置为能够获取所述位置调整信号，根据所述位置调整信号调节所述承载体的位置，使所述至少两个检测标记的中心点位于一水平直线上，且每一所述检测标记的中心点相对于所述预设坐标原点分别位于预设坐标位置。

可选地，所述的力学检测设备，其中，所述力学检测设备还包括：

设置于所述承载体上的第二力学检测仪，通过第二连接轴能够与第二待检测施力元件相连接，用于检测所述第二待检测施力元件对所述第二连接轴所施加的沿所述第二连接轴的轴向方向上的作用力；其中所述第二连接轴的轴心上设置有通孔，所述第二连接轴的轴向方向平行于所述第一方向；

其中，所述光发射仪还能够通过所述第二连接轴上的通孔朝所述第二待检测施力元件发射光束。

可选地，所述的力学检测设备，其中，所述第一力学检测仪和所述第二力学检测仪位于所述光发射仪的两侧，且所述第一连接轴的轴心线与所述第二连接轴的轴心线位于同一直线上。

可选地，所述的力学检测设备，其中，所述第一力学检测仪用于检测所述第一待检测施力元件对所述第一连接轴所施加的沿所述第一连接轴的轴向方向上的拉力，所述第二力学检测仪用于检测所述第二待检测施力元件对所述第二连接轴所施加的沿所述第二连接轴的轴向方向上的推力。

可选地，所述的力学检测设备，其中，所述承载体包括用于容置所述第一力学检测仪的至少一部分的第一壳体，以及包括用于容置所述第二力学检测仪的至少一部分的第二壳体；其中所述至少两个检测标记中的第一检测标记设置于所述第一壳体上，所述至少两个检测标记中的第二检测标记设置于所述第二壳体上。

可选地，所述的力学检测设备，其中，所述承载体包括：

承载板，包括承载平面，其中所述第一力学检测仪、所述第二力学检测仪和所述光发射仪均设置于所述承载平面上，所述承载板背离所述承载平面的表面被配置为能够放置于一承载台上；

与所述承载板连接的阻挡板，其中所述阻挡板与所述承载板的其中一边缘连接，且相对于所述承载板朝远离所述承载平面的方向弯折预设角度；

其中，所述第二力学检测仪至所述第一力学检测仪的方向为远离所述边缘的方向。

可选地，所述的力学检测设备，其中，所述承载体包括：

可拆卸连接的第一承载板和第二承载板，其中所述第一承载板设置于所述第二承载板上，所述第一力学检测仪、所述第二力学检测仪和所述光发射仪均设置于所述第一承载板远离所述第二承载板的表面上。

可选地，所述的力学检测设备，其中，所述承载体上设置有紧固元件和位置微调元件；所述承载体设置于一承载台上时，通过所述位置微调元件，所述承载体在所述承载台上的位置变化；通过所述紧固元件，所述承载体能够固定于所述承载台上。

可选地，所述的力学检测设备，其中，所述第一力学检测仪和所述第二力学检测仪分别通过一无线通讯元件与一终端连接，用于通过所述无线通讯元件将所检测数值输出至所述终端。

本发明实施例还提供一种采用上述任一项所述的力学检测设备进行力学检测的方法，其中，所述方法包括：

将所述承载体设置于一承载台上，并使第一待检测施力元件与所述第一力学检测仪的第一连接轴相连接；其中所述第一待检测施力元件的施力中心点上设置有对位标记；

控制所述光发射仪通过所述第一连接轴上的通孔朝所述第一待检测施力元件发射光束；

若所述发射光束在所述第一待检测施力元件上的入射位置与所述对位标记不相重合，则调整所述承载体相对于所述承载台的位置，直至所述发射光束在所述第一待检测施力元件上的入射位置与所述对位标记相重合；

通过所述图像采集元件获取包括至少两个所述检测标记的图像信息；

根据所述图像信息，若判断所述至少两个检测标记的中心点未位于一水平直线上，则调整所述承载台用于设置所述承载体的平面的倾斜状态，使所述至少两个检测标记的中心点位于一水平直线上。

本发明具体实施例上述技术方案中的至少一个具有以下有益效果：

本发明实施例所述力学检测设备，通过设置光发射仪沿标准力学检测仪用于与待检测施力元件连接的连接轴的轴心，朝待检测施力元件的施力中心点上的对位标记发射光束，能够实现标准力学检测仪的受力中心与待检测施力元件的施力中心的第一步对位；进一步地该力学检测设备还设置沿标准力学检测仪的受力中心方向排列的至少两个检测标记，通过图像采集元件采集检测标记获得图像信息，根据图像信息可以进一步判断力学检测仪的受力中心与待检测施力元件的施力中心是否位于一水平直线上，以进一步地实现第二步对位，最终保证力学检测仪的受力中心与待检测施力元件的施力中心位于一水平直线上。

附图说明

图1为通常金属掩膜板与支撑框架的组装结构示意图；

图2为本发明实施例所述力学检测设备的平面结构示意图；

图3为本发明实施例所述力学检测设备的立体结构示意图；

图4为本发明实施例所述力学检测设备的第一使用状态示意图；

图5为本发明实施例所述力学检测设备的第二使用状态示意图。

具体实施方式

为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。

为解决现有技术对施力元件的施力精度进行校准时，很难保证用于校准的标准力学检测仪的受力中心与施力元件的施力中心位于同一水平直线的问题，本发明提供一种力学检测设备，通过设置光发射仪沿标准力学检测仪用于与待检测施力元件连接的连接轴的轴心发射光束，使得在进行待检测施力元件与力学检测仪的连接对位时，光发射仪所发射的光束能够传输至待检测施力元件的施力中心点上的对位标记，实现标准力学检测仪的受力中心与待检测施力元件的施力中心的第一步对位；进一步地该力学检测设备还设置沿标准力学检测仪的受力中心方向排列的至少两个检测标记，通过设置图像采集元件采集检测标记获得图像信息，根据图像信息可以进一步判断力学检测仪的受力中心与待检测施力元件的施力中心是否位于一水平直线上，以进一步地实现第二步对位，最终保证力学检测仪的受力中心与待检测施力元件的施力中心位于一水平直线上。

本发明实施例所述力学检测设备，如图2所示，包括：

承载体100，该承载体100上配置有至少两个检测标记(图中未显示)，且至少两个检测标记的中心点位于沿第一方向a的直线上；

设置于承载体100上的第一力学检测仪200，通过第一连接轴210能够与第一待检测施力元件300相连接，用于检测第一待检测施力元件300对第一连接轴210所施加的沿第一连接轴210的轴向方向b上的作用力；其中第一连接轴210的轴心上设置有通孔，该第一连接轴210的轴向方向b平行于第一方向a；

设置于承载体100上的光发射仪400，能够通过第一连接轴210上的通孔朝第一待检测施力元件300发射光束；

图像采集元件500，位于承载体100的上方，用于获取包括至少两个检测标记的图像信息。

结合图2，本发明实施例所述力学检测设备在利用第一力学检测仪200用于对第一待检测施力元件300的施力精度进行校准时，第一待检测施力元件300的施力中心c和第一待检测施力元件300的受力中心应该位于一水平直线上，不应该产生偏差，如果有偏差的话，会造成检测结果不准确。需要说明的是，第一检测施力元件300的施力中心c为沿施力方向上的直线，第一力学检测仪200的受力中心也为直线，即为第一连接轴210通过轴心的轴向方向b，为实现精确校准，应该保证第一检测施力元件300的施力中心c与第一连接轴210的轴心线位于同一水平直线上。

另外，需要说明的是，第一力学检测仪200为具有标准精度的力学检测仪，该力学检测仪可以为用于检测拉力的标准力学检测仪，也可以为用于检测推力的标准力学检测仪。

本发明实施例所述力学检测设备，第一力学检测仪200与第一待检测施力元件300相连接的第一连接轴210的轴心上设置有通孔，该通孔能够连通至第一待检测施力元件300，光发射仪400能够通过第一连接轴210上的通孔朝第一待检测施力元件300发射光束，光发射仪400所发射的光束沿第一连接轴210的轴心方向出射，也即沿第一力学检测仪200的受力方向出射。

另外，第一待检测施力元件300的施力中心点上设置有对位标记，结合图2，该施力中心点为第一检测施力元件300的施力中心c经过第一检测施力元件300朝向第一力学检测仪200的端面的位置点，当光发射仪400所发射的光束沿第一连接轴210的轴心方向出射，发射至第一待检测施力元件300的对位标记时，能够实现第一力学检测仪200的受力方向与第一检测施力元件300的施力方向的第一步对位。

可选地，承载体100上所设置的检测标记以及第一待检测施力元件300的施力中心点上设置的对位标记可以为“十”字形，以保证检测对位的准确度。

可选地，本发明实施例中，光发射仪400为激光发射仪。

进一步地，本发明实施例中，设置第一力学检测仪200和第一待检测施力元件300的承载体100上设置有至少两个检测标记，该至少两个检测标记可以设置于承载体100上用于容置第一力学检测仪200和第一待检测施力元件300的壳体上，当然不限于仅采用该设置方式。该至少两个检测标记的中心点位于一直线上，且该直线的延伸方向平行于第一连接轴210的轴向方向。

如图2所示，本发明实施例中，承载体100的上方还设置有图像采集元件500，如为电荷耦合器件(Charge-Coupled Device，CCD)，又称图像传感器，在经过上述的初步对位之后，通过图像采集元件500采集力学检测设备校准第一检测施力元件300的图像信息，该图像信息中包括每一检测标记。基于图像采集元件500所采集的图像信息，能够分析判断该至少两个检测标记的中心点是否位于一水平直线上，根据分析结果，可以进一步进行第二步对位，调节第一力学检测仪200相对于第一待检测施力元件300的位置，最终保证力学检测仪的受力中心与待检测施力元件的施力中心位于一水平直线上。

可选地，本发明实施例，如图2所示，所述力学检测设备还包括：

坐标调节装置600，其中该坐标调节装置600设置于承载体100的下方位置，也即承载体100设置于坐标调节装置600上。该坐标调节装置600包括驱动机构，能够在X向、Y向和Z向三个维度上调整承载体100上各个位置点相对于第一待检测施力元件300的位置；

处理器610，与图像采集元件500连接，用于获取图像采集元件500所采集的图像信息，根据该图像信息，获取承载体100上每一检测标记的中心点相对于预设坐标原点的相对位置坐标，根据该相对位置坐标判断至少两个检测标记的中心点是否位于一水平直线上，以及与预设坐标位置的偏差，当判断该至少两个检测标记的中心点并非位于一水平直线上或者与预设坐标位置存在偏差时，则分析坐标调节装置600将该至少两个检测标记的中心点调整至位于一水平直线且位于预设坐标位置上时的调整方式，确定X向、Y向和Z向上的调整量，根据所确定的调整量，向坐标调节装置600发出位置调整信号，使坐标调节装置600根据该位置调整信号调节承载体100的位置，使至少两个检测标记的中心点位于一水平直线上，且每一所述检测标记的中心点相对于该预设坐标原点分别位于预设坐标位置。

可选地，该预设坐标原点为第一检测施力元件300上的一固定位置点，或者为用于夹持第一检测施力元件300的设备上的固定位置点。

可以理解的是，通过在不同方位拍摄获取包括上述预设坐标原点和每一所述检测标记的图像信息，获取多个图像信息，分析该些图像信息，即能够分析获得每一检测标记相对于预设坐标原点的相对位置坐标。

采用上述的方式，利用图像采集元件500所采集的图像信息，能够实现对第一力学检测仪200相对于第一检测施力元件300位置的自动调整，将第一力学检测仪200自动调整至力学检测仪的受力中心与待检测施力元件的施力中心位于一水平直线上的位置，由于该调整过程是以承载体100上检测标记的中心点的位置坐标为基础进行的调整，因此能够保证位置调整的精确性。

可选地，本发明实施例所述力学检测设备，还可以包括：

设置于承载体上的第二力学检测仪700，通过第二连接轴710能够与第二待检测施力元件相连接，用于检测第二待检测施力元件对第二连接轴所施加的沿第二连接轴的轴向方向上的作用力；其中第二连接轴710的轴心上设置有通孔，第二连接轴的轴向方向平行于第一方向；

其中，所述光发射仪400还能够通过第二连接轴上的通孔朝第二待检测施力元件发射光束。

其中利用第二力学检测仪700的设置，可以对第二待检施力元件的施力精度进行校准，第二力学检测仪对第二待检测施力元件的施力精度的方式和原理与上述利用第一力学检测仪对第一待检测施力元件的施力精度进行检测的方式和原理相同，在此不再详细说明。

本发明实施例中，可选地，第一力学检测仪200和第二力学检测仪700位于光发射仪的两侧，且第一连接轴的轴心线与所述第二连接轴的轴心线位于同一直线上。

具体地，第一力学检测仪200用于检测第一待检测施力元件对第一连接轴所施加的沿第一连接轴210的轴向方向上的拉力，第二力学检测仪700用于检测第二待检测施力元件对第二连接轴710所施加的沿第二连接轴的轴向方向上的推力。

基于上述的结构，光发射仪形成为双向光发射仪，能够通过第一连接轴上的通孔朝第一待检测施力元件发射光束，也能够通过第二连接轴上的通孔朝第二待检测施力元件发射光束。当然，光发射仪也可以设置两个，分别用于朝第一待检测施力元件和第二待检测施力元件发射光束。

图3为本发明实施例所述力学检测设备的另一实施结构的结构示意图，该实施结构中包括第一力学检测仪和第二力学检测仪。具体地，参阅图3所示，与上述实施结构相同，该实施结构的力学检测设备包括：承载体100、第一力学检测仪、第二力学检测仪和光发射仪。

具体地，承载体100包括承载板110，承载板110包括承载平面，其中第一力学检测仪、第二力学检测仪和光发射仪均设置于承载平面上，承载板110背离承载平面的表面111被配置为能够放置于一承载台上。

另外，承载体100还包括用于容置第一力学检测仪的至少一部分的第一壳体120，以及包括用于容置第二力学检测仪的至少一部分的第二壳体130。其中第一壳体120上设置有第一检测标记121，第二壳体130上设置有第二检测标记131，且第一检测标记121和第二检测标记131的中心点位于沿第一方向的直线上。

根据图3，第一力学检测仪用于力学测量的主体结构设置于第一壳体120的内部，第一连接轴210从第一壳体120中伸出；第二力学检测仪用于力学测量的主体结构设置于第二壳体130的内部，第二连接轴710从第二壳体130中伸出。其中光发射仪为双向激光发射仪，设置于第一壳体120和第二壳体130之间，且优选地光发射仪设置于位于承载板110的第三壳体140的内部，第三壳体140与第一壳体120、第二壳体130之间设置有连通光路，能够使光发射仪所发出光束分别传输至第一连接轴210和第二连接轴710。进一步地，根据以上，并结合图2所示，第一检测标记121的中心点和第二检测标记131的中心点位于沿第一方向的直线上，该直线的延伸方向平行于第一连接轴210和第二连接轴710的轴向方向，且第一连接轴210和第二连接轴710的轴心线位于同一直线。可选地，第一检测标记121的中心点和第二检测标记131的中心点所在直线与第一连接轴210的轴心线位于一垂直于水平面的竖直面内。

本发明实施例中，如图3和图4所示，第一连接轴210远离第一力学检测仪的一端设置有第一连接件220，用于与第一待检测施力元件300相连接；如图3和图5所示，第二连接轴710远离第二力学检测仪的一端设置有第二连接件720，用于与第二待检测施力元件800相连接。

本实施结构中，所述力学检测设备用于对金属掩膜板进行拉伸的抓取件的施力精度和用于对和金属掩模板组装的支撑框架进行压缩的抵压件的施力精度进行校准。其中一实施方式中，第一待检测施力元件300为对金属掩膜板进行拉伸的抓取件，第一力学检测仪用于检测抓取件的拉伸力的精度，第一连接件220形成为与抓取件配合的结构，如图3所示，第一连接件220上设置有用于与抓取件配合的凹槽；第二待检测施力元件800为对支撑框架进行压缩的抵压件，第二力学检测仪用于检测抵压件的推力的精度，第二连接件720形成为与抵压件配合的结构，如图5所示，第二连接件720上设置有用于与抵压件配合的平面。

另外，本发明实施例中，第一连接轴210上的通孔连通至第一连接件220，使光发射仪所发射光束能够通过第一连接件220传输至第一待检测施力元件300；第二连接轴710上的通孔连通至第二连接件720，使光发射仪所发射光束能够通过第一连接件720传输至第二待检测施力元件800。

另外，如图3所示，承载体100还包括与承载板110连接的阻挡板150，其中该阻挡板150与承载板110的其中一边缘连接，且相对于承载板110朝远离承载平面的方向弯折预设角度；

其中，第二力学检测仪至第一力学检测仪的方向为远离承载板110设置阻挡板150边缘的方向。

另外，本实施结构中，承载板110包括可拆卸连接的第一承载板101和第二承载板102，其中第一承载板101设置于第二承载板102上，第一力学检测仪、第二力学检测仪和光发射仪均设置于第一承载板101远离第二承载板102的表面上。

根据图4和图5，本发明实施例中，第二承载板102与阻挡板150一体连接，阻挡板150朝远离第一承载板101的方向弯折，包括垂直于第二承载板102的第一部分1021和与第二承载板102平行的第二部分1022。其中，第一承载板101设置于第二承载板102上，可以通过螺钉与第二承载板102连接，利用螺钉连接的方式，实现第一承载板101与第二承载板102之间的可拆卸连接，这样第一承载板101可以进行替换，不同厚度的第一承载板101设置于第二承载板102上，能够适应不同尺寸的掩膜板导致的抓取件与抵压件之间的高度差异。

所述承载体100上还设置有紧固元件160和位置微调元件170；其中，承载体设置于一承载台上时，通过位置微调元件170，承载体100在承载台上的位置变化；通过紧固元件160，承载体100能够固定于承载台上。

如图4和图5所示，本发明实施例所述力学检测设备，紧固元件160形成为紧固螺钉，位置微调元件170形成为微调旋钮，且紧固元件160设置于阻挡板150的第二部分1022上，位置微调元件170设置于阻挡板150的第一部分1021上。

结合图4，本发明实施例所述力学检测设备，可以用于对金属掩膜板进行拉伸的抓取件进行施力精度检测，也即第一待检测施力元件300为对金属掩膜板进行拉伸的抓取件。在用于检测时，该力学检测设备设置于承载台900上，第二承载板102与承载台900贴合连接，阻挡板150的第二部分1022弯折至承载板900远离第二承载板102的一侧，阻挡板150的第一部分1021与承载台900远离第一待检测施力元件300的侧面抵接。

在采用上述方式将力学检测设备设置于承载台900上后，将第一待检测施力元件300与第一力学检测仪上的第一连接件220相连接，也即与第一力学检测仪的第一连接轴相连接；之后，控制光发射仪通过第一连接轴上的通孔朝第一待检测施力元件300发射光束。

之后，检测若所述发射光束在第一待检测施力元件300上的入射位置与第一待检测施力元件300上的对位标记不相重合，则通过位置微调元件170调整整个承载体100相对于承载台900的位置，直至所述发射光束在第一待检测施力元件300上的入射位置与对位标记相重合，之后通过紧固元件160实现力学检测设备在承载台900上的固定，实现第一力学检测仪200的受力方向与第一检测施力元件300的施力方向的第一步对位。

另外，与第一实施结构相同，在该第二实施结构中，力学检测设备还包括坐标调节装置、处理器和图像采集元件(图4和图5中未显示)。图像采集元件能够采集力学检测设备校准第一检测施力元件300的图像信息，该图像信息中包括每一检测标记；承载台900设置于坐标调节装置上，能够驱动承载台900在在X向、Y向和Z向三个维度上移动，以调整承载体100上各个位置点相对于第一待检测施力元件300的位置；处理器能够获取图像采集元件所采集的图像信息，根据该图像信息，获取承载体上每一检测标记的中心点相对于预设坐标原点的相对位置坐标，根据该相对位置坐标发出位置调整信号，以控制坐标调节装置根据该位置调整信号调节所述承载体的位置，使所述至少两个检测标记的中心点位于一水平直线上，且每一所述检测标记的中心点相对于所述预设坐标原点分别位于预设坐标位置。

基于上述的设置结构，采用本发明实施例所述力学检测设备，如图4所示，对第一待检测施力元件300的施力精度进行检测的步骤还包括：

通过图像采集元件获取包括至少两个所述检测标记的图像信息；

根据所述图像信息，若判断所述至少两个检测标记的中心点未位于一水平直线上，则通过坐标调整装置调整承载台用于设置所述承载体的平面的倾斜状态，使所述至少两个检测标记的中心点位于一水平直线上。

具体采用上述坐标调整装置进行坐标调整的过程可以参阅以上的描述，在此不再详细说明。通过上述的调整过程，能够实现对第一力学检测仪相对于第一检测施力元件位置的自动调整，将第一力学检测仪自动调整至力学检测仪的受力中心与待检测施力元件的施力中心位于一水平直线上的位置，由于该调整过程是以承载体上检测标记的中心点的位置坐标为基础进行的调整，因此能够保证位置调整的精确性。

另外，结合图4，当对第一待检测施力元件300的施力精度进行检测时，第一待检测施力元件300对第一力学检测仪施加拉力，阻挡板150位于承载台900远离第一待检测施力元件300的侧面的一侧，利用阻挡板150对承载台900的阻挡力，相较于仅通过螺纹连接的方式，能够进一步保证力学检测设备在承载台900上安装的稳定性。

采用本发明实施例所述力学检测设备还能够用于对金属掩模板组装的支撑框架进行压缩的抵压件的施力精度进行检测，参阅图5，在对抵压件的施力精度进行检测时，该力学检测设备设置于承载台900上，第二承载板102与承载台900贴合连接，阻挡板150的第二部分1022弯折至承载板900远离第二承载板102的一侧，阻挡板150的第一部分1021与承载台900靠近第二待检测施力元件800的侧面抵接。之后，第二待检测施力元件800与第二力学检测仪上的第一连接件720相连接，也即与第二力学检测仪的第二连接轴相连接；控制光发射仪通过第二连接轴上的通孔朝第二待检测施力元件800发射光束。

此外，利用光发射仪朝第二待检测施力元件800发射光束对力学检测设备的位置进行调节，以及利用图像采集元件所采集的图像信息，通过坐标调整装置调整第二力学检测仪相对于第二待检测施力元件800的具体方式和过程，与图4所示状态的方式和过程相同，在此不再详细说明。

根据图5，当对第二待检测施力元件800的施力精度进行检测时，第二待检测施力元件800对第二力学检测仪施加推力，此时阻挡板150位于承载台900靠近第二待检测施力元件800的侧面的一侧，在第二待检测施力元件800的推力作用下，阻挡板150对承载台900产生阻挡力，相较于仅通过螺纹连接的方式，能够进一步保证力学检测设备在承载台900上安装的稳定性。

根据图4和图5，根据第一待检测施力元件300和第二待检测施力元件800与承载台900之间的距离，可以更换不同厚度的第一承载板101。

另外，如图3所示，本发明实施例中，所述力学检测设备上所设置的第一力学检测仪和第二力学检测仪分别通过一无线通讯元件1与一终端连接，用于通过所述无线通讯元件将所检测数值输出至所述终端，以使终端显示所述检测数值；可选地，终端上可以安装数据传输记录系统，能够根据用户键盘或鼠标指令记录当前数据；基于上述方式，只需一人便能同时实现上述的第一待检测施力元件和第二待检测施力元件的运动和测量数据监控工作，且测量过程中设备内部无需人员；进一步保证测量准确性和安全性。

本发明实施例所述力学检测设备，能够用于对金属掩膜板进行拉伸的抓取件的施力精度和用于对和金属掩模板组装的支撑框架进行压缩的抵压件的施力精度进行校准，且保证校准过程快速、准确。

本发明实施例还提供一种采用上述所述的力学检测设备进行力学检测的方法，其中，所述方法包括：

将所述承载体设置于一承载台上，并使第一待检测施力元件与所述第一力学检测仪的第一连接轴相连接；其中所述第一待检测施力元件的施力中心点上设置有对位标记；

控制所述光发射仪通过所述第一连接轴上的通孔朝所述第一待检测施力元件发射光束；

若所述发射光束在所述第一待检测施力元件上的入射位置与所述对位标记不相重合，则调整所述承载体相对于所述承载台的位置，直至所述发射光束在所述第一待检测施力元件上的入射位置与所述对位标记相重合；

通过所述图像采集元件获取包括至少两个所述检测标记的图像信息；

根据所述图像信息，若判断所述至少两个检测标记的中心点未位于一水平直线上，则调整所述承载台用于设置所述承载体的平面的倾斜状态，使所述至少两个检测标记的中心点位于一水平直线上。

本发明实施例所述方法中，第一待检测施力元件可以为对第一连接轴施加拉力的元件，也可以为对第一连接轴施加推力的元件，如该第一待检测施力元件可以为用于对金属掩膜板进行拉伸的抓取件，也可以为用于对和金属掩模板相组装的支撑框架进行压缩的抵压件，具体采用本发明实施例所述力学检测设备进行力学检测的方法的详细过程，可以结合图2至图5，并参阅以上的详细描述，在此不再赘述。

以上所述的是本发明的优选实施方式，应当指出对于本技术领域的普通人员来说，在不脱离本发明所述原理前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (11)

1.一种力学检测设备，其特征在于，包括：

承载体，所述承载体上配置有至少两个检测标记，且所述至少两个检测标记的中心点位于沿第一方向的直线上；

设置于所述承载体上的第一力学检测仪，通过第一连接轴能够与第一待检测施力元件相连接，用于检测所述第一待检测施力元件对所述第一连接轴所施加的沿所述第一连接轴的轴向方向上的作用力；其中所述第一连接轴的轴心上设置有通孔，所述第一连接轴的轴向方向平行于所述第一方向；其中所述第一待检测施力元件为用于对金属掩膜板进行拉伸的抓取件，或者为用于对和金属掩模板相组装的支撑框架进行压缩的抵压件；其中所述第一待检测施力元件的施力中心点上设置有对位标记；

设置于所述承载体上的光发射仪，能够通过所述第一连接轴上的通孔朝所述第一待检测施力元件发射光束；

图像采集元件，位于所述承载体的上方，用于获取包括至少两个所述检测标记的图像信息。

2.根据权利要求1所述的力学检测设备，其特征在于，所述力学检测设备还包括：

处理器，用于根据所述图像信息，获取所述至少两个检测标记的中心点相对于预设坐标原点的相对位置坐标，根据所述相对位置坐标发出位置调整信号；

坐标调节装置，所述承载体设置于所述坐标调节装置上，所述坐标调节装置被配置为能够获取所述位置调整信号，根据所述位置调整信号调节所述承载体的位置，使所述至少两个检测标记的中心点位于一水平直线上，且每一所述检测标记的中心点相对于所述预设坐标原点分别位于预设坐标位置。

3.根据权利要求1所述的力学检测设备，其特征在于，所述力学检测设备还包括：

设置于所述承载体上的第二力学检测仪，通过第二连接轴能够与第二待检测施力元件相连接，用于检测所述第二待检测施力元件对所述第二连接轴所施加的沿所述第二连接轴的轴向方向上的作用力；其中所述第二连接轴的轴心上设置有通孔，所述第二连接轴的轴向方向平行于所述第一方向；

其中，所述光发射仪还能够通过所述第二连接轴上的通孔朝所述第二待检测施力元件发射光束。

4.根据权利要求3所述的力学检测设备，其特征在于，所述第一力学检测仪和所述第二力学检测仪位于所述光发射仪的两侧，且所述第一连接轴的轴心线与所述第二连接轴的轴心线位于同一直线上。

5.根据权利要求4所述的力学检测设备，其特征在于，所述第一力学检测仪用于检测所述第一待检测施力元件对所述第一连接轴所施加的沿所述第一连接轴的轴向方向上的拉力，所述第二力学检测仪用于检测所述第二待检测施力元件对所述第二连接轴所施加的沿所述第二连接轴的轴向方向上的推力。

6.根据权利要求5所述的力学检测设备，其特征在于，所述承载体包括用于容置所述第一力学检测仪的至少一部分的第一壳体，以及包括用于容置所述第二力学检测仪的至少一部分的第二壳体；其中所述至少两个检测标记中的第一检测标记设置于所述第一壳体上，所述至少两个检测标记中的第二检测标记设置于所述第二壳体上。

7.根据权利要求5所述的力学检测设备，其特征在于，所述承载体包括：

承载板，包括承载平面，其中所述第一力学检测仪、所述第二力学检测仪和所述光发射仪均设置于所述承载平面上，所述承载板背离所述承载平面的表面被配置为能够放置于一承载台上；

与所述承载板连接的阻挡板，其中所述阻挡板与所述承载板的其中一边缘连接，且相对于所述承载板朝远离所述承载平面的方向弯折预设角度；

其中，所述第二力学检测仪至所述第一力学检测仪的方向为远离所述边缘的方向。

8.根据权利要求1所述的力学检测设备，其特征在于，所述承载体包括：

可拆卸连接的第一承载板和第二承载板，其中所述第一承载板设置于所述第二承载板上，所述第一力学检测仪和所述光发射仪均设置于所述第一承载板远离所述第二承载板的表面上。

9.根据权利要求1所述的力学检测设备，其特征在于，所述承载体上设置有紧固元件和位置微调元件；所述承载体设置于一承载台上时，通过所述位置微调元件，所述承载体在所述承载台上的位置变化；通过所述紧固元件，所述承载体能够固定于所述承载台上。

10.根据权利要求3所述的力学检测设备，其特征在于，所述第一力学检测仪和所述第二力学检测仪分别通过一无线通讯元件与一终端连接，用于通过所述无线通讯元件将所检测数值输出至所述终端。

11.一种采用上述权利要求1至10任一项所述的力学检测设备进行力学检测的方法，其特征在于，所述方法包括：

将所述承载体设置于一承载台上，并使第一待检测施力元件与所述第一力学检测仪的第一连接轴相连接；

控制所述光发射仪通过所述第一连接轴上的通孔朝所述第一待检测施力元件发射光束；

若所述发射光束在所述第一待检测施力元件上的入射位置与所述对位标记不相重合，则调整所述承载体相对于所述承载台的位置，直至所述发射光束在所述第一待检测施力元件上的入射位置与所述对位标记相重合；

通过所述图像采集元件获取包括至少两个所述检测标记的图像信息；

根据所述图像信息，若判断所述至少两个检测标记的中心点未位于一水平直线上，则调整所述承载台用于设置所述承载体的平面的倾斜状态，使所述至少两个检测标记的中心点位于一水平直线上。

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