CN109005664A - 用于真空处理系统的供应接线导件 - Google Patents

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CN109005664A CN201780006947.5A CN201780006947A CN109005664A CN 109005664 A CN109005664 A CN 109005664A CN 201780006947 A CN201780006947 A CN 201780006947A CN 109005664 A CN109005664 A CN 109005664A
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Abstract

描述了一种用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线的供应接线导件(100)。供应接线导件包括导引布置(110)，导引布置(110)包括多个连接元件(115)，其中这些连接元件(115)相对于彼此可调整角度。再者，供应接线导件包括围绕导引布置(110)设置的柔性管(120)。

Description

用于真空处理系统的供应接线导件
技术领域
本公开内容各个实施方式涉及用于导引供应接线通过真空环境的供应接线导件(supply line guide)。具体地，本公开内容的各个实施方式涉及柔性供应接线导件，被配置用于从大气环境导引供应接线通过处理系统的真空腔室至可移动处理装置，具体是经配置用于OLED制造的材料沉积源。
背景技术
有机蒸发器为用于制造有机发光二极管(OLED)的工具。OLED为发光二极管的一种特别的形式。在OLED中，发光层包括特定的有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用于制造电视屏幕、计算机显示器(computer monitor)、移动电话、用于显示信息的其他手持装置等。OLED亦可用于一般的空间照明。OLED显示器的可行的颜色、亮度、及视角的范围大于传统的LCD显示器的可行的颜色、亮度、及视角的范围，因为OLED像素直接地发光且不包含背光。因此，相较于传统的LCD显示器的能量损耗，OLED显示器的能量损耗相当地少。再者，OLED可制造于柔性基板上的事实产生进一步的应用。
在制造此种显示装置中遇到了许多挑战。具体地，其中一个挑战是在具有持续和可靠供应的介质和功率的情况下，在真空环境中提供移动的处理装置。举例来说，特别是在传统的供应接线导件连接至移动装置时，传统的供应接线导件在耐久性方面显现出问题，这可能引起供应接线之间的摩擦和磨损，而可能最终致使供应接线损害和/或发生故障。
因此，对于提供克服传统的供应接线导件的至少一些问题的改善的供应接线导件有持续的需求。
发明内容
有鉴于上述，提供如独立权利要求1所述的一种用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线的供应接线导件。本公开内容的其他方面、优点、和特征通过权利要求书、说明书、和附图更为清楚。
根据本公开内容的一个方面，提供一种用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线的供应接线导件。供应接线导件包括导引布置(guiding arrangement)，导引布置包括多个连接元件，其中这些连接元件相对于彼此可调整角度。再者，供应接线导件包括柔性管(flexible tube)，所述柔性管围绕导引布置设置。
根据本公开内容的另一方面，提供一种用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线的供应接线导件。供应接线导件包括导引布置，导引布置包括多个连接环状元件，所述多个连接环状元件经由中央配置的接头彼此连接，使得这些连接环状元件相对于彼此可调整角度。这些连接环状元件提供用于第一组供应接线的第一导管(first guidingduct)。再者，这些连接环状元件提供用于第二组供应接线的第二导管。这些连接环状元件包括分离元件，所述分离元件将第一导管的第一体积与第二导管的第二体积分离。供应接线导件进一步包括柔性金属管，所述柔性金属管围绕导引布置设置。柔性管提供用于所述多条供应接线的气密壳体。再者，柔性管提供弯曲半径Rb，Rb≤500mm。
本公开内容的另一方面涉及根据本文所描述的任何实施方式的供应接线导件的用途，所述供应接线导件用于导引多条供应接线至设置于处理系统的真空腔室中的可移动装置。
根据本公开内容的另一方面，提供一种处理系统。处理系统包括真空处理腔室；可移动装置，所述可移动装置设置于真空处理腔室中；和根据本文所描述的任何实施方式的供应接线导件，其中供应接线导件连接至可移动装置。
附图说明
可通过参照实施方式来详细地理解本公开内容的上述特征，以及简要概述于上的本公开内容更具体的说明。附图涉及本公开内容的各个实施方式且说明于下：
图1绘示根据此处所述实施方式的供应接线导件的区段的示意性截面侧视图；
图2A和图2B绘示根据此处所述实施方式的处于弯曲状态的供应接线导件的区段的示意性截面侧视图；
图3绘示根据此处所述实施方式的供应接线导件的区段的示意性截面侧视图，其中导引布置的连接元件以等角视图示意性地示出；
图4A至图4C绘示根据此处所述实施方式的供应接线导件的示意性前视图，供应接线导件具有不同的可行配置的导引布置的元件；
图5绘示根据此处所述实施方式的供应接线导件的示意性分解图；
图6绘示根据此处所述实施方式的供应接线导件的示意性前视图，其中提供三个分离的导管用于三组供应接线；
图7绘示根据此处所述实施方式的供应接线导件的端部的示意性前视图；
图8绘示根据此处所述其他实施方式的供应接线导件的端部的示意性侧视图；
图9绘示根据此处所述实施方式的处于示例性第一状态(实线)和示例性第二状态(虚线)的供应接线导件的示意性侧视图；和
图10绘示根据此处所述实施方式的处理系统的示意图，处理系统包括根据此处所述实施方式的供应接线导件。
具体实施方式
现在将详细参照各个实施方式，这些实施方式的一个或多个例子绘示于各图中。各例子藉由说明的方式提供且并不意味着限制。举例来说，所说明或描述为一个实施方式的一部分的特征可用于任何其他实施方式或与任何其他实施方式结合，以取得进一步的实施方式。本公开内容旨在包括这些修改和变化。
在附图的以下描述中，相同的参考标记表示相同或类似的部件。一般来说，只有有关于个别实施方式的相异处进行说明。除非另有说明，一个实施方式中的一部分或方面的说明亦可应用于另一实施方式中的对应部分或方面。
在更详细地说明本公开内容的各个实施方式之前，有关于此处所使用的一些术语和表述的一些方面进行解释。
于本公开内容中，“供应接线导件”可理解为一装置，被配置用于导引至少一条供应接线。具体地，如此处所述的供应接线导件可被配置用于导引两组或更多组供应接线。举例来说，第一组供应接线可被配置用于供应功率(也就是电力)、第二组供应接线可被配置用于供应液体介质(举例为水、油等)、及第三组供应接线可被配置用于供应气体介质(举例为压缩空气、惰性气体等)。因此，一组供应接线可理解为设置于所述组中的所有或多数供应接线被配置用于供应实质上相同物(举例为功率、液体、气体等)。一般来说，如此处所述的供应接线导件被配置用于在处理系统的真空腔室中导引多条供应接线。具体地，如此处所述的供应接线导件包括导引布置和柔性管，所述导引布置被配置用于导引所述多条供应接线，所述柔性管围绕导引布置设置。
于本公开内容中，“真空腔室”被理解为一腔室，配置用于真空处理，具体是真空沉积。如此处所使用的术语“真空”可理解为具有少于举例为10mbar的真空压力的技术真空的含义。一般来说，在如此处所述的真空腔室中的压力可为10-5mbar和约10-8mbar之间，更典型为10-5mbar和10-7mbar之间，及甚至典型为约10-6mbar和约10-7mbar之间。根据一些实施方式，真空腔室中的压力可视为真空腔室中的已蒸发材料的分压或总压(可在真空腔室中只有已蒸发材料存在而作为将沉积的成分时大约相同)。于一些实施方式中，特别是在除了已蒸发材料之外，于真空腔室中存在第二成分(诸如气体或类似者)的情况中，真空腔室中的总压的范围可从约10-4mbar至约10-7mbar。
于本公开内容中，“供应接线”可理解为一接线，被配置用于供应功率(例如电力)或介质(例如液体材料或气体材料)。因此，配置用于提供功率的供应接线可包括一条或多条导线。配置用于提供介质(例如液体材料或气体材料)的供应接线可包括一个或多个管道(pipe)或管(tube)。
于本公开内容中，“导引布置”可理解为一布置，被配置用于导引多条供应接线，具体是至少导引第一组供应接线和第二组供应接线。具体地，如此处所述的导引布置一般包括彼此连接的多个元件。多个元件的各者可被配置用于导引如此处所述的供应接线。因此，导引布置可理解为一连串的多个连接元件。一般来说，所述多个连接元件的元件被配置为相对于彼此可调整角度。举例来说，所述多个连接元件的起始元件可具有不同于所述多个连接元件的第二元件的不同定向等。因此，导引布置可为配置而使得一些元件或各元件的定向不同的一连串的连接元件。
于本公开内容中，“多个连接元件”可理解为沿着接线彼此连接的一组元件，使得此组元件形成一连串的连接元件。具体地，如此处所述，一连串的连接元件可被配置为柔性的，也就是多个连接元件的各个元件相对于彼此可调整角度，使得各个元件的定向可在一连串的连接元件中有所不同。
因此，于本公开内容中，根据“元件被配置为相对于彼此可调整角度”的表述可理解为，这些元件以这些元件的个别元件的定向可相对于这些元件的另一个别元件相异的方式彼此连接。也就是说，各个元件相对于彼此的定向可改变，从而可提供柔性的一连串多个连接元件。
于本公开内容中，“柔性管”可理解为被配置为可弯曲的管，具体是没有引起塑性变形(plastic deformation)。因此，如此处所述的柔性管可为配置有弹性直到某种弯曲程度的管，举例为用于弯曲半径Rb，Rb≥100mm。举例来说，柔性管可为柔性材料的软管(hose)。在此方面中，将理解的是，柔性材料的管或软管可提供弯曲半径Rb，Rb≥100mm，并且柔性材料提供某种程度的刚性，举例为使得柔性软管或柔性管的内部体积与外部的1bar的压差不会导致柔性软管或柔性管膨胀。
将理解的是，弯曲半径(一般测量为内侧曲率)是柔性管道、管、板(sheet)、缆线或软管的最小半径，而没有扭结(kinking)或损害的情况。弯曲半径越小，材料柔性越大(随着曲率半径减少，曲率增加)。
图1绘示根据此处所述实施方式的供应接线导件100的区段的示意性截面侧视图。具体地，为了说明目的，图1绘示处于非弯曲状态的供应接线导件100的实施方式的区段的示意性截面侧视图，图2A图2B绘示处于弯曲状态的供应接线导件100的区段的示意性截面侧视图。为了较佳地说明，图2A绘示不具有供应接线的供应接线导件100，图2B绘示供应接线导件中的多条供应接线130以虚线表示。
根据可与此处所述任何其他实施方式结合的实施方式，供应接线导件100被配置用于在处理系统的真空腔室中导引多条导引接线。如图1中所示例性示出的，供应接线导件100包括导引布置110，导引布置110包括多个连接元件115。具体地，多个连接元件可被配置用于导引多条供应接线130。举例来说，多个连接元件115的各个元件可藉由连结元件(connecting element)117连接，如图1、图2A和图2B中所示意性示出的。具体地，连结元件可包括接头116或铰链，配置用于提供旋转运动。更具体地，示例性参照图1，根据可与此处所述任何其他实施方式结合的实施方式，多个连接元件115可为经由中央配置的接头彼此连接的环状元件。
因此，这些元件的各个元件可经由接头或铰链彼此连接，使得这些元件相对于彼此可调整角度。为了更好的理解，图2A绘示供应接线导件的弯曲配置。在供应接线导件的弯曲配置中，这些元件在不同角度相对于彼此调整。具体地，如示例性示出的，第二元件115B可相对于多个元件的起始元件115A定向于第一角度α1，第三元件115C可相对于第二元件115B定向于第二角度α1，第四元件115D可相对于第三元件115C定向于第三角度α3等。
因此，将理解的是，接头116或铰链可被配置用于提供至少一个旋转自由度，具体是至少两个旋转自由度，更具体是三个旋转自由度，也就是绕着x坐标的旋转自由度，绕着y坐标的旋转自由度，及绕着z坐标的旋转自由度。因此，如图2A和图2B中所示例性示出的，多个连接元件115的元件一般被配置为相对于彼此可调整角度。再者，如图1、图2A和图2B中所示例性示出的，根据此处所述的实施方式，供应接线导件100一般包括柔性管120，柔性管120绕着导引布置110设置。
因此，藉由提供如此处所述的供应接线导件，具体是包括布置于柔性管中的导引布置的供应接线导件，提供了改善的供应接线导件。改善的供应接线导件特别适用于在处理系统的真空腔室中导引多条供应接线。具体地，如此处所述的供应接线导件的各个实施方式有利地配置成使得供应接线导件的内部体积与围绕供应接线导件提供的真空之间的压差减少，或甚至是消除于供应接线导件中导引的供应接线的压差引起的膨胀。因此，由根据此处所述的各个实施方式的供应接线导件导引的供应接线的膨胀和/或拉伸可有利地减少或甚至消除，从而可以避免供应接线的破裂或极端应力(extreme stress)。
再者，如此处所述的供应接线导件的各个实施方式特别有利于提供供应接线至设置在真空腔室中的移动装置，真空腔室举例为真空处理系统的真空沉积腔室。举例来说，移动装置可为沉积源，被配置为沿着传送轨道为可移动的，以沉积材料于基板上。特别是，值得注意的是，此处所述的各个实施方式提供相邻的供应接线之间的摩擦或磨损保护。在供应接线导件所连接的可移动装置的运动期间，相邻的供应接线之间的摩擦或磨损可能因供应接线导件的弯曲而产生。举例来说，甚至避免了供应接线与供应接线导件壳体的摩擦或磨损，供应接线导件壳体也就是柔性管。特别是，如果有的话，于此处所述的各个实施方式中的导引布置和柔性管之间可能发生摩擦或滑动。
因此，相较于传统的供应接线导件，如此处所述的供应接线导件的各个实施方式提供较长的寿命、较简易的安装过程、于真空中供应接线导件的较少膨胀、供应接线(举例为软管和缆线)的较简易安装、在供应接线导件中导引的供应接线的应变消除(strain-relief)、不同供应接线之间(举例为介质软管(mediahose)与电力缆线之间)较少的滑动摩擦、以及供应接线与供应接线导件壳体之间较少的滑动摩擦。供应接线导件壳体也就是柔性管。
根据可与此处所述任何其他实施方式结合的各个实施方式，柔性管120提供弯曲半径Rb，Rb≤500mm。也就是说，柔性管可被配置用于提供弯曲半径Rb，Rb≤500mm。再者，柔性管120可被配置成使得柔性管的内部体积与外部之间的1bar的压差不导致柔性管膨胀，具体是在径向方向上不导致柔性管膨胀。举例来说，柔性管120可包括金属或金属合金。具体地，柔性管120可包括至少50％的金属或金属合金具体是至少70％的金属或金属合金，更具体是至少90％的金属或金属合金。根据一个例子，柔性管120可由金属或金属合金组成。
因此，有利地提供供应接线导件，供应接线导件被配置成使得供应接线导件的内部体积与围绕供应接线导件提供的真空之间的压差减少，或甚至是消除于供应接线导件中导引的供应接线的压差引起的膨胀。
示例性参照图3，根据可与此处所述任何其他实施方式结合的各个实施方式，导引布置110提供第一导管111，用于导引第一组供应接线130A。也就是说，导引布置可被配置用于提供用以导引第一组供应接线的第一导管。此外，导引布置110可提供第二导管112，用于导引第二组供应接线130B。也就是说，导引布置可被配置用于提供用以导引第二组供应接线的第二导管。因此，导引布置110可有利地配置用于避免于第一导管111中导引的第一组供应接线与于第二导管112中导引的第二组供应接线之间的接触。
根据可与此处所述任何其他实施方式结合的各个实施方式，可设置一个或多个其他导管。举例来说，导引布置110可被配置用于提供第三导管113，用于导引第三组供应接线，如图3及图4B中示例性示出的。因此，导引布置110可被配置用于避免于第三导管113中导引的第三组供应接线与于第一导管111中导引的第一组供应接线之间的接触。此外，将理解的是，导引布置110可被配置用于避免于第三导管113中导引的第三组供应接线与于第二导管112中导引的第二组供应接线之间的接触。
因此，可有利地设置用于不同组的供应接线的分离隔室，分离隔室也就是导管。此种配置具有优点，可减少或甚至是消除不同组的供应接线之间的滑动摩擦。举例为在第一组供应接线包括金属外表面且金属外表面例如为金属供应接线壳体，及第二组供应接线包括聚合物外表面且聚合物外表面例如为聚合物供应接线壳体的情况中可特别有利。因此，将理解的是，藉由提供分离的导管来用于不同组的供应接线，可避免不同材料的供应接线壳体之间的滑动摩擦。因此，可避免由软供应接线壳体(例如为聚合物供应接线壳体)与硬供应接线壳体(例如为金属供应接线壳体)之间的滑动摩擦导致的对软供应接线壳体的损害。因此，可提供改善的供应接线导件，用于将供应接线提供至设置于真空腔室中的移动装置。
图4A至图4C绘示根据此处所述实施方式的具有不同可行配置的导引布置的元件的供应接线导件的示意性前视图。具体地，图4A绘示一配置，于此配置中，导引布置110的连接元件115提供第一导管111和第二导管112。第一导管111用于导引第一组供应接线，第二导管112用于导引第二组供应接线。举例来说，导引布置110可包括分离元件118，具体是连接元件115可包括分离元件118。分离元件118将第一导管111的第一体积与第二导管112的第二体积分离，如图4A中所示例性示出的。
图4B绘示一示例性配置，于此示例性配置中，导引布置110的连接元件115被配置用于提供第一导管111、提供第二导管112和提供第三导管113。第一导管111用于导引第一组供应接线，第二导管112用于导引第二组供应接线，第三导管113用于导引第三组供应接线。因此，导引布置110的连接元件115可包括分离元件118。分离元件118被配置用于提供用于三个导管各者的三个分离的体积，如图4B中所示例性示出的。示例性参照图4C，将理解的是，导引布置110可被配置用于提供三个或更多个导管，举例为四个导管。因此，导引布置110的连接元件115可包括分离元件118。分离元件118被配置用于提供数个预选的分离体积，用于对应数量的导管，举例为第一导管111、第二导管112、第三导管113和第四导管114，如图4C中示例性示出的。
图5绘示根据此处所述实施方式的供应接线导件的示意性分解图。如图5中示例性示出的，供应接线导件100可包括柔性管120，柔性管120包括连接凸缘。举例来说，柔性管120可包括第一连接凸缘160和第二连接凸缘161。第一连接凸缘160例如为用于将供应接线导件连接至真空腔室的内壁(interior wall)，第二连接凸缘161例如为用于将供应接线导件连接至设置于真空腔室内侧的移动装置。再者，供应接线导件100可包括第一固定元件150A，配置用于将导引布置110的第一端110A固定至柔性管120的第一端120A。额外地或替代地，供应接线导件100可包括第二固定元件150B，配置用于将导引布置110的第二端110B固定至柔性管120的第二端120B。因此，根据可与此处所述任何其他实施方式结合的各个实施方式，导引布置110的第一端110A可连接至柔性管120的第一端120A和/或导引布置110的第二端110B可连接至柔性管120的第二端120B。
更具体地，根据可与此处所述任何其他实施方式结合的数个实施方式，多个连接元件的起始元件115A的位置可相对于柔性管120的壁固定，具体是在柔性管120的第一端120A处。因此，多个连接元件的最末元件115Z的位置可相对于柔性管120的壁固定。
图6绘示根据可与此处所述任何其他实施方式结合的此处所述实施方式的供应接线导件的示意性前视图，其中三个不同组的供应接线设置于三个分离的导管中。举例来说，设置于第一导管111中的第一组供应接线130A可被配置用于供应功率(也就是电力)。设置于第二导管112中的第二组供应接线130B可被配置用于供应液体介质(例如水、油等)，设置于第三导管113中的第三组供应接线130C可被配置用于供应气体介质(例如压缩空气、惰性气体等)。
示例性参照图7，根据可与此处所述任何其他实施方式结合的各个实施方式，多个连接元件的起始元件115A可藉由第一内部定心元件(first inner centering element)171相对于柔性管120的壁固定。因此，虽然未明确示出，额外地或替代地，多个连接元件的最末元件可藉由第二内部定心元件相对于柔性管的壁固定。具体地，第一内部定心元件或第二内部定心元件可设置成环状元件，至少部分地设置于柔性管120的内部体积中，如图7中示例性示出的第一内部定心元件171。特别是，如此处所述的内部定心元件可被配置用于提供与如此处所述的柔性管的内端部匹配的形式。
再者，如图7中示例性示出的，可提供销175用于相对于柔性管的壁固定多个连接元件的起始元件115A的位置。举例来说，如图7中示例性示出的，销175可延伸通过分离元件118的中央部分，分离元件118设置于起始元件115A的内部体积中。再者，销175的相对端可延伸至内部定心元件中，如图7中的虚线所示例性示出的。
如参照图5示例性示出的，根据可与此处所述任何其他实施方式结合的各个实施方式，柔性管120可包括连接凸缘。连接凸缘例如为第一连接凸缘160，配置用于将供应接线导件100连接至处理系统的壁或其他连结元件。举例来说，其他连结元件可为肘元件(elbowelement)180，如图8中示例性示出的。举例来说，肘元件180可被配置用于将供应接线导件100连接至设置于真空腔室210的壁222中的开口，以从大气环境250通过供应接线导件提供供应接线至可移动装置。再者，如图8中示例性示出的，可设置应变消除元件190。应变消除元件190被配置用于减少应变或张力，应变或张力是因通过壁222中的开口馈入供应接线导件100中的供应接线的弯曲所导致的。举例来说，应变消除元件190可包括可为柔性的多个销，用于提供应变消除。应变消除元件190可与肘元件180结合使用或在没有肘元件的情况下使用。
因此，此处所述的各个实施方式提供改善的供应接线导件100，用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线。作为可与此处所述其他配置和实施方式结合的例子来说，供应接线导件100包括导引布置110，导引布置110包括多个连接环状元件。举例来说，多个连接环状元件可经由中央布置的接头彼此连接，使得连接环状元件相对于彼此可调整角度。再者，连接环状元件可被配置用于提供第一导管111，第一导管111用于导引第一组供应接线。此外，连接环状元件可被配置用于提供第二导管112，第二导管112用于导引第二组供应接线。因此，连接环状元件可被配置用于避免于第一导管111中导引的第一组供应接线与于第二导管112中导引的第二组供应接线之间的接触。再者，供应接线导件100一般包括柔性金属管，柔性金属管围绕导引布置110设置。具体地，柔性管有利地被配置用于提供用于多条供应接线的气密壳体。柔性管120可被有利地配置用于提供弯曲半径Rb，Rb≤500mm。
根据可与此处所述任何其他实施方式结合的实施方式，导引布置可类似于3D e-chain配置，例如为用于六轴机械手。再者，导引布置可包括用于摩擦轴承的材料，也就是经配置而与其他塑料及金属部分平滑接触并且耐拉伸的材料。因此，如此处所述的供应接线导件有利地延长供应接线(例如为缆线及软管)及柔性管的寿命。柔性管也可被称为柔性金属软管。
图9绘示根据此处所述实施方式的处于示例性第一状态(实线)和示例性第二状态(虚线)的供应接线导件的示意性侧视图。具体地，图9绘示供应接线导件100的第一端101可具有固定位置P1，例如藉由固定至真空腔室210的壁，供应接线导件100的第二端102可具有可改变位置，举例为从第一位置P2至第二位置P2’，例如藉由固定至设置在真空腔室210中的可移动装置。
有鉴于此处所述的实施方式，将理解的是，此处所述的供应接线导件非常适合在处理系统200的真空腔室210中使用，如图10中示例性示出的。因此，本公开内容的另一方面涉及根据此处所述任何实施方式的供应接线导件的用途，用以将多条供应接线导引至设置于处理系统的真空腔室中的可移动装置。
图10绘示根据此处所述实施方式的处理系统200的示意图。一般而言，处理系统200包括真空腔室210、可移动装置220、及根据此处所述实施方式的供应接线导件100。可移动装置220设置于真空腔室210中。如图10中示例性示出的，供应接线导件100连接至可移动装置220。具体地，供应接线导件100的第一端101可连接至可移动装置220，供应接线导件100的第二端102可连接至真空腔室210的壁。举例来说，可移动装置220可为处理装置，诸如材料沉积源。再者，处理系统200可包括基板支撑件225，配置用于在材料沉积期间支撑基板105。
具体地，可移动装置220例如为材料沉积源，可设置于轨道或线性导件227上，如图10中示例性示出的。线性导件227可被配置用于材料沉积源的平移运动。再者，可设置驱动器，用于提供材料沉积源的平移运动。具体地，可于真空腔室中设置传送设备，用于材料沉积布置的非接触式传送。如图10中示例性示出的，真空腔室210可具有闸阀(gate valve)215。真空腔室可经由闸阀215连接至相邻的路由模块(routing module)或相邻的服务模块(service module)。一般来说，路由模块被配置用于传送基板至其他真空沉积腔室来进一步处理，服务模块被配置用于材料沉积源的维护。具体地，闸阀提供至相邻的真空腔室的真空密封，举例为至相邻的路由模块或相邻的服务模块，并且闸阀可开启及关闭来用于移动基板和/或掩模进入或离开真空处理系统。
示例性参照图10，根据可与此处所述任何其他实施方式结合的各个实施方式，两个基板可支撑于真空腔室210中的相应的传送轨道上，所述两个基板例如为第一基板105A和第二基板105B。再者，可设置用于提供掩模333于其上的两个轨道。具体地，用于传送基板载体和/或掩模载体的轨道可设置有其他传送设备，用于非接触式传送载体。
一般来说，涂布基板可包括藉由相应的掩模掩蔽基板，举例为藉由边缘排除掩模(edge exclusion mask)或阴影掩模(shadow mask)。根据典型的实施方式，掩模设置于掩模框架331中，以支撑相应的掩模于预定位置中，如图10中示例性示出的，掩模例如为对应于第一基板105A的第一掩模333A和对应于第二基板105B的第二掩模333B。
如图10中所示，线性导件227提供可移动装置220的平移运动的方向，可移动装置220具体是沉积源。在材料沉积源的两侧上可设置掩模333，掩模举例为用于掩蔽第一基板105A的第一掩模333A和用于掩蔽第二基板105B的第二掩模333B。掩模可基本上平行于沉积源的平移运动的方向延伸。再者，在蒸发源的相对侧的基板亦可基本上平行于平移运动的方向延伸。
示例性参照图10，可设置源支撑件231，用于材料沉积源沿着线性导件227的平移运动。一般来说，源支撑件231支撑坩锅240和分布组件245。分布组件245设置于蒸发坩锅之上，如图10中所示例性示出的。因此，于蒸发坩锅中产生的蒸汽可向上移动且离开分布组件的一个或多个出口。因此，分布组件被配置用于从分布组件245提供已蒸发材料至基板105，具体是提供已蒸发有机材料的羽流。将理解的是，图10仅绘示出供应接线导件100的示意图，设置于处理系统200的真空腔室210中的供应接线导件100可具有此处所述实施方式的任何配置，如参照图1至图9所示例性描述的。
因此，有鉴于上述，将理解的是，此处所述的各个实施方式提供改善的供应接线导件，用于将多条供应接线导引至设置于真空环境中的移动装置。也就是说，此处所述的各个实施方式提供改善的柔性介质馈通，用于供应介质至真空中的移动装置。再者，将理解的是，此处所述的供应接线导件可不仅仅是参照图10示例性描述的用于将供应接线导引至沉积源，而是可用于将供应接线导引至需要介质供应的任何其他可移动装置，介质供应诸如电力、加压空气、用于冷却的水或其他。具体地，此处所述的各个实施方式提供改善的方案来从大气环境经过长距离通过真空环境供应介质至可移动装置。举例来说，可移动装置可为可移动遮板(movable shutter)、可移动掩模、可移动介质臂、可移动基板载体或被提供供应功率或介质的任何其他可移动装置。
再者，将理解的是，此处所述的各个实施方式提供在供应接线导件中导引的供应接线(举例为缆线和软管)的应变消除。供应接线的应变可能因拉伸而产生。此外，此处所述的各个实施方式提供相邻的供应接线之间的摩擦或磨损保护。在供应接线导件所连接的可移动装置的运动期间，相邻的供应接线之间的摩擦或磨损可能因供应接线导件的弯曲而产生。具体地，可提供例如为金属软管的供应接线的拉伸保护。举例来说，在传统的供应接线导件中，供应接线因供应接线导件的内侧(举例为具有大气条件)与供应接线导件的外侧(举例为具有真空条件)之间的压力差而被拉伸。此种拉伸可实质上利用此处所述的各个实施方式避免。
再者，此处所述的各个实施方式提供改善方案，以经由长距离供应介质至可移动装置，其中，由于可移动装置的大移动范围导致可能产生小弯曲半径，特别是在供应接线导件处于盘绕(coiled)状态或卷起(rolled-up)状态时。因此，如此处所述的各个实施方式有利地提供较长的寿命、较简易的安装过程、在真空中的供应接线导件的较少膨胀、供应接线(例如为软管和缆线)的较简易的安装、在供应接线导件中导引的供应接线的应变消除、和不同供应接线之间(举例为介质软管与电力缆线之间)较少的滑动摩擦。
虽然前述内容涉及本公开内容的各个实施方式，但在不背离本公开内容的基本范围的情况下，可设计出本公开内容的其他和进一步的实施方式，且本公开内容的范围由随附的权利要求书确定。
具体地，此书面说明使用包括最佳实施方式的数个例子来披露本公开内容，且亦让本领域的任何技术人员能够实施所述的主题，包括制造和使用任何装置或系统及执行任何并入的方法。当已经于前述内容中披露了各个具体实施方式时，上述各实施方式的非互斥的特征可彼此结合。可取得专利权的范围由权利要求书限定，且如果权利要求书具有非相异于权利要求的字面语言的结构元件时，或如果权利要求包括等效结构元件，且等效结构元件与权利要求的字面语言具有非实质差异时，其他例子意欲包含于权利要求书的范围内。

Claims (15)

1.一种供应接线导件(100)，用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线，所述供应接线导件包括：
导引布置(110)，包括多个连接元件(115)，其中所述连接元件(115)相对于彼此可调整角度；和
柔性管(120)，围绕所述导引布置(110)设置。
2.根据权利要求1所述的供应接线导件(100)，其中所述柔性管(120)提供一弯曲半径Rb，Rb≤500mm。
3.根据权利要求1或2所述的供应接线导件(100)，其中所述柔性管(120)包括金属或金属合金。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)包括第一导管(111)和第二导管(112)，所述第一导管(110)用于导引第一组供应接线(130A)，所述第二导管(112)用于导引第二组供应接线(130B)。
5.根据权利要求4所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)包括分离元件(118)，所述分离元件(118)将所述第一导管(111)的第一体积与所述第二导管(112)的第二体积分离。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)包括第三导管(113)，用于导引第三组供应接线(130C)。
7.根据权利要求6所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)包括分离元件(118)，所述分离元件(118)使第一导管(111)的第一体积、第二导管(112)的第二体积和第三导管的第三体积彼此分离。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述导引布置(110)的第一端(110A)连接至所述柔性管(120)的第一端(120A)，并且其中所述导引布置(110)的第二端(110B)连接至所述柔性管(120)的第二端(120B)。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述多个连接元件的起始元件的位置相对于所述柔性管(120)的壁固定，和/或其中所述多个连接元件的最末元件的位置相对于所述柔性管(120)的壁固定。
10.根据权利要求9所述的供应接线导件(100)，其中所述起始元件藉由第一内部定心元件相对于所述柔性管(120)的壁固定，和/或其中所述最末元件藉由第二内部定心元件相对于所述柔性管(120)的壁固定。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述柔性管(120)包括连接凸缘。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的供应接线导件(100)，其中所述多个连接元件(115)为经由中央布置的接头彼此连接的环状元件。
13.一种供应接线导件(100)，用以于处理系统的真空腔室中导引多条供应接线，所述供应接线导件包括：
导引布置(110)，包括多个连接环状元件，所述连接环状元件经由中央布置的接头彼此连接，使得所述连接环状元件相对于彼此可调整角度，其中所述连接环状元件提供用于第一组供应接线的第一导管(111)并且提供用于第二组供应接线的第二导管(112)，并且其中所述连接环状元件包括分离元件(118)，所述分离元件(118)将所述第一导管(111)的第一体积与所述第二导管(112)的第二体积分离；和
柔性金属管，围绕所述导引布置(110)设置，其中所述柔性管提供用于所述多条供应接线的气密壳体，并且其中所述柔性管(120)提供一弯曲半径Rb，Rb≤500mm。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的供应接线导件(100)的用途，用于导引多条供应接线至可移动装置，所述可移动装置提供于处理系统(200)的真空腔室(210)中。
15.一种处理系统(200)，包括：
真空腔室(210)；
可移动装置(220)，所述可移动装置(220)设置于所述真空腔室(210)中；和
根据权利要求1至13中任一项所述的供应接线导件(100)，所述供应接线导件(100)连接至所述可移动装置(220)。
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