CN108962801B - 一种晶圆流片生产用光刻辅助装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 title claims abstract description 31
- 230000008093 supporting effect Effects 0.000 claims abstract description 85
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 39
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 1
- 230000001012 protector Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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Abstract
本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其可增强晶圆流片在支撑架上的稳固性，避免其在焊接过程中移位，提高焊接效果；同时能根据工作人员需求对其焊接时与晶圆流片间距离进行调整，提高适应能力，降低使用局限性；且增强焊接过程中对工作人员的保护效果，提高使用可靠性；包括工作台、底座、焊枪和支撑架，焊枪放置在工作台顶端右侧；还包括四组支撑件，支撑件包括第一螺纹管、第一螺纹杆、第一滚珠轴承和支撑板，第一螺纹杆顶端与支撑板底端连接；还包括四组固定件；还包括两组调节件、两组连接件和透明防护板，支撑架位于两组调节件之间，透明防护板左右两端分别与两组连接件连接。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用光刻辅助装置。
背景技术
众所周知，晶圆流片生产用光刻辅助装置是一种用于芯片生产过程中，对流片进行光刻辅助焊接，以便于后续进行测试的辅助装置，其在芯片生产领域中得到广泛的使用；现有的晶圆流片生产用光刻辅助装置包括工作台、底座、焊枪和支撑架，工作台设置在底座顶端，支撑架设置在工作台顶端前侧，焊枪放置在工作台顶端右侧；现有的晶圆流片生产用光刻辅助装置使用时只需将晶圆流片放置在支撑架上，然后手拿焊枪对晶圆流片进行焊接即可；现有的晶圆流片生产用光刻辅助装置使用中发现，晶圆流片在支撑架上的稳固性有限，易在焊接过程中移位，影响焊接效果；并且支撑架的高度固定，从而导致晶圆流片放置后的位置固定，不能根据工作人员需求对其焊接时与晶圆流片间距离进行调整，适应能力较差，使用局限性较高；且焊接过程中易产生强光辐射及炽热飞溅颗粒物等对工作人员造成损伤的物质，而工作人员单纯依靠焊接眼护具对其进行保护，保护效果有限，从而导致其使用可靠性有限。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种增强晶圆流片在支撑架上的稳固性，避免其在焊接过程中移位，提高焊接效果；同时能根据工作人员需求对其焊接时与晶圆流片间距离进行调整，提高适应能力，降低使用局限性；且增强焊接过程中对工作人员的保护效果，提高使用可靠性的晶圆流片生产用光刻辅助装置。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，包括工作台、底座、焊枪和支撑架，工作台设置在底座顶端，支撑架设置在工作台顶端前侧，焊枪放置在工作台顶端右侧；还包括四组支撑件，所述支撑件包括第一螺纹管、第一螺纹杆、第一滚珠轴承和支撑板，工作台顶端前侧设置有第一安装槽，第一滚珠轴承设置在第一安装槽内，所述第一螺纹管底端插入至第一滚珠轴承内部，第一螺纹杆底端插入并螺装在第一螺纹管顶端内部，且第一螺纹杆顶端与支撑板底端连接，所述四组支撑件分别设置在支撑板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，且四组支撑件底端均与工作台顶端连接；还包括四组固定件，所述四组固定件分别设置在支撑板顶端左侧、右侧、前侧和后侧上；还包括两组调节件、两组连接件和透明防护板，所述两组调节件均设置在工作台顶端前半区域上，且支撑架位于两组调节件之间，两组连接件分别设置在两组调节件顶端，所述透明防护板位于支撑板正上方，且透明防护板左右两端分别与两组连接件连接。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，所述支撑件包括上支撑杆、下支撑杆和支撑弹簧组，所述上支撑杆设置在支撑板底端，下支撑杆设置在工作台顶端，所述下支撑杆顶端设置有插槽，且上支撑杆底端插入至插槽内部，所述支撑弹簧组位于插槽内部，且支撑弹簧组顶端和底端分别与上支撑杆底端和插槽内底壁连接。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，所述调节件包括第二螺纹管、第二螺纹杆和第二滚珠轴承，所述工作台顶端前侧左半区域和右半区域上均设置有第二安装槽，第二滚珠轴承设置在第二安装槽内，所述第二螺纹管底端插入至第二滚珠轴承内部，第二螺纹杆底端插入并螺装在第二螺纹管顶端内部。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，所述连接件包括连接块和上螺纹杆，所述连接块设置在第二螺纹杆顶端，并在连接块左端设置有上通孔，所述上通孔与上螺纹杆相匹配，并在上通孔内侧壁上设置有与上螺纹杆外螺纹结构相匹配的内螺纹结构，所述上螺纹杆穿过并螺装在上通孔上，且上螺纹杆与透明防护板连接。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，所述固定件包括支板、圆形固定板、下螺纹杆和转动块，所述支板设置在支撑板顶端外侧，并在支板上设置有下通孔，所述下通孔与下螺纹杆相匹配，并在下通孔内侧壁上设置有与下螺纹杆外螺纹结构相匹配的内螺纹结构，所述下螺纹杆穿过并螺装在下通孔上，所述圆形固定板和转动块分别设置在下螺纹杆输出端和输入端上，且圆形固定板位于支撑板上方内侧。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，还包括第一限位环，所述第一螺纹管下半区域外侧壁上设置有第一环形凹槽，第一限位环套装在第一环形凹槽上，且第一限位环底端外侧与工作台顶端前侧连接。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，还包括两组第二限位环，所述两组第二螺纹管下半区域外侧壁均上设置有第二环形凹槽，两组第二限位环分别套装在两组第二环形凹槽上，且两组第二限位环底端外侧分别与工作台顶端前侧左半区域和右半区域连接。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，还包括第一防滑板，所述支撑板顶端设置有固定槽，第一防滑板设置在固定槽内，且第一防滑板顶端左半区域、右半区域、前半区域和后半区域均与圆形固定板底端接触。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，还包括四组第二圆形防滑板，所述四组第二圆形防滑板分别设置在四组圆形固定板输出端上，且四组第二圆形防滑板均与第一防滑板接触。
与现有技术相比本发明的有益效果为：其可通过四组固定件对位于支撑板上的晶圆流片进行卡紧固定，以便增强晶圆流片在支撑架上的稳固性，避免其在焊接过程中移位，提高焊接效果；同时可通过螺纹结构，通过旋转位置不变的第一螺纹管控制第一螺纹杆带动支撑板进行上下移动，以便根据工作人员需求对其焊接时与晶圆流片间距离进行调整，提高适应能力，降低使用局限性；且可通过透明防护板对支撑架上方进行遮挡，以便增强焊接过程中对工作人员的保护效果，同时可通过调节调节件的高度，以便根据需求对透明防护板的高度进行调整，提高使用可靠性。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是图1的A部局部放大图；
图3是图1的B部局部放大图；
附图中标记：1、工作台；2、底座；3、焊枪；4、第一螺纹管；5、第一螺纹杆；6、第一滚珠轴承；7、支撑板；8、透明防护板；9、上支撑杆；10、下支撑杆；11、支撑弹簧组；12、第二螺纹管；13、第二螺纹杆；14、第二滚珠轴承；15、连接块；16、上螺纹杆；17、支板；18、圆形固定板；19、下螺纹杆；20、转动块；21、第一限位环；22、第二限位环；23、第一防滑板；24、第二圆形防滑板。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1至图3所示，本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，包括工作台1、底座2、焊枪3和支撑架，工作台设置在底座顶端，支撑架设置在工作台顶端前侧，焊枪放置在工作台顶端右侧；还包括四组支撑件，支撑件包括第一螺纹管4、第一螺纹杆5、第一滚珠轴承6和支撑板7，工作台顶端前侧设置有第一安装槽，第一滚珠轴承设置在第一安装槽内，第一螺纹管底端插入至第一滚珠轴承内部，第一螺纹杆底端插入并螺装在第一螺纹管顶端内部，且第一螺纹杆顶端与支撑板底端连接，四组支撑件分别设置在支撑板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，且四组支撑件底端均与工作台顶端连接；还包括四组固定件，四组固定件分别设置在支撑板顶端左侧、右侧、前侧和后侧上；还包括两组调节件、两组连接件和透明防护板8，两组调节件均设置在工作台顶端前半区域上，且支撑架位于两组调节件之间，两组连接件分别设置在两组调节件顶端，透明防护板位于支撑板正上方，且透明防护板左右两端分别与两组连接件连接；其可通过四组固定件对位于支撑板上的晶圆流片进行卡紧固定，以便增强晶圆流片在支撑架上的稳固性，避免其在焊接过程中移位，提高焊接效果；同时可通过螺纹结构，通过旋转位置不变的第一螺纹管控制第一螺纹杆带动支撑板进行上下移动，以便根据工作人员需求对其焊接时与晶圆流片间距离进行调整，提高适应能力，降低使用局限性；且可通过透明防护板对支撑架上方进行遮挡，以便增强焊接过程中对工作人员的保护效果，同时可通过调节调节件的高度，以便根据需求对透明防护板的高度进行调整，提高使用可靠性。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，支撑件包括上支撑杆9、下支撑杆10和支撑弹簧组11，上支撑杆设置在支撑板底端，下支撑杆设置在工作台顶端，下支撑杆顶端设置有插槽，且上支撑杆底端插入至插槽内部，支撑弹簧组位于插槽内部，且支撑弹簧组顶端和底端分别与上支撑杆底端和插槽内底壁连接；其可增强支撑板与工作台间的支撑效果和稳固性。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，调节件包括第二螺纹管12、第二螺纹杆13和第二滚珠轴承14，工作台顶端前侧左半区域和右半区域上均设置有第二安装槽，第二滚珠轴承设置在第二安装槽内，第二螺纹管底端插入至第二滚珠轴承内部，第二螺纹杆底端插入并螺装在第二螺纹管顶端内部；其可通过螺纹结构，通过同时旋转两组位置不变的第二螺纹管控制第二螺纹杆带动连接件上的透明防护板进行上下移动，以便根据工作人员需求对透明防护板与支撑板间距离进行调整，提高适应能力，降低使用局限性。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，连接件包括连接块15和上螺纹杆16，连接块设置在第二螺纹杆顶端，并在连接块左端设置有上通孔，上通孔与上螺纹杆相匹配，并在上通孔内侧壁上设置有与上螺纹杆外螺纹结构相匹配的内螺纹结构，上螺纹杆穿过并螺装在上通孔上，且上螺纹杆与透明防护板连接；其可对透明防护板与调节件间进行连接，同时可通过螺纹结构对透明防护板进行转动，以便对透明防护板与支撑板间的角度进行调整，提高适应能力。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，固定件包括支板17、圆形固定板18、下螺纹杆19和转动块20，支板设置在支撑板顶端外侧，并在支板上设置有下通孔，下通孔与下螺纹杆相匹配，并在下通孔内侧壁上设置有与下螺纹杆外螺纹结构相匹配的内螺纹结构，下螺纹杆穿过并螺装在下通孔上，圆形固定板和转动块分别设置在下螺纹杆输出端和输入端上，且圆形固定板位于支撑板上方内侧；其可通过螺纹结构，通过旋转转动块带动上螺纹杆在上通孔内移动，以便对圆形固定板位置进行调整，使圆形固定板对位于支撑板上的晶圆流片进行卡紧固定，增强晶圆流片在支撑架上的稳固性。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，还包括第一限位环21，第一螺纹管下半区域外侧壁上设置有第一环形凹槽，第一限位环套装在第一环形凹槽上，且第一限位环底端外侧与工作台顶端前侧连接；其可增强第一螺纹管与工作台间的连接效果和稳固性。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，还包括两组第二限位环22，两组第二螺纹管下半区域外侧壁均上设置有第二环形凹槽，两组第二限位环分别套装在两组第二环形凹槽上，且两组第二限位环底端外侧分别与工作台顶端前侧左半区域和右半区域连接；其可增强第二螺纹管与工作台间的连接效果和稳固性。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，还包括第一防滑板23，支撑板顶端设置有固定槽，第一防滑板设置在固定槽内，且第一防滑板顶端左半区域、右半区域、前半区域和后半区域均与圆形固定板底端接触；其可增加摩擦力，提高晶圆流片在支撑架上的稳固性。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，还包括四组第二圆形防滑板24，四组第二圆形防滑板分别设置在四组圆形固定板输出端上，且四组第二圆形防滑板均与第一防滑板接触；其可增加摩擦力，提高圆形固定板对晶圆流片的固定效果，提高使用性。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其在使用时先将晶圆流片放置在支撑架上，然后依次旋转四组转动块并使四组第二圆形防滑板分别与晶圆流片左端、右端、前端和后端接触，从而对晶圆流片进行卡紧固定，固定好后根据工作人员需求旋转第一螺纹管控制第一螺纹杆带动支撑板进行上下移动，对晶圆流片位置进行调整，同时旋转两组第二螺纹管控制第二螺纹杆带动连接件上的透明防护板进行上下移动，对透明防护板与支撑板间距离进行调整，并对透明防护板进行转动，以便对透明防护板与支撑板间的角度进行调整，最后手拿焊枪对晶圆流片进行焊接即可。
本发明的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；并且上述各部件的型号不限，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，且焊枪为市面常见设备，自带控制模块和电线，插电即可使用，未改变其内部结构。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
Claims (9)
1.一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，包括工作台（1）、底座（2）、焊枪（3）和支撑架，工作台设置在底座顶端，支撑架设置在工作台顶端前侧，焊枪放置在工作台顶端右侧；其特征在于，还包括四组支撑件，所述支撑件包括第一螺纹管（4）、第一螺纹杆（5）、第一滚珠轴承（6）和支撑板（7），工作台顶端前侧设置有第一安装槽，第一滚珠轴承设置在第一安装槽内，所述第一螺纹管底端插入至第一滚珠轴承内部，第一螺纹杆底端插入并螺装在第一螺纹管顶端内部，且第一螺纹杆顶端与支撑板底端连接，所述四组支撑件分别设置在支撑板底端左前侧、左后侧、右前侧和右后侧上，且四组支撑件底端均与工作台顶端连接；还包括四组固定件，所述四组固定件分别设置在支撑板顶端左侧、右侧、前侧和后侧上；还包括两组调节件、两组连接件和透明防护板（8），所述两组调节件均设置在工作台顶端前半区域上，且支撑架位于两组调节件之间，两组连接件分别设置在两组调节件顶端，所述透明防护板位于支撑板正上方，且透明防护板左右两端分别与两组连接件连接。
2.如权利要求1所述的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其特征在于，所述支撑件包括上支撑杆（9）、下支撑杆（10）和支撑弹簧组（11），所述上支撑杆设置在支撑板底端，下支撑杆设置在工作台顶端，所述下支撑杆顶端设置有插槽，且上支撑杆底端插入至插槽内部，所述支撑弹簧组位于插槽内部，且支撑弹簧组顶端和底端分别与上支撑杆底端和插槽内底壁连接。
3.如权利要求2所述的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其特征在于，所述调节件包括第二螺纹管（12）、第二螺纹杆（13）和第二滚珠轴承（14），所述工作台顶端前侧左半区域和右半区域上均设置有第二安装槽，第二滚珠轴承设置在第二安装槽内，所述第二螺纹管底端插入至第二滚珠轴承内部，第二螺纹杆底端插入并螺装在第二螺纹管顶端内部。
4.如权利要求3所述的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其特征在于，所述连接件包括连接块（15）和上螺纹杆（16），所述连接块设置在第二螺纹杆顶端，并在连接块左端设置有上通孔，所述上通孔与上螺纹杆相匹配，并在上通孔内侧壁上设置有与上螺纹杆外螺纹结构相匹配的内螺纹结构，所述上螺纹杆穿过并螺装在上通孔上，且上螺纹杆与透明防护板连接。
5.如权利要求4所述的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其特征在于，所述固定件包括支板（17）、圆形固定板（18）、下螺纹杆（19）和转动块（20），所述支板设置在支撑板顶端外侧，并在支板上设置有下通孔，所述下通孔与下螺纹杆相匹配，并在下通孔内侧壁上设置有与下螺纹杆外螺纹结构相匹配的内螺纹结构，所述下螺纹杆穿过并螺装在下通孔上，所述圆形固定板和转动块分别设置在下螺纹杆输出端和输入端上，且圆形固定板位于支撑板上方内侧。
6.如权利要求5所述的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其特征在于，还包括第一限位环（21），所述第一螺纹管下半区域外侧壁上设置有第一环形凹槽，第一限位环套装在第一环形凹槽上，且第一限位环底端外侧与工作台顶端前侧连接。
7.如权利要求6所述的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其特征在于，还包括两组第二限位环（22），所述两组第二螺纹管下半区域外侧壁均上设置有第二环形凹槽，两组第二限位环分别套装在两组第二环形凹槽上，且两组第二限位环底端外侧分别与工作台顶端前侧左半区域和右半区域连接。
8.如权利要求7所述的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其特征在于，还包括第一防滑板（23），所述支撑板顶端设置有固定槽，第一防滑板设置在固定槽内，且第一防滑板顶端左半区域、右半区域、前半区域和后半区域均与圆形固定板底端接触。
9.如权利要求8所述的一种晶圆流片生产用光刻辅助装置，其特征在于，还包括四组第二圆形防滑板（24），所述四组第二圆形防滑板分别设置在四组圆形固定板输出端上，且四组第二圆形防滑板均与第一防滑板接触。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811060230.1A CN108962801B (zh) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | 一种晶圆流片生产用光刻辅助装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811060230.1A CN108962801B (zh) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | 一种晶圆流片生产用光刻辅助装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108962801A CN108962801A (zh) | 2018-12-07 |
| CN108962801B true CN108962801B (zh) | 2024-04-30 |
Family
ID=64475142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811060230.1A Active CN108962801B (zh) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | 一种晶圆流片生产用光刻辅助装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108962801B (zh) |
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- 2018-09-12 CN CN201811060230.1A patent/CN108962801B/zh active Active
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108962801A (zh) | 2018-12-07 |
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