CN108866617B - 超导腔电抛光系统及电抛光方法 - Google Patents

Abstract

本发明提出一种超导腔电抛光系统，包括支撑部、电极管、电解液转储罐、新电解液存储罐、旧电解液存储罐及清洗液存储罐；支撑部旋转支撑超导腔，超导腔的两端均设有溢出口；电极管的一端设有电解液入口并固定于支撑部，伸入超导腔内且沿轴向设有至少一个出电解液口；电解液转储罐通过第一输出管道连通至电解液入口，通过第一输入管道连通至溢出口使电解液能够在电解液转储罐、电极管以及超导腔内循环；新电解液存储罐通过第二输出管道连通至电解液转储罐；旧电解液存储罐通过第三输出管道连通至电解液转储罐，并通过第二输入管道连通至电解液转储罐；清洗液存储罐通过出水管道连通至电解液入口和溢出口。使用该系统能减少电解液的用量。

Description

超导腔电抛光系统及电抛光方法

技术领域

本发明涉及超导腔技术领域，尤其涉及一种超导腔电抛光系统及超导腔电抛光方法。

背景技术

超导腔是超导加速器的核心部件，相当于发动机，为被加速的粒子，如电子、质子等，提供能量。通常超导腔运行在零下271.15℃、表面电场在1X10⁷V/m量级。因此，超导腔在机械加工完成后，必须经过表面处理才能达到设计的性能。

其中，最为关键的步骤之一为电抛光技术。经过二十多年的发展，1.3GHz小型超导腔的电抛光技术日趋成熟。世界上几个大型加速器实验室，在采用电抛光技术对容量在30L左右的小型椭球型超导腔，如1.3GHz9cell超导腔，进行表面处理后，性能基本能够达到ILC等国际项目的设计要求，但成品率仍然不足80％。

与此同时，随着技术的发展，容积在120L左右的大型超导腔，如650MHz 5cell超导腔，成为一些大型加速器项目的候选者。

但是，目前国际上超导腔电抛光系统几乎仅适用于小型超导腔，对于大型超导腔，不具有对其电抛光工艺研究的能力。

此外，目前系统电解液耗费较多，而且经过处理后的超导腔的表面质量较低。

所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本发明的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明的目的在于克服上述现有技术的电解液耗费较多且表面质量较低的不足，提供一种电解液耗费较少且表面质量较高的超导腔电抛光系统及超导腔电抛光方法。

本发明的额外方面和优点将部分地在下面的描述中阐述，并且部分地将从描述中变得显然，或者可以通过本发明的实践而习得。

根据本公开的一个方面，提供一种超导腔电抛光系统，包括：

支撑部，用于支撑超导腔，其上可旋转的安装所述超导腔，所述超导腔的两端均设置有溢出口；

电极管，其一端部设置有电解液入口并固定于所述支撑部，所述电极管伸入所述超导腔内且沿其轴向设置有至少一个出电解液口；

电解液转储罐，通过第一输出管道连通至所述电解液入口，通过第一输入管道连通至所述溢出口使电解液能够在电解液转储罐、电极管以及超导腔内循环进行电抛光；

新电解液存储罐，其内储存有新电解液，通过第二输出管道连通至所述电解液转储罐；

旧电解液存储罐，其内储存有旧电解液，通过第三输出管道连通至所述电解液转储罐，并通过第二输入管道连通至所述电解液转储罐；

清洗液存储罐，其内存储有清洗液，通过出水管道连通至所述电解液入口和所述溢出口用于清洗所述电极管和所述超导腔。

在本公开的一种示例性实施例中，所述清洗液存储罐包括去离子水存储罐、热水存储罐中的一种或两种，所述超导腔电抛光系统还包括：

废液存储罐，用于存储清洗后的废液，通过进水管道连通至所述溢出口；

PH值检测设备，用于检测所述废液的PH值，设于所述废液存储罐内。

在本公开的一种示例性实施例中，所述超导腔电抛光系统还包括：

旋转密封部，设于所述超导腔与所述支撑部的连接位置，所述旋转密封部的下部设置有贯通至所述超导腔的腔内的电解液出口；

第四泵，通过排电解液管道连接于所述电解液出口与所述电解液转储罐之间，用于抽出所述超导腔内的电解液。

在本公开的一种示例性实施例中，所述超导腔电抛光系统还包括：

第一泵，连接于所述第一输出管道上，用于将电解液抽取至所述电极管内，其功率大于所述第四泵的功率；

第二泵，连接于所述第二输出管道上，用于将电解液抽取至所述电解液转储罐；

第三泵，连接于所述第二输入管道上，用于将电解液抽取至旧电解液存储罐。

在本公开的一种示例性实施例中，所述超导腔电抛光系统还包括：

第一原液存储罐，其内储存有第一原液，通过第一原液管道连接至所述新电解液存储罐；

第二原液存储罐，其内储存有第二原液，通过第二原液管道连接至所述新电解液存储罐。

在本公开的一种示例性实施例中，所述超导腔电抛光系统还包括：

第一热交换器，安装于所述电解液转储容器上，用于调节所述电解液转储罐内电解液的温度；

第二热交换器，安装于所述新电解液存储罐上，用于调节电解液配置过程中电解液的温度；

第三热交换器，安装于所述清洗液存储罐上，用于调节所述清洗液存储罐内清洗液的温度。

在本公开的一种示例性实施例中，所述电极管上设置有进气口和出气口，所述超导腔电抛光系统还包括：

保护气生成设备，通过进气管道连通至所述进气口；

废气处理设备，通过排气管道连通至所述出气口；

废气检测设备，设于所述排气管道上。

在本公开的一种示例性实施例中，所述超导腔电抛光系统还包括：

冷却设备，设于所述超导腔外。

在本公开的一种示例性实施例中，所述超导腔电抛光系统还包括：

多个温度传感器，设于所述电解液转储罐、所述新电解液存储罐、所述旧电解液存储罐以及所述超导腔上。

根据本公开的一个方面，提供一种超导腔电抛光方法，包括：

将旧电解液通入电极管对超导腔进行初次电抛光；

将清洗液通入所述电极管对所述电极管以及所述超导腔进行清洗；

将新电解液通入所述电极管对所述超导腔进行再次电抛光；

将清洗液通入所述电极管对所述电极管以及所述超导腔进行再次清洗。

由上述技术方案可知，本发明具备以下优点和积极效果中的至少之一：

本发明的超导腔电抛光系统及电抛光方法，将使用后的旧电解液通过旧电解液存储罐存储，使用时将旧电解液输送至电解液转储罐，然后使旧电解液在电解液转储罐、电极管以及超导腔内循环进行电抛光；将新电解液储存在新电解液存储罐，使用时将新电解液输送至电解液转储罐，然后使新电解液在电解液转储罐、电极管以及超导腔内循环进行电抛光；在通过旧电解液进行电抛光后以及通过新电解液进行电抛光后均通过清洗液存储罐内的清洗液清洗电极管和超导腔。通过旧电解液进行电抛光可以节省电解液的使用量。每次电抛光后进行清洗，避免在下次抛光时引入杂质，提高电抛光后的表面质量。

附图说明

通过参照附图详细描述其示例实施方式，本发明的上述和其它特征及优点将变得更加明显。

图1是超导腔电抛光的基本原理示意图；

图2是本发明超导腔电抛光系统的原理示意图；

图3是本发明超导腔电抛光方法的流程示意框图；

图中主要元件附图标记说明如下：

1、电解液转储罐；

2、电极管；201、电解液入口；203、出电解液口；

3、超导腔；31、溢出口；

4、第一热交换器；5、新电解液存储罐；6、旧电解液存储罐；7、清洗液存储罐；8、第一输出管道；9、第一输入管道；10、第二输出管道；11、第三输出管道；12、第二输入管道；13、出水管道；14、废液存储罐；15、第一泵；16、第二泵；17、第三泵；18、进气口；19、出气口；20、第三输入管道；21、第四输出管道；22、第一三通阀；23、第二三通阀；24、第三三通阀；25、第四三通阀；26、第五三通阀；27、第六三通阀；28、保护气生成设备；29、废气处理设备；30、第一原液存储罐；32、第二原液存储罐；33、第一原液管道；34、第二原液管道；35、冷却设备；36、第四泵；37、排电解液管道。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本发明将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

参照图1所示的超导腔3电抛光的基本原理示意图；超导腔3腔体本身作为阳极，在超导腔3上设置有溢出口31，电解液和清洗液可以通过该溢出口31流出。电极管2为空心铝棒，作为阴极，将电极管2置入超导腔3内部。在电极管2上设置有电解液入口201，连接电解液存储设备，在电极管2的伸入超导腔3内部的部分设置有出电解液口203，电解液从出电解液口203流入超导腔3内部，电解液一般选用氢氟酸和浓硫酸的混合溶液，占超导腔3的总体积的约50-60％。超导腔3在抛光过程中需要沿电极管2轴向自转；电抛光前或完成后，超导腔3可以在水平和竖直方向相互切换，用于排除电解液、清洗和组装。

本发明搜先提供了一种超导腔3电抛光系统，参照图2所示的超导腔3电抛光系统的原理示意图，该超导腔3电抛光系统包括支撑部、电极管2、电解液转储罐1、第一热交换器4、新电解液存储罐5、旧电解液存储罐6以及清洗液存储罐7。支撑部用于支撑超导腔3，其上可旋转的安装所述超导腔3，所述超导腔3的两端均设置有溢出口31；电极管2的一端部设置有电解液入口201并固定于所述支撑部，电极管的其余部分伸入超导腔内，且在电极管上沿轴向设置有至少一个出电解液口203；电解液转储罐1通过第一输出管道8连通至所述电解液入口201，通过第一输入管道9连通至所述溢出口31使电解液能够在电解液转储罐1、电极管2以及超导腔3内循环进行电抛光；第一热交换器4安装于所述电解液转储容器上，用于调节所述电解液转储罐1内电解液的温度；新电解液存储罐5内储存有新电解液，通过第二输出管道10连通至所述电解液转储罐1；旧电解液存储罐6内储存有旧电解液，通过第三输出管道11连通至所述电解液转储罐1，并通过第二输入管道12连通至所述电解液转储罐1；清洗液存储罐7内存储有清洗液，通过出水管道13连通至所述电解液入口201和所述溢出口31用于清洗所述电极管2和所述超导腔3。

在本示例实施方式中，在电极管2的一端面设置有电解液入口201，在电极管2上沿轴向设置有五个出电解液口203，与超导腔3上的五个圆弧部分相对应。当然，出电解液口203的数量还可以是一个、两个、六个或更多个，需要抛光的超导腔3越大，出电解液口203的数量越多，需要抛光的超导腔3越小，出电解液口203的数量越少。

新电解液存储罐5内储存有新电解液，通过第二输出管道10连通至所述电解液转储罐1。在本示例实施方式中，第二输出管道10上设置有第二泵16，第二泵16用于将电解液抽取至电解液转储罐内，在第二泵16与新电解液存储罐5之间的第二输出管道10上设置有第四三通阀25。在新电解液存储罐5上安装有第二热交换器，第二热交换器能够调节新电解液存储罐5内电解液配置过程中电解液的温度。

旧电解液存储罐6内储存有旧电解液，通过第三输出管道11连通至所述电解液转储罐1，并通过第二输入管道12连通至所述电解液转储罐1。在本示例实施方式中，第三输出管道11连通至第四三通阀25，即通过第二输出管道10连通至电解液转储罐1。通过第二泵16可以将旧电解液存储罐6内储存的旧电解液或新电解液存储罐5内储存的新电解液抽取至旧电解液存储罐6内。

在本示例实施方式中，在第二输入管道12上设置有第三泵17，通过第三泵17可以将使用过的电解液抽取至旧电解液存储罐6内，实现旧电解液的回收再利用。在第三泵17与旧电解液存储罐6之间的第二输入管道12上设置有第五三通阀26，新电解液存储罐5通过第三输入管道20连通至第五三通阀26，从而可以将使用过的电解液抽取至新电解液存储罐5，使新电解液存储罐5可以作为旧电解液存储罐6使用，在此情况下旧电解液存储罐6也可以作为新电解液存储罐5使用。在第三泵17与电解液转储罐1之间的第二输入管道12上设置有第六三通阀27，第六三通阀27上还连接有原液管道，该原液管道连接至第一原液存储罐30以及第二原液存储罐32，具体为：第一原液存储罐30内储存有第一原液，通过第一原液管道33连接至原液管道，并依次连接第六三通阀27以及第三泵17最终连接至新电解液存储罐5；第二原液存储罐32内储存有第二原液，通过第二原液管道34连接至原液管道，并依次连接第六三通阀27以及第三泵17最终连接至新电解液存储罐5。第一原液可以为氢氟酸，第二原液可以为浓硫酸。

电解液转储罐1通过第一输出管道8连通至所述电解液入口201，通过第一输入管道9连通至所述溢出口31使电解液能够在电解液转储罐1、电极管2以及超导腔3内循环进行电抛光。在本示例实施方式中，在第一输出管道8上设置有第一泵15，第一泵15用于将电解液抽取至电极管内，在第一泵15与电解液入口201之间的第一输出管道8上设置有第一三通阀22。在第一输入管道9设置有两个三通阀，分别为第二三通阀23和第三三通阀24，第二三通阀23设于靠近溢出口31的一端，第三三通阀24设于靠近电解液转储罐1的一端。通过第一泵15可以将电解液转储罐1内的电解液抽送至电极管2，并通过电极管2上的出电解液口203流至超导腔3内，然后通过溢出口31流至电解液转储罐1内，如此周而复始，电解液在电解液转储罐1、电极管2以及超导腔3内循环进行电抛光。

在本示例实施方式中，超导腔左端的溢出口31连接有第四输出管道21，该第四输出管道21连通至第一输入管道9，使超导腔内的电解液可以通过左端的溢出口31以及第四输出管道21流至第一输入管道9，最终流至电解液转储罐1。

在本示例实施方式中，在电解液转储容器上安装有第一热交换器4，第一热交换器4可以调节电解液转储罐1内电解液的温度，以使电解液的温度满足电抛光时的温度，进一步提高电抛光效果。

清洗液存储罐7内存储有清洗液，通过出水管道13连通至所述电解液入口201和所述溢出口31用于清洗所述电极管2和所述超导腔3。在本示例实施方式中，在清洗液存储罐7上设置有开关阀门，出水管道13分两路，其中一路连通至第一三通阀22，通过第一三通阀22的调节连通至电解液入口201；另一路连通至第二三通阀23，通过第二三通阀23的调节连通至溢出口31。在清洗液存储罐7上安装有第三热交换器，第三热交换器能够调节所述清洗液存储罐内清洗液的温度。

超导腔3电抛光系统还包括废液存储罐14以及PH值检测设备。废液存储罐14用于存储清洗后的废液，通过进水管道连通至溢出口31；PH值检测设备用于检测所述废液的PH值，设于废液存储罐14内。在本示例实施方式中，进水管连通至第三三通阀24，即废液存储罐14通过第三三通阀24以及第一输入管道9连通至溢出口31。

在对超导腔3电抛光完成后，将超导腔3以及电极管2内的电解液导出后，调节第一三通阀22和第二三通阀23，使清洗液通过第一输出管道8流入电极管2，通过溢出口31流入超导腔3，对电极管2和超导腔3进行清洗；在完成电极管2和超导腔3的清洗后(PH值检测设备检测的PH值显示废液基本为中性)，调节第一三通阀22、第二三通阀23和第三三通阀24，使废液从溢出口31和电解液出口202流至第一输出管道8，然后通过第二三通阀23和第三三通阀24流至进水管道，最终流至废液存储罐14，实现废液的收集。

在废液存储罐14上还设置有废液排出管道，在废液排出管道上设置有第五泵，通过第五泵将废液存储罐14内的废液抽出。

在本示例实施方式中，清洗液存储罐7为去离子水存储罐。当然，也可以是热水存储罐，或者并列设置去离子水存储罐和热水存储罐。

在电极管2上设置有进气口18和出气口19，超导腔3电抛光系统还可以包括保护气生成设备28、废气处理设备29以及废气检测设备。保护气生成设备28通过进气管道连通至进气口18，为超导腔3通入保护气，保护气为惰性气体，可以为氮气、氩气等等。废气处理设备29通过排气管道连通至出气口19，在电抛光过程中会产生氢气，氢气容易爆炸，需要及时排出进行处理。废气检测设备设于排气管道上，废气检测设备可以检测排出的废气的成分。

超导腔3电抛光系统还可以包括冷却设备35，冷却设备35设于超导腔3外。在电抛光过程中会产生很多热量，通过冷却设备35可以将热量转移，避免高温对抛光效果的影响。冷却设备35可以为水冷形式，也可以为风冷形式。在本示例实施方式中，采用去离子水进行冷却。

超导腔3电抛光系统还可以包括多个温度传感器，在电解液转储罐1、新电解液存储罐5、旧电解液存储罐6以及超导腔3上均可以温度传感器。通过温度传感器感测温度，避免高温对抛光效果的影响。

超导腔电抛光系统还包括旋转密封部，旋转密封部设于超导腔与支撑部的连接位置，通过旋转密封部实现超导腔的转动密封。在旋转密封部的下部设置有贯通至超导腔的腔内的电解液出口；在电解液出口通过排电解液管道37连通有第四泵36，第四泵36通过排电解液管道37连通至电解液转储罐1，第四泵36能够将超导腔内的电解液抽出。第四泵36的功率小于第一泵15的功率。

在超导腔电抛光过程中，电解液在电解液转储罐1、电极管2以及超导腔3内循环进行电抛光，电解液在超导腔3内的液面高度为超导腔3容积的50％-60％。对于大型超导腔3的抛光，电解液用量大、流速快，仅通过溢出口无法及时将电解液排出，导致电解液会在超导腔3内滞留，超过超导腔3容积的50％-60％，影响抛光效果。通过第四泵配合合适的排电解液管道直径，可使流量上限大幅度提升，满足大型超导腔的电抛光，及时将大部分电解液排出。由于第四泵36的功率小于第一泵15的功率，即电解液的流入速度大于流出速度，剩余的电解液通过设置在超导腔的两端的溢出口即可排出；保证电解液在超导腔3内的液面高度为超导腔3容积的50％-60％。这一方面避免了大型超导腔电抛光因需要引入大型旋转密封，而造成的大型旋转密封研发的成本和时间成本，降低整个系统的造价；也规避了由于新型大型旋转密封液面控制的差异对大型超导腔电抛光效果带来的不确定因素，提高了大型超导腔电抛光研究的安全性。此外，这一方法与输入和输出泵直接等速运行相比，排除了可能由于波动等原因，两泵不同步造成的电抛光过程不稳定，或排酸泵干抽带来的磨损等问题，提高了大型超导腔电抛光的可靠性和电抛光系统的运行维护成本。

进一步的，本发明还提供了一种对应于上述超导腔电抛光系统的超导腔3电抛光方法，参照图3所示的超导腔3电抛光方法的流程示意框图，该超导腔3电抛光方法可以包括以下步骤：

步骤S10，将旧电解液通入电极管2对超导腔3进行初次电抛光。

步骤S20，将清洗液通入电极管2对电极管2以及超导腔3进行清洗。

步骤S30，将新电解液通入电极管2对超导腔3进行再次电抛光。

步骤S40，将清洗液通入电极管2对电极管2以及超导腔3进行再次清洗。

下面具体说明该超导腔3电抛光方法。

首先，将使用过的旧电解液通入电极管2对超导腔3进行初次电抛光，完成初次电抛光后，将旧电解液全部导出，并存入旧电解液存储罐6中；然后，将清洗液通入电极管2对电极管2以及超导腔3进行清洗，直至检测到的废液的PH值接近中性的时候，完成电极管2以及超导腔3的清洗；其次，将新电解液通入电极管2对超导腔3进行再次电抛光，完成再次电抛光后，将新电解液全部导出，并存入旧电解液存储罐6中；最后，将清洗液通入电极管2对电极管2以及超导腔3进行清洗，直至检测到的废液的PH值接近中性的时候，完成电极管2以及超导腔3的清洗，完成本次电抛光。

本发明的超导腔3电抛光系统及电抛光方法，将使用后的旧电解液通过旧电解液存储罐6存储，使用时将旧电解液输送至电解液转储罐1，然后使旧电解液在电解液转储罐1、电极管2以及超导腔3内循环进行电抛光；将新电解液储存在新电解液存储罐5，使用时将新电解液输送至电解液转储罐1，然后使新电解液在电解液转储罐1、电极管2以及超导腔3内循环进行电抛光；在通过旧电解液进行电抛光后以及通过新电解液进行电抛光后均通过清洗液存储罐7内的清洗液清洗电极管2和超导腔3。通过旧电解液进行电抛光可以节省电解液的使用量。每次电抛光后进行清洗，避免在下次抛光时引入杂质，提高电抛光后的表面质量。在电解液转储容器上设置有第一热交换器4，通过第一热交换器4调节电解液转储罐1内电解液的温度，将进行电抛光的电解液的温度控制在设定温度范围内，以提高电抛光效果。

上述所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中，如有可能，各实施例中所讨论的特征是可互换的。在上面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本发明的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本发明的技术方案而没有所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组件、材料等。在其它情况下，不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本发明的各方面。

本说明书中，用语“一个”、“一”、“该”、“所述”和“至少一个”用以表示存在一个或多个要素/组成部分/等；用语“包含”、“包括”和“具有”用以表示开放式的包括在内的意思并且是指除了列出的要素/组成部分/等之外还可存在另外的要素/组成部分/等；用语“第一”、“第二”和“第三”等仅作为标记使用，不是对其对象的数量限制。

应可理解的是，本发明不将其应用限制到本说明书提出的部件的详细结构和布置方式。本发明能够具有其他实施方式，并且能够以多种方式实现并且执行。前述变形形式和修改形式落在本发明的范围内。应可理解的是，本说明书公开和限定的本发明延伸到文中和/或附图中提到或明显的两个或两个以上单独特征的所有可替代组合。所有这些不同的组合构成本发明的多个可替代方面。本说明书所述的实施方式说明了已知用于实现本发明的最佳方式，并且将使本领域技术人员能够利用本发明。

Claims (10)

1.一种超导腔电抛光系统，其特征在于，包括：

支撑部，用于支撑超导腔，其上可旋转的安装所述超导腔，所述超导腔的两端均设置有溢出口；

电极管，其一端部设置有电解液入口并固定于所述支撑部，所述电极管伸入所述超导腔内且沿其轴向设置有至少一个出电解液口；

电解液转储罐，通过第一输出管道连通至所述电解液入口，通过第一输入管道连通至所述溢出口使电解液能够在电解液转储罐、电极管以及超导腔内循环进行电抛光；

新电解液存储罐，其内储存有新电解液，通过第二输出管道连通至所述电解液转储罐；

旧电解液存储罐，其内储存有旧电解液，通过第三输出管道连通至所述电解液转储罐，并通过第二输入管道连通至所述电解液转储罐；

清洗液存储罐，其内存储有清洗液，通过出水管道连通至所述电解液入口和所述溢出口用于清洗所述电极管和所述超导腔。

2.根据权利要求1所述的超导腔电抛光系统，其特征在于，所述清洗液存储罐包括去离子水存储罐、热水存储罐中的一种或两种，所述超导腔电抛光系统还包括：

废液存储罐，用于存储清洗后的废液，通过进水管道连通至所述溢出口；

pH值检测设备，用于检测所述废液的pH值，设于所述废液存储罐内。

3.根据权利要求1所述的超导腔电抛光系统，其特征在于，所述超导腔电抛光系统还包括：

旋转密封部，设于所述超导腔与所述支撑部的连接位置，所述旋转密封部的下部设置有贯通至所述超导腔的腔内的电解液出口；

第四泵，通过排电解液管道连接于所述电解液出口与所述电解液转储罐之间，用于抽出所述超导腔内的电解液。

4.根据权利要求3所述的超导腔电抛光系统，其特征在于，所述超导腔电抛光系统还包括：

第一泵，连接于所述第一输出管道上，用于将电解液抽取至所述电极管内，其功率大于所述第四泵的功率；

第二泵，连接于所述第二输出管道上，用于将电解液抽取至所述电解液转储罐；

第三泵，连接于所述第二输入管道上，用于将电解液抽取至旧电解液存储罐。

5.根据权利要求1所述的超导腔电抛光系统，其特征在于，所述超导腔电抛光系统还包括：

第一原液存储罐，其内储存有第一原液，通过第一原液管道连接至所述新电解液存储罐；

第二原液存储罐，其内储存有第二原液，通过第二原液管道连接至所述新电解液存储罐。

6.根据权利要求1所述的超导腔电抛光系统，其特征在于，所述超导腔电抛光系统还包括：

第一热交换器，安装于所述电解液转储罐上，用于调节所述电解液转储罐内电解液的温度；

第二热交换器，安装于所述新电解液存储罐上，用于调节电解液配置过程中电解液的温度；

第三热交换器，安装于所述清洗液存储罐上，用于调节所述清洗液存储罐内清洗液的温度。

7.根据权利要求1所述的超导腔电抛光系统，其特征在于，所述电极管上设置有进气口和出气口，所述超导腔电抛光系统还包括：

保护气生成设备，通过进气管道连通至所述进气口；

废气处理设备，通过排气管道连通至所述出气口；

废气检测设备，设于所述排气管道上。

8.根据权利要求1所述的超导腔电抛光系统，其特征在于，所述超导腔电抛光系统还包括：

冷却设备，设于所述超导腔外。

9.根据权利要求1所述的超导腔电抛光系统，其特征在于，所述超导腔电抛光系统还包括：

多个温度传感器，设于所述电解液转储罐、所述新电解液存储罐、所述旧电解液存储罐以及所述超导腔上。

10.一种超导腔电抛光方法，其特征在于，包括：

将旧电解液通入电极管对超导腔进行初次电抛光；

将清洗液通入所述电极管对所述电极管以及所述超导腔进行清洗；

将新电解液通入所述电极管对所述超导腔进行再次电抛光；

将清洗液通入所述电极管对所述电极管以及所述超导腔进行再次清洗。

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