CN108817588A - 一种管靶贴合方法 - Google Patents
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Abstract
本发明为管靶贴合方法,包括以下步骤:将需要贴合的管靶和背管位置固定,使得管靶和背管均竖直放置且管靶和背管之间的间隙均匀;将固定好的管靶和背管置于密封的真空罩内部,将真空罩的底部与管道连接,管道的下端口插入管靶和背管之间的间隙,管道的上端口高于管靶和背管的顶面,管道的下端口与管靶和背管的底面齐平;对真空罩及管道进行加热,使得真空罩及管道内部温度高于铟的熔点;将铟液从管道灌入,待铟液填满管靶和背管之间的间隙后,停止灌入;停止加热,待铟冷却为固态后,管靶和背管的贴合完成,将管靶和背管取出。本发明利用真空和连通器的原理,确保铟在贴合的过程中不会被氧化,铟可以灌满管靶和背管的间隙,使管靶贴合均匀。
Description
技术领域
本发明涉及管靶贴合领域,特别是涉及一种管靶贴合方法。
背景技术
在管靶贴合的传统工艺中,需要利用铟作为粘合剂将管靶与背管利用贴合在一起,铟在贴合过程中,容易氧化成氧化铟,铟层氧化之后铟就大大的失去了粘合力,贴合的时候就不会很好的贴合在一起,氧化掉的地方会出现空洞或者贴合强度不够的问题,影响产品质量。
发明内容
本发明的目的是提供一种管靶贴合方法,避免铟层氧化,使管靶贴合均匀。
本发明通过如下技术方案实现上述目的:一种管靶贴合方法,包括以下步骤:
S1.将需要贴合的管靶和背管位置固定,使得管靶和背管均竖直放置且管靶和背管之间的间隙均匀;
S2.将固定好的管靶和背管置于密封的真空罩内部,将真空罩的底部与管道连接,管道的上端口高于管靶和背管的顶面,管道的下端口与管靶和背管的底面齐平;
S3.对真空罩及管道进行加热,使得真空罩及管道内部温度高于铟的熔点;
S4.将铟液从管道灌入,待铟液填满管靶和背管之间的间隙后,停止灌入;
S5.停止加热,待铟冷却为固态后,管靶和背管的贴合完成,将管靶和背管取出。
进一步的,所述步骤S3中的加热温度为160-260℃。
进一步的,所述步骤S5中的冷却时间为60-120分钟。
进一步的,所述管道为铜管,管道的下端口插入管靶和背管之间的间隙。
与现有技术相比,本发明管靶贴合方法的有益效果是:利用真空和连通器的原理,确保铟在贴合的过程中不会被氧化,铟很容易就可以灌满管靶和背管的间隙,使管靶贴合均匀。
附图说明
图1是本发明的原理示意图。
具体实施方式
请参阅图1。
实施例1
一种管靶贴合方法,包括以下步骤:
S1.将需要贴合的管靶30和背管40位置固定,使得管靶和背管均竖直放置且管靶和背管之间的间隙均匀;
S2.将固定好的管靶和背管置于密封的真空罩10内部,将真空罩10的底部与管道20连接,管道为铜管,管道的下端口插入管靶和背管之间的间隙,管道的上端口高于管靶和背管的顶面,管道的下端口与管靶和背管的底面齐平;
S3.对真空罩及管道进行加热至160℃,管道通过包覆在管道上的加热毯50进行加热,使得真空罩及管道内部温度高于铟的熔点;
S4.将铟液从管道灌入,待铟液填满管靶和背管之间的间隙后,停止灌入;
S5.停止加热,冷却60分钟,待铟冷却为固态后,管靶和背管的贴合完成,将管靶和背管取出。
实施例2
一种管靶贴合方法,包括以下步骤:
S1.将需要贴合的管靶30和背管40位置固定,使得管靶和背管均竖直放置且管靶和背管之间的间隙均匀;
S2.将固定好的管靶和背管置于密封的真空罩10内部,将真空罩10的底部与管道20连接,管道为铜管,管道的下端口插入管靶和背管之间的间隙,管道的上端口高于管靶和背管的顶面,管道的下端口与管靶和背管的底面齐平;
S3.对真空罩及管道进行加热至200℃,管道通过包覆在管道上的加热毯50进行加热,使得真空罩及管道内部温度高于铟的熔点;
S4.将铟液从管道灌入,待铟液填满管靶和背管之间的间隙后,停止灌入;
S5.停止加热,冷却90分钟,待铟冷却为固态后,管靶和背管的贴合完成,将管靶和背管取出。
实施例3
一种管靶贴合方法,包括以下步骤:
S1.将需要贴合的管靶30和背管40位置固定,使得管靶和背管均竖直放置且管靶和背管之间的间隙均匀;
S2.将固定好的管靶和背管置于密封的真空罩10内部,将真空罩10的底部与管道20连接,管道为铜管,管道的下端口插入管靶和背管之间的间隙,将真空罩及管道内部抽真空,管道的上端口高于管靶和背管的顶面,管道的下端口与管靶和背管的底面齐平;
S3.对真空罩及管道进行加热至260℃,管道通过包覆在管道上的加热毯50进行加热,使得真空罩及管道内部温度高于铟的熔点;
S4.将铟液从管道灌入,待铟液填满管靶和背管之间的间隙后,停止灌入;
S5.停止加热,冷却120分钟,待铟冷却为固态后,管靶和背管的贴合完成,将管靶和背管取出。
本发明管靶贴合方法利用真空和连通器的原理,确保铟在贴合的过程中不会被氧化,铟很容易就可以灌满管靶和背管的间隙,使管靶贴合均匀,利用这个方法还可以将管靶内壁和背管外壁的杂质清除。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点,对于本领域技术人员而言,显然本发明不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本发明。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (4)
1.一种管靶贴合方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1.将需要贴合的管靶和背管位置固定,使得管靶和背管均竖直放置且管靶和背管之间的间隙均匀;
S2.将固定好的管靶和背管置于密封的真空罩内部,将真空罩的底部与管道连接,管道的下端口插入管靶和背管之间的间隙,管道的上端口高于管靶和背管的顶面,管道的下端口与管靶和背管的底面齐平;
S3.对真空罩及管道进行加热,使得真空罩及管道内部温度高于铟的熔点;
S4.将铟液从管道灌入,待铟液填满管靶和背管之间的间隙后,停止灌入;
S5.停止加热,待铟冷却为固态后,管靶和背管的贴合完成,将管靶和背管取出。
2.根据权利要求1所述的管靶贴合方法,其特征在于:所述步骤S3中的加热温度为160-260℃。
3.根据权利要求1所述的管靶贴合方法,其特征在于:所述步骤S5中的冷却时间为60-120分钟。
4.根据权利要求1所述的管靶贴合方法,其特征在于:所述管道为铜管。
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