CN108801610A - 一种激光检测晶片应力装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种激光检测晶片应力装置，主要针对人造光学石英晶体抛光片。它包括激光光源、目镜、成像板、可调支具座组成，优点在于使用激光光源，借助放大目镜和成像板，组成成像光路系统。利用光的直射和散射、光学石英晶体双折射特性的原理，一定光强的激光束照射晶体抛光片后，通过目镜放大并将内部质量状态放大投影在成像板上，能快速、准确地对人造光学石英晶体抛光片的应力状况在成像板上进行检测和判断，实现了非接触式检测，直观地达到了检测效果，克服了自然光下无法检测的弊病。
Description
技术领域
本发明提供一种激光检测晶片应力装置，主要针对人造光学石英晶体抛光片。具体地说，利用光的直射和散射、光学石英晶体双折射特性的原理，一定光强的激光束照射晶体抛光片后，通过目镜放大并将内部质量状态放大投影在成像板上，可以方便、快捷、准确地对人造光学石英抛光晶片的内在应力质量状况通过光学的方法进行目视检测的一种装置。
背景技术
人造光学石英晶体材料再生长结晶过程中，会因为温度、压力、浓度的波动而产生局部应力集中，传统的测量方式是将待检光学石英晶体抛光片制做完成后，可以采用国外进口的条纹检测仪进行观察，但由于设备价值高昂（折合人民币10万元以上），一般企业难以承受，而且受限于设备的数量。于是希望设计一种易于操作、检测效率高、非接触式、测量精度高的人造石英抛光晶片应力检测装置。
发明内容
本发明的目的是针对现有检测技术的不足，从而提供一种设计巧妙、使用方便、非接触测量，快速、准确、高效的应力检测装置。
为了实现上述目的，本发明提供一种激光检测晶片应力装置，该装置利用光学原理，结构紧凑，是由激光器、目镜、成像板、三足支具座构成。
将三足可调支具座底板与激光器配合，三足可调支具座底板与目镜配合，三足可调支具座底板与成像板配合。通过调整A、B的距离，实现成像光路；通过调整晶片前后位置C、D的距离，清晰地实现对应力的目视检测。
本发明的技术方案如下：
一种激光检测晶片应力装置，包括激光器、目镜、成像板及三足支具座，所述激光器、目镜及成像板均安装在相应的三足支具座上；其特征在于：
所述激光器、目镜、成像板的中心基本等高；
所述激光器到目镜的距离A、目镜到成像板的距离B符合一定比例，即B>>A。
进一步的，所述激光器采用532nm绿激光器，且采用TTL 10～20KHz调制频率，功率220V 190～220mw的粗激光光束。
进一步的，所述目镜为Ф22mm×10X设置。
进一步的，所述三足支具座升降可调整。
进一步的，所述人造光学石英晶体抛光片的内在应力质量进行检测时，晶片位于激光器到目镜的中间，通过调整晶片前后位置C、D的距离，将检测结果在成像板上清晰地显示，目视可见。
本发明的有益效果在于：
该装置利用光的直射和散射、光学石英晶体双折射特性的原理，通过三足可调支具座底板与激光器配合，三足可调支具座底板与目镜配合，三足可调支具座底板与成像板配合，实现成像光路，实现了清晰地实现对石英晶体抛光片应力的目视检测。本发明易于操作可靠、方便、快捷、准确，有效地对人造光学石英抛光晶片的内在应力质量状况的检测，大大降低了设备制造成本。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2是本发明的测量示意图。
其中，1-激光器，2-目镜，3-成像板。
具体实施方式
下面通过具体实施方式，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
本发明的结构如图1所示。其中，1-激光器，2-目镜，3-成像板。
本发明的测量示意图如图2所示。
该激光检测晶片应力装置，创新性的利用激光光束稳定好、清晰度高的特点，利用凸透镜成像光学原理，将激光器、目镜、成像板、三足支具座组成一套完整的光路系统。通过三足可调支具座底板与激光器配合，三足可调支具座底板与目镜配合，三足可调支具座底板与成像板配合，使中心高度可调；光路系统通过调整A、B的距离【B>>A】，实现成像光路；通过调整晶片前后位置C、D的距离，即可清晰地实现对人造石英抛光晶片应力的目视检测。
最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其限制；尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明，所属领域的普通技术人员应当理解：依然可以对本发明的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换；而不脱离本发明技术方案的精神，其均应涵盖在本发明请求保护的技术方案范围当中。
Claims (5)
1.一种激光检测晶片应力装置，包括激光器、目镜、成像板及三足支具座，所述激光器、目镜及成像板均安装在相应的三足支具座上；其特征在于：
所述激光器、目镜、成像板的中心基本等高；
所述激光器到目镜的距离A、目镜到成像板的距离B符合一定比例，即B>>A。
2.根据权利要求1所述的一种激光检测晶片应力装置，其特征在于：所述激光器采用532nm绿激光器，且采用TTL 10～20KHz调制频率，功率220V 190～220mw的粗激光光束。
3.根据权利要求1所述的激光检测晶片应力装置，其特征在于：所述目镜为Ф22mm×10X设置。
4.根据权利要求1所述的激光检测晶片应力装置，其特征在于：所述三足支具座升降可调整。
5.根据权利要求1所述的激光检测晶片应力装置，其特征在于：所述人造光学石英晶体抛光片的内在应力质量进行检测时，晶片位于激光器到目镜的中间，通过调整晶片前后位置C、D的距离，将检测结果在成像板上清晰地显示，目视可见。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN110618136A (zh) * | 2019-10-24 | 2019-12-27 | 北京石晶光电科技股份有限公司 | 一种人造光学石英晶体材料条纹检测仪 |
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