CN210776054U - 一种360度反射式自由曲面整形激光模组 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种360度反射式自由曲面整形激光模组,其包括镜筒,镜筒的一端设置有激光光源基座,激光光源基座处设置有半导体激光器,半导体激光器产生的光线射入镜筒内且光线的轴线与镜筒的轴线重合,镜筒的中部设置有透镜安装座,透镜安装座处设置有透镜,镜筒远离激光光源基座的一端设置有自由曲面反射镜以及用于定位安装该自由曲面反射镜的反射镜安装座,镜筒靠近反射镜安装座的侧面设置有复合石英管,自由曲面反射镜的底面形状为椭圆形,自由曲面反射镜的反射面上设置有光线发散区和光线汇聚区。本实用新型具有在提高激光能量利用率的情况下将分布不均匀的激光反射后重新分布均匀的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及激光整形领域,尤其是涉及一种360度反射式自由曲面整形激光模组。
背景技术
目前,激光标线仪广泛应用于工程建筑、机械加工过程中的水平及垂直基准面的测定,或是对顶及对地基准点的测定。
现有技术中,公告号为CN207585611U的中国实用新型专利公开了一种激光标线仪用圆锥镜、激光标线组件及激光标线仪,其用于同时得到一个向四周360°扩散的激光面和一束与该激光面交叉或垂直的激光光束。所述圆锥镜包括:圆锥形的镜体,该镜体的中心轴线上设有通孔。还提供了一种采用上述圆锥镜的激光标线组件,该激光标线组件包括:激光发生组件,并应用于激光标线仪;所述镜体的中心轴线处于激光发生组件输出的激光光束的中心轴上。
上述现有技术方案存在以下缺陷:在实际使用的过程中,激光标线仪的光源一般使用半导体激光器(LD)提供,而半导体激光器由于其自身的发光原理特性,其出光光斑难以形成规则的圆形,实际中,激光光束的发散角在水平和垂直方向会产生较大的差异,导致其形成的光斑一般为椭圆形。现有的激光模组中,末端的反射镜一般为表面为45°斜面的圆锥形反射镜,用于将规则的垂直射入的圆形光斑反射为360°的水平光线。而椭圆形的光斑若直接经过反射镜的反射,则容易导致反射出的光线各角度的功率不同,从而导致各点处亮度差别过大。
现有的处理方案中,通用的方式是采用圆形光阑将椭圆形的光斑拦截成直径较小的光斑,从而使其反射后得到的光线各处趋于均匀。但是实际情况中,椭圆形光斑的长宽比通常为1:3.5至1:4之间,而圆形光阑的最大直径必须小于或等于椭圆形光斑的短轴长,这就导致经过光阑后的光斑只有原始光斑面积的25%至29%,造成了巨大的光功率损失,从而导致最终产生的光线亮度不足。而需要达到同等的亮度,则需要替换使用功率更大的激光光源来替代常规激光光源,一般需要选用功率三倍于常规激光光源的激光光源,从而造成成本升高,标线仪内部发热增大等问题产生,同时,高功率激光也容易带来更大的安全隐患。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种360度反射式自由曲面整形激光模组,通过使用360°的自由曲面反射镜替换原激光模组中的普通圆锥面金属反射镜,具有可以直接将椭圆形的光斑反射成能量均匀的光线的优点,同时大大减少光能损耗。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的:
一种360度反射式自由曲面整形激光模组,包括镜筒,所述镜筒的一端设置有激光光源基座,所述激光光源基座处设置有半导体激光器,所述半导体激光器产生的光线射入镜筒内且光线的轴线与镜筒的轴线重合,所述镜筒的中部设置有透镜安装座,所述透镜安装座处设置有透镜,所述镜筒远离激光光源基座的一端设置有自由曲面反射镜以及用于定位安装该自由曲面反射镜的反射镜安装座,所述镜筒靠近反射镜安装座的侧面设置有复合石英管,所述自由曲面反射镜的底面形状为椭圆形,所述自由曲面反射镜的底面中心位于镜筒的轴线上,任意一个经过所述镜筒轴线的平面与自由曲面反射镜的交面轮廓为一近似的三角形且任意三角形的两腰为不规则的曲线,所述自由曲面反射镜的反射面上设置有光线发散区和光线汇聚区。
通过采用上述技术方案,半导体激光器中射出的激光光线经过透镜汇聚后直接照射在自由曲面反射镜的表面,并在自由曲面反射镜的表面形成投影形状为椭圆形的光斑,随后经自由曲面反射镜反射后,经过复合石英管在360°的范围内投射出水平的激光光线。激光在从半导体激光器中射出时,各点的能量是分布均匀的,因而在椭圆形的光斑上,沿椭圆形光斑长轴方向分布的区域中各点的能量要小于沿椭圆形光斑短轴方向分布的区域中各点的能量。因此,为使得椭圆形光斑在经过自由曲面反射镜反射后形成能量分布均匀的光线,其基本思想是,沿椭圆形光斑长轴方向分布的区域中的光线在照射至自由曲面反射镜上并反射后,需要受到汇聚作用从而使得该区域光线的能量提高;沿椭圆形光斑短轴方向分布的区域中的光线在照射至自由曲面反射镜上并反射后,需要受到发散作用从而使得该区域光线的能量减弱,从而实现激光在经过反射后能量重新分布的效果。且在该过程中,激光中几乎所有的光线都直接经过了自由曲面反射镜的反射,并穿过了复合石英管,故与原有的采取光阑对光斑进行整形的方式相比,该种激光模组对于激光的能量利用率大大提高,且通过光线发散区和光线汇聚区的设置,使得激光能量在经过反射后得到了均匀化的分布,使得投线仪的投线质量大大提高。
本实用新型进一步设置为,所述光线发散区处的曲面呈向外凸起的形状,所述光线汇聚区的曲面呈向内凹陷的形状,所述光线发散区以自由曲面反射镜的底面短轴所在直线为对称轴对称设置有两个,所述光线汇聚区以自由曲面反射镜的底面长轴所在直线为对称轴对称设置有两个,各光线发散区和光线汇聚区之间由曲面圆滑连接。
通过采用上述技术方案,在实际操作中,激光射出的椭圆形光斑照射至自由曲面反射镜的表面时,光斑的长轴长度为3毫米左右,而由于加工方式的限制,自由曲面反射镜底面的长轴长度为12毫米左右,故在进行激光模组的安装时,需要将半导体激光器射出的椭圆形光斑的长轴与自由曲面反射镜底面的长轴正交放置,以获得更好的反射效果。且在该种放置方式下,椭圆形光斑沿长轴方向的区域会分布在光线汇聚区沿其母线方向分布的大部分区域内,椭圆形光斑沿短轴方向的区域会分布在光线发散区沿其母线方向的小部分区域内,椭圆形光斑长轴方向的区域在经过光线汇聚区后其形成的光带的宽度会降低,而椭圆形光斑短轴方向的区域在经过光线发散区后其形成的光带宽度会增大,从而进一步提高了激光反射后分布的均匀性。
本实用新型进一步设置为,所述自由曲面反射镜由金属材料制成,金属材料为包括有铝、铜、钢、镍材料组成的合金材料。
通过采用上述技术方案,由金属材料制成的自由曲面反射镜可以大大减少光线入射时产生的折射效果,从而大大减少光线在反射过程中可能存在的能量损失,且金属材料在加工时具有较小的加工难度,加工精度也更高。
本实用新型进一步设置为,所述镜筒包括固定段和连接套,所述透镜安装座位于固定段内,所述反射镜安装座位于连接套远离激光光源基座的一端,所述固定段远离激光光源基座的一端形成有一级限位环,所述固定段远离激光光源基座的内侧壁上形成有内螺纹,所述连接套的外侧壁上形成有二级限位环和与内螺纹相适配的外螺纹,所述外螺纹覆盖于连接套外侧壁靠近激光光源基座的一端至二级限位环处的部分。
通过采用上述技术方案,通过连接套的设置,使用者可以快速的将透镜安装座和反射镜安装座之间拆卸分离,便于更换镜体,降低维修难度。固定段和连接套之间通过螺纹连接的方式进行连接,可以保证两者之间安装后具有较高的同心度,从而提高了激光模组的精度。
本实用新型进一步设置为,所述自由曲面反射镜的底面处依次叠放有一级底座和二级底座,所述一级底座和二级底座均为圆形且同心放置,所述反射镜安装座包括圆形的基底板和位于基底板边沿且与基底板垂直设置的定位环板,所述定位环板与复合石英管之间螺纹紧固连接,所述二级限位环靠近反射镜安装座的一面上设置有环形的定位槽,所述二级底座表面除去一级底座的环状部分沿镜筒轴线方向在二级限位环表面的投影与定位槽的位置形状重合。
通过采用上述技术方案,一级底座、二级底座和定位环板之间形成的凹陷区域对复合石英管的一端进行定位,二级限位环上的定位槽对复合石英管的另一端进行定位。反射镜安装座和复合石英管之间通过螺纹紧固连接,一方面提高了反射镜安装座和复合石英管之间的安装时的同心度,另外反射镜安装座和复合石英管之间对一级底座进行夹紧,可以有效提高自由曲面反射镜安装后的结构稳定性。
本实用新型进一步设置为,所述复合石英管包括端口相互粘接的石英管体和金属管体,所述金属管体位于石英管体远离连接套的一端,所述金属管体与定位环板之间螺纹紧固连接。
通过采用上述技术方案,在石英管体表面进行螺纹加工的难度较大,且长时间使用后容易发生磨损,故设置与石英管体相连接的金属管体,在金属管体表面加工螺纹的技术较为成熟且难度较小,相应的其使用过程中受到的磨损也更少。
一种360度反射式自由曲面整形激光模组中反射镜的制造方法,包括以下步骤,S1:根据半导体激光器的自身的设备参数确定椭圆形光斑的光强分布公式;
S2:利用光的反射定律,建立入射光线、出射光线和自由曲面反射镜的自由曲面法矢三者之间的关系,设入射光线的单位矢量为I,出射光线的单位矢量为O,反射点处自由曲面法失的单位矢量为N,且O与N之间的夹角为θ,则满足I+2cosθN=O,从而实现的光能的重新分布;
S3:利用能量守恒定律,假设光线在经过透镜的折射和自由曲面反射镜的折射过程中没有能量损失,同时光线在介质中的吸收忽略不计,根据S1中得出的光强分布公式可以得出光线在经过折射后在规则圆柱面上形成的360°光环的光强分布公式,并使得光环各点处的光强一致;
S4:对上述数学模型进行数值求解,通过差分替代的方法将数学模型转化为一组包含若干个非线性方程的方程组,并利用牛顿迭代法对其求解,得到若干数据点后利用三维制图软件构建自由曲面,将自由曲面和S1中的光强分布公式导入至照明模拟软件中,在目标面上得到反射后的照明光斑,沿光斑的周向对其照度值进行逐点采样,并实用能量利用率和照度平均标准偏差对模拟出的光斑结果进行量化评价,评价目标为能量利用率≥90%,照度评价标准偏差≤0.1;
S5:对满足条件的曲面数据进行整理,并依据曲面的尺寸数据进行加工制造,加工方式为使用高精密数控机床并使用单点金刚石刀具加工成型。
通过采用上述技术方案,建立起各入射光线及其对应在目标面上的照射点之间一一对应的关系,通过照明模拟软件对自由曲面反射镜的反射效果进行理论上的验证和实现,并通过引入能量利用率和照度评价标准偏差对最终的反射效果进行评估,从而得到满足条件的自由曲面。
本实用新型进一步设置为,步骤S4中,利用牛顿迭代法求解时的迭代次数为3至5次,照明模拟软件中模拟光线的数量为300万条。
通过采用上述技术方案,可以提高迭代后的曲面精度,并提高模拟后的试验精度。
本实用新型进一步设置为,步骤S4中,逐点采样的采样点数为200。
通过采用上述技术方案,可以使得采样的结果更加准确的反映出光强度的实际分布情况。
综上所述,本实用新型具有以下有益效果:
1.通过自由曲面反射镜、光线发散区和光线汇聚区的设置,能够起到在提高激光能量利用率的情况下将分布不均匀的激光反射后重新分布均匀的效果;
2.通过固定段和连接套的设置,能够起到提高激光模组结构稳定性的效果;
3.通过复合石英管的设置,能够起到提高激光模组使用寿命的效果。
附图说明
图1是本实施例中一种360度反射式自由曲面整形激光模组整体内部结构的示意图。
图2是本实施例中自由曲面反射镜的结构示意图。
图3是本实施例中激光光线在自由曲面反射镜表面反射光路的示意图。
图中,1、镜筒;11、固定段;111、一级限位环;12、连接套;121、二级限位环;122、定位槽;2、激光光源基座;21、半导体激光器;3、透镜安装座;31、透镜;4、反射镜安装座;41、自由曲面反射镜;411、光线发散区;412、光线汇聚区;413、一级底座;414、二级底座;42、基底板;43、定位环板;5、复合石英管;51、石英管体;52、金属管体。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
参照图1,为本实用新型公开的一种360度反射式自由曲面整形激光模组,包括镜筒1,镜筒1的一端设置有激光光源基座2,激光光源基座2处设置有半导体激光器21,半导体激光器21产生的光线射入镜筒1内且光线的轴线与镜筒1的轴线重合,镜筒1的中部设置有透镜31安装座3,透镜31安装座3处设置有透镜31,镜筒1远离激光光源基座2的一端设置有自由曲面反射镜41以及用于定位安装该自由曲面反射镜41的反射镜安装座4,镜筒1靠近反射镜安装座4的侧面设置有复合石英管5,复合石英管5包括端口相互粘接的石英管体51和金属管体52。
参照图1和图2,镜筒1包括固定段11和连接套12,透镜31安装座3位于固定段11内,反射镜安装座4位于连接套12远离激光光源基座2的一端,固定段11远离激光光源基座2的一端形成有一级限位环111,固定段11远离激光光源基座2的内侧壁上形成有内螺纹,连接套12的外侧壁上形成有二级限位环121和与内螺纹相适配的外螺纹,外螺纹覆盖于连接套12外侧壁靠近激光光源基座2的一端至二级限位环121处的部分。自由曲面反射镜41的底面处依次叠放有一级底座413和二级底座414,一级底座413和二级底座414均为圆形且同心放置,一级底座413、二级底座414和自由曲面反射镜41之间的连接方式可以是粘接,三者之间也可以采取一体成型的方式进行制造。反射镜安装座4包括圆形的基底板42和位于基底板42边沿且与基底板42垂直设置的定位环板43,定位环板43与复合石英管5之间螺纹紧固连接,二级限位环121靠近反射镜安装座4的一面上设置有环形的定位槽122,二级底座414表面除去一级底座413的环状部分沿镜筒1轴线方向在二级限位环121表面的投影与定位槽122的位置形状重合。金属管体52位于石英管体51远离连接套12的一端,金属管体52与定位环板43之间螺纹紧固连接。
参照图1,通过连接套12的设置,使用者可以快速的将透镜31安装座3和反射镜安装座4之间拆卸分离,便于更换镜体,降低维修难度。固定段11和连接套12之间通过螺纹连接的方式进行连接,可以保证两者之间安装后具有较高的同心度,从而提高了激光模组的精度。一级底座413、二级底座414和定位环板43之间形成的凹陷区域对复合石英管5的一端进行定位,二级限位环121上的定位槽122对复合石英管5的另一端进行定位。反射镜安装座4和复合石英管5之间通过螺纹紧固连接,一方面提高了反射镜安装座4和复合石英管5之间的安装时的同心度,另外反射镜安装座4和复合石英管5之间对一级底座413进行夹紧,可以有效提高自由曲面反射镜41安装后的结构稳定性。
参照图1,自由曲面反射镜41由金属材料制成,金属材料为包括有铝、铜、钢、镍材料组成的合金材料。由金属材料制成的自由曲面反射镜41可以大大减少光线入射时产生的折射效果,从而大大减少光线在反射过程中可能存在的能量损失,且金属材料在加工时具有较小的加工难度,加工精度也更高。
参照图2,自由曲面反射镜41的底面形状为椭圆形,自由曲面反射镜41的底面中心位于镜筒1的轴线上,任意一个经过镜筒1轴线的平面与自由曲面反射镜41的交面轮廓为一近似的三角形且任意三角形的两腰为不规则的曲线,自由曲面反射镜41的反射面上设置有光线发散区411和光线汇聚区412。光线发散区411处的曲面呈向外凸起的形状,光线汇聚区412的曲面呈向内凹陷的形状,光线发散区411以自由曲面反射镜41的底面短轴所在直线为对称轴对称设置有两个,光线汇聚区412以自由曲面反射镜41的底面长轴所在直线为对称轴对称设置有两个,各光线发散区411和光线汇聚区412之间由曲面圆滑连接。
参照图3,本实用新型还公开了一种360度反射式自由曲面整形激光模组中自由曲面反射镜的设计制造方法,包括以下步骤,
S1:根据半导体激光器的自身的设备参数确定椭圆形光斑的光强分布公式;
S2:利用光的反射定律,建立入射光线、出射光线和自由曲面反射镜的自由曲面法矢三者之间的关系,设入射光线的单位矢量为I,出射光线的单位矢量为O,反射点处自由曲面法失的单位矢量为N,且O与N之间的夹角为θ,则满足I+2cosθN=O,从而实现的光能的重新分布;
S3:利用能量守恒定律,假设光线在经过透镜的折射和自由曲面反射镜的折射过程中没有能量损失,同时光线在介质中的吸收忽略不计,根据S1中得出的光强分布公式可以得出光线在经过折射后在规则圆柱面上形成的360°光环的光强分布公式,并使得光环各点处的光强一致;
S4:对上述数学模型进行数值求解,通过差分替代的方法将数学模型转化为一组包含若干个非线性方程的方程组,并利用牛顿迭代法对其求解,利用牛顿迭代法求解时的迭代次数为3至5次,得到若干数据点后利用三维制图软件构建自由曲面,将自由曲面和S1中的光强分布公式导入至照明模拟软件中,照明模拟软件中模拟光线的数量为300万条,在目标面上得到反射后的照明光斑,沿光斑的周向对其照度值进行逐点采样,逐点采样的采样点数为200,并实用能量利用率和照度平均标准偏差对模拟出的光斑结果进行量化评价,评价目标为能量利用率≥90%,照度评价标准偏差≤0.1;
S5:对满足条件的曲面数据进行整理,并依据曲面的尺寸数据进行加工制造,加工方式为使用高精密数控机床并使用单点金刚石刀具加工成型。
S4中,能量利用率定义为入射至目标区域的能量与到自由曲面反射镜的能量之比,照度评价标准偏差由下式确定:
迭代次数 | 模拟光线数量/条 | 能量利用率 | 照度评价标准差 |
1 | 3×10<sup>6</sup> | 82.237% | 0.4205 |
2 | 3×10<sup>6</sup> | 86.547% | 0.2568 |
3 | 3×10<sup>6</sup> | 92.995% | 0.1031 |
4 | 3×10<sup>6</sup> | 94.297% | 0.0803 |
5 | 3×10<sup>6</sup> | 94.982% | 0.0772 |
6 | 3×10<sup>6</sup> | 95.325% | 0.0743 |
可见,随着迭代次数的不断增加,能量利用率逐渐提高并稳定在95%左右,照度评价标准差逐渐降低并稳定在0.07左右,基本满足试验要求。在实际操作中,由于迭代次数的增加,计算机求解曲面所需花费的时间会大幅度增加,因此实际试验中,迭代次数控制在3-5次即可。
本实施例的实施原理为:半导体激光器21中射出的激光光线经过透镜31汇聚后直接照射在自由曲面反射镜41的表面,并在自由曲面反射镜41的表面形成投影形状为椭圆形的光斑,随后经自由曲面反射镜41反射后,经过复合石英管5在360°的范围内投射出水平的激光光线。激光在从半导体激光器21中射出时,各点的能量是分布均匀的,因而在椭圆形的光斑上,沿椭圆形光斑长轴方向分布的区域中各点的能量要小于沿椭圆形光斑短轴方向分布的区域中各点的能量。因此,为使得椭圆形光斑在经过自由曲面反射镜41反射后形成能量分布均匀的光线,其基本思想是,沿椭圆形光斑长轴方向分布的区域中的光线在照射至自由曲面反射镜41上并反射后,需要受到汇聚作用从而使得该区域光线的能量提高;沿椭圆形光斑短轴方向分布的区域中的光线在照射至自由曲面反射镜41上并反射后,需要受到发散作用从而使得该区域光线的能量减弱,从而实现激光在经过反射后能量重新分布的效果。且在该过程中,激光中几乎所有的光线都直接经过了自由曲面反射镜41的反射,并穿过了复合石英管5,故与原有的采取光阑对光斑进行整形的方式相比,该种激光模组对于激光的能量利用率大大提高,且通过光线发散区411和光线汇聚区412的设置,使得激光能量在经过反射后得到了均匀化的分布,使得投线仪的投线质量大大提高。
参见图3,在实际操作中,激光射出的椭圆形光斑照射至自由曲面反射镜41的表面时,光斑的长轴长度为3毫米左右,而由于加工方式的限制,自由曲面反射镜41底面的长轴长度为12毫米左右,故在进行激光模组的安装时,需要将半导体激光器21射出的椭圆形光斑的长轴与自由曲面反射镜41底面的长轴正交放置,以获得更好的反射效果。且在该种放置方式下,椭圆形光斑沿长轴方向的区域会分布在光线汇聚区412沿其母线方向分布的大部分区域内,椭圆形光斑沿短轴方向的区域会分布在光线发散区411沿其母线方向的小部分区域内,椭圆形光斑长轴方向的区域在经过光线汇聚区412后其形成的光带的宽度会降低,而椭圆形光斑短轴方向的区域在经过光线发散区411后其形成的光带宽度会增大,从而进一步提高了激光反射后分布的均匀性。
本具体实施方式的实施例均为本实用新型的较佳实施例,并非依此限制本实用新型的保护范围,故:凡依本实用新型的结构、形状、原理所做的等效变化,均应涵盖于本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种360度反射式自由曲面整形激光模组,包括镜筒(1),所述镜筒(1)的一端设置有激光光源基座(2),所述激光光源基座(2)处设置有半导体激光器(21),所述半导体激光器(21)产生的光线射入镜筒(1)内且光线的轴线与镜筒(1)的轴线重合,所述镜筒(1)的中部设置有透镜(31)安装座(3),所述透镜(31)安装座(3)处设置有透镜(31),其特征在于:所述镜筒(1)远离激光光源基座(2)的一端设置有自由曲面反射镜(41)以及用于定位安装该自由曲面反射镜(41)的反射镜安装座(4),所述镜筒(1)靠近反射镜安装座(4)的侧面设置有复合石英管(5),所述自由曲面反射镜(41)的底面形状为椭圆形,所述自由曲面反射镜(41)的底面中心位于镜筒(1)的轴线上,任意一个经过所述镜筒(1)轴线的平面与自由曲面反射镜(41)的交面轮廓为一近似的三角形且任意三角形的两腰为不规则的曲线,所述自由曲面反射镜(41)的反射面上设置有光线发散区(411)和光线汇聚区(412)。
2.根据权利要求1所述的一种360度反射式自由曲面整形激光模组,其特征在于:所述光线发散区(411)处的曲面呈向外凸起的形状,所述光线汇聚区(412)的曲面呈向内凹陷的形状,所述光线发散区(411)以自由曲面反射镜(41)的底面短轴所在直线为对称轴对称设置有两个,所述光线汇聚区(412)以自由曲面反射镜(41)的底面长轴所在直线为对称轴对称设置有两个,各光线发散区(411)和光线汇聚区(412)之间由曲面圆滑连接。
3.根据权利要求2所述的一种360度反射式自由曲面整形激光模组,其特征在于:所述自由曲面反射镜(41)由金属材料制成,金属材料为包括有铝、铜、钢、镍材料组成的合金材料。
4.根据权利要求3所述的一种360度反射式自由曲面整形激光模组,其特征在于:所述镜筒(1)包括固定段(11)和连接套(12),所述透镜(31)安装座(3)位于固定段(11)内,所述反射镜安装座(4)位于连接套(12)远离激光光源基座(2)的一端,所述固定段(11)远离激光光源基座(2)的一端形成有一级限位环(111),所述固定段(11)远离激光光源基座(2)的内侧壁上形成有内螺纹,所述连接套(12)的外侧壁上形成有二级限位环(121)和与内螺纹相适配的外螺纹,所述外螺纹覆盖于连接套(12)外侧壁靠近激光光源基座(2)的一端至二级限位环(121)处的部分。
5.根据权利要求4所述的一种360度反射式自由曲面整形激光模组,其特征在于:所述自由曲面反射镜(41)的底面处依次叠放有一级底座(413)和二级底座(414),所述一级底座(413)和二级底座(414)均为圆形且同心放置,所述反射镜安装座(4)包括圆形的基底板(42)和位于基底板(42)边沿且与基底板(42)垂直设置的定位环板(43),所述定位环板(43)与复合石英管(5)之间螺纹紧固连接,所述二级限位环(121)靠近反射镜安装座(4)的一面上设置有环形的定位槽(122),所述二级底座(414)表面除去一级底座(413)的环状部分沿镜筒(1)轴线方向在二级限位环(121)表面的投影与定位槽(122)的位置形状重合。
6.根据权利要求5所述的一种360度反射式自由曲面整形激光模组,其特征在于:所述复合石英管(5)包括端口相互粘接的石英管体(51)和金属管体(52),所述金属管体(52)位于石英管体(51)远离连接套(12)的一端,所述金属管体(52)与定位环板(43)之间螺纹紧固连接。
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CN201922143636.2U CN210776054U (zh) | 2019-12-03 | 2019-12-03 | 一种360度反射式自由曲面整形激光模组 |
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CN201922143636.2U CN210776054U (zh) | 2019-12-03 | 2019-12-03 | 一种360度反射式自由曲面整形激光模组 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114324365A (zh) * | 2022-01-10 | 2022-04-12 | 合肥御微半导体技术有限公司 | 一种曲面检测装置 |
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2019
- 2019-12-03 CN CN201922143636.2U patent/CN210776054U/zh active Active
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CN114324365A (zh) * | 2022-01-10 | 2022-04-12 | 合肥御微半导体技术有限公司 | 一种曲面检测装置 |
CN114324365B (zh) * | 2022-01-10 | 2023-06-23 | 合肥御微半导体技术有限公司 | 一种曲面检测装置 |
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