CN108787198A - 旋转波动喷嘴 - Google Patents

Abstract

一种旋转波动喷嘴，在自转式的旋转波动喷嘴中，避免变为超过必要地高的转速。在旋转波动喷嘴中，旋转筒体旋转自如地支承于在固定壳体的内部在轴向上相分离地设置的2个轴承。喷射喷嘴连接于旋转筒体，通过相对于圆板的面倾斜地喷射被供给到旋转筒体的中空部的压缩空气来使旋转筒体自转。环状构件设置于旋转筒体，在其外周部具有能够沿径向移动且被施力构件向径向内侧施力的可动吸引构件，在保护罩的内侧，以与可动吸引构件相向的方式沿周向设置有固定吸引构件。当旋转筒体的转速增加时，可动吸引构件接近固定吸引构件而相互的吸引力变高，旋转筒体被减速，从而不会高于规定的转速。

Description

旋转波动喷嘴

技术领域

本发明涉及一种间歇性地向工件吹送流体的旋转波动喷嘴。

背景技术

作为向工件吹送流体的装置，已知一种气枪，该气枪喷射压缩空气，将所喷射的压缩空气吹送到被湿清洗后的工件来吹走液滴，由此使工件干燥。在半导体芯片的出厂工序中也使用这种气枪。即，在半导体芯片的出厂工序中，例如，利用温水浴对输送并保护要出厂的半导体芯片的托盘进行清洗，通过气枪向润湿的托盘吹送压缩空气来吹飞液滴，将托盘放入干燥炉来使其干燥。

在使用气枪的吹送干燥方法中，会出现液滴在托盘的表面爬行或绕到背面的现象。因此，在利用气枪进行的干燥中，无法充分去除残留在托盘的表面的液滴，因此无论如何，干燥炉中的干燥都需要长的时间。

作为减少液滴在工件的表面爬行或绕到背面的现象的方法，已知如下一种技术：使喷出压缩空气的喷嘴旋转，间歇性地向工件吹送压缩空气(例如，参照专利文献1)。接着，说明该专利文献1所记载的旋转波动喷嘴。

图11是表示以往的旋转波动喷嘴的例子的剖视图，图12是以往的旋转波动喷嘴的仰视图，图13是表示相对于旋转波动喷嘴的转速的干燥质量的变化的图。

图11和图12所示的旋转波动喷嘴具有利用圆板102、103封住中空圆筒状的基体101的两端而成的转子104，在圆板102上安装有喷射喷嘴105，在圆板103上以与圆板103同轴的方式安装有由中空管形成的旋转轴106。旋转轴106旋转自如地被轴承107支承于固定管108，固定管108的一端安装有罩109，在旋转轴106与固定管108之间安装有用于防止空气泄漏的的密封件110。

如图12所示，在以圆板102的旋转中心为中心呈点对称的位置处安装有2个喷射喷嘴105。另外，如图11所示，喷射喷嘴105安装成相对于圆板102的面倾斜的状态。

在以上的结构的旋转波动喷嘴中，当向旋转轴106导入压缩空气时，该压缩空气经由旋转轴106被导至转子104，再从喷射喷嘴105向外部喷射。此时，旋转轴106旋转自如地被轴承107所支承，从喷射喷嘴105向相对于旋转中心的轴向倾斜的方向喷射压缩空气。即，在图12所示的旋转波动喷嘴中，设置于比转子104的旋转中心靠图的上方的位置的喷射喷嘴105向箭头111所示的左方向喷射压缩空气，设置于比转子104的旋转中心靠图的下方的位置的喷射喷嘴105向箭头112所示的右方向喷射压缩空气。由此，转子104以压缩空气的喷射为推力来向与喷射压缩空气的方向相反的方向(图12中箭头113所示的顺时针的方向)旋转。这样，该旋转波动喷嘴一边喷射压缩空气一边自转，因此当与圆板102对峙地放置工件(被清洗物)时，从喷射喷嘴105喷射的空气被吹送到该工件的圆周上。也就是说，若观察被吹送压缩空气的工件的圆周上的一点，则该点周期性地被吹送压缩空气，因此该旋转波动喷嘴向工件的圆周上呈波动状(周期性、间歇性)地喷射伴有旋转波动的压缩空气。

旋转波动喷嘴喷射伴有旋转波动的压缩空气，因此与连续地喷射固定的压缩空气的气枪相比，液滴不会在工件的表面爬行或绕到背面而能够被吹飞，从而能够提高干燥性能。

专利文献1：日本特开2008-36617号公报

发明内容

发明要解决的问题

然而，关于旋转波动喷嘴，旋转轴旋转自如地被轴承所支承，即使是低压的压缩空气也能够容易地旋转，因此具有转速容易上升的特性。于是存在在高转速下干燥质量变差的问题。即，在旋转波动喷嘴的转速与干燥质量之间存在如图13所示的关系，当转速超过其最佳值地上升时，难以高效地吹飞液滴。也就是说，在转速达到其最佳值之前，旋转波动喷嘴呈波动状(周期性、间歇性)地向工件吹送压缩空气，因此能够高效地吹飞液滴。但是，当转速超过其最佳值时，呈波动状地吹送的压缩空气的间隔逐渐变短，最后压缩空气不再产生波动。这与连续地喷射压缩空气等同，因此干燥质量会下降。另外，当旋转波动喷嘴的转速变高时，还存在轴承的寿命变短、噪音也变大的问题。

本发明是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供一种避免变为超过必要地高的转速的旋转波动喷嘴。

用于解决问题的方案

在本发明中，为了解决上述问题，提供一种旋转波动喷嘴，该旋转波动喷嘴具备：中空圆筒状的固定壳体；旋转筒体，其旋转自如地支承于在固定壳体的内部在轴向上相分离地设置的2个轴承；以及喷射喷嘴，其一端连接于旋转筒体的封闭端部，另一端配置成以相对于圆板的面倾斜的状态贯通圆板，该圆板配置成在旋转筒体的轴向上与封闭端部相分离。特别是，该旋转波动喷嘴具备转速抑制单元，该转速抑制单元利用通过旋转筒体的转速的增加而增加的离心力来使旋转筒体的转速降低。

发明的效果

在上述结构的旋转波动喷嘴中，当旋转筒体变得高于规定的转速时，转速抑制单元以抑制转速的方式进行作用，因此上述结构的旋转波动喷嘴具有不会变为超过必要地高的转速的优点。

另外，由于不变为超过必要地高的转速，因此能够延长支承旋转筒体的轴承的寿命，不存在因高速旋转引起的噪音，能够得到肃静的作业环境。并且，在应用于润湿的部件的干燥的情况下，能够实现高质量且高速的干燥。

附图说明

图1是表示第一实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的剖视图。

图2是从喷射喷嘴侧观察的旋转波动喷嘴的侧视图。

图3是表示停止时的旋转波动喷嘴的图1的A-A向视剖视图。

图4是表示动作时的旋转波动喷嘴的图1的A-A向视剖视图。

图5是从喷射喷嘴侧观察第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的侧视图。

图6是第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的图5的B-B向视剖视图。

图7是表示停止时的第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的图5的C-C向视剖视图。

图8是表示停止时的第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的图7的D-D向视剖视图。

图9是表示动作时的第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的图5的C-C向视剖视图。

图10是表示动作时的第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的图9的E-E向视剖视图。

图11是表示以往的旋转波动喷嘴的例子的剖视图。

图12是以往的旋转波动喷嘴的仰视图。

图13是表示相对于旋转波动喷嘴的转速的干燥质量的变化的图。

附图标记说明

10、10a：旋转波动喷嘴；11：固定壳体；12：旋转筒体；13：轴承；14：封闭构件；15：管接头部；16：喷射喷嘴；17：圆板；18：间隔件；19：紧固构件；20：透孔；21：环状构件；22：凹部；23：可动吸引构件；24：保持件；25：施力构件；26：挡圈；27：移动量限制构件；28：保护罩；29：固定吸引构件；30：制动用喷射喷嘴；31：透孔；32：盖部；33：离心力工作阀；34：阀室；35：阀体；36：阀孔；37：施力构件；38：引导销。

具体实施方式

下面，以朝向被清洗体呈波动状地喷射压缩空气的旋转波动喷嘴为例，参照附图来详细说明本发明的实施方式。此外，能够将多个实施方式在没有矛盾的范围内部分地进行组合来实施各实施方式。

[第一实施方式]

图1是表示第一实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的剖视图，图2是从喷射喷嘴侧观察的旋转波动喷嘴的侧视图，图3是表示停止时的旋转波动喷嘴的图1的A-A向视剖视图，图4是表示动作时的旋转波动喷嘴的图1的A-A向视剖视图。

如图1所示，第一实施方式所涉及的旋转波动喷嘴10具有中空圆筒状的固定壳体11。在该固定壳体11中同心地配置有中空圆筒状的旋转筒体12，该旋转筒体12旋转自如地支承于在固定壳体11的内部在轴向上相分离的2个轴承13。

旋转筒体12的一端开放，另一端被一体地形成的封闭构件14所封闭。在被封闭构件14封闭的一侧的旋转筒体12处形成有管接头部15。该管接头部15形成为在旋转筒体12的呈轴对称的位置(在图1中为上下的位置)处沿径向贯通来与内部连通。该管接头部15与喷射喷嘴16的一端连接。

在封闭构件14的外侧配置有圆板17。该圆板17隔着间隔件18被紧固构件19固定于封闭构件14。另外，如图2所示，圆板17在相对于上下方向的中心线向顺时针的方向偏离的位置形成有透孔20。喷射喷嘴16的另一端配置成贯通该透孔20。即，喷射喷嘴16从旋转筒体12的管接头部15向径向外侧延伸，在中途向旋转筒体12的轴向弯曲，喷射喷嘴16在连接于管接头部15时，以喷嘴前端扭向朝向透孔20的方向的状态连接于管接头部15。由此，喷射喷嘴16以喷嘴前端相对于圆板17的面倾斜为规定的角度的状态设置于旋转筒体12。

此外，在本实施方式中，示出了设置2个喷射喷嘴16的情况来作为例子，但是该喷射喷嘴16的数量可以是任意的。喷射喷嘴16为1个的情况也是可以的，但是优选为2个以上，通过将2个以上的情况下的喷射喷嘴16沿周向等间隔地配置，能够使旋转动作时的重量平衡均等。

另外，喷射喷嘴16的喷射方向被设定成朝向穿过透孔20的中心的虚拟圆的切线方向，但是不限定于此。例如，喷射喷嘴16的喷射方向能够相对于穿过透孔20的中心的虚拟圆的切线方向向该虚拟圆的内周侧或外周侧倾斜。该喷射方向相对于切线方向的倾斜度优选为小于相对于切线方向±20度。

旋转筒体12还在其外周部一体地形成有作为飞轮发挥功能的环状构件21。该环状构件21在其外周面的对称位置处形成有凹部22，在该凹部22中收容有可动吸引构件23、保持该可动吸引构件23的保持件24以及向环状构件21的径向内侧对该保持件24施力的施力构件25。保持件24在环状构件21的旋转中心侧具有凸缘，在形成于凹部22的内壁的嵌合槽嵌合有例如如C型环那样的挡圈26，在保持件24的凸缘与挡圈26之间配置有如压缩盘簧那样的施力构件25。而且，保持件24的向径向外侧的移动量被移动量限制构件27所限制，该移动量限制构件27的一端固定于环状构件21，另一端贯通保持件24地延伸且在前端具有卡定头部。

旋转波动喷嘴10还具有以覆盖进行旋转的环状构件21、喷射喷嘴16以及圆板17的方式固定于固定壳体11的保护罩28。在该保护罩28中，在与可动吸引构件23相向的内壁沿周向等间隔地配置有多个(在图3所示的例子中为8个)固定吸引构件29。

可动吸引构件23和固定吸引构件29构成以下的转速抑制单元：利用通过旋转筒体12旋转而产生的离心力，可动吸引构件23接近固定吸引构件29，作用于双方的吸引力增加，由此对旋转施加制动。可动吸引构件23的由离心力引起的移动被移动量限制构件27所限制，因此即使旋转筒体12进行异常的高速旋转而可动吸引构件23向径向外侧移动，可动吸引构件23也不会与固定吸引构件29接触。

在此，能够使可动吸引构件23和固定吸引构件29这两方例如均为磁体。在该情况下，可动吸引构件23和固定吸引构件29被配置成相向面为互不相同的磁极。此外，通过使可动吸引构件23和固定吸引构件29中的一方为磁体、另一方为如铁那样的铁磁体，也能够构成相同功能的转速抑制单元。

以上的结构的旋转波动喷嘴10的固定壳体11和旋转筒体12经由未图示的旋转接头来与空气压缩机连接。在未从空气压缩机供给压缩空气时，可动吸引构件23与固定吸引构件29之一处于相互吸引状态，旋转筒体12停止旋转。此时，如图1和图3所示，转速抑制单元的可动吸引构件23被施力构件25施力而位于最远离固定吸引构件29的位置。

此外，供给到该旋转波动喷嘴10的流体不限于压缩空气，可以是氮等其它惰性气体。另外，优选的是，使供给到旋转波动喷嘴10的流体通过过滤器以去除流体中包含的微粒。在本实施方式中，例如，在旋转波动喷嘴10跟前设置有能够去除10微米(μm)以上的微粒的过滤器。

在此，当空气压缩机启动、向旋转筒体12供给压缩空气时，该压缩空气通过旋转筒体12的中空部，通过喷射喷嘴16向外部喷射。由此，压缩空气的喷射成为推力，旋转筒体12向与喷射压缩空气的方向相反的方向(在图2中为逆时针的方向)旋转。

当旋转筒体12的转速逐渐增加时，作用于转速抑制单元的可动吸引构件23的离心力增加，可动吸引构件23如图4所示那样抵抗施力构件25的施力而向径向外侧移动，接近固定吸引构件29。可动吸引构件23接近固定吸引构件29，相互的吸引力增加，由此向旋转筒体12施加制动。如果施加制动，则旋转筒体12的转速下降，可动吸引构件23远离固定吸引构件29。当可动吸引构件23远离固定吸引构件29时，旋转筒体12的制动力下降，转速由于压缩空气的推力再次上升。

这样，旋转筒体12增减转速地稳定在规定的转速的范围。即使在空气压缩机对压缩空气的供给发生变动的情况下，也由转速抑制单元来抑制旋转筒体12以规定的转速以上进行旋转的情况，因此旋转筒体12不会进行异常的高速旋转。由于旋转筒体12不会变为异常高的转速，因此支承旋转筒体12的轴承13的寿命变长，也不会产生因异常旋转引起的噪音。此外，优选的是，在比干燥质量最大的转速(参照图13)高的转速的区域，转速抑制单元发挥功能。具体地说，以使转速抑制单元在旋转筒体12旋转至干燥质量最大的转速附近时开始发挥功能的方式，选定施力构件25的弹簧常数。由此，能够优化到旋转筒体12的转速稳定为止的时间。

此外，沿周向设置于环状构件21的2个可动吸引构件23和设置于保护罩28的内部的8个固定吸引构件29不限于这些数量，能够设定为任意的数量。

此外，作为另一方式，可动吸引构件23也可以是与固定吸引构件29接触、通过摩擦来向旋转筒体12施加制动的转速抑制单元。在该情况下，会出现摩擦粉末等，优选的是对环状构件21的外周面与保护罩28之间的空间连接排气单元来排出摩擦粉末等。

另外，在将该旋转波动喷嘴10应用于清洗后的托盘的干燥的情况下，可以将2个旋转波动喷嘴10相向配置，使收容有半导体芯片的托盘纵着在2个旋转波动喷嘴10之间往复移动。

[第二实施方式]

图5是从喷射喷嘴侧观察第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的侧视图，图6是第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的图5的B-B向视剖视图。图7是表示停止时的第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的图5的C-C向视剖视图，图8是表示停止时的第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的图7的D-D向视剖视图。图9是表示动作时的第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的图5的C-C向视剖视图，图10是表示动作时的第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴的图9的E-E向视剖视图。在该图5至图10中，对与图1至图4所示的结构要素共同的结构要素标注相同的标记，省略其详细说明。因而，在以后示出的第二实施方式所涉及的说明中，与第一实施方式的结构要素共同的结构要素的结构和作用能够参照第一实施方式的对应的说明。

如图5和图6所示，第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴10a在以下方面与第一实施方式所涉及的旋转波动喷嘴10相同：具备固定壳体11、旋转筒体12、轴承13、喷射喷嘴16以及环状构件21的结构。在第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴10a中，如图5和图7所示，具备作为转速抑制单元的制动用喷射喷嘴30。

该制动用喷射喷嘴30被配置成前端部贯通设置于圆板17的透孔31。制动用喷射喷嘴30以喷嘴前端相对于圆板17的面倾斜为规定的角度的状态设置于旋转筒体12，但是倾斜的方向与喷射喷嘴16的方向相反。由此，在图5中，从喷射喷嘴16的压缩空气的喷射产生使旋转筒体12向逆时针的方向旋转的推力，与此相对，从制动用喷射喷嘴30的压缩空气的喷射产生使旋转筒体12向顺时针的方向旋转的推力。该制动用喷射喷嘴30所产生的推力减弱喷射喷嘴16所产生的推力来使旋转筒体12的旋转减速，发挥抑制变得高于规定的转速的作用。

此外，该制动用喷射喷嘴30不设定在与喷射喷嘴16所处的穿过透孔20的中心的虚拟圆相同的圆周上，以避免阻碍从喷射喷嘴16喷出的压缩空气的流动。在本实施方式中，如图5所示，制动用喷射喷嘴30配置于喷射喷嘴16所处的穿过透孔20的中心的虚拟圆的内侧。在该制动用喷射喷嘴30中，也与喷射喷嘴16的情况同样地相对于穿过透孔20的中心的虚拟圆的切线方向向该虚拟圆的内周侧或外周侧倾斜，尽可能不干扰从喷射喷嘴16喷出的压缩空气。另外，制动用喷射喷嘴30相对于圆板17的面的倾斜角度小于喷射喷嘴16的倾斜角度。

如图7所示，制动用喷射喷嘴30的固定端与环状构件21连接。环状构件21的与制动用喷射喷嘴30的连接部在环状构件21内通过离心力工作阀33来与旋转筒体12的空洞部连接。

离心力工作阀33具有：阀体35，其收容于在环状构件21的外周面的对称位置处凹陷设置的阀室34；阀孔36，其使阀室34与旋转筒体12的中空部连通；以及施力构件37，其向封闭该阀孔36的方向对阀体35施力。阀室34的径向外侧的开放端被盖部32所封闭。施力构件37具有即使阀体35经由阀孔36来从旋转筒体12接受压缩空气的压力也不会浮起的程度的施力(弹簧常数)。阀室34与制动用喷射喷嘴30的固定端连接，在阀体35由于离心力而浮起、离心力工作阀33打开时，供给到旋转筒体12的压缩空气的一部分通过离心力工作阀33被分配到制动用喷射喷嘴30。此外，阀体35的沿径向的往复运动被引导销38所引导，该引导销38的一端位于阀室34的中央，且固定于环状构件21。

以上的结构的旋转波动喷嘴10a在与其连接的空气压缩机未启动时，如图7和图8所示，离心力工作阀33的阀体35被施力构件37施力而离心力工作阀33闭合。

在此，当空气压缩机启动、向旋转筒体12供给压缩空气时，该压缩空气通过旋转筒体12的中空部，通过喷射喷嘴16来向外部喷射。由此，旋转筒体12向与喷射喷嘴16喷射压缩空气的方向相反的方向(在图5中为逆时针的方向)开始旋转。此时，离心力工作阀33还是闭合，不会从制动用喷射喷嘴30喷射空气。

当旋转筒体12的转速增加而超过规定的转速时，向开阀方向对离心力工作阀33的阀体35进行作用的离心力及压缩空气的压力超过向闭阀方向对阀体35进行作用的施力构件37的施力。于是，离心力工作阀33的阀体35向浮起方向移动，由此离心力工作阀33打开，供给到旋转筒体12的压缩空气的一部分流向制动用喷射喷嘴30。此时，从制动用喷射喷嘴30喷射的空气量少，因此旋转筒体12的转速不会下降。

当旋转筒体12的转速进一步增加、作用于阀体35的离心力变得足够大时，如图9和图10所示，离心力工作阀33完全打开，从制动用喷射喷嘴30喷射足够的空气量。由此，通过压缩空气向旋转筒体12的旋转方向喷射，来产生与旋转方向相反的方向的推力，转速被减少。这样，旋转筒体12的转速越增加，则减速的力越大地起作用，因此转速不会变得异常高。

在该第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴10a中，对向喷射喷嘴16供给的压缩空气进行分流来形成向制动用喷射喷嘴30供给的压缩空气，但是也可以将向喷射喷嘴16和制动用喷射喷嘴30供给的压缩空气相独立地供给。另外，制动用喷射喷嘴30不限定于2个，只要包含离心力工作阀33且在以旋转筒体12的旋转中心为中心的同心圆上均等地配置2个以上即可。

并且，该第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴10a能够通过变更施力构件37的弹簧常数来调整转速抑制单元对旋转筒体12的制动力，但是也能够利用制动用喷射喷嘴30进行调整。即，能够通过将制动用喷射喷嘴30的喷出位置移动到比喷射喷嘴16的喷出位置靠径向内侧(接近旋转中心的一侧)或径向外侧(远离旋转中心的一侧)的位置、或者变更相对于圆板17的面的倾斜角度和朝向，来调整旋转筒体12的制动力。

另外，能够以使喷射喷嘴16和制动用喷射喷嘴30的前端相互背靠背的方式设置第二实施方式所涉及的旋转波动喷嘴10a。在该情况下，能够大致抑制喷射喷嘴16所喷射的压缩空气与制动用喷射喷嘴30所喷射的压缩空气之间的干扰。

此外，在上述的实施方式中，利用非接触式的转速抑制单元来构成对旋转筒体的制动功能，但是也可以为以下结构：使由于离心力而向径向外侧移动的可动构件直接与保护罩的内壁接触来施加制动。

另外，在上述的实施方式中，说明了喷射压缩空气来使旋转筒体自转的旋转波动喷嘴，但是也同样能够应用于喷射其它气体或液体等流体的旋转波动喷嘴。

Claims (8)

1.一种旋转波动喷嘴，具备：

中空圆筒状的固定壳体；

旋转筒体，其旋转自如地支承于在所述固定壳体的内部在轴向上相分离地设置的2个轴承；

喷射喷嘴，其一端连接于所述旋转筒体的封闭端部，另一端配置成以相对于圆板的面倾斜的状态贯通所述圆板，该圆板配置成在所述旋转筒体的轴向上与所述封闭端部相分离；以及

转速抑制单元，其利用通过所述旋转筒体的转速的增加而增加的离心力来使所述旋转筒体的转速降低。

2.根据权利要求1所述的旋转波动喷嘴，其中，

所述转速抑制单元具有：可动吸引构件，其在环状构件的外周部处形成的凹部中沿所述旋转筒体的径向移动自如，该环状构件以与所述旋转筒体一体地旋转的方式固定于所述旋转筒体，所述可动吸引构件被施力构件向所述旋转筒体的径向内侧施力；以及多个固定吸引构件，所述多个固定吸引构件以与所述可动吸引构件相向的方式沿周向配置于保护罩的内壁，该保护罩以覆盖所述环状构件的方式固定于所述固定壳体。

3.根据权利要求2所述的旋转波动喷嘴，其中，

所述可动吸引构件和所述固定吸引构件是磁体。

4.根据权利要求2所述的旋转波动喷嘴，其中，

所述可动吸引构件和所述固定吸引构件中的一方是磁体，另一方是铁磁体。

5.根据权利要求2所述的旋转波动喷嘴，其中，

所述可动吸引构件在所述凹部内被保持件所保持，所述施力构件配置在嵌合于所述凹部的内壁的嵌合槽的挡圈与形成于所述保持件的凸缘之间，所述施力构件沿与所述离心力相反的方向对所述可动吸引构件施力。

6.根据权利要求5所述的旋转波动喷嘴，其中，

所述保持件的向径向外侧的移动量被移动量限制构件所限制，该移动量限制构件的一端固定于环状构件，另一端贯通所述保持件地延伸且在顶端具有卡定头部。

7.根据权利要求1所述的旋转波动喷嘴，其中，

所述转速抑制单元具有：制动用喷射喷嘴，其一端连接于环状构件，该环状构件以与所述旋转筒体一体地旋转的方式固定于所述旋转筒体，所述制动用喷射喷嘴的另一端配置成以相对于所述圆板的面沿与所述喷射喷嘴相反的方向倾斜的状态贯通所述圆板；以及离心力工作阀，其包括阀室、阀体以及施力构件，所述阀室形成于所述环状构件之中，所述阀室中设置有用于连接所述制动用喷射喷嘴的一端的连接部以及与所述旋转筒体的中空部连通的阀孔，所述阀体收容于所述阀室且随着所述离心力变大而向打开所述阀孔的方向移动，所述施力构件向封闭所述阀孔的方向对所述阀体施力。

8.根据权利要求7所述的旋转波动喷嘴，其中，

所述制动用喷射喷嘴和所述离心力工作阀在以所述旋转筒体的旋转中心为中心的同心圆上均等地配置有多个。