CN108760057A - 一种激光波长精密测量方法 - Google Patents
一种激光波长精密测量方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108760057A CN108760057A CN201810387517.9A CN201810387517A CN108760057A CN 108760057 A CN108760057 A CN 108760057A CN 201810387517 A CN201810387517 A CN 201810387517A CN 108760057 A CN108760057 A CN 108760057A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wavelength
- focal length
- fzp
- optical maser
- maser wavelength
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 26
- 241000931526 Acer campestre Species 0.000 title claims abstract description 20
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 9
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000011835 investigation Methods 0.000 claims description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 abstract description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 abstract 1
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 239000000571 coke Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000013507 mapping Methods 0.000 description 2
- YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N phenanthrene Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3C=CC2=C1 YNPNZTXNASCQKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 1
- 230000002146 bilateral effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000035800 maturation Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 238000010200 validation analysis Methods 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
- G01J9/0246—Measuring optical wavelength
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种激光波长精密测量方法，属于光学精密测量技术领域。利用大数值孔径菲涅尔波带片(FZP)，采用矢量角谱理论计算照明波长为λi的线偏振光垂直照明FZP时对应的轴向强度点扩散函数，根据峰值获得焦距zp，改变λi重新计算得到焦距zp，利用线性相关系数评价(λi,zp)相关性，截取线性区间，并利用线性最小二乘拟合法得到线性测量曲线；用该FZP直接聚焦待测激光光束，通过压电陶瓷纳米位移台轴向步进扫描点探测器，测得轴向强度点扩散函数分布，用质心法得到实际焦距，利用线性测量曲线计算求得激光波长。本发明方法简单，成本低，测量波长适应范围广，适用于激光波长的低成本精密测量。
Description
技术领域
本发明属于光学精密测量技术领域，特别涉及一种激光波长精密测量方法。
背景技术
光波辐射与物质结构和组分有关，所以光波长的测量是物质分析的依据，而激光波长的精密测量是使用激光器的首要问题。目前，激光波长的测量主要依靠光的干涉和衍射原理。基于干涉原理的方法有杨氏双缝干涉、迈克尔逊干涉仪和法布里-珀罗干涉仪等，双缝干涉测量波长的系统和原理简单，但波长测量的精度和分辨率较低，迈克尔逊干涉仪和法布里-珀罗干涉仪波长测量的精度和光谱分辨率高，但基于双光束和多光束干涉，系统结构复杂，对测量环境要求高。基于衍射原理的方法主要是利用光谱仪，用光栅进行衍射分光，常用光谱仪的光谱分辨率可以达到1nm，即可以区分间隔1nm的两条谱线，最佳分辨率可以在0.01nm，然而光谱仪依赖精密光栅、高速光电探测器阵列，成本高。
中国发明专利(申请号：201611058702)中提出了一种基于菲涅尔波带片的多光谱的探测方法，是将菲涅尔波带片与卡塞格伦望远镜系统结合，利用卡塞格伦望远镜收集信号，传输到菲涅尔波带片，经由菲涅尔波带片汇聚、分光，将不同波长的光波发射到探测器，实现多光谱探测。本专利方法是利用高数值孔径菲涅尔波带片波长色散引起的线性焦移规律实现单色激光波长的精密测量，与上述专利方法具有显著区别，且无需使用卡塞格伦望远镜系统。
上述技术问题是目前激光波长精密测量方面面临的主要困难。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种激光波长精密测量方法，基于大数值孔径菲涅尔波带片，直接聚焦激光光束，通过压电陶瓷纳米位移台轴向步进扫描点探测器，测得聚焦轴向强度点扩散函数分布，利用波长和焦移在一定量程范围内的线性对应曲线，实现激光波长的精密测量，具有结构简单、分辨率高、波长适用范围广、低成本等优点。
为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：
一种激光波长精密测量方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一，给定照明波长λ0、焦距f和环带数N，根据公式得到菲涅尔波带片(FZP)的各环半径值rn；
步骤二，根据矢量角谱理论计算照明波长为λi的线偏振光垂直照明FZP时聚焦光斑的轴向强度点扩散函数，并由主瓣最大峰值对应的轴向坐标得到焦距zp；
步骤三，取λi＝λ0+Δλ，且Δλ＝mΛ,m＝0,±1,±2,...，Λ是波长间隔，执行步骤二，得到不同离散波长λi对应的焦距zp，形成二维数组(λi，zp)；
步骤四，根据(λi，zp)，利用线性相关系数rc确定线性测量区间[λmin,λmax]，满足|rc|≥0.99；
步骤五，在[λmin,λmax]波长范围区间，根据数组(λi，zp)利用线性最小二乘拟合法获得线性曲线zp＝aλi+b，为线性测量曲线；
步骤六，对于待测未知激光波长λx，通过压电陶瓷纳米位移台轴向步进扫描点探测器测得焦距zp,x，根据线性测量曲线获得未知波长λx＝(zp,x-b)/a。
所述步骤一包含的参数λ0覆盖极紫外至红外波段，焦距f不小于λ0。
所述步骤一包含的参数N为不小于N0的正整数，且NA为FZP的数值孔径，NA＝sinα，由tanα＝rN/f确定最大会聚半角α，要求取大数值孔径，满足NA>0.75。
所述步骤三中参数波长间隔Λ要求0<Λ≤λ0/10。
所述步骤六中，若测量结果属于超出量程范围。
所述步骤六中，所述点探测器由针孔和光电探测器组成，连续波激光器发出激光光束，经大数值孔径菲涅尔波带片聚焦，再由针孔滤除轴上光，通过针孔的光场由光电探测器进行强度探测，压电陶瓷纳米位移台沿轴均匀步进扫描点探测器，利用质心法确定焦距。
与现有技术相比，本发明采用单一大数值孔径菲涅尔波带片，简化了光谱仪及干涉仪测量系统结构，避免了机械扰动及环境干扰，为精密或超精密测量提供了条件；该测量方法简单，波长适用范围广，从紫外至红外激光波段；利用现有成熟的微加工工艺可实现菲涅尔波带片的批量制造。
附图说明
图1为本发明的激光波长精密测量装置之一，图中1是激光器，2是菲涅尔波带片，3是针孔，4是光电探测器，5是压电陶瓷纳米位移台，由3和4组成点探测器。
图2为本发明菲涅尔波带片FZP1(λ0＝633nm，f＝5μm，N＝20)示意图。
图3为本发明菲涅尔波带片FZP1对应的焦距-波长线性关系曲线图。
图4为本发明菲涅尔波带片FZP2对应的焦距-波长线性关系曲线图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例详细说明本发明的实施方式。
图1所示装置的工作原理：连续波激光器1发出激光光束，经大数值孔径菲涅尔波带片2聚焦，再由针孔3滤除轴上光，通过针孔3的光场由光电探测器4进行强度探测，针孔3和光电探测器4组成点探测器，利用一维压电陶瓷纳米位移台5沿轴均匀步进扫描点探测器，测得聚焦轴向强度点扩散函数，利用质心法确定焦距，通过焦距-波长对应关系利用线性最小二乘拟合法得到线性测量曲线，利用该曲线实现激光波长的精密测量。
图1装置内的菲涅尔波带片(Fresnel Zone Plate，FZP)直接聚焦待测激光器发出的激光光束，当光束垂直照明FZP时，在距离FZP后表面任意垂轴距离内的光场强度分布，由矢量角谱(Vectorial Angular Spectrum，VAS)理论进行计算。
(1)菲涅尔波带片
设照明激光波长为λ0，FZP置于空气中，可得FZP的环带半径为
式中，n是环带半径序数，f是主焦距，N是最大环带数。对于大数值孔径FZP，仅有唯一聚焦光斑，FZP有效数值孔径(NA)根据最大会聚半角α定义，即NA＝ηsinα，满足tanα＝rN/f。
设N为偶数，用t(r)表示FZP的振幅透过率函数，对于二元振幅型FZP，透过率函数描述为
式中，m＝0,1,...,N/2-1；上式假设最内环是透光情形。
激光光束照明大数值孔径菲涅尔波带片时，必须考虑电磁波的矢量偏振特性，因此采用矢量电磁波传播理论进行完整阐述，同时为了加速计算过程，选取快速汉克尔变换算法快速、精确计算光场分布。
(2)矢量角谱理论光场计算
假设沿X轴方向振动的线偏振光(LPB)沿Z轴正向传播，垂直照明FZP，经FZP衍射后，根据矢量角谱理论，在z>0的垂轴平面内任意一点P位置处电场E的直角坐标分量为
式中，Ex(r,z)表示x向分量，Ey(r,z)表示y向分量，表示z向分量，q(l)＝(1/λ2-l2)1/2，l表示径向空间频率分量；J0和J1分别是第一类零阶和一阶贝塞尔函数，j是虚数单位；空间角谱A0(l)表示为
式中，t(r)表示FZP对应的振幅透过率函数，这里假设了均匀平面波照明。由式(4)得到FZP后三维光强分布为
对于非偏振光、圆偏振光和径向偏振光照明情形，同样可以利用矢量角谱理论给出光场传播积分表达式。
(3)快速汉克尔变换算法
在式(3)和式(4)的计算过程中，需要执行零阶和一阶汉克尔变换，因此汉克尔变换的计算效率及精度很关键，为了加速运算，编程实现一种快速汉克尔变换算法(参见文献A.E.Siegman.Quasi Fast Hankel Transform.Optics Letters,1977,1:13-15)，该算法具有计算速度快、精度高、极低计算机存储要求等显著优点，基本原理是在标准汉克尔变换积分表达式中，利用非线性指数函数变量替换，将标准单边汉克尔变换表示为双边互相关积分，经过这样的变换后可以利用傅里叶变换计算互相关从而完成积分计算。
(4)严格理论验证
利用矢量角谱理论(VAS)和快速汉克尔变换计算得到菲涅尔波带片后光场强度的三维分布，进一步利用严格电磁仿真计算算法——时域有限差分法(FDTD)，对VAS计算结果进行验证。FDTD方法是麦克斯韦方程的严格数值解法，在物理光学、光子学、光波导、电磁分析等领域具有广泛用途。对设计的FZP建立FDTD物理仿真模型，采用完全匹配层(PML)吸收边界条件，在可见光波段利用100nm厚的金属铝膜作为FZP遮光材料。
(5)线性评价
利用线性相关系数：
计算变量(x，y)之间的线性关联程度。
(6)线性最小二乘拟合
利用样本数据(xi，yi)，拟合直线y＝ax+b，系数a和b根据公式：
计算得到。
(7)具体实施例
菲涅尔波带片FZP1：采用λ0＝633nm线偏振激光光束照明，设计焦距f＝5μm，包含N＝20个环带，直径D＝20.334μm，照明波长偏差为Δλ＝-60nm～60nm，步进间隔5nm，即λi＝573nm～693nm。表1所示是对应不同照明波长利用VAS和FDTD方法分别计算得到的焦距值(zp)，FDTD一列中空缺部分未计算验证。
表1 FZP1的波长-焦距对应关系表
表1结果如图3所示，可见VAS和FDTD保持了一致性，FDTD计算结果整体偏小。当Δλ＝[-60nm，60nm]时，对应的线性相关系数，rc＝-0.9989；当Δλ＝[-55nm，55nm]时，对应的线性相关系数，rc＝-0.9991，说明波长与焦距成完全负相关，即FZP1在照明波长范围[573nm，693nm]内具有良好的线性负色差焦移特性。利用线性最小二乘拟合法得到波长-焦距线性关系曲线Δλ＝-59.9113zp+303.4387。
菲涅尔波带片FZP2：参数为λ0＝532nm，N＝30，f＝10μm，直径D＝29.885μm，波长偏差Δλ＝-35nm～35nm，5nm间隔，对应照明波长为λi＝497nm～567nm。表2所示是对应不同照明波长利用VAS理论计算得到的焦距值(zp)。
表2 FZP2的波长-焦距对应关系表
表2结果如图4所示。当Δλ＝[-35nm，35nm]时，对应的线性相关系数，rc＝-0.9995；当Δλ＝[-30nm，30nm]时，对应的线性相关系数，rc＝-0.9996，再次说明波长与焦距成完全负相关，即FZP2在波长范围[497nm，567nm]内具有良好的线性负色差焦移特性。同样，利用线性最小二乘拟合法得到波长-焦距线性关系曲线Δλ＝-30.4498zp+305.7368。
结合图3和图4，并根据线性关系曲线Δλ＝azp+b，提出一种激光波长精密测量的方法，具体步骤如下：
步骤一，给定照明波长λ0、焦距f和环带数N，根据公式得到菲涅尔波带片(FZP)的各环半径值rn；λ0覆盖极紫外至红外波段，焦距f不小于λ0，N为不小于N0的正整数，且NA为FZP的数值孔径，NA＝sinα，由tanα＝rN/f确定最大会聚半角α，要求取大数值孔径，满足NA>0.75。
步骤二，根据矢量角谱理论计算照明波长为λi的线偏振光垂直照明FZP时聚焦光斑的轴向强度点扩散函数，并由主瓣最大峰值对应的轴向坐标得到焦距zp；
步骤三，取λi＝λ0+Δλ，且Δλ＝mΛ,m＝0,±1,±2,...，Λ是波长间隔，0<Λ≤λ0/10，执行步骤二，得到不同离散波长λi对应的焦距zp，形成二维数组(λi，zp)；
步骤四，根据(λi，zp)，利用线性相关系数rc确定线性测量区间[λmin,λmax]，满足|rc|≥0.99；
步骤五，在[λmin,λmax]波长范围区间，根据数组(λi，zp)利用线性最小二乘拟合法获得线性曲线zp＝aλi+b，为线性测量曲线；
步骤六，对于待测未知激光波长λx，通过压电陶瓷纳米位移台轴向步进扫描点探测器测得焦距zp,x，根据线性测量曲线获得未知波长λx＝(zp,x-b)/a，若测量结果属于超出量程范围。
以上结合附图对本发明的具体实施方式作了说明，但这些说明不能被理解为限制了本发明的范围，本发明的保护范围由随附的权利要求书限定，任何在本发明权利要求基础上的改动都是本发明的保护范围。
Claims (6)
1.一种激光波长精密测量方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一，给定照明波长λ0、焦距f和环带数N，根据公式得到菲涅尔波带片(FZP)的各环半径值rn；
步骤二，根据矢量角谱理论计算照明波长为λi的线偏振光垂直照明FZP时聚焦光斑的轴向强度点扩散函数，并由主瓣最大峰值对应的轴向坐标得到焦距zp；
步骤三，取λi＝λ0+Δλ，且Δλ＝mΛ,m＝0,±1,±2,...，Λ是波长间隔，执行步骤二，得到不同离散波长λi对应的焦距zp，形成二维数组(λi，zp)；
步骤四，根据(λi，zp)，利用线性相关系数rc确定线性测量区间[λmin,λmax]，满足|rc|≥0.99；
步骤五，在[λmin,λmax]波长范围区间，根据数组(λi，zp)利用线性最小二乘拟合法获得线性曲线zp＝aλi+b，为线性测量曲线；
步骤六，对于待测未知激光波长λx，通过压电陶瓷纳米位移台轴向步进扫描点探测器测得焦距zp,x，根据线性测量曲线获得未知波长λx＝(zp,x-b)/a。
2.根据权利要求1所述激光波长精密测量方法，其特征在于，所述步骤一包含的参数λ0覆盖极紫外至红外波段，焦距f不小于λ0。
3.根据权利要求1所述激光波长精密测量方法，其特征在于，所述步骤一包含的参数N为不小于N0的正整数，且NA为FZP的数值孔径，NA＝sinα，由tanα＝rN/f确定最大会聚半角α，要求取大数值孔径，满足NA>0.75。
4.根据权利要求1所述激光波长精密测量方法，其特征在于，所述步骤三中参数波长间隔Λ要求0<Λ≤λ0/10。
5.根据权利要求1所述激光波长精密测量方法，其特征在于，所述步骤六中，若测量结果属于超出量程范围。
6.根据权利要求1所述激光波长精密测量方法，其特征在于，所述步骤六中，所述点探测器由针孔和光电探测器组成，连续波激光器发出激光光束，经大数值孔径菲涅尔波带片聚焦，再由针孔滤除轴上光，通过针孔的光场由光电探测器进行强度探测，压电陶瓷纳米位移台沿轴均匀步进扫描点探测器，利用质心法确定焦距。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810387517.9A CN108760057B (zh) | 2018-04-26 | 2018-04-26 | 一种激光波长精密测量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810387517.9A CN108760057B (zh) | 2018-04-26 | 2018-04-26 | 一种激光波长精密测量方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108760057A true CN108760057A (zh) | 2018-11-06 |
| CN108760057B CN108760057B (zh) | 2019-12-20 |
Family
ID=64011931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810387517.9A Active CN108760057B (zh) | 2018-04-26 | 2018-04-26 | 一种激光波长精密测量方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108760057B (zh) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63210631A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-01 | Nippon Steel Corp | 電磁波の波長別検出方法 |
| JPH05256708A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Nec Corp | 波長変動量測定装置 |
| JPH10300586A (ja) * | 1997-04-30 | 1998-11-13 | Nikon Corp | 波長測定装置及び方法 |
| US6509970B1 (en) * | 1999-06-23 | 2003-01-21 | Ushio Denki Kabushiki Kaisya | Wavelength monitoring apparatus for laser light for semiconductor exposure |
| CN105823563A (zh) * | 2016-04-25 | 2016-08-03 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 动态高分辨率波前测量装置及方法 |
| US20160252392A1 (en) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | Mohammad Taghi Tavassoly | Phase step diffractometer |
| CN106338343A (zh) * | 2016-10-27 | 2017-01-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于菲涅耳波带片的波前探测方法 |
| CN106338823A (zh) * | 2016-10-27 | 2017-01-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于混合焦距菲涅耳波带片的相位反演方法 |
-
2018
- 2018-04-26 CN CN201810387517.9A patent/CN108760057B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63210631A (ja) * | 1987-02-27 | 1988-09-01 | Nippon Steel Corp | 電磁波の波長別検出方法 |
| JPH05256708A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Nec Corp | 波長変動量測定装置 |
| JPH10300586A (ja) * | 1997-04-30 | 1998-11-13 | Nikon Corp | 波長測定装置及び方法 |
| US6509970B1 (en) * | 1999-06-23 | 2003-01-21 | Ushio Denki Kabushiki Kaisya | Wavelength monitoring apparatus for laser light for semiconductor exposure |
| US20160252392A1 (en) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | Mohammad Taghi Tavassoly | Phase step diffractometer |
| CN105823563A (zh) * | 2016-04-25 | 2016-08-03 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 动态高分辨率波前测量装置及方法 |
| CN106338343A (zh) * | 2016-10-27 | 2017-01-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于菲涅耳波带片的波前探测方法 |
| CN106338823A (zh) * | 2016-10-27 | 2017-01-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于混合焦距菲涅耳波带片的相位反演方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108760057B (zh) | 2019-12-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7087902B2 (en) | Fresnel lens tomographic imaging | |
| CN102944312B (zh) | 一种测量部分相干涡旋光束拓扑荷数的方法 | |
| CN106767431B (zh) | 一种波长扫描共焦微位移测量装置及方法 | |
| CN103063304B (zh) | 色散剪切像面干涉超光谱成像装置及方法 | |
| CN103033265A (zh) | 空间外差干涉超光谱成像装置及方法 | |
| CN103424190B (zh) | 双楔板色散剪切干涉超光谱成像装置及方法 | |
| Molloy et al. | Characterization of terahertz beam profile and propagation | |
| CN104165758B (zh) | 基于斐索干涉仪的透镜焦距测量装置及方法 | |
| CN103926233A (zh) | 激光差动共焦布里渊-拉曼光谱测量方法及装置 | |
| CN105333815B (zh) | 一种基于光谱色散线扫描的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统 | |
| CN106546334A (zh) | 空间自调焦激光共焦拉曼光谱探测方法与装置 | |
| CN105333816B (zh) | 一种基于光谱色散全场的超横向分辨率表面三维在线干涉测量系统 | |
| Tofani et al. | Terahertz focusing properties of polymeric zone plates characterized by a modified knife-edge technique | |
| CN103644859A (zh) | 测量金刚石压砧在极端高温高压条件下形变的装置及方法 | |
| CN103884659A (zh) | 角分辨微纳光谱分析装置 | |
| CN103344574B (zh) | 有机薄膜光增益性能测试装置 | |
| Alsultanny | Laser beam analysis using image processing | |
| CN104897376B (zh) | 一种激光器线宽测量方法及系统 | |
| CN108931298B (zh) | 一种紧凑型高通量高稳定性干涉成像光谱仪 | |
| CN105092032B (zh) | 基于f-p标准具的瞬态高分辨率光谱仪 | |
| CN108760057A (zh) | 一种激光波长精密测量方法 | |
| KR20160082076A (ko) | 간섭계 기반 단층영상 및 표면형상 동시 획득 장치 | |
| CN109931885B (zh) | 一种精确测量光束入射角的装置 | |
| CN110307963B (zh) | 检测透射式光学系统任意波长焦距的方法 | |
| Verhoglyad et al. | Certification of a two-channel automated infrared image synthesis system for testing array photodetectors |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |