CN108693864A - 劣化诊断装置 - Google Patents

劣化诊断装置 Download PDF

Info

Publication number
CN108693864A
CN108693864A CN201810270712.3A CN201810270712A CN108693864A CN 108693864 A CN108693864 A CN 108693864A CN 201810270712 A CN201810270712 A CN 201810270712A CN 108693864 A CN108693864 A CN 108693864A
Authority
CN
China
Prior art keywords
value
heater
controlling value
controlling
datum line
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201810270712.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN108693864B (zh
Inventor
平山博文
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Azbil Corp
Original Assignee
Azbil Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Azbil Corp filed Critical Azbil Corp
Publication of CN108693864A publication Critical patent/CN108693864A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN108693864B publication Critical patent/CN108693864B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02—Electric testing or monitoring
    • G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
    • G05B23/0218—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults
    • G05B23/0224—Process history based detection method, e.g. whereby history implies the availability of large amounts of data
    • G05B23/0227—Qualitative history assessment, whereby the type of data acted upon, e.g. waveforms, images or patterns, is not relevant, e.g. rule based assessment; if-then decisions
    • G05B23/0235—Qualitative history assessment, whereby the type of data acted upon, e.g. waveforms, images or patterns, is not relevant, e.g. rule based assessment; if-then decisions based on a comparison with predetermined threshold or range, e.g. "classical methods", carried out during normal operation; threshold adaptation or choice; when or how to compare with the threshold
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02—Electric testing or monitoring
    • G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
    • G05B23/0218—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults
    • G05B23/0243—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterised by the fault detection method dealing with either existing or incipient faults model based detection method, e.g. first-principles knowledge model
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02—Electric testing or monitoring
    • G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
    • G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
    • G05B23/0267—Fault communication, e.g. human machine interface [HMI]
    • G05B23/0272—Presentation of monitored results, e.g. selection of status reports to be displayed; Filtering information to the user
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D23/00—Control of temperature
    • G05D23/19—Control of temperature characterised by the use of electric means
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/20—Pc systems
    • G05B2219/24—Pc safety
    • G05B2219/24065—Real time diagnostics

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
  • Control Of Resistance Heating (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Abstract

本发明的劣化诊断装置能够更简便且更迅速地判断加热器的异常。电流测定部(103)对供给至加热器(111)的电流进行测定，控制值取得部(102)取得控制部(113)所输出的用于控制加热器(111)的控制值。曲线图显示控制部(106)将曲线图显示在显示部(108)上，该曲线图通过将由选择部(105)选择的成对的控制值和测定值所确定的点配置在以控制值以及测定值为轴的二维平面坐标上而成。此外，范围显示控制部(107)将基准存储部(101)中存储的容许范围重叠于显示部(108)上显示的曲线图而进行显示。

Description

劣化诊断装置
技术领域
本发明涉及一种对具备加热器的加热装置的劣化进行诊断的劣化诊断装置。
背景技术
在工业工艺中，存在大量对材料进行加热的工艺。在这样的加热的工艺中，一般使用电热器(加热器)。另外，在电热器的动作控制中，使用温度调节计。温度调节计使用热电偶、测温电阻体等温度传感器来测量加热器进行加热的处理对象(监视对象)的温度。测量出的温度在温度调节计中进行数值显示。
另外，在温度调节计中，依照检测出的温度(PV值)和设定温度(SP值)，求出控制输出(MV值)。将所求出的控制输出输出到基于电力调整器等的加热器操作器。通过加热器操作器，根据上述控制输出而控制来自商用电源的100V的驱动电流，并输出到加热器。通过这样控制的加热器的加热来控制处理对象的温度。另外，温度调节计具备异常检测功能，并检测作为监视对象的处理对象的异常温度、温度传感器的异常等，将检测出的异常现象作为事件信息而输出到外部，从而进行警报(警告)显示。例如在对温度进行数值显示的显示器上进行警报显示。
另外，在温度调节计中，检测加热器的断线等加热器自身的异常(参照专利文献1、2)。例如，测定施加到加热器的电流/电压而求出有效值电力，并根据电流与电压的关系而进一步地求出电阻值，根据所求出的电阻值的变化、变化的程度的差异来判断加热器的劣化(参照专利文献1)。另外，使用将控制输出和电流值的实测测定点表格化而得的数据来判断加热器劣化(参照专利文献2)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第2683851号公报
专利文献2：日本专利第3988942号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
然而，在上述技术中，首先，需要测定流到加热器的电流以及施加到加热器的电压。另外，在上述技术中，电阻值等用于异常诊断的参数的计算繁琐。另外，在上述技术中，存在为了调查电阻值的时间变化，经过时间等的测定需要时间这样的问题。这样，在上述技术中，直至异常的判断为止，需要繁琐的计算以及测定。
本发明是为了解除上述问题点而完成的，其目的在于能够更简便且更迅速地判断加热器的异常。
解决技术问题的技术手段
本发明的劣化诊断装置具备：第1存储部，其存储用于进行作为劣化诊断对象的加热装置的劣化判定的容许范围，所述容许范围根据基准线上的相对于控制值的电流值的上侧容许值以及下侧容许值而设定，所述基准线表示构成加热装置的加热器的正常时的特性；控制值取得部，其构成为取得用于控制加热器的控制值；电流测定部，其构成为对按照由控制值取得部取得的控制值而供给至加热器的电流进行测定以取得测定值；第2存储部，其以时间序列存储由控制值取得部取得的控制值和由电流测定部测定的测定值的对；选择部，其构成为从第2存储部中选择与接受到的选择指示对应的成对的控制值以及测定值；第1显示控制部，其构成为在显示部上显示曲线图，所述曲线图通过将由选择部选择的成对的控制值和测定值所确定的点配置在以控制值以及测定值为轴的二维平面坐标上而成；以及第2显示控制部，其构成为将第1存储部中存储的容许范围重叠于显示部上显示的曲线图而进行显示。
在上述劣化诊断装置中，第1存储部存储基准线，第2显示控制部构成为将基准线重叠于在显示部上显示的曲线图而进行显示。
在上述劣化诊断装置中，具备：偏差计算部，其构成为求出由选择部选择的成对的控制值和测定值相对于基准线的偏差；以及第3显示控制部，其构成为将由偏差计算部计算出的偏差的点配置在以时间以及偏差为轴的二维平面坐标上，并与第1存储部中存储的容许范围一起显示在显示部上。
在上述劣化诊断装置中，具备偏差计算部，其构成为求出由选择部选择的成对的控制值和测定值相对于基准线的偏差，通过第1显示控制部，将由选择部选择的成对的控制值和测定值所确定的点描绘成与由偏差计算部求出的偏差的大小相应的形态的点，并在此基础上，在显示部上显示将该点配置在以控制值以及测定值为轴的二维平面坐标上的曲线图。
在上述劣化诊断装置中，基准线为对加热器特性进行了折线逼近后的基准线即可，所述加热器特性表示正常时的加热器的控制值与对应的电流的关系。
发明效果
基于以上说明，根据本发明，可以得到能够更简便且更迅速地判断加热器的异常这样的优异的效果。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式1中的劣化诊断装置100的构成的构成图。
图2是示出曲线图显示控制部106的显示例的说明图。
图3是示出本发明的实施方式2中的劣化诊断装置100a的构成的构成图。
图4是示出偏差显示控制部302的显示例的说明图。
图5是示出曲线图显示控制部106的另一显示例的说明图。
具体实施方式
下面参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[实施方式1]
首先，使用图1对本发明的实施方式1进行说明。图1是示出本发明的实施方式1中的劣化诊断装置100的构成的构成图。该劣化诊断装置100具备：基准存储部(第1存储部)101、控制值取得部102、电流测定部103、测定存储部(第2存储部)104、选择部105、曲线图显示控制部(第1显示控制部)106、范围显示控制部(第2显示控制部)107以及显示部108。劣化诊断装置100能够进行由加热器111以及操作部112构成的加热装置的、由用户进行的劣化诊断。劣化诊断装置100是对由用户进行的加热装置的劣化判定进行辅助的装置。
基准存储部101存储用于加热器111以及操作部112的劣化诊断的容许范围(正常范围)。容许范围是根据正常时按照给予操作部112(加热装置)的控制值而供给至加热器111的电流值的上侧容许值以及下侧容许值而设定的。容许范围被用于加热器111以及操作部112(加热装置)的、由用户进行的劣化判定中。在此，控制值越大，则将容许范围设定得越宽为佳。一般来说，控制值越小，电流值的可取范围就变得越小。因此，在控制值较小的范围内，将判定为异常的幅宽也设定得较窄，在控制值较大的范围内，将判定为异常的幅宽也设定得较宽为佳。
例如，使用加热器特性制作基准线，所述加热器特性表示对加热器111给予的连续变化的控制值和与该控制值对应的正常时的加热器111中的电流的变化的关系。也可以将加热器特性本身作为基准线。此外，也可以对加热器特性进行折线逼近以作为基准线。此外，也可以利用基于离散变化的控制值以及与该控制值对应的正常时的加热器111中的离散变化的电流值的折线逼近来制作基准线。
根据该基准线上的相对于控制值的电流值的上侧容许值以及下侧容许值来设定容许范围即可。将基于基准线上的相对于控制值的电流值的上侧容许值而得的上侧容许值线、与基于基准线上的相对于控制值的电流值的下侧容许值而得的下侧容许值线之间的范围作为能够将加热器111或者操作部112视作正常的容许范围。基准存储部101也可以对用于容许范围的设定的基准线进行存储。
控制值取得部102取得控制部113所输出的用于控制加热器111(加热装置)的控制值。根据温度测定部114测定出的测定值和所设定的设定值，控制部113算出上述控制值并向操作部112输出。控制部113例如为温度调节计。操作部112例如由公知的电力调整器构成。操作部112根据上述控制值来控制从商用电源得到的100V的驱动电流，从而控制加热器111的加热动作。通过该控制来确定流过加热器111的电流值。控制值取得部102是取得从控制部113输出的上述控制值的功能部(参照专利文献1)。
电流测定部103对被供给至加热器111的电流进行测定。例如，电流测定部103取得有效电流值作为测定值。电流测定部103例如由公知的电流互感器构成。在实施方式中，电流测定部103被用于作为温度调节计的控制部113中的警报输出。在该情况下，电流测定部103检测流向加热器111的驱动电流值并向控制部113输出，控制部113将该检测值与预先设定的警报级别进行比较，在检测值超过了警报级别时，输出表示加热温度异常的警报信号。另外，测定值也可以是平均电流值。
测定存储部104以时间序列存储由控制值取得部102取得的控制值与由电流测定部103测定的测定值的对。换言之，测定存储部104将按规定的间隔以时间序列测定的测定值与测定该测定值时的控制值相关联地存储。例如，在按5分钟的间隔测定电流值的情况下，就将控制值与测定值的对以5分钟的间隔存储至测定存储部104。此外，在每1天将按5分钟的间隔测定的1天的量的控制值的平均值与测定值的平均值的对存储至测定存储部104。此外，测定存储部104将控制值与测定值的对和测定的日期的信息相关联地存储。
选择部105从测定存储部104中选择与接受的选择指示对应的成对的控制值以及测定值。例如，当接受期间而作为选择指示时，就选择关联有被指示的期间的日期信息的控制值与测定值的对。
曲线图显示控制部106将曲线图显示在显示部108上，该曲线图通过将由选择部105选择的成对的控制值与测定值所确定的点配置在以控制值以及测定值为轴的二维平面坐标上而成。此外，范围显示控制部107将基准存储部101中存储的容许范围重叠于显示部108上显示的曲线图而进行显示。
例如，如图2所示，通过曲线图显示控制部106在二维平面坐标上显示基于所选择的控制值与测定值的点201而成的曲线图。此外，曲线图显示控制部106根据控制值与测定值的对中的日期信息，按照日期从过去到现在的顺序对点201标注数字而进行显示。例如，在图2中，每1天的控制值的平均值与测定值的平均值的对显示有8天的量。
此外，通过范围显示控制部107，将由下侧容许值线211和上侧容许值线212构成的容许范围重叠于基于点201而成的曲线图而进行显示。在基准存储部101存储了基准线的情况下，范围显示控制部107将基准线213与容许范围一起显示。
在上述的曲线图的显示中，显示内最新的点201a超出了容许范围的下侧容许值线211，因此能够判断为发生了劣化。此外，标注了“7”的点虽然在容许范围内，但相对于基准线213的偏差较大。能够判断出自该状态起正在进行某种程度的劣化，于是能够判断出需要进行预防保全的处理。
如以上所说明的那样，根据实施方式1，能够更简便且更迅速地判断加热器的异常。
[实施方式2]
接着，使用图3对本发明的实施方式2进行说明。图3是示出本发明的实施方式2中的劣化诊断装置100a的构成的构成图。该劣化诊断装置100a具备：基准存储部(第1存储部)101、控制值取得部102、电流测定部103、测定存储部104、选择部105、曲线图显示控制部(第1显示控制部)106、范围显示控制部(第2显示控制部)107以及显示部108。这些构成与前述的实施方式1相同。
在实施方式2中，新具备偏差计算部301和偏差显示控制部(第3显示控制部)302。
偏差计算部301求出由选择部105选择的成对的控制值和测定值相对于基准线的偏差。
偏差显示控制部302将由偏差计算部301计算出的偏差的点配置在以时间以及偏差为轴的二维平面坐标上并与基准存储部101中存储的容许范围一起显示在显示部108上。例如如图4所示那样，偏差显示控制部302将基于所选择的测定值的偏差的点401而成的曲线图显示在被显示于显示部108上的二维平面坐标上。在该例中，以日期为横轴。
此外，偏差显示控制部302将由下侧容许值线411和上侧容许值线412构成的容许范围重叠于基于点401而成的曲线图上而进行显示。
在上述的曲线图的显示中，显示内为最新的第8天的点401a超出了容许范围的下侧容许值线411，因此能够判断为发生了劣化。此外，第7天的点虽然在容许范围内，但偏差较大。能够判断出自该状态起正在进行某种程度的劣化，于是能够判断出需要进行预防保全的处理。
另外，在实施方式2的构成中，也能够在显示部108上以图5所示那样的另一曲线图来进行显示。图5与图2一样在以控制值为横轴、以测定值为纵轴的二维平面坐标上配置所选择的控制值与测定值的点，但将各点的大小描绘为与通过偏差计算部301计算出的偏差相应的大小(偏差越大则越大)而进行显示。另外，在图5中示出了每1天的控制值的平均值与测定值的平均值的对显示有7天的量的例子。在此，相对于基准线213的偏差越大，就用越大的圆来表示。例如，点201b在容许范围之外，相对于基准线213的偏差最大，因此用最大的圆来表示。
若这样进行显示，则监视者就能够在确认各点的控制值与测定值的同时，还直观地掌握该点的偏差，从而能够容易地把握劣化的进展。另外，除了将点的大小描绘为与偏差相应的大小以外，还可以以与偏差相应的配色(色调)来进行描绘，总之描绘成与偏差相应的形态的点即可。
如以上所说明的那样，根据实施方式2，能够更简便且更迅速地判断加热器的异常。
如以上所说明的那样，在本发明中，在显示部上显示将由选择部选择的成对的控制值与测定值所确定的点配置在以控制值以及测定值为轴的二维平面坐标上而成的曲线图，并将容许范围重叠于该曲线图上而进行显示。其结果是，根据本发明，用户能够通过对显示进行目视而迅速地进行劣化的判断，从而就能够更简便且更迅速地判断加热器的异常。
在此，关于基准线进行更详细的说明。作为基准线，也可以使用对加热器特性进行了折线逼近后的基准线。进行了折线逼近后的基准线在以控制值以及测定值为轴的二维平面坐标上由1个以上的线段(一次方程式)构成。通过这样使用进行了折线逼近后的基准线来设定容许范围，能够极大地减少作为容许范围而保持的数据量。基准线由直线(一次方程式)的组合构成，因此容许范围也由直线(一次方程式)的组合构成，从而数据量极少。
例如，对正常时的加热器的加热器特性进行测定，利用折线逼近，根据所测定的加热器特性求出基准线即可。以规定的条件在所得到的加热器特性的曲线上设置规定数量的设定点(拐点)，并用直线(线段)将所设置的设定点连接从而作为基准线即可。此外，在规定数量的测定点处测定正常时的加热器(加热装置)的相对于控制值的电流以取得电流值，并设定规定数量的基于控制值和电流值的设定点，以直线将相邻的设定点连接从而作为基准线即可。
在以控制值以及测定值为轴的二维平面坐标上的曲线上设定9个设定点。另外，至少在控制值的最小值和控制值的最大值处设定各个设定点。接着，用直线将相邻的2个设定点相互连接，从而制作基准线。例如，依次将9个设定点连接来制作基准线。基准线由8个线段构成。
此外，用于制作基准线的设定点也可以如以下所示那样设定。首先，在以控制值以及测定值为轴的二维平面坐标上，与表示加热器特性的曲线上的控制值的最小值以及最大值对应地配置设定点，并设定将它们连接的第一逼近线。此外，对于第一逼近线设定规定的上侧容许值线以及下侧容许值线。被上侧容许值线和下侧容许值线夹持的区域就成为容许范围的候选。
在如上述那样利用2个设定点来确定第一逼近线并设定了容许范围的候选的状态下，判断曲线落在容许范围的候选内且第一逼近线与曲线的最大偏差小于预先设定的容许偏差的情况。在曲线落在容许范围内且最大偏差小于容许偏差的情况下，将第一逼近线作为基准线。
另一方面，在产生了曲线超出容许范围的区域的情况下，对于第一逼近线求出在测定值的负方向上与曲线的偏差为最大值的位置以及在测定值的正方向上与曲线的偏差为最大值的位置。
接着，在求出的2个位置处的曲线上增加新的设定点。接着，设定将通过增加而成为4个的控制点连接的新的第二逼近线。此外，对于新的第二逼近线设定规定的上侧容许值线以及下侧容许值线。
确认到曲线落在基于这样得到的上侧容许值线以及下侧容许值线而形成的容许范围内且第二逼近线与曲线的最大偏差小于容许偏差的情况。例如，由于在该阶段曲线落在容许范围内且第二逼近线与曲线的最大偏差小于容许偏差，因此将第二逼近线作为基准线。
根据上述的基准线的制作方法，通过适当地设定最大偏差，能够不无谓地增加设定点而设定能进行实用的劣化判定的容许范围。另外，利用容许偏差的设定条件，能够不与容许范围进行比较而仅通过容许偏差与最大偏差的比较来确定逼近曲线。
此外，也可以如下述那样制作基准线。首先，对于正常时的加热器(加热装置)，在控制值的最小/最大的范围内设定多个控制值，并在所设定的各控制值处测定加热器电流值。例如使控制值在0～100％的范围内以10％的幅宽变化，并在各控制值处测定加热器电流值。作为该测定的结果，使用基于得到的各控制值与各加热器电流值的多个设定点，将用直线连接相邻的设定点而成的折线作为对加热器特性进行折线逼近后的基准线。
另外，本发明不限定于以上说明的实施方式，在本发明的技术思想内，能够由在本领域具有通常的知识的人实施大量的变形以及组合是显而易见的。
符号说明
100…劣化诊断装置；101…基准存储部(第1存储部)；102…控制值取得部；103…电流测定部；104…测定存储部(第2存储部)；105…选择部；106…曲线图显示控制部(第1显示控制部)；107…范围显示控制部(第2显示控制部)；108…显示部；111…加热器；112…操作部；113…控制部；114…温度测定部。

Claims (7)

1.一种劣化诊断装置，其特征在于，具备：
第1存储部，其存储用于进行作为劣化诊断对象的加热装置的劣化判定的容许范围，所述容许范围根据基准线上的相对于控制值的电流值的上侧容许值以及下侧容许值而设定，所述基准线表示构成所述加热装置的加热器的正常时的特性；
控制值取得部，其构成为取得用于控制所述加热器的控制值；
电流测定部，其构成为对按照由所述控制值取得部取得的控制值而供给至所述加热器的电流进行测定以取得测定值；
第2存储部，其以时间序列存储由所述控制值取得部取得的控制值和由所述电流测定部测定的测定值的对；
选择部，其构成为从所述第2存储部中选择与接受到的选择指示对应的成对的控制值以及测定值；
第1显示控制部，其构成为在显示部上显示曲线图，所述曲线图通过将由所述选择部选择的成对的控制值和测定值所确定的点配置在以所述控制值以及所述测定值为轴的二维平面坐标上而成；以及
第2显示控制部，其构成为将所述第1存储部中存储的容许范围重叠于所述显示部上显示的所述曲线图而进行显示。
2.根据权利要求1所述的劣化诊断装置，其特征在于，
所述第1存储部存储所述基准线，
所述第2显示控制部构成为将所述基准线重叠于在所述显示部上显示的所述曲线图而进行显示。
3.根据权利要求1或者2所述的劣化诊断装置，其特征在于，具备：
偏差计算部，其构成为求出由所述选择部选择的成对的控制值和测定值相对于所述基准线的偏差；以及
第3显示控制部，其构成为将由所述偏差计算部计算出的偏差的点配置在以时间以及偏差为轴的二维平面坐标上，并与所述第1存储部中存储的容许范围一起显示在所述显示部上。
4.根据权利要求1或者2所述的劣化诊断装置，其特征在于，
具备偏差计算部，其构成为求出由所述选择部选择的成对的控制值和测定值相对于所述基准线的偏差，
通过所述第1显示控制部，将由所述选择部选择的成对的控制值和测定值所确定的点描绘成与由所述偏差计算部求出的偏差的大小相应的形态的点，并在此基础上，在所述显示部上显示将该点配置在以所述控制值以及所述测定值为轴的二维平面坐标上的曲线图。
5.根据权利要求1或者2所述的劣化诊断装置，其特征在于，
所述基准线是对加热器特性进行了折线逼近后的基准线，所述加热器特性表示正常时的所述加热器的控制值与对应的电流的关系。
6.根据权利要求3所述的劣化诊断装置，其特征在于，
所述基准线是对加热器特性进行了折线逼近后的基准线，所述加热器特性表示正常时的所述加热器的控制值与对应的电流的关系。
7.根据权利要求4所述的劣化诊断装置，其特征在于，
所述基准线是对加热器特性进行了折线逼近后的基准线，所述加热器特性表示正常时的所述加热器的控制值与对应的电流的关系。
CN201810270712.3A 2017-03-31 2018-03-29 劣化诊断装置 Active CN108693864B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017-070262 2017-03-31
JP2017070262A JP6800074B2 (ja) 2017-03-31 2017-03-31 劣化診断装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN108693864A true CN108693864A (zh) 2018-10-23
CN108693864B CN108693864B (zh) 2021-06-25

Family

ID=63844689

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810270712.3A Active CN108693864B (zh) 2017-03-31 2018-03-29 劣化诊断装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6800074B2 (zh)
KR (1) KR102073925B1 (zh)
CN (1) CN108693864B (zh)
TW (1) TWI659286B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020090288A (ja) * 2018-12-03 2020-06-11 株式会社川島製作所 駆動機器の予兆保全装置及び予兆保全方法
TW202334491A (zh) 2020-05-02 2023-09-01 美商瓦特洛威電子製造公司 用以監測組件之表面條件的方法
EP4281740A1 (en) 2021-01-19 2023-11-29 Watlow Electric Manufacturing Company Method and system for detecting and diagnosing fluid line leakage for industrial systems

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2683851B2 (ja) * 1991-06-25 1997-12-03 理化工業株式会社 制御対象の異状検知装置
CN1867876A (zh) * 2003-10-16 2006-11-22 Abb公司 检测连续过程中的系统部件的故障
JP2007178166A (ja) * 2005-12-27 2007-07-12 Rkc Instrument Inc ヒータ断線検知方法
JP3988942B2 (ja) * 2003-03-31 2007-10-10 株式会社国際電気セミコンダクターサービス ヒータ検査装置及びそれを搭載した半導体製造装置
US20090278548A1 (en) * 2008-05-07 2009-11-12 Denso Corporation Degradation determination device for heater of gas sensor and method for diagnosing the heater
CN102374863A (zh) * 2010-07-16 2012-03-14 捷讯研究有限公司 Gps轨迹过滤
CN102841580A (zh) * 2011-06-24 2012-12-26 欧姆龙株式会社 数据比较装置、数据比较方法、控制程序以及记录介质
CN103282631A (zh) * 2010-12-24 2013-09-04 丰田自动车株式会社 汽缸间空燃比偏差异常检测装置及其方法
CN103292989A (zh) * 2013-06-17 2013-09-11 广州供电局有限公司 断路器机械特性性能测试方法和系统
CN104465437A (zh) * 2013-09-24 2015-03-25 阿自倍尔株式会社 故障检测系统以及故障检测方法
JP2015231675A (ja) * 2014-06-09 2015-12-24 株式会社日本製鋼所 ヒータの断線・劣化判定方法および射出成形機
CN105262607A (zh) * 2014-07-14 2016-01-20 阿自倍尔株式会社 异常判定装置
CN106249728A (zh) * 2016-09-28 2016-12-21 清华大学 一种基于部件特性的火力发电机组在线性能监测方法
US20170034874A1 (en) * 2015-07-30 2017-02-02 Edwards Vacuum Llc Detecting heater failure in a group of electric heaters in a process equipment heating system

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4596917A (en) * 1984-01-16 1986-06-24 General Electric Company Resistance spot welder process monitor
US6272172B1 (en) * 1998-03-31 2001-08-07 Tektronix, Inc. Measurement acquisition and display apparatus
JP3731512B2 (ja) * 2001-03-15 2006-01-05 オムロン株式会社 温度調節器および熱処理装置
DE102004052302B4 (de) * 2004-09-30 2013-05-23 Immobiliengesellschaft Helmut Fischer Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Ausgabe von Messwerten und Anzeigeeinrichtung
JP5361085B2 (ja) * 2011-03-29 2013-12-04 富士フイルム株式会社 不良記録素子の検出装置及び方法、画像形成装置及び方法、並びにプログラム
CN102608915B (zh) * 2012-01-17 2014-04-09 中冶南方工程技术有限公司 基于工具变量iv法的结晶器arx模型辨识方法
JP5890206B2 (ja) * 2012-03-05 2016-03-22 アズビル株式会社 ポテンショメータの劣化診断方法
CN103698637B (zh) * 2013-12-25 2016-05-18 云南电力调度控制中心 一种电力关键指标异常快速检测方法和装置
CN103824137B (zh) * 2014-03-20 2016-08-17 北京信息科技大学 一种复杂机械设备多工况故障预测方法

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2683851B2 (ja) * 1991-06-25 1997-12-03 理化工業株式会社 制御対象の異状検知装置
JP3988942B2 (ja) * 2003-03-31 2007-10-10 株式会社国際電気セミコンダクターサービス ヒータ検査装置及びそれを搭載した半導体製造装置
CN1867876A (zh) * 2003-10-16 2006-11-22 Abb公司 检测连续过程中的系统部件的故障
JP2007178166A (ja) * 2005-12-27 2007-07-12 Rkc Instrument Inc ヒータ断線検知方法
US20090278548A1 (en) * 2008-05-07 2009-11-12 Denso Corporation Degradation determination device for heater of gas sensor and method for diagnosing the heater
CN102374863A (zh) * 2010-07-16 2012-03-14 捷讯研究有限公司 Gps轨迹过滤
CN103282631A (zh) * 2010-12-24 2013-09-04 丰田自动车株式会社 汽缸间空燃比偏差异常检测装置及其方法
CN102841580A (zh) * 2011-06-24 2012-12-26 欧姆龙株式会社 数据比较装置、数据比较方法、控制程序以及记录介质
CN103292989A (zh) * 2013-06-17 2013-09-11 广州供电局有限公司 断路器机械特性性能测试方法和系统
CN104465437A (zh) * 2013-09-24 2015-03-25 阿自倍尔株式会社 故障检测系统以及故障检测方法
JP2015231675A (ja) * 2014-06-09 2015-12-24 株式会社日本製鋼所 ヒータの断線・劣化判定方法および射出成形機
CN105262607A (zh) * 2014-07-14 2016-01-20 阿自倍尔株式会社 异常判定装置
US20170034874A1 (en) * 2015-07-30 2017-02-02 Edwards Vacuum Llc Detecting heater failure in a group of electric heaters in a process equipment heating system
CN106249728A (zh) * 2016-09-28 2016-12-21 清华大学 一种基于部件特性的火力发电机组在线性能监测方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP6800074B2 (ja) 2020-12-16
TWI659286B (zh) 2019-05-11
TW201842429A (zh) 2018-12-01
CN108693864B (zh) 2021-06-25
KR102073925B1 (ko) 2020-02-06
KR20180111551A (ko) 2018-10-11
JP2018174048A (ja) 2018-11-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108693864A (zh) 劣化诊断装置
AU2018226481A1 (en) Sensor, controller and system
CA2801464C (en) Process variable transmitter with thermocouple polarity detection
CN104204747B (zh) 温度测量仪器、温度测量仪器组和用于配置利用热电偶可运行的温度测量仪器的方法
CN107609308B (zh) 电缆接头连接管处等效电阻的测量方法及装置
EP2102616A2 (en) Temperature sensor configuration detection in process variable transmitter
US11293948B2 (en) System and method for correcting current value of shunt resistor
JP2021168364A5 (zh)
US20140175692A1 (en) Method for monitoring a temperature control media supply
CN108759991A (zh) 空调系统中传感器的测量误差诊断方法、装置和空调系统
US10323968B2 (en) Method of recording physical quantity change history, program thereof, flow rate measurement apparatus and fluid supplying system
CN108692963A (zh) 劣化诊断装置以及方法
CN107110696A (zh) 具有诊断功能的热式流量测量装置
CN108693398A (zh) 劣化诊断装置以及方法
CN205719015U (zh) 在工业过程中使用的两线过程变量变送器
CN102621390B (zh) 方块电阻测量方法以及方块电阻测量装置
KR101434808B1 (ko) 배기 가스 질량 유량 센서에 대한 결과적인 총 질량 유량을 결정하기 위한 방법
US1291489A (en) Fluid-meter
CN103376274A (zh) 一种快速测量真空玻璃热阻的方法及装置
CN105973629B (zh) 多模块机组分水不均自诊断方法、系统及装置
Mykyychuk et al. Increasing metrological autonomy of in-plant measuring systems
CN104808718B (zh) 热泵热水机的温度控制方法、温度控制装置
CN205593561U (zh) Mems传感器
JP7501600B2 (ja) センサユニット
CN107270955A (zh) 使用燃烧率信号的燃料分表计量

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant