CN108677151B - 一种旋转靶分节绑定装置及分节绑定方法 - Google Patents

一种旋转靶分节绑定装置及分节绑定方法 Download PDF

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Abstract

本发明通过定位配合的外加热装置和内加热装置在背管的表面依次表成多节金属层浇铸空间，依次在背管的表面浇铸成型多节金属层，且相邻两节金属层连结成一体；本发明能够生产任意长度的背管成型金属层，结构简单，减少加热元件及各种检测元件的配置数量，根据金属层的材质灵活调整，不仅提高了绑定焊合率、焊合质量，而且减少了形变，能够生产不同规格长度的旋转靶，设备通用性强，使用方便。

Description

一种旋转靶分节绑定装置及分节绑定方法
技术领域
本发明涉及靶材加工领域，特别是一种提高绑定焊合率、焊合质量、减少形变的一种旋转靶分节绑定装置及分节绑定方法。
背景技术
磁控溅射广泛应用，推动了靶材产品的丰富发展，很多靶材的性质决定了不能直接使用，需要背管与靶材绑定，来满足生产设备的安装及导电、散热要求。因此，靶材与背管的绑定技术就成为了关键技术，直接影响靶材的正常使用。
旋转靶与背管之间的绑定是整个环形面的接触焊合，很容易产生气泡、疏松，使得背管效能降低甚至脱落。旋转靶长度越长，越难绑定，绑定焊合率越低。有些靶材绑定过长时还会发生变形。
旋转靶与背管之间的接触面为曲面，与平面靶不同，旋转靶的绑定一般以旋转靶和背管为模具，靶材与背管之间需要金属层作为连结层，连结层也是通过浇铸成型的，一般是将金属层材料溶化后进行浇铸，但是，由于背管的长度有2～5米长，其绑定原理与铸造管材类似，管壁越薄，长度越长，浇铸的均匀性越难控制。对于一些靶材，绑定的温度也收到限制。为了解决绑定长度过长造成的绑定不均匀、焊合率低，本发明提出了分节绑定的方案。本方案可根据靶材材质灵活调整，适用于任意长度的旋转靶，通用性好。
发明内容
有鉴于此，本发明的一个目的在于克服现有技术的不足，提供一种提高绑定焊合率、焊合质量、减少形变的一种旋转靶分节绑定装置，可根据金属层材质灵活调整，适用于任意长度的旋转靶，通用性好。
本发明解决其技术问题所采用技术方案是：1、一种旋转靶分节绑定装置，其特征在于：包括用于定位及安装背管的移动定位器、外加热装置、移动导杆和内加热装置，
背管的下部插设于移动定位器中，且背管的下部定位固定于移动定位器；
内加热装置固定在移动导杆的上部，内加热装置及移动导杆的上部活动插设于背管的内腔中，以实现通过移动导杆及内加热装置相对背管移动而改变内加热装置相对背管的位置；
背管的外缘活动套设有外加热装置，外加热装置的上端部开设有浇口，在背管和外加热装置之间形成一用于浇铸并形成金属层的浇铸空间，以实现浇铸形成的金属层固定在该背管的外表面；
所述背管的外缘设置有定位架，外加热装置固定于定位架，以实现使外加热装置相对内加热装置的位置保持不变；
在外加热装置和内加热装置每次相对背管向上移动设定距离的过程中，外加热装置和内加热装置的相对位置保持不变，以实现在背管的外缘形成一连结下一节金属层的浇铸空间，以实现使依次成型在背管的表面的相邻两节金属层连结成一体；
移动定位器设置有震动装置；移动导杆的下部连接有用于驱动移动导杆上下移动的升降机构，以实现驱动移动导杆插入背管或从背管中移出。
优选的，所述移动定位器设置有圆环形的定位器和驱动机构，驱动机构连接定位器，背管的下部插设并固定于定位器，以实现驱动背管相对外加热装置或内加热装置上下移动。
优选的，所述移动定位器设置有旋转装置，定位器安装于旋转装置的中心部，以实现在浇铸过程中驱动背管旋转。
优选的，所述外加热装置的外部安装有至少超声波发生器，超声波发生器产生的超声波传导至所述浇铸空间。
优选的，所述外加热装置的长度为所述背管的1/n，n为自然数，1≤n≤ 20；所述移动导杆为中空的钢管，内加热装置为中空的筒状体，筒状体内安装有发热元件。
优选的，所述移动导杆的上部固定连接内加热装置，移动导杆的下部伸出在所述背管的下方，在浇铸过程中移动导杆相对背管向内移动。
一种旋转靶分节绑定方法，包括以下步骤：
a、安装背管，将背管竖直安装于移动定位器，通过定位器定位背管的安装位置及背管上的第一节金属层的起始位置，以便于从背管的下部开始绑定第一节金属层，背管成型第一节金属层的区段设定有第一金属层区段；
b、安装外加热装置，将外加热装置同轴套设在背管的下部的外缘，并将外加热装置固定于定位架，在背管的外壁面与外加热装置之间形成一用于浇铸并形成第一节金属层的圆环形状的第一浇铸空间；
c、安装内加热装置，通过升降机构驱动移动导杆上升使移动导杆的上部插入到背管的内腔中，并使安装在移动导杆上部的内加热装置插入到背管的内腔中，且内加热装置在高度方向与第一金属层区段重叠，使内加热装置与外加热装置保持在相同高度位置；
d、浇铸第一节金属层，包括以下子步骤，
d1)、预加热，控制内加热装置和外加热装置同时加热；
d2)、浇铸第一节金属层，通过设置在外加热装置的第二端部的浇口向第一浇铸空间浇铸液态金属层，在浇铸过程通过安装在移动定位器的震动装置进行震动，使浇铸到第一浇铸空间的液态金属层顺利填充满第一浇铸空间，且能够使浇铸过程中液态金属层内部的气泡、轻渣等上浮；
d3)、保温冷却，控制内加热装置和外加热装置的加热温度同时降低至 100～200℃，对第一浇铸空间内的第一节金属层提供保温0.5～1小时，使第一浇铸空间内的第一节金属层在设定的时间内自然缓慢降温；
d4)、成型得到第一节金属层，在第一浇铸空间内的第一节金属层的温度降低至200～300℃之后，通过移动定位器驱动背管下移，当前浇铸成型的第一节金属层露出在外加热装置下方，成型得到第一节金属层，使外露的第一节金属层在成型第一节金属层的过程中自然冷却；
e、浇铸第二节金属层，包括以下子步骤，
e1)、预加热，控制内加热装置和外加热装置同时加热；
e2)、定位得到第二浇铸空间，在背管下移后，外加热装置和内加热装置相对上移一节外加热装置的高度，外加热装置和内加热装置的相对位置保持不变，在背管的外缘形成一连结第二节金属层的第二浇铸空间，外加热装置的下部包覆第一节金属层的上部，第二浇铸空间的下端连结第一节金属层的上部；
e3)、浇铸第二节金属层，通过设置在外加热装置的第二端部的浇口向第二浇铸空间浇铸金属层，在浇铸过程通过安装在移动定位器的震动装置进行震动，使浇铸到浇铸空间的液态金属层顺利填充满浇铸空间，且能够使浇铸过程中液态金属层内部的气泡、轻渣等上浮；
e4)、保温冷却，控制内加热装置和外加热装置的加热温度同时降低至 100～200℃，对第二浇铸空间内的第二节金属层提供保温0.5～1小时，使第二浇铸空间内的第二节金属层在设定的时间内自然缓慢降温；
e5)、成型得到第二节金属层，在第二浇铸空间内的第二节金属层的温度降低至200～300℃之后，通过移动定位器驱动背管再次下移，当前浇铸成型的第二节金属层露出在外加热装置下方，成型得到第二节金属层，第二节金属层的下部与第一节金属层的上部连结成一体，使外露的第二节金属层在成型第三节金属层的过程中自然冷却；
f、重复e步骤，在背管的表面连续浇铸若干节金属层，且相邻的两节金属层的相接处相融成一体，直至在背管表面完成所有金属层的浇铸作业。
优选的，在所述保温冷却步骤中，通过旋转装置驱动定位器旋转，使背管缓慢旋转，转速为20～30转/分钟。
优选的，在d步骤、e步骤和f步骤中，通过安装在所述外加热装置的超声发生器产生超声波，超声波作用于浇铸至浇铸空间内的金属层，以实现提升背管以及金属层的分子运动，并使背管与金属层相接处的分子在晶细化后相互渗透，并形成一渗透层以增加粘结力，同时使相邻的两节金属层的相接处相融成一体，且相接处的晶相结构趋向一致。
优选的，在d步骤中，将所述震动装置的震动频率控制为液态金属层的共震频率，将所述超声发生器产生的超声波的频率控制在10～20KHZ、功率控制在4～5w/cm2。
本发明的有益效果是：本发明能够生产任意长度的背管成型金属层，结构简单，减少加热元件及各种检测元件的配置数量，根据金属层的材质灵活调整，不仅提高了绑定焊合率、焊合质量，而且减少了形变，能够生产不同规格长度的旋转靶，设备通用性强，使用方便。
对于长度较长的旋转靶，特别是长度在10米以上的旋转靶，可以在背管 1的表面分10次或20次成型金属层，即分节绑定，每次绑定成型的金属层的长度很短，能够更好地控制金属层的成型过程和成型质量，既能够提高金属层成型质量，且能够将金属层的形变降低到最小。
附图说明
图1为本发明的一种旋转靶分节绑定装置的结构示意图；
图中：1、背管 2、浇口 3、外加热装置 4、靶材层 5、内加热装置 6、内加热装置移动导杆 7、移动定位器 8、金属层。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一面分实施例，而不是全面的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本发明所保护的范围。
实施例一
一种旋转靶靶材分节绑定装置，图1所示，包括用于定位背管1的移动定位器7、外加热装置3、移动导杆6和内加热装置5，背管1的下部插设于移动定位器7中，且背管1的下部定位固定于移动定位器7。使背管1竖直安装在移动定位器7之上。
移动导杆6的下部连接有升降机构，用于驱动移动导杆6上下移动，在将背管1固定于移动定位器7之后，升降机构驱动移动导杆6插入背管1中，在完成分节绑定之后，升降机构驱动移动导杆6从背管1中移出。
移动定位器7设置有震动装置，在浇铸过程使背管1产生震动，使浇铸到浇铸空间的液态靶材顺利填充满浇铸空间，且能够使浇铸过程中液态靶材内部的气泡、轻渣等上浮，提升靶材质量。
内加热装置5固定在移动导杆6的上部，内加热装置5及移动导杆6的上部活动插设于背管1的内腔中，以实现通过移动导杆6及内加热装置5相对背管1移动而改变内加热装置5相对背管1的位置。移动导杆6为中空的钢管，内加热装置5为中空的筒状体，筒状体内安装有发热元件。移动导杆6 的上部固定连接内加热装置5，移动导杆6的下部伸出在背管1的下方，在浇铸过程中移动导杆6相对背管1向内移动。
背管1的外缘活动套设有外加热装置3，外加热装置3的上端部开设有浇口2，在背管1和外加热装置3之间形成一用于浇铸并形成金属层8的浇铸空间，以实现浇铸形成的金属层8固定在该背管1的外表面。外加热装置3的长度为背管1的1/n，n为自然数，1≤n≤20。
移动定位器7设置有圆环形的定位器和驱动机构，驱动机构连接定位器，背管1的下部插设并固定于定位器，以实现驱动背管1相对外加热装置3或内加热装置5上下移动。背管1的外缘设置有定位架，外加热装置3固定于定位架，外加热装置3相对内加热装置5的位置保持不变。
在浇铸空间中浇铸完成一节金属层8之后，通过移动定位器7向下移动背管1，外加热装置3和内加热装置5相对上移一节外加热装置3的高度，即在外加热装置3和内加热装置5每次相对背管1向上移动设定距离的过程中，外加热装置3和内加热装置5的相对位置保持不变，以实现在背管1的外缘形成一连结下一节金属层8的浇铸空间，以实现使依次成型在背管1的表面的相邻两节金属层8连结成一体。通过浇涛工艺在金属层8外缘再浇涛形成一靶材层4，靶材层4同样通过分节浇涛的方式形成。
本发明能够生产任意长度的背管成型靶材，结构简单，减少加热元件及各种检测元件的配置数量，根据靶材的材质灵活调整，不仅提高了绑定焊合率、焊合质量，而且减少了形变，能够生产不同规格长度的旋转靶，设备通用性强，使用方便。
对于长度较长的旋转靶，特别是长度在10米以上的旋转靶，可以在背管 1的表面分10次或20次成型靶材，即分节绑定，每次绑定成型的靶材的长度很短，能够更好地控制靶材的成型过程和成型质量，既能够提高靶材成型质量，且能够将靶材的形变降低到最小。
实施例二
一种旋转靶分节绑定方法，包括以下步骤：
a、安装背管1，将背管1竖直安装于移动定位器7，通过定位器定位背管1的安装位置及背管上的第一节金属层的起始位置，以便于从背管1的下部开始绑定第一节金属层，背管1成型第一节金属层的区段设定有第一金属层区段；
b、安装外加热装置3，将外加热装置3同轴套设在背管1的下部的外缘，并将外加热装置3固定于定位架，在背管1的外壁面与外加热装置3之间形成一用于浇铸并形成第一节金属层的圆环形状的第一浇铸空间；
c、安装内加热装置5，通过升降机构驱动移动导杆6上升使移动导杆6 的上部插入到背管1的内腔中，并使安装在移动导杆6上部的内加热装置5 插入到背管1的内腔中，且内加热装置5在高度方向与第一金属层区段重叠，使内加热装置5与外加热装置3保持在相同高度位置；
d、浇铸第一节金属层，包括以下子步骤，
d1、预加热，控制内加热装置5和外加热装置3同时加热；
d2、浇铸第一节金属层，通过设置在外加热装置3的第二端部的浇口2 向第一浇铸空间浇铸液态金属层，在浇铸过程通过安装在移动定位器7的震动装置进行震动，并将震动装置的震动频率控制为液态金属层的共震频率，使浇铸到第一浇铸空间的液态金属层顺利填充满第一浇铸空间，且能够使浇铸过程中液态金属层内部的气泡、轻渣等上浮；通过安装在所述外加热装置3 的超声发生器产生超声波，超声波作用于浇铸至浇铸空间内的金属层，将所述超声发生器产生的超声波的频率控制在10～20KHZ、功率控制在4～5w/cm2。以实现提升背管1以及金属层的分子运动，并使背管1与金属层相接处的分子在晶细化后相互渗透，并形成一渗透层以增加粘结力，同时使相邻的两节金属层的相接处相融成一体，且相接处的晶相结构趋向一致。
d3、保温冷却，控制内加热装置5和外加热装置3的加热温度同时降低至100～200℃，对第一浇铸空间内的第一节金属层提供保温0.5～1小时，使第一浇铸空间内的第一节金属层在设定的时间内自然缓慢降温；通过旋转装置驱动定位器旋转，使背管1缓慢旋转，转速为20～30转/分钟，使金属层内部分子排列呈具方向性，在提长金属层质量的同时消除内应力。
d4、成型得到第一节金属层，在第一浇铸空间内的第一节金属层的温度降低至200～300℃之后，通过移动定位器7驱动背管1下移，当前浇铸成型的第一节金属层露出在外加热装置3下方，成型得到第一节金属层，使外露的第一节金属层在成型第一节金属层的过程中自然冷却；
e、浇铸第二节金属层，包括以下子步骤，
e1、预加热，控制内加热装置5和外加热装置3同时加热；
e2、定位得到第二浇铸空间，在背管1下移后，外加热装置3和内加热装置5相对上移一节外加热装置3的高度，外加热装置3和内加热装置5的相对位置保持不变，在背管1的外缘形成一连结第二节金属层的第二浇铸空间，外加热装置3的下部包覆第一节金属层的上部，第二浇铸空间的下端连结第一节金属层的上部；
e3、浇铸第二节金属层，通过设置在外加热装置3的第二端部的浇口2 向第二浇铸空间浇铸金属层8，在浇铸过程通过安装在移动定位器7的震动装置进行震动，使浇铸到浇铸空间的液态金属层8顺利填充满浇铸空间，且能够使浇铸过程中液态金属层8内部的气泡、轻渣等上浮；通过安装在所述外加热装置3的超声发生器产生超声波，超声波作用于浇铸至浇铸空间内的金属层，将所述超声发生器产生的超声波的频率控制在10～20KHZ、功率控制在4～5w/cm2。以实现提升背管1以及金属层的分子运动，并使背管1与金属层相接处的分子在晶细化后相互渗透，并形成一渗透层以增加粘结力，同时使相邻的两节金属层的相接处相融成一体，且相接处的晶相结构趋向一致。
e4、保温冷却，控制内加热装置5和外加热装置3的加热温度同时降低至100～200℃，对第二浇铸空间内的第二节金属层提供保温0.5～1小时，使第二浇铸空间内的第二节金属层在设定的时间内自然缓慢降温；
e5、成型得到第二节金属层，在第二浇铸空间内的第二节金属层的温度降低至200～300℃之后，通过移动定位器7驱动背管1再次下移，当前浇铸成型的第二节金属层露出在外加热装置3下方，成型得到第二节金属层，第二节金属层的下部与第一节金属层的上部连结成一体，使外露的第二节金属层在成型第三节金属层的过程中自然冷却；
f、重复e步骤，在背管1的表面连续浇铸若干节金属层，且相邻的两节金属层的相接处相融成一体，直至在背管表面完成所有金属层的浇铸作业。
根据上述步骤，通过本发明的分节浇涛工艺在金属层8外缘再分节浇涛形成一靶材层4，靶材层4同样通过分节浇涛的方式形成，能够在背管1的表面形成任意长度的靶材层4。
本发明能够生产任意长度的背管成型金属层，结构简单，减少加热元件及各种检测元件的配置数量，根据金属层的材质灵活调整，不仅提高了绑定焊合率、焊合质量，而且减少了形变，能够生产不同规格长度的旋转靶，设备通用性强，使用方便。
对于长度较长的旋转靶，特别是长度在10米以上的旋转靶，可以在背管 1的表面分10次或20次成型金属层，即分节绑定，每次绑定成型的金属层的长度很短，能够更好地控制金属层的成型过程和成型质量，既能够提高金属层成型质量，且能够将金属层的形变降低到最小。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种旋转靶分节绑定装置，其特征在于：包括用于定位及安装背管(1)的移动定位器(7)、外加热装置(3)、移动导杆(6)和内加热装置(5)，
背管(1)的下部插设于移动定位器(7)中，且背管(1)的下部定位固定于移动定位器(7)；
内加热装置(5)固定在移动导杆(6)的上部，内加热装置(5)及移动导杆(6)的上部活动插设于背管(1)的内腔中，以实现通过移动导杆(6)及内加热装置(5)相对背管(1)移动而改变内加热装置(5)相对背管(1)的位置；
背管(1)的外缘活动套设有外加热装置(3)，外加热装置(3)的上端部开设有浇口(2)，在背管(1)和外加热装置(3)之间形成一用于浇铸并形成金属层(8)的浇铸空间，以实现浇铸形成的金属层(8)固定在该背管(1)的外表面；
所述背管(1)的外缘设置有定位架，外加热装置(3)固定于定位架，以实现使外加热装置(3)相对内加热装置(5)的位置保持不变；
在外加热装置(3)和内加热装置(5)每次相对背管(1)向上移动设定距离的过程中，外加热装置(3)和内加热装置(5)的相对位置保持不变，以实现在背管(1)的外缘形成一连结下一节金属层(8)的浇铸空间，以实现使依次成型在背管(1)的表面的相邻两节金属层(8)连结成一体；
移动定位器(7)设置有震动装置；移动导杆(6)的下部连接有用于驱动移动导杆(6)上下移动的升降机构，以实现驱动移动导杆(6)插入背管(1)或从背管(1)中移出。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶分节绑定装置，其特征在于：所述移动定位器(7)设置有圆环形的定位器和驱动机构，驱动机构连接定位器，背管(1)的下部插设并固定于定位器，以实现驱动背管(1)相对外加热装置(3)或内加热装置(5)上下移动。
3.根据权利要求2所述的一种旋转靶分节绑定装置，其特征在于：所述移动定位器(7)设置有旋转装置，定位器安装于旋转装置的中心部，以实现在浇铸过程中驱动背管(1)旋转。
4.根据权利要求1所述的一种旋转靶分节绑定装置，其特征在于：所述外加热装置(3)的外部安装有至少超声波发生器，超声波发生器产生的超声波传导至所述浇铸空间。
5.根据权利要求1所述的一种旋转靶分节绑定装置，其特征在于：所述外加热装置(3)的长度为所述背管(1)的1/n，n为自然数，1≤n≤20；所述移动导杆(6)为中空的钢管，内加热装置(5)为中空的筒状体，筒状体内安装有发热元件。
6.根据权利要求1至5之一所述的一种旋转靶分节绑定装置，其特征在于：所述移动导杆(6)的上部固定连接内加热装置(5)，移动导杆(6)的下部伸出在所述背管(1)的下方，在浇铸过程中移动导杆(6)相对背管(1)向内移动。
7.一种旋转靶分节绑定方法，其特征在于，包括以下步骤：
a、安装背管(1)，将背管(1)竖直安装于移动定位器(7)，通过定位器定位背管(1)的安装位置及背管上的第一节金属层的起始位置，以便于从背管(1)的下部开始绑定第一节金属层，背管(1)成型第一节金属层的区段设定有第一金属层区段；
b、安装外加热装置(3)，将外加热装置(3)同轴套设在背管(1)的下部的外缘，并将外加热装置(3)固定于定位架，在背管(1)的外壁面与外加热装置(3)之间形成一用于浇铸并形成第一节金属层的圆环形状的第一浇铸空间；
c、安装内加热装置(5)，通过升降机构驱动移动导杆(6)上升使移动导杆(6)的上部插入到背管(1)的内腔中，并使安装在移动导杆(6)上部的内加热装置(5)插入到背管(1)的内腔中，且内加热装置(5)在高度方向与第一金属层区段重叠，使内加热装置(5)与外加热装置(3)保持在相同高度位置；
d、浇铸第一节金属层，包括以下子步骤，
d1)、预加热，控制内加热装置(5)和外加热装置(3)同时加热；
d2)、浇铸第一节金属层，通过设置在外加热装置(3)的第二端部的浇口(2)向第一浇铸空间浇铸液态金属层，在浇铸过程通过安装在移动定位器(7)的震动装置进行震动，使浇铸到第一浇铸空间的液态金属层顺利填充满第一浇铸空间，且能够使浇铸过程中液态金属层内部的气泡、轻渣等上浮；
d3)、保温冷却，控制内加热装置(5)和外加热装置(3)的加热温度同时降低至100～200℃，对第一浇铸空间内的第一节金属层提供保温0.5～1小时，使第一浇铸空间内的第一节金属层在设定的时间内自然缓慢降温；
d4)、成型得到第一节金属层，在第一浇铸空间内的第一节金属层的温度降低至200～300℃之后，通过移动定位器(7)驱动背管(1)下移，当前浇铸成型的第一节金属层露出在外加热装置(3)下方，成型得到第一节金属层，使外露的第一节金属层在成型第一节金属层的过程中自然冷却；
e、浇铸第二节金属层，包括以下子步骤，
e1)、预加热，控制内加热装置(5)和外加热装置(3)同时加热；
e2)、定位得到第二浇铸空间，在背管(1)下移后，外加热装置(3)和内加热装置(5)相对上移一节外加热装置(3)的高度，外加热装置(3)和内加热装置(5)的相对位置保持不变，在背管(1)的外缘形成一连结第二节金属层的第二浇铸空间，外加热装置(3)的下部包覆第一节金属层的上部，第二浇铸空间的下端连结第一节金属层的上部；
e3)、浇铸第二节金属层，通过设置在外加热装置(3)的第二端部的浇口(2)向第二浇铸空间浇铸金属层(8)，在浇铸过程通过安装在移动定位器(7)的震动装置进行震动，使浇铸到浇铸空间的液态金属层(8)顺利填充满浇铸空间，且能够使浇铸过程中液态金属层(8)内部的气泡、轻渣等上浮；
e4)、保温冷却，控制内加热装置(5)和外加热装置(3)的加热温度同时降低至100～200℃，对第二浇铸空间内的第二节金属层提供保温0.5～1小时，使第二浇铸空间内的第二节金属层在设定的时间内自然缓慢降温；
e5)、成型得到第二节金属层，在第二浇铸空间内的第二节金属层的温度降低至200～300℃之后，通过移动定位器(7)驱动背管(1)再次下移，当前浇铸成型的第二节金属层露出在外加热装置(3)下方，成型得到第二节金属层，第二节金属层的下部与第一节金属层的上部连结成一体，使外露的第二节金属层在成型第三节金属层的过程中自然冷却；
f、重复e步骤，在背管(1)的表面连续浇铸若干节金属层，且相邻的两节金属层的相接处相融成一体，直至在背管表面完成所有金属层的浇铸作业。
8.根据权利要求7所述的一种旋转靶分节绑定方法，其特征在于：在所述保温冷却步骤中，通过旋转装置驱动定位器旋转，使背管(1)缓慢旋转，转速为20～30转/分钟。
9.根据权利要求7所述的一种旋转靶分节绑定方法，其特征在于：在d步骤、e步骤和f步骤中，通过安装在所述外加热装置(3)的超声发生器产生超声波，超声波作用于浇铸至浇铸空间内的金属层，以实现提升背管(1)以及金属层的分子运动，并使背管(1)与金属层相接处的分子在晶细化后相互渗透，并形成一渗透层以增加粘结力，同时使相邻的两节金属层的相接处相融成一体，且相接处的晶相结构趋向一致。
10.根据权利要求9所述的一种旋转靶分节绑定方法，其特征在于：在d步骤中，将所述震动装置的震动频率控制为液态金属层的共震频率，将所述超声发生器产生的超声波的频率控制在10～20KHZ、功率控制在4～5w/cm2。
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