CN108656744A - 液体喷出装置以及液体喷出方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种能够对在液体喷出装置中无用的液体从喷嘴漏出的情况进行抑制的液体喷出装置以及液体喷出方法。液体喷出装置具备:液室,其与用于喷出液体的喷嘴连通;容积变更部,其用于对液室的容积进行变更;流入通道,其与液室连接,并使液体流入液室;流出通道,其与液室连接,并使液体从液室流出;液体供给部,其向流入通道供给液体;流道阻力变更部,其用于对流出通道的流道阻力进行变更;以及控制部,其通过对容积变更部进行控制而缩小液室的容积,从而使液体从喷嘴被喷出。控制部在为了使液体从喷嘴被喷出而向液室填充液体时,对流道阻力变更部进行控制而增大流出通道的流道阻力,并且对容积变更部进行控制而增大液室的容积。
Description
技术领域
本发明涉及一种液体喷出装置以及液体喷出方法。
背景技术
一直以来,例如在专利文献1所记载的循环型喷墨装置中,为了对用于将油墨室内的油墨喷出的致动器的驱动力向与油墨室连通的油墨出口流道泄漏的情况进行抑制,而在油墨喷出时提高油墨出口流道的流道阻力。
但是,在专利文献1所记载的技术中,在提高油墨出口流道的流道阻力时,有可能使油墨随着油墨出口流道的容积缩小而从油墨出口流道逆流到油墨室内,从而使油墨从与油墨室连通的喷嘴漏出。因此,谋求一种能够对无用的油墨从喷嘴漏出的情况进行抑制的技术。这种问题并不局限于喷出油墨的循环型喷墨装置,而是能够喷出液体的液体喷出装置普遍共有的问题。
专利文献1:日本特开2011-213094号公报
发明内容
本发明是为了解决上述问题的至少一部分而完成的发明,并且能够作为以下的方式来实现。
(1)根据本发明的一个方式,提供一种液体喷出装置。该液体喷出装置,具备:液室,其与用于喷出液体的喷嘴连通;容积变更部,其用于对所述液室的容积进行变更;流入通道,其与所述液室连接,并使所述液体流入所述液室;流出通道,其与所述液室连接,并使所述液体从所述液室流出;液体供给部,其向所述流入通道供给所述液体;流道阻力变更部,其用于对所述流出通道的流道阻力进行变更;以及控制部,其通过对所述容积变更部进行控制而缩小所述液室的容积,从而使所述液体从所述喷嘴被喷出。并且,所述控制部在为了使所述液体从所述喷嘴被喷出而向所述液室填充所述液体时,实施如下的第一控制,即,对所述流道阻力变更部进行控制而增大所述流出通道的流道阻力,并且对所述容积变更部进行控制而增大所述液室的容积。
根据这种方式的液体喷出装置,在提高了流出通道的流道阻力时,即使流出通道中的液体逆流回了液室中,由于增大了液室的容积,因此也能够对逆流回来的液体从喷嘴漏出的情况进行抑制。因此,能够对无用的液体从喷嘴漏出的情况进行抑制。
(2)在上述方式的液体喷出装置中,也可以采用如下方式,即,所述控制部在使所述液体从所述喷嘴被喷出后,实施如下的第二控制,即,对所述流道阻力变更部进行控制而保持使所述流出通道的流道阻力增大了的状态,并且对所述容积变更部进行控制而增大所述液室的容积。根据这种方式的液体喷出装置,由于能够适当实施液体的切尾,因此能够对液体被过度喷出的情况进行抑制。
(3)在上述方式的液体喷出装置中,也可以采用如下的方式,即,所述控制部在实施了所述第二控制后,实施如下的第三控制,即,对所述流道阻力变更部进行控制而减小所述流出通道的流道阻力,并且对所述容积变更部进行控制而缩小所述液室的容积。根据这种方式的液体喷出装置,能够通过在液体的喷出后减小流出通道的流道阻力,从而对液室内的压力过度下降的情况进行抑制。因此,能够对在液体喷出后从喷嘴过度地抽吸液体的情况进行抑制,进而能够对无用的空气被吸入到液室内的情况进行抑制。
(4)在上述方式的液体喷出装置中,也可以采用如下方式,即,所述容积变更部包括第一容积变更部和第二容积变更部,所述控制部利用所述第一容积变更部而实施使所述液体从所述喷嘴被喷出的控制,并利用所述第二容积变更部而实施对所述液室的容积进行变更的控制。根据这种方式的液体喷出装置,由于能够通过第二容积变更部而对液室的容积进行变更,因此能够实现第一容积变更部的小型化和喷嘴的高密度化。
(5)上述方式的液体喷出装置也可以采用如下的方式,即,还具备液体贮存部,所述液体贮存部与所述流出通道连接,并对从所述流出通道排出的所述液体进行贮存,所述液体供给部为与所述液体贮存部连接的负压产生源。根据这种方式的液体喷出装置,能够通过由负压产生源所产生的负压而向液室供给液体。
除了上述的作为液体喷出装置的方式以外,本发明还能够通过各种方式来实现。例如,能够通过由液体喷出装置执行的液体喷出方法、用于对液体喷出装置进行控制的计算机程序、记录了该计算机程序的非临时性的有形的记录介质等的方式来实现。
附图说明
图1为表示第一实施方式中的液体喷出装置的概略结构的说明图。
图2为表示喷头部的概略结构的说明图。
图3为表示液体喷出方法的处理内容的时序图。
图4为表示喷头部的动作的图。
图5为表示比较例中的喷头部的动作的图。
图6为表示第二实施方式中的液体喷出装置的概略结构的说明图。
图7为表示液体喷出方法的处理内容的时序图。
图8为表示第三实施方式中的喷头部的概略结构的说明图。
图9为表示液体喷出方法的处理内容的时序图。
具体实施方式
A.第一实施方式
图1为表示本发明的第一实施方式中的液体喷出装置100的概略结构的说明图。液体喷出装置100具备:罐10、加压泵20、流入通道30、喷头部40、流出通道50、液体贮存部60、负压产生源70以及控制部80。
液体被收纳在罐10中。作为液体,例如收纳有具有预定的粘度的油墨。罐10内的液体通过加压泵20而经过流入通道30被供给到喷头部40中。被供给到喷头部40中的液体被喷头部40喷出。喷头部40的动作被控制部80控制。
未被喷头部40喷出的液体,经过流出通道50而被排出到液体贮存部60中。在液体贮存部60上连接有能够由各种泵构成的负压产生源70。负压产生源70通过使液体贮存部60内成为负压,从而经过流出通道50而从喷头部40对液体进行抽吸。加压泵20以及负压产生源70作为使流入通道30与流出通道50之间产生差压从而将液体供给到流入通道30内的液体供给部而发挥功能。另外,也可以省略加压泵20以及负压产生源70中的任意一方,而由加压泵20或者负压产生源70中的任意一个单独构成液体供给部。如上文所述,在本实施方式中,由于未从喷头部40喷出的液体会从喷头部40被排出到流出通道50中,因此能够对液体内的沉降成分堆积在喷头部40内的情况进行抑制。
在本实施方式中,液体贮存部60和罐10通过循环通道90而连接。被贮存在液体贮存部60中的液体经过循环通道90而返回到罐10内,并再次通过加压泵20而被供给到喷头部40中。也可以在循环通道90中具备用于从液体贮存部60中抽吸液体的泵。另外,也可以省略循环通道90而将液体喷出装置100设置成为不使液体循环的结构。
图2为表示喷头部40的概略结构的说明图。图2的下方为朝向重力方向下方的方向。喷头部40具备喷嘴41、液室42、容积变更部43以及流道阻力变更部44。液室42为被供给有液体的室。液室42与用于向外部喷出液体的喷嘴41相通。在液室42连接有用于使液体流入液室42的流入通道30和用于使液体从液室42流出的流出通道50。液室42以及喷嘴41例如通过在金属材料内形成空间而构成。
液室42的顶面45由振动板或弹性橡胶等能够弹性变形的部件构成。在该顶面45的上部设置有用于对液室42的容积进行变更的容积变更部43。容积变更部43能够通过使顶面45在上下方向上进行移动而对液室42的容积进行变更。在本实施方式中,作为容积变更部43而使用能够在上下方向上伸展的压电致动器。
在本实施方式中,流出通道50的顶面51的一部分由振动板或弹性橡胶等能够弹性变形的部件构成。在该顶面51的上部设置有用于对流出通道50的流道阻力进行变更的流道阻力变更部44。流道阻力变更部44能够通过使顶面51在上下方向上进行移动而对流出通道50的流道截面面积进行变更。在本实施方式中,作为流道阻力变更部44而使用能够在上下方向上伸展的压电致动器。
容积变更部43以及流道阻力变更部44与控制部80(图1)连接。控制部80例如通过对容积变更部43进行控制以缩小液室42的容积从而使液体从喷嘴41中被喷出。另外,例如在为了使液体从喷嘴41被喷出而向液室42填充液体时,控制部80对流道阻力变更部44进行控制以增大流出通道50的流道阻力,并且对容积变更部43进行控制以增大液室42的容积。控制部80作为具备CPU和存储器的计算机而被构成,并且通过执行被储存在存储器中的控制程序来实现这些处理。另外,控制程序也可以被记录在非临时性的有形的各种记录介质上。
图3为表示通过控制部80而被执行的液体喷出方法的处理内容的时序图。图3的横轴表示经过时间,纵轴表示液室42的容积和流出通道50的开度。流出通道50的开度较高是指,流出通道50的流道阻力较低,流出通道50的开度较低是指,流出通道50的流道阻力较高。在以下说明中,控制部80通过对容积变更部43进行控制而对液室42的容积进行变更,并通过对流道阻力变更部44进行控制而对流出通道50的流道阻力进行变更。
首先,在图3所示的时刻t0到时刻t1之间,控制部80将液室42的容积设置为最小容积与最大容积之间的容积即预定的中间容积,并且通过将流出通道50的流道阻力设为最小而实施待机。在该待机状态下,由于流出通道50的流道阻力被设定为较小,因此从流入通道30流入到液室42内的液体不从喷嘴41被喷出,而是就此向流出通道50流出。另外,通过加压泵20而产生的加压力、通过负压产生源70而产生的负压力、流出通道50的流道阻力的最小值以及流入通道30的流道阻力以如下的方式而被预先设定,即,使液室42内的压力在该待机状态下成为比被形成在喷嘴41的出口处的弯液面的耐压小的值。弯液面的耐压Pm能够通过以下的公式(1)来表示。
Pm=2γcosθ/r…(1)
其中,γ为液体表面张力,θ为液体相对于喷嘴41的接触角,r为喷嘴41的半径。
在本实施方式中,最小容积是指容积变更部43所能够调节的最小的容积,最大容积是指容积变更部43所能够调节的最大的容积。此外,流道阻力为最大是指,流道阻力变更部44所能够调节的流出通道50的最大的流道阻力,流道阻力为最小是指,流道阻力变更部44所能够调节的流出通道50的最小的流道阻力。在本实施方式中,在最大的流道阻力下,成为流出通道50被封堵的状态。
待机后,控制部80从时刻t1到时刻t2实施如下的第一控制,即,增大流出通道50的流道阻力并且增大液室42的容积。更具体而言,控制部80使流出通道50的流道阻力从最小增大到最大,并将液室42的容积从中间容积增大到最大的容积。通过该第一控制,从而使用于实施喷出的液体被填充到液室42以及喷嘴41中。
在通过第一控制而使液体被填充到液室42以及喷嘴41内之后,控制部80在从时刻t2至时刻t3的期间内保持流出通道50的流道阻力为最大的状态,并使液室42的容积骤减且成为最小。如此,从与液室42相通的喷嘴41喷出液体。另外,为了能够通过液室42的容积的骤减来确保喷出液体所需要的压力(超过弯液面的耐压的压力),流入通道30的流道阻力以成为适当的阻力值的方式而被预先设定。
在从喷嘴41喷出了液体之后,控制部80从时刻t3至时刻t4实施如下的第二控制,即,保持使流出通道50的流道阻力增大了的状态,并增大液室42的容积。更具体而言,控制部80保持流出通道50的流道阻力为最大不变,并使液室42的容积从最小急剧增大至最大。通过该第二控制,被喷出的液体的尾部通过从喷嘴41吸入而被切断,从而使液体呈液滴状飞翔。
在实施了第二控制后,控制部80从时刻t4至时刻t5实施如下的第三控制,即,减小流出通道50的流道阻力并且减小液室42的容积。更具体而言,控制部80使流出通道50的流道阻力从最大降低至最小,并且使液室42的容积从最大减小至中间容积。通过该第三控制而使液室42的容积以及流出通道50的流道阻力返回至待机状态。控制部80通过重复执行以上所说明的处理,从而能够从喷嘴41连续地喷出液滴状的液体。
图4为表示本实施方式中的喷头部40的动作的图。图5为表示比较例中的喷头部40的动作的图。根据以上所说明的本实施方式的液体喷出装置100,由于通过上述的第一控制而在向液室42填充液体时对流道阻力变更部44进行控制从而增大流出通道50的流道阻力,因此能够在对液体从流出通道50被排出的情况进行抑制的同时有效地向液室42填充液体。
并且,在本实施方式中,如图4所示,在对流道阻力变更部44进行控制以增大流出通道50的流道阻力的同时,对容积变更部43进行控制以增大液室42的容积。因此,在为了增大流出通道50的流道阻力而通过流道阻力变更部44(致动器)按下了流出通道50的顶面51时,即使处于顶面51的正下方的液体逆流回了液室42内,也能够通过增大了容积的液室42而对该逆流的液体进行捕捉。因此,能够抑制如下情况,即,如图5的比较例所示,从流出通道50逆流回来的液体从喷嘴41漏出的情况。其结果为,能够对无用的液体从喷嘴41漏出的情况进行抑制。另外,在上述的第一控制中,优选为,使液室42的容积成为最大直至流出通道50的流道阻力成为最大为止。通过这样设置,能够通过液室42而对从流出通道50逆流回来的液体进行更适当地捕捉。
此外,在本实施方式中,由于在通过第一控制而填充了液体之后保持使流出通道50的流道阻力增大了的状态而从喷嘴41喷出液体,因此能够对用于喷出液体的压力向流出通道50泄漏的情况进行抑制。因此,能够有效地喷出液体。
此外,在本实施方式中,由于在使液体从喷嘴41被喷出后,通过上述的第二控制对流道阻力变更部44进行控制从而保持使流出通道50的流道阻力升高了的状态,并对容积变更部43进行控制从而使液室42的容积急剧增大,因此能够对用于从喷嘴41对被喷出的液体的尾部进行抽吸的抽吸力向流出通道50侧泄漏的情况进行抑制。其结果为,能够适当地切断液体的尾部,进而能够对从喷嘴41过度喷出液体的情况进行抑制。
此外,在本实施方式中,由于在使液体从喷嘴41被喷出后,通过上述的第三控制而对流道阻力变更部44进行控制从而使流出通道50的流道阻力下降,并且对容积变更部43进行控制从而减小液室42的容积,因此能够对液室42内的压力随着液室42的液体流出到流出通道50中而过度下降的情况进行抑制。因此,能够对在液体喷出后从喷嘴41中过度抽吸液体的情况进行抑制,由此,能够对无用的空气被吸入到液室42内的情况进行抑制。其结果为,例如能够对在喷出液体时由于残留在液室42内的空气(气泡)的存在而导致液室42内的压力不足够高从而无法进行喷出的情况进行抑制。另外,在上述的第三控制中,优选为,在开始了使流出通道50的流道阻力下降的控制之后,开始使液室42的容积下降的控制。通过进行这种控制,从而能够对液体随着使液室42的容积下降而向喷嘴41侧流出的情况进行抑制。
B.第二实施方式
图6为表示本发明的第二实施方式中的液体喷出装置100A的概略结构的说明图。本实施方式中的液体喷出装置100A在喷头部40A中设置有多个液室42、喷嘴41以及容积变更部43。在下文中,将一组的液室42、喷嘴41以及容积变更部43称为“喷头”。也就是说,在本实施方式中,喷头部40A中具备多个喷头。
在各个喷头的液室42分别连接有从一个流入通道30分支出来的分支流入通道301。此外,与各个喷头的液室42连接的分支流出通道501合流为一个流出通道50,并针对合流的流出通道50而设置有一个流道阻力变更部44。也就是说,在本实施方式中,成为针对多个喷头而共同使用一个流道阻力变更部44的结构。控制部80与流道阻力变更部44以及各个喷头的容积变更部43连接,并对这些部件的动作进行控制。另外,本实施方式的液体喷出装置100A不具备加压泵20(参见图1)以及循环通道90(参见图1)。因此,从罐10向各个喷头的液室42进行的液体的供给通过负压产生源70所产生的负压而实施。
图7为表示通过控制部80执行的液体喷出方法的处理内容的时序图。在图7中,上部表示关于喷出液体的喷头(喷出头)的时序图,下部表示未喷出液体的喷头(非喷出头)的时序图。在本实施方式中,虽然以同步的时刻而从各个喷头喷出液体,但仅从由控制部80指定的喷头而喷出液体。
在本实施方式中,由于流道阻力变更部44被各个喷头共用,因此如图7所示,关于由流道阻力变更部44所实现的流出通道50的流道阻力,在喷出头和非喷出头中示出了完全相同的变化。与此相对,由容积变更部43所实现的液室42的容积变化,在喷出头和非喷出头中有所不同。即,关于喷出头,如图的上部所示,为了使液体从液室42被喷出,从时刻t2至时刻t3,液室42的容积从最大变化为最小,从时刻t3至时刻t4,液室42的容积从最小变化为最大。这与第一实施方式(图3)中所示的控制内容相同。与此相对,关于非喷出头,如图的下部所示,从时刻t2至时刻t4,液室42的容积维持最大的状态。这样,只要液室42的容积不变地维持最大,则液体不会从非喷出头被喷出。
但是,在本实施方式中,即使对于非喷出头,也会在从时刻t1到时刻t2为止的期间内的第一控制中,使流出通道50的流道阻力升高并且使液室42的容积增大。通过这样设置,能够在增大了流出通道50的流道阻力时,使从流出通道50逆流回来的液体在各个喷头中被增大了容积的液室42捕捉。因此,通过本实施方式,也能够与第一实施方式同样地对从流出通道50逆流回来的液体从喷嘴41漏出的情况进行抑制。此外,在本实施方式中,由于针对多个喷头而共用一个流道阻力变更部44,因此能够削减致动器的数量。因此,能够实现具有多个喷头的喷头部40A的小型化及喷嘴41的高密度化。
C.第三实施方式
图8为表示本发明的第三实施方式中的喷头部40B的概略结构的说明图。在第三实施方式中,液体喷出装置100的整体结构与第一实施方式相同,喷头部40B的结构与第一实施方式不同。
本实施方式中的喷头部40B与第一实施方式同样地具备喷嘴41、液室42和流道阻力变更部44。在本实施方式中,喷头部40B除了这些部件之外,作为容积变更部而具备第一容积变更部431和第二容积变更部432。第一容积变更部431与第一实施方式中的容积变更部43为相同的结构。第二容积变更部432被设置在第一容积变更部431与流道阻力变更部44之间,并且由能够使液室42的可弹性变形的一个侧面452进行位移的压电致动器而构成。控制部80与第一容积变更部431、第二容积变更部432及流道阻力变更部44连接,并对这些部件的动作进行控制。在第一实施方式中,容积变更部43兼具对液室42的容积进行变更的功能和使液体从喷嘴41喷出的功能,与此相对,在本实施方式中,第一容积变更部431主要发挥使液体从喷嘴41喷出的功能,第二容积变更部432主要发挥对液室42的容积进行变更的功能。也就是说,在本实施方式中,控制部80利用第一容积变更部431而实施使液体从喷嘴41喷出的控制,并利用第二容积变更部432而实施对液室42的容积进行变更的控制。
图9为表示由控制部80执行的液体喷出方法的处理内容的时序图。在图9中,与流出通道50的开度的变化一起而图示了第一容积变更部431的伸缩状态以及通过第二容积变更部432而被变更的液室42的容积的变化。
如图9所示,在本实施方式中的控制部80通过与第一实施方式同样的控制而使流出通道50的开度即流出通道50的流道阻力进行变化。另一方面,从时刻t0至时刻t2,即,在待机状态以及针对液室42的液体的填充时,控制部80使第一容积变更部431的伸缩状态固定,在实施液体的喷出的时刻t2处,控制部80使第一容积变更部431伸展,在液体的喷出后,并在实施液体的切尾的时刻t3处,控制部80使第二容积变更部432收缩。并且,在液体切尾后,并在时刻t4以后,控制部80再次使第一容积变更部431成为收缩状态。此外,在从时刻t0到时刻t1的待机状态下,控制部80通过第二容积变更部432而将液室42的容积设为最小,并在向液室实施液体的填充的从时刻t1至时刻t2为止的期间内,控制部80使液室的容积增大并成为最大。并且,在结束了液体喷出以及液体切尾的时刻t4以后,控制部80使液室42的容积下降并成为最小。
另外,在本实施方式中,使液室42的容积成为最小是指,在不考虑随着第一容积变更部431的伸展而产生的容积变化的情况下,在第二容积变更部432所能够调节的范围内使液室的容积成为最小。此外,同样,使液室42的容积成为最大是指,在不考虑随着第一容积变更部431的伸展而导致的容积变化的情况下,在第二容积变更部432所能够调节的范围使液室42的容积成为最大。
通过以上所说明的第三实施方式,控制部80也能够通过分别单独对第一容积变更部431和第二容积变更部432进行控制而实施与第一实施方式的容积变更部43同样的动作。因此,通过第三实施方式也能够实现与第一实施方式同样的效果。此外,通过本实施方式,由于能够通过第二容积变更部432而对液室42的容积进行变更,因此第一容积变更部431只要为能够实现液体从喷嘴41的喷出的结构即可。因此,能够实现构成第一容积变更部431的致动器的小型化及喷嘴41的高密度化。此外,在本实施方式中,由于第二容积变更部432是独立的,因此能够通过增大第二容积变更部432的可动范围,而容易地实施能够适应于流出通道50的大幅度的容积变化(即,液体的逆流量的增加)的设计。因此,能够增大流出通道50的流道阻力的可变范围。
另外,第三实施方式中的喷头部40B并不局限于第一实施方式的液体喷出装置100,也能够应用于第二实施方式的液体喷出装置100A中。在将第三实施方式中的喷头部40B应用到第二实施方式的液体喷出装置100A中的情况下,可以仅使流道阻力变更部44被多个喷头共用,也可以使流道阻力变更部44及第二容积变更部432被多个喷头共用。如果使流道阻力变更部44和第二容积变更部432被多个喷头共用,则能够削减致动器的数量,因此能够进一步实现喷头部的小型化及喷嘴41的高密度化。
D.改变例
改变例1
在上述实施方式中,控制部80通过执行保持使流出通道50的流道阻力增大了的状态并增大液室42的容积的第二控制,从而从喷嘴41抽吸液体的尾部并实施切尾。与此相对,例如,也可以在喷嘴41的出口附近设置用于切断液体尾部的剪切器,并通过以与液体的喷出时刻同步的方式而对该剪切器进行驱动从而将液体的尾部切断。
改变例2
在上述实施方式中,控制部80通过在第二控制后执行减小流出通道50的流道阻力并且缩小液室42的容积的第三控制,从而能够对在液体喷出后从喷嘴41过度抽吸液体的情况进行抑制。与此相对,控制部80也可以在第三控制中使液室42的容积不变,例如,通过利用加压泵20而对液室42内的液体进行加压,从而对从喷嘴41过度抽吸液体的情况进行抑制。
改变例3
在上述实施方式中,作为容积变更部43(第一容积变更部431、第二容积变更部432)以及流道阻力变更部44而采用了压电致动器。但是,这些部件并不局限于压电致动器,也能够由气缸或螺线管、磁致伸缩材料等其他的致动器构成。
改变例4
本发明并不局限于喷出油墨的液体喷出装置,也能够应用到喷出除了油墨以外的其他的液体的任意的液体喷出装置中。例如,本发明能够应用到以下这样的各种液体喷出装置中。
(1)传真装置等图像记录装置。
(2)在液晶显示器等图像显示装置用的滤色器的制造中使用的颜色材料喷出装置。
(3)在有机EL(Electro Luminescence,电致发光)显示器、面发光显示器(FieldEmission Display,FED)等的电极形成中使用的电极材料喷出装置。
(4)对包含在生物芯片制造中使用的生物体有机物的液体进行喷出的液体喷出装置。
(5)作为精密移液器的试料喷出装置。
(6)润滑油的喷出装置。
(7)树脂液的喷出装置。
(8)在钟表、照相机等精密机械中高精度地喷出润滑油的液体喷出装置。
(9)为了形成光通信元件等中使用的微小半球透镜(光学透镜)等而将紫外线固化树脂液等透明树脂液喷出到基板上的液体喷出装置。
(10)为了对基板等进行蚀刻而喷出酸性或者碱性的蚀刻液的液体喷出装置。
(11)其他的任意的具备喷出微小量的液滴的液体喷出头的液体喷出装置。
另外,“液滴”是指从液体喷出装置中喷出的液体的状态,包括粒状、泪滴状、将尾部拉成丝状的液滴。此外,在此所称的“液体”只要是液体喷出装置所能够消耗的材料即可。例如,“液体”只要是物质为液相时的状态的材料即可,粘性较高或较低的液体状态的材料以及胶体溶液、凝胶水、其他的无机溶剂、有机溶剂、溶液、液状树脂、液状金属(金属熔液)这样的液体状态的材料也包含在“液体”中。此外,不仅是作为物质的一种状态的液体,由颜料或金属颗粒等固态物质构成的功能材料的颗粒溶解、分散或混合于溶媒中而成的物质等也包括在“液体”中。作为液体的代表性的示例,列举了油墨或液晶等。在此,油墨设为包含一般性的水性油墨、油性油墨以及胶状油墨、热熔性油墨等各种液体状组成物的油墨。
本发明并不仅局限于上述的实施方式及改变例,在不超过其主旨的范围内能够通过各种结构来实现。例如,为了解决上述问题的一部分或者全部,或者为了达到上述技术效果的一部分或者全部,能够将与发明内容一栏所记载的各个方式中的技术特征相对应的实施方式和改变例的技术特征,适当实施替换或组合。此外,只要在本说明书并未作为必要的技术特征而对该技术性的特征进行说明,则能够适当地进行删除。
符号说明
10…罐;20…加压泵;30…流入通道;301…分支流入通道;40…喷头部;40A…喷头部;40B…喷头部;41…喷嘴;42…液室;43…容积变更部;44…流道阻力变更部;45…顶面;50…流出通道;501…分支流出通道;51…顶面;60…液体贮存部;70…负压产生源;80…控制部;90…循环通道;100…液体喷出装置;100A…液体喷出装置;431…第一容积变更部;432…第二容积变更部;452…一个侧面。
Claims (6)
1.一种液体喷出装置,其特征在于,具备:
液室,其与用于喷出液体的喷嘴连通;
容积变更部,其用于对所述液室的容积进行变更;
流入通道,其与所述液室连接,并使所述液体流入所述液室;
流出通道,其与所述液室连接,并使所述液体从所述液室流出;
液体供给部,其向所述流入通道供给所述液体;
流道阻力变更部,其用于对所述流出通道的流道阻力进行变更;以及
控制部,其通过对所述容积变更部进行控制而缩小所述液室的容积,从而使所述液体从所述喷嘴被喷出,
所述控制部在为了使所述液体从所述喷嘴被喷出而向所述液室填充所述液体时,实施如下的第一控制,即,对所述流道阻力变更部进行控制而增大所述流出通道的流道阻力,并且对所述容积变更部进行控制而增大所述液室的容积。
2.如权利要求1所述的液体喷出装置,其中,
所述控制部在使所述液体从所述喷嘴被喷出后,实施如下的第二控制,即,对所述流道阻力变更部进行控制而保持使所述流出通道的流道阻力增大了的状态,并对所述容积变更部进行控制而增大所述液室的容积。
3.如权利要求2所述的液体喷出装置,其中,
所述控制部在实施了所述第二控制之后,实施如下的第三控制,即,对所述流道阻力变更部进行控制而减小所述流道的流道阻力,并且对所述容积变更部进行控制而缩小所述液室的容积。
4.如权利要求1至3中的任意一项所述的液体喷出装置,其中,
所述容积变更部包括第一容积变更部和第二容积变更部,
所述控制部利用所述第一容积变更部而实施使所述液体从所述喷嘴被喷出的控制,并利用所述第二容积变更部而实施对所述液室的容积进行变更的控制。
5.如权利要求1至4中的任意一项所述的液体喷出装置,其中,
还具备液体贮存部,所述液体贮存部与所述流出通道连接,并对从所述流出通道排出的所述液体进行贮存,
所述液体供给部为与所述液体贮存部连接的负压产生源。
6.一种液体喷出方法,其特征在于,为通过液体喷出装置而被执行的液体喷出方法,
所述液体喷出装置具备:
液室,其与用于喷出液体的喷嘴连通;
容积变更部,其用于对所述液室的容积进行变更;
流入通道,其与所述液室连接,并使所述液体流入所述液室;
流出通道,其与所述液室连接,并使所述液体从所述液室流出;
液体供给部,其向所述流入通道供给所述液体;以及
流道阻力变更部,其用于对所述流出通道的流道阻力进行变更,
在所述液体喷出方法中,
通过对所述容积变更部进行控制而缩小所述液室的容积,从而使所述液体从所述喷嘴被喷出,
在为了使所述液体从所述喷嘴被喷出而向所述液室填充所述液体时,对所述流道阻力变更部进行控制而增大所述流出通道的流道阻力,并且对所述容积变更部进行控制而增大所述液室的容积。
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CN110268948A (zh) * | 2019-06-19 | 2019-09-24 | 浙江师范大学 | 一种压电微喷装置及使用该装置的幼苗培养设备 |
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