CN108646955A - 触控面板及其制造方法 - Google Patents

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CN108646955A
CN108646955A CN201810462689.8A CN201810462689A CN108646955A CN 108646955 A CN108646955 A CN 108646955A CN 201810462689 A CN201810462689 A CN 201810462689A CN 108646955 A CN108646955 A CN 108646955A
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cabling
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conductive layer
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张志鹏
陈秉扬
蔡汉龙
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Interface Optoelectronics Shenzhen Co Ltd
Cheng Cheng Technology Chengdu Co Ltd
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Interface Optoelectronics Shenzhen Co Ltd
Cheng Cheng Technology Chengdu Co Ltd
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Abstract

本发明提供一种触控面板,其包括:多个第一桥接部、多个第二桥接部,以及多条走线;每一条走线至少包括层叠设置的第一走线和第二走线,所述第一走线与所述第一桥接部的由同一导电层形成,所述第二走线与所述第二桥接部由另一相同的导电层形成。本发明还提供一种触控面板的制造方法。本发明的触控面板中的走线包括层叠设置的多层走线,当其中一层走线发生断线时,可通过另一层走线实现电性导通功能;本发明的走线可以在形成感测电极或桥接部时一并形成,不会增加制造工序。

Description

触控面板及其制造方法
技术领域
本发明涉及一种触控面板及该触控面板的制造方法。
背景技术
通常,在个人数字助理(PDA)、笔记本电脑、办公自动化设备、医学器械或汽车导航系统等中,触控面板用于为上述设备的显示器提供输入手段(点击设备)。常见的触控面板包括电阻式、电磁感应式、光学式和电容式触控面板。其中,电容式(capacitive type)触控面板可以采用在人体静电与用于基于感生电流的透明电极之间所感生的电容变化来确认触摸位置。为了检测手指或手写笔触碰到触控面板的触控位置,已经开发了多种电容式触控面板技术。
一种常见的电容式触控面板包括两组相互垂直的传感串列,并且每个传感串列都由一连串通过导电矩形窄带(桥接部)彼此连接的菱形片(patch)来制成。每个传感串列的一个或两个端部各通过走线电连接到走线组。另外,还可以包括控制电路,该控制电路用于:通过对应的走线组向每个传感串列提供激励信号;当电容式触控面板的表面被触摸时,该控制电路接收从传感串列产生的传感信号;并且基于各个串列中的受影响的菱形片的位置来确定被触摸的位置。
随着电子技术的发展,人们对电子产品的要求也在持续提升,为了追求固定尺寸下具有更大的显示视窗以及使产品更加美观,窄边框是目前业界设计的趋势。然而,当触控面板的周边区域的尺寸缩小,触控面板的走线区也受到了限制,需要减小周边区走线的线宽,走线的线宽越细,越容易产生断线,导致良率不佳。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种走线不易断线的触控面板。
一种触控面板,其包括:多个第一感测电极、多个第二感测电极、多个电性连接相邻的两个第一感测电极之间的第一桥接部、多个电性连接相邻的两个第二感测电极之间的第二桥接部,以及将所述第一感测电极和所述第二感测电极分别电性连接至驱动电路的多条走线;
每一条走线至少包括相互电性连接且层叠设置的第一走线和第二走线,所述第一走线与所述第一桥接部的由同一导电层形成,所述第二走线与所述第二桥接部由另一相同的导电层形成。
本发明还提供一种触控面板的制造方法。
一种触控面板的制造方法,包括:
提供一基板,在基板上形成第一导电层;
图案化所述第一导电层,形成多个第一桥接部和多条第一走线;
形成第二导电层,图案化所述第二导电层形成多个第二桥接部和多条第二走线,所述第二走线覆盖所述第一走线。
在图案化所述第一导电层或者所述第二导电层时,形成多个第一感测电极、多个第二感测电极;
每一第一桥接部电性连接相邻的两个第一感测电极,每一第二桥接部电性连接相邻的第二感测电极;每一第一走线与覆盖其的第二走线形成一条电性连接第一感测电极或第二感测电极的走线。
相较于现有技术,本发明的触控面板中的走线包括层叠设置的第一走线和第二走线,当其中一层走线发生断线时,可通过另一层走线实现电性导通功能;且所述第一走线与所述第一桥接部和/或感测电极(包括第一感测电极和第二感测电极)由同一导电层形成,所述第二走线与所述第二桥接部和/或感测电极(包括第一感测电极和第二感测电极)由另一相同的导电层形成,即,本发明的走线可以在形成感测电极或桥接部时一并形成,不会增加制造工序。
附图说明
图1是本发明第一实施例的触控面板的平面示意图。
图2是图1沿II-II线剖开的剖面示意图。
图3是图1沿III-III线剖开的剖面示意图。
图4是本发明第二实施例的触控面板的剖面结构示意图。
图5是本发明第三实施例的触控面板的平面示意图。
图6是本发明第三实施例的触控面板的剖面结构示意图。
图7~10为制造本发明第一实施例的触控面板的方法中不同步骤的剖面结构示意图。
图11~15为制造本发明第三实施例的触控面板的方法中不同步骤的剖面结构示意图。
主要元件符号说明
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
附图中示出了本发明的实施例,本发明可以通过多种不同形式实现,而并不应解释为仅局限于这里所阐述的实施例。相反,提供这些实施例是为了使本发明更为全面和完整的公开,并使本领域的技术人员更充分地了解本发明的范围。为了清晰可见,在图中,层和区域的尺寸被放大了。
可以理解,尽管第一、第二等这些术语可以在这里使用来描述各种元件、组件、区域、层和/或部分,但这些元件、组件、区域、层和/或部分不应仅限于这些术语。这些术语只是被用来区分元件、组件、区域、层和/或部分与另外的元件、组件、区域、层和/或部分。因此,只要不脱离本发明的教导,下面所讨论的第一部分、组件、区域、层和/或部分可以被称为第二元件、组件、区域、层和/或部分。
这里所用的专有名词仅用于描述特定的实施例而并非意图限定本发明。如这里所用的,单数形式“一”、“一个”和“该”也意图涵盖复数形式,除非上下文清楚指明是其它情况。还应该理解,当在说明书中使用术语“包含”、“包括”时,指明了所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在,但是不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件的存在。
这里参考剖面图描述本发明的实施例,这些剖面图是本发明理想化的实施例(和中间构造)的示意图。因而,由于制造工艺和/或公差而导致的图示的形状不同是可以预见的。因此,本发明的实施例不应解释为限于这里图示的区域的特定形状,而应包括例如由于制造而产生的形状的偏差。图中所示的区域本身仅是示意性的,它们的形状并非用于图示装置的实际形状,并且并非用于限制本发明的范围。
除非另外定义,这里所使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有与本发明所述领域的普通技术人员所通常理解的含义相同的含义。还应当理解,比如在通用的辞典中所定义的那些的术语,应解释为具有与它们在相关领域的环境中的含义相一致的含义,而不应以过度理想化或过度正式的含义来解释,除非在本文中明确地定义。
请参阅图1,图1是本发明第一实施例的触控面板100的平面示意图。在本实施例中,触控面板100为电容式触控面板。触控面板100定义有用于感测触控操作的中央区101和围绕中央区101的周边区102。触控面板100包括基板11,以及形成于基板11同一表面位于中央区101内的相互绝缘设置的第一感测电极串列12和第二感测电极串列13。
为了描述方便,图1中省略了将第一感测电极串列12和第二感测电极串列13绝缘间隔的绝缘层。第一感测电极串列12沿第一方向(图1中Y方向)延伸,第二感测电极串列13沿第二方向(图1中X方向)延伸,第一方向与第二方向相交。在本实施例中,第一方向与第二方向互相垂直,但不限于此,在其他实施例中,第一感测电极串列12和第二感测电极串列13还可以以其他形式排布,比如第一感测电极串列12和第二感测电极串列13以其它角度相交。
第一感测电极串列12包括多个第一感测电极121,第二感测电极串列13包括多个第二感测电极131。多个第一感测电极121与多个第二感测电极131相互绝缘间隔。第一感测电极121和第二感测电极131中其中之一为触控驱动电极(Tx),另一为触控感应电极(Rx)。
每一第一感测电极串列12中,每相邻的两个第一感测电极121通过一第一桥接部14电连接,每一第二感测电极串列13中,每相邻的两个第二感测电极131通过一第二桥接部15电连接。请一并参考图2,每一个第一桥接部14横跨一个第二桥接部15与该第二桥接部15至少部分重叠,且每一个第一桥接部14与其对应的第二桥接部15之间通过一绝缘层16绝缘间隔开来。
如图1所示,触控面板100还包括位于周边区102的多条走线17,每一第一感测电极串列12及每一第二感测电极串列13的一端或两端各通过一条走线17电连接至一驱动电路18。
如图2所示,图2是图1沿II-II线剖开的剖面示意图。每一走线17包括层叠设置的第一走线171和第二走线172,每一走线17的第一走线171和第二走线172二者相互重叠且至少部分直接接触。本实施例中,每一走线17的第一走线171和第二走线172二者完全重叠且直接接触。由于本实施例中的触控面板100的走线17包括层叠设置的第一走线171和第二走线172,因此,当第一走线171或第二走线172中的其中一者发生断线时,可通过走线17中的另一者将第一感测电极121或第二感测电极131电性连接至驱动电路18,避免出现走线17的断线不良现象。
如图2和图3所示,图3是图1沿III-III线剖开的剖面示意图。在本实施例中,第一感测电极121、第二感测电极131、第一桥接部14和第一走线171直接形成在基板11一表面上,且由同一导电层形成,也就是说,第一感测电极121、第二感测电极131、第一桥接部14和第一走线171为同层设置。
所述绝缘层16覆盖第一感测电极121、第二感测电极131和第一桥接部14,绝缘层16形成有多个暴露第二感测电极131的过孔161。第二桥接部15形成于绝缘层16远离第一桥接部14(或基板11)的一侧,通过过孔161电性连接相邻的两个第二感测电极131。第二桥接部15和第二走线172由同一导电层形成。
如图2所示,在本实施例中,触控面板100包括第一导电层110,第一导电层110包括第一感测电极121、第二感测电极131、第一桥接部14和第一走线171;触控面板100包括第二导电层120,第二导电层120包括第二桥接部15和第二走线172。
在本实施例中,第一感测电极121、第二感测电极131、第一桥接部14和第一走线171在同一道光刻制程中形成。第二桥接部15和第二走线172在同一道光刻制程中形成。
在其他实施例中,第一走线171和第二走线172虽然位于不同的导电层,但是也可以在同一道光刻制程中一起形成。在一实施例中,在形成第二桥接部15时一并蚀刻第一走线171和第二走线172所在的导电层,形成第一走线171和第二走线172。第一走线171和第二走线172可以与第一感测电极121、第二感测电极131、第一桥接部14和第二桥接部15中的至少一者在同一道光刻制程中形成,无需通过额外的光刻制程形成第一走线171和第二走线172。
在本实施例中,第一感测电极121为触控驱动电极,第二感测电极131为触控感应电极。驱动电路18向第一感测电极121输入驱动信号,各第二感测电极131上也会产生相应的感应信号。当有触控发生时,触控点会产生电极放电、电极间的介电常数变化等现象,从而导致该处的电容也产生变化,由此,当扫描到相应的第一感测电极121时,对应触控点的第二感测电极131上的感应信号也会变化,这样可确定触控位置,实现触控。
在一实施例中,基板11的材料可以选自透明的玻璃或透明的石英;基板11的材料还可以选自透明的塑料,在一实施例中,可以选自聚醚砜(PES)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)、聚乙烯(PE)、聚酰亚胺(PI)、聚氯乙烯(PVC)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)中的一种或一种以上;在其他的实施例中,基板11的材料可为陶瓷或硅。基板11的材料可以是柔性的。
第一感测电极121、第二感测电极131、第一桥接部14和第一走线171均为导电材料,第一感测电极121、第二感测电极131、第一桥接部14和第一走线171的材料可为透明导电材料。在一实施例中,透明导电材料可以为氧化铟锡(ITO)和氧化铝锌(AZO)中的一种或一种以上。
第二桥接部15和第二走线172均为导电材料,第二桥接部15和第二走线172的材料可为透明导电材料。在一实施例中,透明导电材料可以为氧化铟锡(ITO)和氧化铝锌(AZO)中的一种或一种以上。在一实施例中,第二桥接部15和第二走线172的材料可以为金属,可选自铝(Al)、银(Ag)、金(Au)、钴(Co)、铬(Cr)、铜(Cu)、铟(In)、锰(Mn)、钼(Mo)、镍(Ni)、钕(Nd)、钯(Pd)、铂(Pt)、钛(Ti)、钨(W)、和锌(Zn)中的至少一种。
为了描述方便,以下实施例中,与第一实施例中结构和功能相同的元件沿用相同的元件符号。
请参考图4,图4是本发明第二实施例的触控面板100的剖面结构示意图。本实施例的触控面板100与第一实施例的触控面板100的结构基本相同,区别在于:在本实施例中,每一条走线17还包括与第一走线171和第二走线172层叠设置的第三走线173,第三走线173与第一走线171和第二走线172均电性连接。第三走线173设置于第一走线171和与其对应的第二走线172之间。第三走线173能够进一步改善走线17的断线现象。在一实施例中,第三走线173为金属,以降低走线17的电阻,提高触控面板100的感测灵敏度。
在一实施例中,第一走线171、第二走线172和第三走线173中至少其中之一包括间隔设置的多条子走线。在本实施例中,每一第一走线171包括间隔设置的多条第一子走线1711,第三走线173包括间隔设置的多条第三子走线1731。
图4中示出两条第一子走线1711和两条第三子走线1731。在其他实施例中,每一第二走线172也可以包括间隔设置的多条第二子走线(图未示)。在一实施例中,每一第一子走线1711和每一第三子走线1731均能独立实现电性导通功能,即每一第一子走线1711和每一条第三子走线1731可以单独地用于电性导通对应的感测电极串列和驱动电路18。
虽然本实施例中的第三走线173是位于第一走线171和第二走线172之间,但第三走线173的位置并不受限制,可以根据实际需要设置在其他位置。在一实施例中,第三走线173可以覆盖第二走线172远离第一走线171的表面,或者第三走线173可以覆盖第一走线171远离第二走线172的表面。
请参考图5和图6,图5是是本发明第三实施例的触控面板100的平面示意图。图6是本发明第三实施例的触控面板100的剖面结构示意图。在本实施例中,第二桥接部15和第二走线172形成于基板11的同一表面。绝缘层16覆盖第二桥接部15并通过过孔161暴露出第二桥接部15的至少部分。第一感测电极121、第二感测电极131、第一桥接部14覆盖绝缘层16,所述第二桥接部15通过过孔161电性连接相邻的两个第二感测电极131。
在本实施例中,第一走线171覆盖第二走线171远离基板11的表面。触控面板100还包括第三走线173,第三走线173覆盖第一走线171远离第二走线172的表面,第三走线173能够进一步改善走线17的断线现象。第三走线173与第一走线171和第二走线172均电性连接。在一实施例中,第三走线173为金属,可以降低走线17的电阻,提高触控面板100的感测灵敏度。
在本实施例中,第二走线172包括多条第一子走线1721。每一第二子走线1721均能独立实现电性导通功能,即每一第二子走线1721可以单独地用于电性导通对应的感测电极串列和驱动电路18,但不限于此。
请参考图7-图10,图7-图10为制造本发明第一实施例的触控面板100的方法中不同步骤的剖面结构示意图。
步骤一:如图7所示,提供一基板11,在基板11上形成第一导电层110。
步骤二:如图8所示,图案化第一导电层110形成多个第一感测电极(图未示)、多个第二感测电极131、多个第一桥接部14和多条第一走线171,所述第一感测电极与第二感测电极131相互绝缘,每一第一桥接部14连接每相邻的两个所述第一感测电极,第一走线171电性连接第一感测电极121或第二感测电极131。
图案化的方式并不受限制,在本实施例中,可以通过曝光显影等工艺图案化第一导电层110。
在一具有触控功能的显示装置中,为了不影响显示效果,第一导电层110,为透明导电材料。在一实施例中,透明导电材料可以为氧化铟锡(ITO)和氧化铝锌(AZO)中的一种或一种以上。
在本实施例中,第一走线171是在图案化第一导电层110的过程中形成,因此,在形成后述(如图10中的)第二走线172之前,第一走线171可以优先反应出基板的缺陷(例如基板上存在脏污、异物等问题)。在其他实施例中,第一走线171可以不在形成第一桥接部14时一并形成,而是在后述图案化第二导电层120形成第二走线172时一并图案化第一导电层110形成。
步骤三:如图9所示,形成至少覆盖第一桥接部14的绝缘层16,绝缘层16暴露第二感测电极131的至少部分。
在本实施例中,绝缘层16覆盖第一感测电极121、第二感测电极131和第一桥接部14,绝缘层16包括多个暴露第二感测电极131的过孔161。在其他实施例中,绝缘层16也可以仅覆盖第一桥接部,只要其能够使第一桥接部和后述第二桥接部(图未示)绝缘。
步骤三:如图10所示,形成覆盖绝缘层16的第二导电层120,并图案化第二导电层120形成多个第二桥接部15和多个第二走线172,每一第二走线172覆盖一第一走线171远离基板11的表面,每一第二桥接部15电性连接每相邻两个的第二感测电极131,每一第一走线171和其对应的第二走线172形成一条电性连接第一感测电极或第二感测电极的走线17。
在本实施例中,每一第二桥接部15通过过孔161电性连接每相邻的两个第二感测电极131。
可以理解的,制造本发明第二实施例的触控面板100的方法与制造第一实施例的触控面板100的方法类似,相较于制造第一实施例的触控面板100的方法,制造第二实施例的触控面板100的方法还包括:在形成第二导电层120之前,形成与第一走线171电性连接的第三走线173;第三走线与第一走线171层叠设置且至少部分直接接触。优选地,第三走线173为金属。
另外,制造本发明第三实施例的触控面板100的方法与制造本发明第一实施例的触控面板100的方法也类似,但是第一感测电极121、第二感测电极131与绝缘层16形成的次序不同。具体地,请参考图11-图15,图11-图15为制造本发明第三实施例的触控面板100的方法中不同步骤的剖面结构示意图。
步骤一:如图11所示,提供一基板11,在基板11上形成第二导电层120。
步骤二:如图12所示,图案化第二导电层120,形成多个第二桥接部15和多条第二走线172。
在本实施例中,图案化形成第二走线172的步骤包括图案化形成多条第二子走线1721,每一第二走线172包括多条第二子走线1721。每一第二子走线1721均能独立实现电性导通功能,但不限于此。
步骤三:如图13所示,形成至少覆盖第二桥接部14的绝缘层16,绝缘层16暴露第二桥接部15的至少部分。在本实施例中,绝缘层16包括多个暴露每一第二桥接部15两端的过孔161。
步骤四:如图14所示,形成覆盖绝缘层16的第一导电层110并图案化第一导电层110形成多个第一感测电极(图未示)、多个第二感测电极131、多个第一桥接部14和多个第一走线171。每一第一走线171覆盖与其对应的第二走线172远离基板11的表面,所述第一感测电极与第二感测电极131相互绝缘,每一第一桥接部14电性连接每相邻的两个所述第一感测电极,每一第二桥接部15电性连接每相邻的两个第二感测电极131,每一第一走线171和一条第二走线172形成一条电性连接所述第一感测电极或第二感测电极131的走线17。
步骤五:如图15所示,形成覆盖第一走线171远离第二走线172的第三走线173。
第三走线173能够进一步改善走线17的断线现象。优选地,第三走线173为金属,以降低走线17的电阻,提高触控面板100的感测灵敏度。在其他实施例中,也可以不形成第三走线173。
第一走线171和第二走线172可以与第一感测电极、第二感测电极131、第一桥接部14和第二桥接部15中的至少一者在同一道光刻制程中形成,无需通过额外的光刻制程形成第一走线171和第二走线172。
由于触控面板100的走线17包括层叠设置的第一走线171和第二走线172,因此,当第一走线171或第二走线172中的其中一者发生断线时,可通过走线17中的另一者电性连接第一感测电极121或第二感测电极131,改善走线17的断线现象。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制,尽管参照较佳实施对本发明进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本发明的技术方案进行修改或等同替换,而不脱离本发明技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种触控面板,其特征在于:包括:多个第一感测电极、多个第二感测电极、多个电性连接相邻的两个第一感测电极之间的第一桥接部、多个电性连接相邻的两个第二感测电极之间的第二桥接部,以及将所述第一感测电极和所述第二感测电极分别电性连接至驱动电路的多条走线;
每一条走线至少包括相互电性连接且层叠设置的第一走线和第二走线,所述第一走线与所述第一桥接部的由同一导电层形成,所述第二走线与所述第二桥接部由另一相同的导电层形成。
2.如权利要求1所述的触控面板,其特征在于:每一条走线的所述第一走线和第二走线至少部分直接接触。
3.如权利要求1所述的触控面板,其特征在于:每一条走线还包括与所述第一走线和第二走线均电性连接的第三走线;所述第三走线与所述第一走线和第二走线中的至少一者层叠设置且至少部分直接接触。
4.如权利要求3所述的触控面板,其特征在于:所述第三走线的材质为金属。
5.如权利要求1所述的触控面板,其特征在于:第一走线和第二走线中至少其中之一包括间隔设置的多条子走线。
6.如权利要求5所述的触控面板,其特征在于:每一条子走线电性连接所述第一感测电极或者所述第二感测电极至所述驱动电路。
7.如权利要求1所述的触控面板,其特征在于:所述第一感测电极、第二感测电极和所述第一走线、第一桥接部由同一导电层形成。
8.如权利要求7所述的触控面板,其特征在于:所述第二桥接部与所述第二走线为金属。
9.一种触控面板的制造方法,包括:
提供一基板,在基板上形成第一导电层;
图案化所述第一导电层,形成多个第一桥接部和多条第一走线;
形成第二导电层,图案化所述第二导电层形成多个第二桥接部和多条第二走线,所述第二走线覆盖所述第一走线;
在图案化所述第一导电层或者所述第二导电层时,形成多个第一感测电极、多个第二感测电极;
每一第一桥接部电性连接相邻的两个第一感测电极,每一第二桥接部电性连接相邻的第二感测电极;每一第一走线与覆盖其的第二走线形成一条电性连接第一感测电极或第二感测电极的走线。
10.如权利要求9所述的触控面板的制造方法,其特征在于:所述触控面板的制造方法还包括:形成与所述第一走线和第二走线中至少一者电性连接的第三走线;所述第三走线与所述第一走线和第二走线中的至少一者层叠设置且至少部分直接接触。
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