CN108621206B - 手套箱系统以及手套箱系统的保养方法 - Google Patents

手套箱系统以及手套箱系统的保养方法 Download PDF

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Abstract

本申请涉及生产制造技术领域，尤其涉及一种手套箱系统及其保养方法，手套箱系统的手套箱出口与纯化器进口之间设置有第五开关阀；手套箱进口与纯化器出口之间设置有第六开关阀；缓冲槽出口与纯化器进口之间设置有第七开关阀，缓冲槽进口与纯化器出口之间设置有第八开关阀；缓冲槽出口与手套箱进口之间设置有第九开关阀，缓冲槽进口与手套箱出口之间设置有第十开关阀。本申请的手套箱内的压缩空气在达到100ppm以下循环至手套箱内的压缩空气的浓度降到10ppm以下，所需的时间会明显缩短，进而缩短手套箱保养时恢复至氮气环境所需的时间。

Description

手套箱系统以及手套箱系统的保养方法
技术领域
本申请涉及生产制造技术领域，尤其涉及一种手套箱系统以及手套箱系统的保养方法。
背景技术
OLED显示屏制造工艺流程中，常常需要在氮气环境下进行，比如基板和盖板贴合的过程，以及贴合之前的搬送过程，因此，这些过程通常在手套箱系统内进行。
现有的手套箱系统如图1所示，包括手套箱10'、纯化器20'、送风机30'以及一些开关阀40'，手套箱10'上设有可开闭的窗口11'、手套箱进口12'以及手套箱出口13'，手套箱进口12'与手套箱出口13'通过管路50'与纯化器20'、送风机30'连通，且纯化器20'与送风机30'连通。在手套箱保养时，先对手套箱10'充入空气，然后再充入氮气，同时打开窗口11'，在压缩空气浓度为100ppm以下时，手套箱10 '内的气体沿着手套箱出口13'、纯化器20'、送风机30'、手套箱进口12'的路径循环，在这个过程中，手套箱10'内的氧气和水被纯化器20'吸收，使手套箱10'内的压缩空气的浓度降低，氮气的浓度提高，使手套箱10'尽可能恢复至氮气环境。
采用上述手套箱系统，手套箱10'内的压缩空气浓度由100ppm降至10ppm以下需要5～8小时，显然，这种结构，手套箱10'保养时恢复至氮气环境所需的时间较长。
发明内容
本申请提供了一种手套箱系统以及手套箱系统的保养方法，能够解决上述问题。
本申请的第一方面提供了一种手套箱系统，包括：
手套箱，所述手套箱具有手套箱进口和手套箱出口；
缓冲槽，所述缓冲槽具有缓冲槽进口和缓冲槽出口；
纯化器，所述纯化器具有纯化器进口和纯化器出口；
第一氮气进口，所述第一氮气进口与所述手套箱进口之间设置有第一开关阀；
第一出口，所述第一出口与所述手套箱出口之间设置有第二开关阀；
第二氮气进口，所述第二氮气进口与所述缓冲槽进口之间设置有第三开关阀；
第二出口，所述第二出口与所述缓冲槽之间设置有第四开关阀；
其中，所述手套箱出口与所述纯化器进口之间设置有第五开关阀；所述手套箱进口与所述纯化器出口之间设置有第六开关阀；所述缓冲槽出口与所述纯化器进口之间设置有第七开关阀，所述缓冲槽进口与所述纯化器出口之间设置有第八开关阀；所述缓冲槽出口与所述手套箱进口之间设置有第九开关阀，所述缓冲槽进口与所述手套箱出口之间设置有第十开关阀。
本申请的第二方面提供了一种手套箱系统，包括缓冲槽和多个手套箱组，所述缓冲槽具有缓冲槽进口和缓冲槽出口；各所述手套箱组包括：
手套箱，所述手套箱具有手套箱进口和手套箱出口；
纯化器，所述纯化器具有纯化器进口和纯化器出口；
第一氮气进口，所述第一氮气进口与所述手套箱进口之间设置有第一开关阀；
第一出口，所述第一出口与所述手套箱出口之间设置有第二开关阀；
第二氮气进口，所述第二氮气进口与所述缓冲槽进口之间设置有第三开关阀；
第二出口，所述第二出口与所述缓冲槽之间设置有第四开关阀；
其中，所述手套箱出口与所述纯化器进口之间设置有第五开关阀；所述手套箱进口与所述纯化器出口之间设置有第六开关阀；所述缓冲槽出口与所述纯化器进口之间设置有第七开关阀，所述缓冲槽进口与所述纯化器出口之间设置有第八开关阀；所述缓冲槽出口与所述手套箱进口之间设置有第九开关阀，所述缓冲槽进口与所述手套箱出口之间设置有第十开关阀。
优选地，还包括送风机，所述纯化器出口与所述手套箱进口之间、所述缓冲槽进口与所述缓冲槽出口之间的至少一个位置处设置有所述送风机。
优选地，还包括第十一开关阀，所述缓冲槽出口与所述缓冲槽进口能够直接通过所述第十一开关阀连通或者断开。
优选地，还包括第十四开关阀、设置于所述手套箱出口与所述第五开关阀之间的第十二开关阀、设置于所述手套箱进口与所述第六开关阀之间的第十三开关阀，所述第十四开关阀的一端连接至所述第十二开关阀与所述第五开关阀之间，另一端连接至所述第十三开关阀与所述第六开关阀之间；
所述第一开关阀与所述手套箱进口连通的一端连接至所述第十二开关阀与所述第五开关阀之间。
优选地，所述第五开关阀与所述纯化器进口之间设置有第十五开关阀，所述第六开关阀与所述纯化器出口之间设置有第十六开关阀；所述第七开关阀和所述第十开关阀连通所述纯化器进口的一端连接至所述第五开关阀与所述第十五开关阀之间；所述第八开关阀与所述第九开关阀连通所述纯化器出口的一端连接至所述第六开关阀与所述第十六开关阀之间。
本申请的第三方面提供了一种手套箱系统的保养方法，包括：
S1：给缓冲槽内充入氮气，使所述缓冲槽内的氮气的纯度高于外界氮气源的纯度，直到所述缓冲槽内的气体达到第一预设条件时，所述缓冲槽与所述纯化器进行循环；
S2：通过所述外界氮气源给手套箱充氮气；
S3：通过所述缓冲槽给所述手套箱充氮气；
S4：直到所述手套箱内气体满足第二预设条件时，所述手套箱和所述缓冲槽内的气体与纯化器进行循环；
其中，所述第一预设条件、第二预设条件为所述手套箱内的气体的浓度关系。
优选地，所述步骤S1包括：
S11：所述外界氮气源给所述缓冲槽充氮气；
S12：直到所述缓冲槽内的气体达到第三预设条件时，停止所述缓冲槽与所述纯化器的循环；
其中，所述第三预设条件为所述缓冲槽内气体的浓度关系。
优选地，所述第一预设条件为所述缓冲槽内空气的浓度小于第一浓度值，所述第三预设条件为所述缓冲槽内空气的浓度小于第三浓度值，其中，所述第一浓度值大于所述第三浓度值。
优选地，所述步骤S3与S4之间还包括：
S31：若所述手套箱内气体无法达到所述第二预设条件，则通过外界氮气源给所述手套箱充氮气。
优选地，所述步骤S4之后还包括：
S5：直到所述手套箱内的气体达到第四预设条件时，停止所述手套箱、所述缓冲槽与所述纯化器的循环；
其中，所述第四预设条件为所述手套箱内气体的浓度关系。
本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：
本申请所提供的手套箱系统，增加缓冲槽，使内的氮气与手套箱内的气体进行循环，由于缓冲槽内的氮气浓度较高，且其内的氮气较外界氮气源的氮气纯度高，因此在缓冲槽内的氮气也参与循环时，手套箱内的空气在达到100ppm以下循环至手套箱内的空气的浓度降到10ppm以下，所需的时间会明显缩短，进而缩短手套箱保养时恢复至氮气环境所需的时间。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。
附图说明
图1为背景技术中所提供的手套箱系统的结构示意图；
图2为本申请所提供的手套箱系统的保养方法的一种具体实施例的流程图；
图3为本申请所提供的手套箱系统的一种具体实施例的结构示意图。
附图标记：
在图1中：
10'-手套箱；
11'-窗口；
12'-手套箱进口；
13'-手套箱出口；
20'-纯化器；
30'-送风机；
40'-开关阀；
50'-管路；
在图3中：
10-手套箱；
11-窗口；
12-手套箱进口；
13-手套箱出口；
14-过滤器；
20-纯化器；
30、50-送风机；
40-缓冲槽；
41-缓冲槽进口；
42-缓冲槽出口；
60-热交换器；
71-第一管路；
72-第二管路；
73-第三管路；
74-第四管路；
75-第五管路；
76-第六管路；
77-第七管路；
78-第八管路；
801-第一开关阀；
802-第二开关阀；
803-第三开关阀；
804-第四开关阀；
805-第五开关阀；
806-第六开关阀；
807-第七开关阀；
808-第八开关阀；
809-第九开关阀；
810-第十开关阀；
811-第十一开关阀；
812-第十二开关阀；
813-第十三开关阀；
814-第十四开关阀；
815-第十五开关阀；
816-第十六开关阀；
817-第十七开关阀；
818-第十八开关阀。
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
具体实施方式
下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。
本申请实施例提供了一种手套箱系统，如图3所示，手套箱系统包括：缓冲槽40和手套箱组，手套箱组可以设置有一组，也可以设置有多组，在设置有多组时，各手套箱组均与缓冲槽40连接。
具体地，缓冲槽40具有缓冲槽进口41和缓冲槽出口42。
各手套箱组可以包括手套箱10、纯化器20、第一氮气进口、第一出口、第二氮气进口以及第二出口。手套箱10具有手套箱进口12和手套箱出口13；纯化器20具有纯化器进口和纯化器出口；第一氮气进口与手套箱进口12之间设置有第一开关阀801，以用于通过外界氮气源给手套箱10内充入氮气；第一出口与手套箱出口13之间设置有第二开关阀802，以在第二开关阀802打开时，能够将手套箱10内的气体排出外界；第二氮气进口与缓冲槽进口41之间设置有第三开关阀803，以通过外界氮气源给缓冲槽40内充入氮气；第二出口与缓冲槽40之间设置有第四开关阀804，以在第四开关阀804打开时，能够将缓冲槽40内的气体排出外界。
其中，手套箱出口13与纯化器进口之间设置有第五开关阀805；手套箱进口12与纯化器出口之间设置有第六开关阀806；缓冲槽出口42与纯化器进口之间设置有第七开关阀807，缓冲槽进口41与纯化器出口之间设置有第八开关阀808；缓冲槽出口42与手套箱进口12之间设置有第九开关阀809，缓冲槽进口41与手套箱出口13之间设置有第十开关阀810。
采用上述手套箱系统，通过增加缓冲槽40，在手套箱系统保养时，使缓冲槽40内氮气与手套箱10内的气体一起参与循环，由于缓冲槽40内的氮气的纯度和浓度均较高，因此，通过循环，能够在较短的时间内使手套箱10内的氮气的浓度升高，缩短手套箱10恢复至氮气环境的时间。
手套箱10还包括过滤器14，过滤器14设置于手套箱出口13，以用于过滤进入纯化器20内的气体。手套箱10还设置有窗口11，通过窗口11，手套箱10可以直接与外界进行气体交换，窗口11可以打开或者关闭。
手套箱系统还包括送风机30（或者送风机50），纯化器出口与手套箱进口12之间、缓冲槽进口41与缓冲槽出口42之间的至少一个位置处设置有送风机30（或者50），通过增加送风机，能够使气体的流动更顺利。
优选的一种实施例，纯化器出口与手套箱进口12之间设置有送风机30，缓冲槽进口41与缓冲槽出口42之间设置有送风机50，以使各路的气体流动均能够顺利进行。可以纯化器出口通过管路与送风机30的进口连通，送风机30的出口与第六开关阀806连通。
一般地，手套箱系统还包括第一管路71、第二管路72、第三管路73、第四管路74、第五管路75以及第六管路76，此时，手套箱进口12通过第一管路71与纯化器出口（在设有送风机30时为送风机出口）连通，手套箱出口13通过第二管路72与纯化器进口连通，即第五开关阀805设置于第二管路72上，第六开关阀806设置于第一管路71上。第三管路703的一端连接至第一管路71上位于第六开关阀806与纯化器出口（在设有送风机30时为送风机出口）之间的位置，另一端连接至缓冲槽进口41（在设有送风机50时为送风机50的进口），第八开关阀808设置于第三管路73上。第四管路704的一端连接至第二管路72上位于第五开关阀805与纯化器进口之间，另一端连接至缓冲槽出口42，第七开关阀807设置于第四管路74上。第五管路75的一端可以直接连接至第一管路71上，其连接处可以位于第六开关阀806与纯化器出口（在设有送风机30时为送风机出口）之间，也可以位于第六开关阀806连接手套箱进口12的一端，也就是说第九开关阀809设置于第五管路75上。第六管路76的一端直接连接至第二管路72上，其可以位于第五开关阀805与纯化器进口之间，也可以位于第五开关阀805靠近手套箱出口13的一端，也就是说第十开关阀810设置于第六管路76上。
相应地，如图3所示，第一开关阀801的一端与外界氮气源连接，另一端连接于第五开关阀805与手套箱出口13之间，即第一氮气进口设置于第二管路72上。第二开关阀802的一端与外界连通，另一端连接至第五开关阀805与手套箱出口13之间。第三开关阀803的一端与外界氮气源连接，另一端连接于第七开关阀807与缓冲槽出口42之间，即第二氮气进口设置于第四管路74上。当然，第一氮气进口也可以直接连接于第一管路71上，第二氮气进口也可以直接设置于第三管路73上。
手套箱系统还可以包括第一空气进口和第二空气进口，第一空气进口可以通过第十七开关阀817与外界氮气源连通，第一空气进口可以设置于第五开关阀805与手套箱出口13之间。第二空气进口可以通过第十八开关阀818与外界氮气源连通，第二空气进口可以设置于第七开关阀807与缓冲槽出口42之间。
为了方便缓冲槽40内充入氮气时的控制，手套箱系统还包括第十一开关阀811，缓冲槽出口42与缓冲槽进口41能够直接通过第十一开关阀811连通或者断开。
可以理解地，手套箱系统可以包括第七管路77，第七管路77的一端连接至第四管路74上，二者的连接位置可以位于第六开关阀806与缓冲槽出口42之间，进一步地，第七管路77的一端连接至第五管路75与缓冲槽出口42之间，也可以位于第六开关阀806靠近纯化器进口的一端；第七管路77的另一端连接至缓冲槽进口41（在设有送风机50时为送风机50的进口），此时，第十一开关阀811设置于第七管路77上。
手套箱系统还包括第十四开关阀814、设置于手套箱出口13与第五开关阀805之间的第十二开关阀812、设置于手套箱进口12与第六开关阀806之间的第十三开关阀813，第十四开关阀814的一端连接至第十二开关阀812与第五开关阀805之间，另一端连接至第十三开关阀813与第六开关阀806之间，通常，手套箱系统还包括第八管路78，第八管路78的一端连接至第二管路72上，其连接位置位于第十二开关阀812与第五开关阀805之间，另一端连接至第一管路71上，其连接位置位于第十三开关阀813与第六开关阀806之间，也就是说，第十四开关阀814设置于第八管路78上；第一开关阀801与手套箱进口12连通的一端连接至第十二开关阀812与第五开关阀805之间。在该实施例中，第一氮气进口、第一空气进口设置于十二开关阀812与第五开关阀805之间。通过上述设置，在外界氮气源给手套箱10充氮气时，能够在较短的路径内进行，从而使手套箱10内的空气尽快排出，使手套箱10内氮气的浓度尽快增加。
进一步地，第五开关阀805与纯化器进口之间设置有第十五开关阀815，第六开关阀806与纯化器出口之间设置有第十六开关阀816；第七开关阀807和第十开关阀810连通纯化器进口的一端连接至第五开关阀805与第十五开关阀815之间；第八开关阀808与第九开关阀809连通纯化器出口的一端连接至第六开关阀806与第十六开关阀816之间，即第四管路74与第二管路72的连接处、第六管路76与第二管路72的连接处位于第五开关阀805与第十五开关阀815之间；第五管路75与第一管路71的连接处、第三管路73与第一管路71的连接处位于第六开关阀806与第十六开关阀816之间。
此外，为了保证系统内气体的温度，手套箱系统还包括热交换器60，热交换器60设置于第六开关阀806（在设置第十六开关阀816时为第十六开关阀816）与纯化器出口（尤其在设置有送风机30时，送风机30设置于送风机30）之间。
如图2所示，本申请实施例还提供了一种手套箱系统的保养方法，包括：
S1：给缓冲槽内充入氮气，同时排出缓冲槽内的空气，使缓冲槽内的氮气的纯度高于外界氮气源的纯度，直到缓冲槽内的气体达到第一预设条件时，缓冲槽与纯化器进行循环；
S2：通过外界氮气源给手套箱充氮气，同时排出手套箱内的空气，此时手套箱的窗口处于关闭状态；
S3：通过缓冲槽给手套箱充氮气；
S4：直到手套箱内气体满足第二预设条件时，手套箱和缓冲槽内的气体与纯化器进行循环；
其中，第一预设条件、第二预设条件为手套箱内的气体的浓度关系，如第二预设条件可以为手套箱内空气的浓度小于第二预设值，第二预设值可以为100ppm，或者其它值在第二预设条件为手套箱内的空气的浓度时，此时，步骤S4为在手套箱内的空气的浓度小于100ppm时，手套箱和缓冲槽内的气体与纯化器进行循环，空气通过纯化器将空气内的水和氧气吸收，从而使手套箱内的氮气的浓度升高，使手套箱恢复至氮气环境。可以理解地，第二预设条件也可以为手套箱内氮气的浓度大于第五预设值。
采用上述手套箱系统的保养方法，增加缓冲槽内的氮气与手套箱内的气体进行循环，由于缓冲槽内的氮气浓度较高，且其内的氮气较外界氮气源的氮气纯度高，因此在缓冲槽内的氮气也参与循环时，手套箱内的空气在达到100ppm以下循环至手套箱内的空气的浓度降到10ppm以下，所需的时间会明显缩短，进而缩短手套箱保养时恢复至氮气环境所需的时间；且，在步骤S3中通过缓冲槽给手套箱充氮气，由于缓冲槽内的氮气纯度较高，因此能够较快的使手套箱内充有更多的氮气
由于普通的外界氮气源的氮气往往纯度较低，而使用高纯度的氮气源则成本较高，因此，为了保证使缓冲槽内氮气的纯度且节约成本，一般在外界氮气源给缓冲槽充完氮气后，还需要对缓冲槽内的氮气进行纯化，具体地，步骤S1包括：
S11：外界氮气源给缓冲槽充氮气，同时排出缓冲槽内的空气；
S12：直到缓冲槽内的气体达到第三预设条件时，停止缓冲槽与纯化器的循环，从而是缓冲槽内的氮气纯度提高。
其中，第三预设条件为缓冲槽内气体的浓度关系。一般地，第一预设条件为缓冲槽内空气的浓度小于第一浓度值，第三预设条件为缓冲槽内空气的浓度小于第三浓度值，此时，第一浓度值大于第三浓度值。当然，第一预设条件也可以为缓冲槽内氮气的浓度大于第六浓度值，第三预设条件为缓冲槽内氮气的浓度大于第七浓度值，此时，第六浓度值小于第七浓度值。
受缓冲槽和手套箱容积大小的影响，步骤S3中缓冲槽内的氮气可能无法保证将手套箱内的气体循环至第二预设条件，为此，本申请的步骤S3与S4之间还包括：
S31：若手套箱内气体无法达到第二预设条件，则通过外界氮气源给手套箱充氮气，同时排出手套箱内的空气。
上述步骤S4中，手套箱、缓冲槽与纯化器的循环具体可以为下述任一种方式：第一种方式，手套箱、缓冲槽同时与纯化器循环；第二种方式，先手套箱与纯化器循环，然后再手套箱、缓冲槽同时与纯化器循环。
在手套箱、缓冲槽内与纯化器循环一段时间后，步骤S4之后还包括：
S5：直到手套箱内的气体达到第四预设条件时，停止手套箱、缓冲槽与纯化器的循环；
其中，第四预设条件为手套箱内气体的浓度关系，第四预设条件可以为手套箱内的空气的浓度小于第四预设值，如第四预设值可以为10ppm或者其它值，该值具体可以根据手套箱的工作需求设定，也就是说在手套箱内的空气的浓度小于10ppm时，停止手套箱、缓冲槽与纯化器的循环。可以理解地，第四预设条件也可以为手套箱内的氮气的浓度大于第八预设值。
需要说明的是，上述压缩空气的浓度可以为氧气的浓度或者水的浓度，也可以为氧气与水混合的浓度。
上述手套箱系统，采用图3所示的实施例时，打开手套箱10的流程为：首先打开第二开关阀802、第十七开关阀817、第十四开关阀814、第十三开关阀813，其它开关阀均关闭，窗口11关闭，外界空气源给手套箱10内充空气；然后打开窗口11，关闭所有开关阀，进行保养。
接着进入保养流程，具体为：
S100：打开第三开关阀803、第四开关阀804、第十一开关阀811，关闭第七开关阀807以及第八开关阀808，其它开关阀均关闭，通过外界氮气源给缓冲槽40内充氮气，具体地，外界氮气源依次经过第三开关阀803、第十一开关阀811、送风机50、缓冲槽进口41进入缓冲槽40，同时缓冲槽40内的空气通过第四开关阀804排出外界，从而使缓冲槽40内的空气浓度下降，在该过程中，窗口11可以打开或者关闭。
S200：当缓冲槽40内空气的浓度达到100ppm以下时，关闭第三开关阀803、第四开关阀804、第十一开关阀811，打开第七开关阀807、第八开关阀808、第十五开关阀815和第十六开关阀816，其余开关阀均关闭，以使缓冲槽40内的气体依次经过第七开关阀807、第十五开关阀815、纯化器20、送风机30、第十六开关阀816、第八开关阀808、送风机50以及缓冲槽进口41后再次回到缓冲槽40，形成循环，从而使缓冲槽40内的氮气纯度提高，在缓冲槽40内库存高纯度的氮气。在该过程中，窗口11可以打开或者关闭。
S300：关闭窗口11，打开第一开关阀801、第二开关阀802、第十三开关阀813以及第十四开关阀814，其它开关阀均关闭，通过外界氮气源给手套箱10内充氮气，具体地，外界氮气源依次经过第一开关阀801、第十四开关阀814、第十三开关阀813、手套箱进口12进入手套箱10，同时手套箱10内的空气通过手套箱出口13、第二开关阀802排出外界，从而使手套箱10内的空气浓度下降，提高手套箱10内的氮气浓度。
S400：窗口11仍然处于关闭状态，打开第十二开关阀812、第五开关阀805、第十三开关阀813、第六开关阀806、第九开关阀809以及第十开关阀810，其它开关阀均关闭，通过缓冲槽40给手套箱10继续充氮气，具体地，缓冲槽40内的氮气依次经过缓冲槽出口42、第九开关阀809、手套箱进口12进入手套箱10内，同时，手套箱10内的空气或者纯度较低的氮气依次经过手套箱出口13、第十二开关阀812、第五开关阀805、第十开关阀810、送风机50以及缓冲槽进口41进入缓冲槽40内。由于缓冲槽40内的氮气纯度较高，因此该过程能够进一步提高手套箱10内的氮气浓度，且较外界氮气源，缓冲槽40给手套箱10内充氮气能够更快地使手套箱10内的空气的浓度降低。
S500：在步骤S400工作一段时间后，由于缓冲槽40内的氮气量有限，可能无法使手套箱10内的空气的浓度达到100ppm以下，此时可以打开第十二开关阀812、第五开关阀805、第十三开关阀813、第六开关阀806、第九开关阀809、第十开关阀810以及第一开关阀801和第二开关阀802，其它开关阀均关闭，窗口11仍然关闭，以通过外界氮气源给手套箱10以及缓冲槽40内补充氮气。
S600：在手套箱10内的空气的浓度达到100ppm以下时，打开第十二开关阀812、第五开关阀805、第十五开关阀815、第十三开关阀813、第六开关阀806、第十六开关阀、第九开关阀809以及第十开关阀810，其它开关阀均关闭，使手套箱10内的气体、缓冲槽40内的气体经过纯化器20进行循环，使手套箱内10、缓冲槽40内的空气（尤其是水和氧气）被纯化器20吸收，从而降低手套箱10内的空气的浓度，即提高了手套箱10内的氮气的浓度，在该过程中，由于有缓冲槽40内的气体同时参与循环，而缓冲槽40内的氮气浓度又比较高，因此，自手套箱10内的气体与纯化器20开始循环，至手套箱10内的空气的浓度达到10ppm以下所需的时间会明显缩短。
当然，本申请的实施例中，上述保养流程也可以单独采用手套箱10与纯化器20进行循环，具体为：首先打开第十七开关阀817、第十四开关阀814、第十三开关阀813以及第二开关阀802，其它开关阀均关闭，关闭窗口11，通过外界氮气源给手套箱10充氮气；在手套箱10内的空气的浓度达到100ppm以下时，打开第十二开关阀812、第五开关阀805、第十五开关阀815、第十三开关阀813、第六开关阀806以及第十六开关阀816，其它开关阀均关闭，此时窗口11也关闭，使手套箱10内的气体与纯化器20进行循环。
通过试验，在手套箱10与缓冲槽40相同时，单独使用手套箱10与纯化器20进行循环，自循环开始，手套箱10内的空气的浓度达到10ppm所需的时间大概为5~8小时；而同时使用手套箱10、缓冲槽40与纯化器20进行循环，自循环开始，手套箱10内的空气的浓度达到10ppm所需的时间大概为2~4小时，显然，采用本申请的手套箱系统后，使手套箱10与缓冲槽40同时参与循环，能够大大缩短手套箱10恢复至氮气环境的时间。
需要说明的是，上述实施例中所提及的100ppm、10ppm可以换为其它浓度值，具体数值可以根据手套箱系统的使用条件进行确定。
以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种手套箱系统，其特征在于，包括：
手套箱，所述手套箱具有手套箱进口和手套箱出口；
缓冲槽，所述缓冲槽具有缓冲槽进口和缓冲槽出口；
纯化器，所述纯化器具有纯化器进口和纯化器出口；
第一氮气进口，所述第一氮气进口与所述手套箱进口之间设置有第一开关阀；
第一出口，所述第一出口与所述手套箱出口之间设置有第二开关阀；
第二氮气进口，所述第二氮气进口与所述缓冲槽进口之间设置有第三开关阀；
第二出口，所述第二出口与所述缓冲槽之间设置有第四开关阀；
其中，所述手套箱出口与所述纯化器进口之间设置有第五开关阀；所述手套箱进口与所述纯化器出口之间设置有第六开关阀；所述缓冲槽出口与所述纯化器进口之间设置有第七开关阀，所述缓冲槽进口与所述纯化器出口之间设置有第八开关阀；所述缓冲槽出口与所述手套箱进口之间设置有第九开关阀，所述缓冲槽进口与所述手套箱出口之间设置有第十开关阀。
2.一种手套箱系统，其特征在于，包括缓冲槽和多个手套箱组，所述缓冲槽具有缓冲槽进口和缓冲槽出口；各所述手套箱组包括：
手套箱，所述手套箱具有手套箱进口和手套箱出口；
纯化器，所述纯化器具有纯化器进口和纯化器出口；
第一氮气进口，所述第一氮气进口与所述手套箱进口之间设置有第一开关阀；
第一出口，所述第一出口与所述手套箱出口之间设置有第二开关阀；
第二氮气进口，所述第二氮气进口与所述缓冲槽进口之间设置有第三开关阀；
第二出口，所述第二出口与所述缓冲槽之间设置有第四开关阀；
其中，所述手套箱出口与所述纯化器进口之间设置有第五开关阀；所述手套箱进口与所述纯化器出口之间设置有第六开关阀；所述缓冲槽出口与所述纯化器进口之间设置有第七开关阀，所述缓冲槽进口与所述纯化器出口之间设置有第八开关阀；所述缓冲槽出口与所述手套箱进口之间设置有第九开关阀，所述缓冲槽进口与所述手套箱出口之间设置有第十开关阀。
3.根据权利要求1或2所述的手套箱系统，其特征在于，还包括送风机，所述纯化器出口与所述手套箱进口之间、所述缓冲槽进口与所述缓冲槽出口之间的至少一个位置处设置有所述送风机。
4.根据权利要求1或2所述的手套箱系统，其特征在于，还包括第十一开关阀，所述缓冲槽出口与所述缓冲槽进口能够直接通过所述第十一开关阀连通或者断开。
5.根据权利要求1或2所述的手套箱系统，其特征在于，还包括第十四开关阀、设置于所述手套箱出口与所述第五开关阀之间的第十二开关阀、设置于所述手套箱进口与所述第六开关阀之间的第十三开关阀，所述第十四开关阀的一端连接至所述第十二开关阀与所述第五开关阀之间，另一端连接至所述第十三开关阀与所述第六开关阀之间；
所述第一开关阀与所述手套箱进口连通的一端连接至所述第十二开关阀与所述第五开关阀之间。
6.根据权利要求1或2所述的手套箱系统，其特征在于，所述第五开关阀与所述纯化器进口之间设置有第十五开关阀，所述第六开关阀与所述纯化器出口之间设置有第十六开关阀；所述第七开关阀和所述第十开关阀连通所述纯化器进口的一端连接至所述第五开关阀与所述第十五开关阀之间；所述第八开关阀与所述第九开关阀连通所述纯化器出口的一端连接至所述第六开关阀与所述第十六开关阀之间。
7.一种如权利要求1-6任一项所述的手套箱系统的保养方法，其特征在于，包括：
S1：给缓冲槽内充入氮气，使所述缓冲槽内的氮气的纯度高于外界氮气源的纯度，直到所述缓冲槽内的气体达到第一预设条件时，所述缓冲槽与所述纯化器进行循环；
S2：通过所述外界氮气源给手套箱充氮气；
S3：通过所述缓冲槽给所述手套箱充氮气；
S4：直到所述手套箱内气体满足第二预设条件时，所述手套箱和所述缓冲槽内的气体与纯化器进行循环；
其中，所述第一预设条件、第二预设条件为所述手套箱内的气体的浓度关系。
8.根据权利要求7所述的保养方法，其特征在于，所述步骤S1包括：
S11：所述外界氮气源给所述缓冲槽充氮气；
S12：直到所述缓冲槽内的气体达到第三预设条件时，停止所述缓冲槽与所述纯化器的循环；
其中，所述第三预设条件为所述缓冲槽内气体的浓度关系。
9.根据权利要求8所述的保养方法，其特征在于，所述第一预设条件为所述缓冲槽内空气的浓度小于第一浓度值，所述第三预设条件为所述缓冲槽内空气的浓度小于第三浓度值，其中，所述第一浓度值大于所述第三浓度值。
10.根据权利要求7所述的保养方法，其特征在于，所述步骤S3与S4之间还包括：
S31：若所述手套箱内气体无法达到所述第二预设条件，则通过外界氮气源给所述手套箱充氮气。
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