CN108619866A - 一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，包括增压气泵、前端水洗室、废水净水箱和增压水泵，增压气泵的进气端和外接设备的废气源连接，所述增压气泵的出气端和前端水洗室连接，前端水洗室包括前端水洗腔、进气法兰、出气法兰、喷水法兰和排水法兰，废气通过增压气泵进入前端水洗室后，废气中的酸性气体和粉尘颗粒和水结合并通过活性炭吸附集中在水体下方并顺着水流冲洗到废水净水箱中，再通过废水净水箱的过滤净化循环利用，而活性炭继续留在前端水洗腔的内部，剩下的废气则进入后面的处理设备，整个装置结构简单，实用性强。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造过程中制成工艺气体处理设备的技术领域，具体涉及一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置。
背景技术
在半导体制造过程中既有二氧化硫、氮氧化物、含氟气体等有害废气外排，也有大量的粉尘伴随废气排放到环境中，造成环境空气污染。应用在半导体行业的传统废气处理设备在长时间运行中会因为废气中含有的粉尘导致废气处理设备反应腔堵塞，缩短设备的维护周期，影响工厂的产能，同时，在长时间运行中会因为废气中的酸性气体加速腐蚀设备的金属管路及连接厂务排风的金属管路，造成气体泄漏，导致安全事件发生。
中国专利公开号为CN105148714A公开了一种酸性废气处理装置，属于气体处理设备技术领域。该装置包括储液槽、第一气液混合器以及输送泵。所述第一气液混合器设置有第一混合室、第一进液口、第一排液口以及输入酸性废气的第一进气口，所述第一进气口、所述第一进液口以及所述第一排液口均与所述第一混合室连通。所述储液槽设置第一输入孔和第一输出孔，所述输送泵的输入端与所述第一输出孔连接，所述输送泵的输出端与所述第一进液口连接，所述第一排液口与所述第一输入孔连接。该装置结构简单、体积小、使用成本低，降低酸性废气的排放指标和处理成本。但是对酸性气体的收集及处理效果并不是太好。
中国专利公开号为CN107983135A公开了一种简易酸性废气净化装置，包括有通风管、碱液储槽、碱液循环泵、喷嘴以及排风机；酸性废气抽入通风管内，碱液储槽与通风管下端的碱液回流口相连通；该碱液储槽内的碱液抽入碱液循环泵内；该喷嘴安装在通风管内，碱液循环泵将碱液泵入喷嘴内；该排风机设置于通风管的出气口处，排风机将中和后的残余废气排出通风管外。通过将酸性气体和碱液抽入通风管内进行中和反应，从而将酸性气体除掉，酸性气体和碱液中和后的反应物和残余的碱液回流到碱液储槽内循环利用，中和后无酸性的废气排出，从而以达到国家的排放标准，直接使用碱液造成装置的使用寿命不高。
综上所述，对应用于半导体制造过程中制成工艺气体处理设备需要重新进行更加合理的设计。
发明内容
本发明的目的在于提供一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。
一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，包括增压气泵、前端水洗室、废水净水箱和增压水泵，所述增压气泵的进气端和外接设备的废气源连接，所述增压气泵的出气端和前端水洗室连接，所述前端水洗室包括前端水洗腔和进气法兰，所述进气法兰贯穿前端水洗腔的顶部左侧并和前端水洗腔焊接在一起，所述进气法兰的下端连接有出气罩，所述出气罩上均布设有出气孔并浸没于前端水洗腔内的水下，所述前端水洗腔的顶部右侧焊接有出气法兰，所述前端水洗腔的右端焊接有喷水法兰，所述喷水法兰内设有喷头并位于出气法兰的正下方，所述前端水洗腔的底部焊接有排水法兰；所述废水净水箱包括箱体和进水法兰，所述进水法兰焊接在箱体的顶部左边，所述进水法兰通过连接管道一和排水法兰相连，所述箱体的内部中间设有过滤板并通过固定架二竖直固定在箱体的内部，所述箱体的右侧下部设有出水法兰。
优选的，所述出水法兰连接有增压水泵，所述增压水泵的进水端和出水法兰连接，增压水泵的出水端连接有分流接口，所述分流接口连接有连接管道二，所述连接管道二和喷头连接。
优选的，所述前端水洗腔的前侧在喷头安装处对应设有矩形的观察口，所述观察口的内侧均布焊接有压铆螺母，所述观察处的外侧通过锁紧螺钉安装有透明面板。
优选的，所述透明面板和前端水洗腔之间加装有密封垫，所述密封垫的材质为含有玻璃纤维的聚四氟乙烯复合材料。
优选的，所述前端水洗腔的内部设有活性炭和隔板，所述隔板上设有小孔并通过隔板将活性炭隔离在前端水洗腔的底部。
优选的，所述前端水洗腔的内部及内部的出气罩、固定架一和压铆螺母做聚四氟乙烯涂层覆盖处理。
本发明的优点在于：废气通过增压气泵进入前端水洗室后，废气中的酸性气体和粉尘颗粒和水结合并通过活性炭吸附集中在水体下方并顺着水流冲洗到废水净水箱中，经过废水净水箱的过滤净化，再通过增压水泵直接给喷头供水，达到了水的循环利用，而活性炭继续留在前端水洗腔的内部继续工作，剩下的废气则进入后面的处理设备，整个装置结构简单，实用性强。
通过在前端水洗腔的内部设置活性炭，可以更加有效的将废气中的酸性气体和粉尘颗粒吸附集中在水体下方并顺着水流冲洗到废水净水箱中，而活性炭继续留在前端水洗腔的内部。通过在前端水洗腔的前侧在喷头安装处对应设有矩形的观察口，观察处的外侧通过锁紧螺钉安装有透明面板，便于人员观察前端水洗腔的内部的工作状态，而通过在透明面板和前端水洗腔之间加装有密封垫，避免废气从透明面板和前端水洗腔之间安装缝隙处的泄露，而密封垫的材质选含有玻璃纤维的聚四氟乙烯复合材料，抗腐蚀性更强，寿命更长。通过在废水净水箱中安装过滤板，可以对来自前端水洗室中的水进行过滤，然后再利用增压水泵将净化后的水通过分流接口和连接管路二引给喷头，提高了水的利用率，也避免了喷头再外接水源。通过对前端水洗腔的内部及内部的出气罩、固定架一和压铆螺母做聚四氟乙烯涂层覆盖处理，降低了酸性物质对前端水洗室的腐蚀，使装置的使用寿命更长。
附图说明
图1为本发明整体的结构示意图。
图2为本发明中前端水洗室的结构示意图。
其中，1-废气源；2-增压气泵；3-前端水洗腔；4-进气法兰；5-出气罩；6-出气法兰；7-喷水法兰；8-喷头；9-透明面板；10-密封垫；11-锁紧螺钉；12-铆压螺钉；13-排水法兰；14-固定架一；15-隔板；16-活性炭；17-连接管道一；18-箱体；19-进水法兰；20-出水法兰；21-固定架二；22-过滤板；23-增压水泵；24-分流接头；25-连接管道二。
具体实施方式
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
实施例1
如图1至图2所示，一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，包括增压气泵2、前端水洗室、废水净水箱和增压水泵23，所述增压气泵2的进气端和外接设备的废气源1连接，所述增压气泵2的出气端和前端水洗室连接，所述前端水洗室包括前端水洗腔3和进气法兰4，所述进气法兰4贯穿前端水洗腔3的顶部左侧并和前端水洗腔3焊接在一起，所述进气法兰4的下端连接有出气罩5，所述出气罩5上均布设有出气孔并浸没于前端水洗腔3内的水下，所述前端水洗腔3的顶部右侧焊接有出气法兰6，所述前端水洗腔3的右端焊接有喷水法兰7，所述喷水法兰7内设有喷头8并位于出气法兰6的正下方，所述前端水洗腔3的底部焊接有排水法兰13；所述废水净水箱包括箱体18和进水法兰19，所述进水法兰19焊接在箱体18的顶部左边，所述进水法兰19通过连接管道一17和排水法兰13相连，所述箱体18的内部中间设有过滤板22并通过固定架二21竖直固定在箱体18的内部，所述箱体18的右侧下部设有出水法兰20。
在本发明中，所述出水法兰20连接有增压水泵23，所述增压水泵23的进水端和出水法兰20连接，增压水泵23的出水端连接有分流接口24，所述分流接口24连接有连接管道二25，所述连接管道二25和喷头8连接。
在本发明中，所述前端水洗腔3的内部设有活性炭16和隔板15，所述隔板15上设有小孔并通过隔板15将活性炭16隔离在前端水洗腔3的底部。
本发明的工作原理及工作过程：废气通过增压气泵2进入前端水洗室后，废气中的酸性气体和粉尘颗粒和水结合并通过活性炭16吸附集中在水体下方并顺着水流冲洗到废水净水箱中，经过废水净水箱的过滤净化，再通过增压水泵23直接给喷头8供水，达到了水的循环利用，而活性炭16继续留在前端水洗腔3的内部继续工作，剩下的废气则进入后面的处理设备，整个装置结构简单，实用性强。通过在前端水洗腔3的内部设置活性炭16，可以更加有效的将废气中的酸性气体和粉尘颗粒吸附集中在水体下方并顺着水流冲洗到废水净水箱中，而活性炭16继续留在前端水洗腔的内部。
实施例2
如图1至图2所示，一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，包括增压气泵2、前端水洗室、废水净水箱和增压水泵23，所述增压气泵2的进气端和外接设备的废气源1连接，所述增压气泵2的出气端和前端水洗室连接，所述前端水洗室包括前端水洗腔3和进气法兰4，所述进气法兰4贯穿前端水洗腔3的顶部左侧并和前端水洗腔3焊接在一起，所述进气法兰4的下端连接有出气罩5，所述出气罩5上均布设有出气孔并浸没于前端水洗腔3内的水下，所述前端水洗腔3的顶部右侧焊接有出气法兰6，所述前端水洗腔3的右端焊接有喷水法兰7，所述喷水法兰7内设有喷头8并位于出气法兰6的正下方，所述前端水洗腔3的底部焊接有排水法兰13；所述废水净水箱包括箱体18和进水法兰19，所述进水法兰19焊接在箱体18的顶部左边，所述进水法兰19通过连接管道一17和排水法兰13相连，所述箱体18的内部中间设有过滤板22并通过固定架二21竖直固定在箱体18的内部，所述箱体18的右侧下部设有出水法兰20。
在本发明中，所述出水法兰20连接有增压水泵23，所述增压水泵23的进水端和出水法兰20连接，增压水泵23的出水端连接有分流接口24，所述分流接口24连接有连接管道二25，所述连接管道二25和喷头8连接。
在本发明中，所述前端水洗腔3的前侧在喷头8安装处对应设有矩形的观察口，所述观察口的内侧均布焊接有压铆螺母12，所述观察处的外侧通过锁紧螺钉11安装有透明面板9。
在本发明中，所述透明面板9和前端水洗腔3之间加装有密封垫10，所述密封垫10的材质为含有玻璃纤维的聚四氟乙烯复合材料。
在本发明中，所述前端水洗腔3的内部设有活性炭16和隔板15，所述隔板15上设有小孔并通过隔板15将活性炭16隔离在前端水洗腔3的底部。
在本发明中，所述前端水洗腔3的内部及内部的出气罩5、固定架一14和压铆螺母12做聚四氟乙烯涂层覆盖处理。
本发明的工作原理及工作过程：废气通过增压气泵2进入前端水洗室后，废气中的酸性气体和粉尘颗粒和水结合并通过活性炭16吸附集中在水体下方并顺着水流冲洗到废水净水箱中，经过废水净水箱的过滤净化，再通过增压水泵23直接给喷头8供水，达到了水的循环利用，而活性炭16继续留在前端水洗腔3的内部继续工作，剩下的废气则进入后面的处理设备，整个装置结构简单，实用性强。通过在前端水洗腔3的内部设置活性炭16，可以更加有效的将废气中的酸性气体和粉尘颗粒吸附集中在水体下方并顺着水流冲洗到废水净水箱中，而活性炭16继续留在前端水洗腔的内部。
通过在前端水洗腔3的前侧在喷头8安装处对应设有矩形的观察口，观察处的外侧通过锁紧螺钉11安装有透明面板9，便于人员观察前端水洗腔3的内部的工作状态，而通过在透明面板9和前端水洗腔3之间加装有密封垫10，避免废气从透明面板9和前端水洗腔3之间安装缝隙处的泄露，而密封垫10的材质选含有玻璃纤维的聚四氟乙烯复合材料，抗腐蚀性更强，寿命更长。通过在废水净水箱中安装过滤板22，可以对来自前端水洗室中的水进行过滤，然后再利用增压水泵23将净化后的水通过分流接口24和连接管路二25引给喷头8，提高了水的利用率，也避免了喷头8再外接水源。通过对前端水洗腔3的内部及内部的出气罩5、固定架一14和压铆螺母12做聚四氟乙烯涂层覆盖处理，降低了酸性物质对前端水洗室的腐蚀，使装置的使用寿命更长。
基于上述，在本发明中，废气通过增压气泵2进入前端水洗室后，废气中的酸性气体和粉尘颗粒和水结合并通过活性炭16吸附集中在水体下方并顺着水流冲洗到废水净水箱中，经过废水净水箱的过滤净化，再通过增压水泵23直接给喷头8供水，达到了水的循环利用，而活性炭16继续留在前端水洗腔3的内部继续工作，剩下的废气则进入后面的处理设备，整个装置结构简单，实用性强。通过在前端水洗腔3的内部设置活性炭16，可以更加有效的将废气中的酸性气体和粉尘颗粒吸附集中在水体下方并顺着水流冲洗到废水净水箱中，而活性炭16继续留在前端水洗腔的内部。
因此，上述公开的实施方案，就各方面而言，都只是举例说明，并不是仅有的。所有在本发明范围内或在等同于本发明的范围内的改变均被本发明包含。
Claims (6)
1.一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，其特征在于：包括增压气泵(2)、前端水洗室、废水净水箱和增压水泵(23)，所述增压气泵(2)的进气端和外接设备的废气源(1)连接，所述增压气泵(2)的出气端和前端水洗室连接，所述前端水洗室包括前端水洗腔(3)和进气法兰(4)，所述进气法兰(4)贯穿前端水洗腔(3)的顶部左侧并和前端水洗腔(3)焊接在一起，所述进气法兰(4)的下端连接有出气罩(5)，所述出气罩(5)上均布设有出气孔并浸没于前端水洗腔(3)内的水下，所述前端水洗腔(3)的顶部右侧焊接有出气法兰(6)，所述前端水洗腔(3)的右端焊接有喷水法兰(7)，所述喷水法兰(7)内设有喷头(8)并位于出气法兰(6)的正下方，所述前端水洗腔(3)的底部焊接有排水法兰(13)；所述废水净水箱包括箱体(18)和进水法兰(19)，所述进水法兰(19)焊接在箱体(18)的顶部左边，所述进水法兰(19)通过连接管道一(17)和排水法兰(13)相连，所述箱体(18)的内部中间设有过滤板(22)并通过固定架二(21)竖直固定在箱体(18)的内部，所述箱体(18)的右侧下部设有出水法兰(20)。
2.根据权利要求1所述的一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，其特征在于：所述出水法兰(20)连接有增压水泵(23)，所述增压水泵(23)的进水端和出水法兰(20)连接，增压水泵(23)的出水端连接有分流接口(24)，所述分流接口(24)连接有连接管道二(25)，所述连接管道二(25)和喷头(8)连接。
3.根据权利要求1所述的一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，其特征在于：所述前端水洗腔(3)的前侧在喷头(8)安装处对应设有矩形的观察口，所述观察口的内侧均布焊接有压铆螺母(12)，所述观察处的外侧通过锁紧螺钉(11)安装有透明面板(9)。
4.根据权利要求3所述的一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，其特征在于：所述透明面板(9)和前端水洗腔(3)之间加装有密封垫(10)，所述密封垫(10)的材质为含有玻璃纤维的聚四氟乙烯复合材料。
5.根据权利要求1所述的一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，其特征在于：所述前端水洗腔(3)的内部设有活性炭(16)和隔板(15)，所述隔板(15)上设有小孔并通过隔板(15)将活性炭(16)隔离在前端水洗腔(3)的底部。
6.根据权利要求1所述的一种针对含酸性气体、粉尘颗粒的废气的前端净化装置，其特征在于：所述前端水洗腔(3)的内部及内部的出气罩(5)、固定架一(14)和压铆螺母(12)做聚四氟乙烯涂层覆盖处理。
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