CN108619846A - 一种半导体废气净化设备 - Google Patents
一种半导体废气净化设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108619846A CN108619846A CN201810753932.1A CN201810753932A CN108619846A CN 108619846 A CN108619846 A CN 108619846A CN 201810753932 A CN201810753932 A CN 201810753932A CN 108619846 A CN108619846 A CN 108619846A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- water
- deduster
- cleaning equipment
- shell
- gas cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 title claims abstract description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 96
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 42
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims abstract description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 13
- 239000003610 charcoal Substances 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 39
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 9
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D50/00—Combinations of methods or devices for separating particles from gases or vapours
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/75—Multi-step processes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/77—Liquid phase processes
- B01D53/78—Liquid phase processes with gas-liquid contact
Abstract
本发明提供一种半导体废气净化设备，涉及废气净化设备技术领域。该半导体废气净化设备，包括除尘器，所述除尘器的左侧外表面靠近上方位置连通有第一进气口，所述第一进气口的外表面固定安装有第一气泵，所述除尘器的内部底端位置固定安装有积水槽，所述积水槽的内部活动安装有滤尘网，所述除尘器的顶端固定安装有水箱，所述水箱的内部固定安装有滤膜，且水箱的左侧固定安装有第一水泵，所述水箱与积水槽之间固定安装有回流管。该半导体废气净化设备，能够对废气中含有的粉尘进行很好地分离并收集，还能够对水进行循环利用，节约了水资源，废气得到了净化，使有害物质与废气有效地分离。
Description
技术领域
本发明涉及废气净化设备技术领域，具体为一种半导体废气净化设备。
背景技术
半导体废气净化设备是一种生产半导体过程中，对其产生的废气进行净化，运用不同工艺技术，通过回收或去除废气中的有害成分，达到净化空气和保护环境的目的，让我们的环境免受污染，在现代的工业生产高速发展中，起到了非常重要的作用。
而传统的半导体废气净化设备不能够使废气中含有的粉尘进行有效地收集和分离，使粉尘对设备内部造成污染，也会飘出设备内部对周边环境造成污染，对环境造成影响，危害人们身体健康。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体废气净化设备，解决了上述背景技术提出的问题。
技术方案
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种半导体废气净化设备，包括除尘器，所述除尘器的左侧外表面靠近上方位置连通有第一进气口，所述第一进气口的外表面固定安装有第一气泵，所述除尘器的内部底端位置固定安装有积水槽，所述积水槽的内部活动安装有滤尘网，所述除尘器的顶端固定安装有水箱，所述水箱的内部固定安装有滤膜，且水箱的左侧固定安装有第一水泵，所述水箱与积水槽之间固定安装有回流管，所述回流管的外表面固定安装有第二水泵，所述除尘器的内壁顶端固定安装有第一喷头，所述第一喷头的右侧固定安装有粉尘浓度传感器，所述除尘器的内壁穿插设置有震动机，所述震动机的一侧固定安装有弹簧，所述弹簧的一侧固定安装有静电块，所述除尘器的右侧固定安装有净化装置，所述净化装置包括外壳，所述外壳的左侧外表面连通有第二进气口，所述第二进气口的外表面固定安装有第二气泵，所述外壳的顶端固定安装有储液盒，所述储液盒的右侧固定安装有第三水泵，所述外壳的内壁顶端位置固定安装有第二喷头，且外壳的内壁固定安装有活性炭层，所述外壳的右侧外表面固定安装有排水口。
进一步的，所述外壳的左侧外表面靠近下方位置固定安装有控制器，控制器的输出端与所述粉尘浓度传感器的输入端电性连接。
进一步的，所述第一气泵、第一水泵、震动机、第二水泵、第二气泵和第三水泵的输出端均与控制器的输入端电性连接，控制器的外表面固定有操作按钮。
进一步的，所述震动机、弹簧和静电块的数量均为两组，所述弹簧的种类为一种螺旋弹簧。
进一步的，所述第一喷头和第二喷头的前端均活动安装有调节器，调节器的形状为圆形。
进一步的，所述外壳与除尘器之间通过第二进气口固定连接，所述第二进气口的内壁固定安装有过滤网。
有益效果
相比较现有技术：
1、该半导体废气净化设备，通过第一气泵、积水槽、滤尘网、第一水泵、回流管、第二水泵、第一喷头、粉尘浓度传感器、震动机、弹簧和静电块的配合，第一气泵将废气吸入除尘器内部，废气里面含有许多粉尘，粉尘浓度传感器感应到粉尘然后发送信号给控制器，控制器使震动机开始工作，静电块将粉尘在静电的作用下吸附到表面，然后震动机通过弹簧使静电块上的粉尘掉落到滤尘网上，同时第一水泵开始工作，将水箱中的水通过第一喷头喷出，进一步对废气中含有的粉尘进行沉降，使粉尘沉降到滤尘网上，然后粉尘继续留在滤尘网上，水通过第二水泵抽到回流管进入水箱中，滤膜对水进行过滤，使水能够继续对粉尘进行沉降，能够对废气中含有的粉尘进行很好地分离并收集，还能够对水进行循环利用，节约了水资源。
2、该半导体废气净化设备，通过净化装置的配合，第二进气口将除尘器中已经过滤过的废气抽入外壳内部，然后储液盒中的中和液第三水泵的作用下输送到第二喷头，中和液对废气进行中和，使废气中的有害物质液化，然后活性炭层对废气中的残留有害物质进行吸附，排出排水口，使废气得到了净化，使有害物质与废气有效地分离。
附图说明
图1为本发明整体结构示意图；
图2为本发明的净化装置结构图。
图中：1除尘器、2第一进气口、3第一气泵、4积水槽、5滤尘网、6水箱、7滤膜、8第一水泵、9回流管、10第二水泵、11第一喷头、12粉尘浓度传感器、13震动机、14弹簧、15静电块、16净化装置、161外壳、162第二进气口、163第二气泵、164储液盒、165第三水泵、166第二喷头、167活性炭层、168排水口。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-2所示，本发明实施例提供一种半导体废气净化设备，包括除尘器1，除尘器1的左侧外表面靠近下方位置固定安装有控制器，控制器的输出端与粉尘浓度传感器12的输入端电性连接，除尘器1的左侧外表面靠近上方位置连通有第一进气口2，除尘器1的左侧外表面靠近下方位置固定安装有控制器，控制器的输出端与粉尘浓度传感器12的输入端电性连接第一进气口2的外表面固定安装有第一气泵3，第一气泵3、第一水泵8、震动机13、第二水泵10、第二气泵163和第三水泵165的输出端均与控制器的输入端电性连接，控制器的外表面固定有操作按钮，除尘器1的内部底端位置固定安装有积水槽4，积水槽4的内部活动安装有滤尘网5，除尘器1的顶端固定安装有水箱6，水箱6的内部固定安装有滤膜7，且水箱6的左侧固定安装有第一水泵8，水箱6与积水槽4之间固定安装有回流管9，回流管9的外表面固定安装有第二水泵10，除尘器1的内壁顶端固定安装有第一喷头11，第一喷头11和第二喷头166的前端均活动安装有调节器，调节器的形状为圆形，第一喷头11的右侧固定安装有粉尘浓度传感器12，除尘器1的内壁穿插设置有震动机13，震动机13、弹簧14和静电块15的数量均为两组，弹簧14的种类为一种螺旋弹簧，震动机13的一侧固定安装有弹簧14，弹簧14的一侧固定安装有静电块15，通过第一气泵3、积水槽4、滤尘网5、第一水泵8、回流管9、第二水泵10、第一喷头11、粉尘浓度传感器12、震动机13、弹簧14和静电块15的配合，第一气泵3将废气吸入除尘器1内部，废气里面含有许多粉尘，粉尘浓度传感器12感应到粉尘然后发送信号给控制器，控制器使震动机13开始工作，静电块15将粉尘在静电的作用下吸附到表面，然后震动机13通过弹簧14使静电块15上的粉尘掉落到滤尘网5上，同时第一水泵8开始工作，将水箱6中的水通过第一喷头11喷出，进一步对废气中含有的粉尘进行沉降，使粉尘沉降到滤尘网5上，然后粉尘继续留在滤尘网5上，水通过第二水泵10抽到回流管9进入水箱6中，滤膜7对水进行过滤，使水能够继续对粉尘进行沉降，能够对废气中含有的粉尘进行很好地分离并收集，还能够对水进行循环利用，节约了水资源，除尘器1的右侧固定安装有净化装置16，净化装置16包括外壳161，外壳161与除尘器1之间通过第二进气口162固定连接，第二进气口162的内壁固定安装有过滤网，外壳161的左侧外表面连通有第二进气口162，第二进气口162的外表面固定安装有第二气泵163，外壳161的顶端固定安装有储液盒164，储液盒164的右侧固定安装有第三水泵165，外壳161的内壁顶端位置固定安装有第二喷头166，且外壳161的内壁固定安装有活性炭层167，外壳161的右侧外表面固定安装有排水口168，通过净化装置16的配合，第二进气口162将除尘器1中已经过滤过的废气抽入外壳161内部，然后储液盒164中的中和液在第三水泵165的作用下输送到第二喷头166，中和液对废气进行中和，使废气中的有害物质液化，然后活性炭层167对废气中的残留有害物质进行吸附，排出排水口168，使废气得到了净化，使有害物质与废气有效地分离。
工作原理：首先第一气泵3将废气通过第一进气口2抽入除尘器1内部，因为废气中含有许多粉尘，静电块15对粉尘进行吸附，粉尘浓度传感器12感应到粉尘并发送信号给控制器，控制器控制震动机13开始工作，震动机13带动弹簧14使静电块15震动，然后粉尘掉入滤尘网5中，同时第一水泵8将水箱6的水通过第一喷头11喷出，对废气中的粉尘进行大范围沉降，使粉尘被滤尘网5收集，然后水进入积水槽4，第二水泵10将水抽到回流管9进入水箱6，水箱6中的滤膜7对水进行再次过滤，使水能够继续进行水循环，使废气中的粉尘得到了有效分离和收集，而且还节约了水资源，使水资源得到循环利用，接着第二进气口162在第二气泵163的作用下将降解粉尘后的废气抽进外壳161内部，然后储液盒164中的中和液通过第三水泵165输送到第二喷头166，然后对废气进行喷洒，使废气中的有害物质被中和，然后活性炭层167对废气的残留有害物质进行再次吸附，保证了废气得到有效净化，使其达到排放标准，最后废气与废液通过排水口168排出，工作人员需对废液进行回收。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种半导体废气净化设备，包括除尘器(1)，其特征在于：所述除尘器(1)的左侧外表面靠近上方位置连通有第一进气口(2)，所述第一进气口(2)的外表面固定安装有第一气泵(3)，所述除尘器(1)的内部底端位置固定安装有积水槽(4)，所述积水槽(4)的内部活动安装有滤尘网(5)，所述除尘器(1)的顶端固定安装有水箱(6)，所述水箱(6)的内部固定安装有滤膜(7)，且水箱(6)的左侧固定安装有第一水泵(8)，所述水箱(6)与积水槽(4)之间固定安装有回流管(9)，所述回流管(9)的外表面固定安装有第二水泵(10)，所述除尘器(1)的内壁顶端固定安装有第一喷头(11)，所述第一喷头(11)的右侧固定安装有粉尘浓度传感器(12)，所述除尘器(1)的内壁穿插设置有震动机(13)，所述震动机(13)的一侧固定安装有弹簧(14)，所述弹簧(14)的一侧固定安装有静电块(15)，所述除尘器(1)的右侧固定安装有净化装置(16)，所述净化装置(16)包括外壳(161)，所述外壳(161)的左侧外表面连通有第二进气口(162)，所述第二进气口(162)的外表面固定安装有第二气泵(163)，所述外壳(161)的顶端固定安装有储液盒(164)，所述储液盒(164)的右侧固定安装有第三水泵(165)，所述外壳(161)的内壁顶端位置固定安装有第二喷头(166)，且外壳(161)的内壁固定安装有活性炭层(167)，所述外壳(161)的右侧外表面固定安装有排水口(168)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体废气净化设备，其特征在于：所述外壳(161)的左侧外表面靠近下方位置固定安装有控制器，控制器的输出端与所述粉尘浓度传感器(12)的输入端电性连接。
3.根据权利要求1所述的一种半导体废气净化设备，其特征在于：所述第一气泵(3)、第一水泵(8)、震动机(13)、第二水泵(10)、第二气泵(163)和第三水泵(165)的输出端均与控制器的输入端电性连接，控制器的外表面固定有操作按钮。
4.根据权利要求1所述的一种半导体废气净化设备，其特征在于：所述震动机(13)、弹簧(14)和静电块(15)的数量均为两组，所述弹簧(14)的种类为一种螺旋弹簧。
5.根据权利要求1所述的一种半导体废气净化设备，其特征在于：所述第一喷头(11)和第二喷头(166)的前端均活动安装有调节器，调节器的形状为圆形。
6.根据权利要求1所述的一种半导体废气净化设备，其特征在于：所述外壳(161)与除尘器(1)之间通过第二进气口(162)固定连接，所述第二进气口的内壁固定安装有过滤网。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810753932.1A CN108619846A (zh) | 2018-07-11 | 2018-07-11 | 一种半导体废气净化设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810753932.1A CN108619846A (zh) | 2018-07-11 | 2018-07-11 | 一种半导体废气净化设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108619846A true CN108619846A (zh) | 2018-10-09 |
Family
ID=63688899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810753932.1A Pending CN108619846A (zh) | 2018-07-11 | 2018-07-11 | 一种半导体废气净化设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108619846A (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111608121A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-09-01 | 中青建安建设集团有限公司 | 建筑施工地面除尘设备 |
| CN112495109A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-03-16 | 淮南市百邦气动科技有限公司 | 一种矿用智慧防尘系统 |
| CN112595813A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-04-02 | 南京聚谱检测科技有限公司 | 一种具有废气吸收净化功能的化学检测仪器及其检测方法 |
| CN114832603A (zh) * | 2022-04-18 | 2022-08-02 | 长沙环境保护职业技术学院 | 用于生态环境节能减排的装置 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004202306A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Shimizu Corp | 空気浄化装置 |
| CN202700316U (zh) * | 2012-07-19 | 2013-01-30 | 太仓东能环保设备有限公司 | 一种空气净化装置 |
| CN105363309A (zh) * | 2015-11-20 | 2016-03-02 | 太仓市振锋化工设备有限公司 | 一种粉尘净化系统 |
| CN205495240U (zh) * | 2016-01-25 | 2016-08-24 | 黄烨宏 | 一种卧室废气净化装置 |
| CN205730740U (zh) * | 2016-04-29 | 2016-11-30 | 山西悦凌空调有限公司 | 一种气体烟尘处理装置 |
| CN206778160U (zh) * | 2017-05-25 | 2017-12-22 | 周旭龙 | 一种工厂用粉尘收集器 |
| CN207014607U (zh) * | 2017-07-07 | 2018-02-16 | 苏州敏煌精密电子科技有限公司 | 一种高效注塑机烘干筒 |
| CN208678692U (zh) * | 2018-07-11 | 2019-04-02 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 | 一种半导体废气净化设备 |
-
2018
- 2018-07-11 CN CN201810753932.1A patent/CN108619846A/zh active Pending
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004202306A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Shimizu Corp | 空気浄化装置 |
| CN202700316U (zh) * | 2012-07-19 | 2013-01-30 | 太仓东能环保设备有限公司 | 一种空气净化装置 |
| CN105363309A (zh) * | 2015-11-20 | 2016-03-02 | 太仓市振锋化工设备有限公司 | 一种粉尘净化系统 |
| CN205495240U (zh) * | 2016-01-25 | 2016-08-24 | 黄烨宏 | 一种卧室废气净化装置 |
| CN205730740U (zh) * | 2016-04-29 | 2016-11-30 | 山西悦凌空调有限公司 | 一种气体烟尘处理装置 |
| CN206778160U (zh) * | 2017-05-25 | 2017-12-22 | 周旭龙 | 一种工厂用粉尘收集器 |
| CN207014607U (zh) * | 2017-07-07 | 2018-02-16 | 苏州敏煌精密电子科技有限公司 | 一种高效注塑机烘干筒 |
| CN208678692U (zh) * | 2018-07-11 | 2019-04-02 | 安徽京仪自动化装备技术有限公司 | 一种半导体废气净化设备 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111608121A (zh) * | 2020-04-30 | 2020-09-01 | 中青建安建设集团有限公司 | 建筑施工地面除尘设备 |
| CN112595813A (zh) * | 2020-11-26 | 2021-04-02 | 南京聚谱检测科技有限公司 | 一种具有废气吸收净化功能的化学检测仪器及其检测方法 |
| CN112495109A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-03-16 | 淮南市百邦气动科技有限公司 | 一种矿用智慧防尘系统 |
| CN114832603A (zh) * | 2022-04-18 | 2022-08-02 | 长沙环境保护职业技术学院 | 用于生态环境节能减排的装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108619846A (zh) | 一种半导体废气净化设备 | |
| CN205832807U (zh) | 高效工业废气处理系统 | |
| CN208678692U (zh) | 一种半导体废气净化设备 | |
| CN208244392U (zh) | 一种可收集不同粒径粉尘的空气净化装置 | |
| CN206746314U (zh) | 一种恶臭气体处理装置 | |
| CN206252963U (zh) | 一种水式粉尘除尘器 | |
| CN209092983U (zh) | 一种烟气除尘器的滤网喷水清理器 | |
| CN108379990A (zh) | 一种通风设备用除尘装置 | |
| CN207899198U (zh) | 一种粉尘净化装置 | |
| CN104722151B (zh) | 工业用废气清洗器 | |
| CN208893881U (zh) | 一种vocs废气集成处理装置 | |
| CN210699414U (zh) | 一种化工生产用尾气净化装置 | |
| CN209838501U (zh) | 一种航空航天用的飞机尾气净化装置 | |
| CN204294062U (zh) | 一种粉尘过滤装置 | |
| CN211676906U (zh) | 一种米粉生产线的除尘装置 | |
| CN106237787B (zh) | 一种皮革喷涂除尘装置 | |
| CN213253642U (zh) | 一种机械工件打磨用烟尘过滤装置 | |
| CN208372735U (zh) | 一种通风设备用除尘装置 | |
| CN204208418U (zh) | 一种多功能消烟净化器 | |
| CN201186196Y (zh) | 一种除尘器 | |
| CN107998801A (zh) | 一种用于化工厂废气处理的喷淋装置 | |
| CN205002251U (zh) | 涡流式离子水洗空气熏香净化机 | |
| CN211025616U (zh) | 一种收集废丝的纺织车间空气净化设备 | |
| CN200957337Y (zh) | 净化除尘处理装置 | |
| CN207886868U (zh) | 一种新型液固分离一体化除尘喷淋净化设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20181009 |