CN108598590A - 一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置 - Google Patents

一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置，包括机身以及设置在所述机身内的第一滑动腔，所述第一滑动腔内可左右滑动的设置有第一滑动块，所述第一滑动块前后对称设置有左右贯穿的第一通孔，所述第一通孔内滑动设置左右延伸的第一光杆，所述第一光杆左右两端固定安装在所述第一滑动腔左右端壁内，所述第一滑动块前后端壁内对称设置有开口向外的第一空腔，所述第一空腔下底壁内固定安装有齿条；本发明结构简单，操作方便，通过采用机械结构与光学结构结合，自动进行非晶硅薄膜的刻蚀，不仅自动化程度高，而且不受非晶硅薄膜负面限制，能够完成大批量大幅面高质量非晶硅薄膜刻蚀，提高了刻蚀效率与质量，提高了装置实用性能。

Description

一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置
技术领域
本发明涉及锂电池领域，具体是一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置。
背景技术
随着科技的发展，社会的进步，国家一直促进高科技的发展，在锂电池领域中，一直存在一个比较困难的技术问题，就是在对非晶硅薄膜刻蚀时，传统的刻蚀方法效率极低且自动化程度不高，无法快速刻蚀出高质量大批量非晶硅薄膜，导致非晶硅薄膜电池生产受限，此装置有效解决了此问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置，其能够解决上述现在技术中的问题。
本发明是通过以下技术方案来实现的：本发明的一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置，包括机身以及设置在所述机身内的第一滑动腔，所述第一滑动腔内可左右滑动的设置有第一滑动块，所述第一滑动块前后对称设置有左右贯穿的第一通孔，所述第一通孔内滑动设置左右延伸的第一光杆，所述第一光杆左右两端固定安装在所述第一滑动腔左右端壁内，所述第一滑动块前后端壁内对称设置有开口向外的第一空腔，所述第一空腔下底壁内固定安装有齿条，所述第一滑动腔前后端壁内对称设置有向下延伸的第二空腔，所述第一滑动腔底壁内设置有第三空腔，所述第三空腔与所述第二空腔之间可转动的设置有左右延伸的第一转轴，所述第三空腔内的所述第一转轴末端固定安装有第一锥齿轮，所述第三空腔底壁内固定安装有第一电机，所述第一电机驱动轴向上延伸顶部末端固定安装有与所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮，所述第二空腔内的所述第一转轴末端转动设置于所述第二空腔外侧端壁内，所述第二空腔内的所述第一转轴外表面固定安装有主动拨盘，所述主动拨盘左侧端面固定安装有圆销，所述第二空腔与所述第一滑动腔之间可转动的设置有左右延伸的第二转轴，所述第二空腔内的第二转轴末端固定安装有从动槽轮，所述从动槽轮上环形分布设置有与所述圆销配合的径向槽，所述第一滑动腔内的所述第二转轴内侧末端伸入所述第一空腔，所述第一空腔内的所述第二转轴末端固定安装有与所述齿条啮合的第一齿轮，所述第一滑动腔顶部设有开口向下的第二滑动腔，所述第二滑动腔前后端壁内设有开口向内的第三滑动腔，所述第二滑动腔内可上下滑动的设置有前后延伸的第二滑动块，所述第二滑动块前后两端伸入所述第三滑动腔，所述第二滑动块内前后对称设置有上下贯穿的第二通孔，所述第二通孔滑动设置有上下延伸的第二光杆，所述第二光杆上下两端固定设置于所述第三滑动腔上下端壁内，所述第二滑动块下端壁内设置有开口向下的第四滑动腔，所述第四滑动腔内可左右滑动的设置有第三滑动块，所述第三滑动块内设有前后贯通的第一螺纹孔，所述第一螺纹孔内螺纹配合有前后延伸的第一螺纹杆，所述第一螺纹杆后侧末端转动设置于所述第四滑动腔后侧端壁内，所述第一螺纹杆前侧末端与固定安装于所述第四滑动腔前侧端壁内的所述第二电机动力连接，所述机身上设置有移动装置，所述移动装置包括滚轮座以及滚轮。
作为优选地技术方案，所述第二滑动腔顶壁内设有开口向下的第四空腔，所述第四空腔端壁内设有贯穿所述第四空腔的第五空腔，所述第四空腔内可转动的设置有转动套，所述转动套外表面固定安装有第二齿轮，所述转动套内设置有上下贯通的第二螺纹孔，所述第二螺纹孔内螺纹设置有上下延伸的第二螺纹杆，所述第二螺纹杆向下延伸入所述第二滑动腔且底部末端固定设置于所述第二滑动块上端壁内，所述第二螺纹杆顶部末端伸入所述第四空腔内，所述第五空腔上端壁内固定安装有第三电机，所述第三电机驱动轴向下延伸底部末端外表面固定安装有与所述第二齿轮啮合的第三齿轮。
作为优选地技术方案，所述第一滑动块顶壁内设有开口向上且右侧贯通的凹槽，所述凹槽下端壁内设有向下延伸的第一滑动槽，所述第一滑动槽内可上下滑动的设置有第一推杆，所述第一滑动块内设有贯穿所述第一滑动槽且右侧连通外部空间的第二滑动槽，所述第二滑动槽内可左右滑动的设置有第二推杆。
作为优选地技术方案，所述第一滑动腔右侧端壁内设置有连通外部的出料槽，所述所述第一滑动腔右侧端壁内设有开口向下的第六空腔，所述第六空腔内可转动的设置有前后延伸的第三转轴，所述第三转轴向前延伸末端转动设置于所述第六空腔前侧端壁内，所述第三转轴向后延伸末端与所述第六空腔后侧端壁内固定安装的第四电机动力连接，所述第三转轴外表面固定安装有橡胶轮。
作为优选地技术方案，所述第一滑动槽左右端壁中左右对称设置有开口向内的第一限位槽，所述第一限位槽中滑动安装有与所述第一推杆固定连接的第一限位块，所述第一限位槽顶壁上固定安装有与所述第一限位块相抵的第一顶压弹簧，所述第二滑动槽上下端壁内设有开口向内的第二限位槽，所述第二限位槽中滑动安装有与所述第二推杆固定连接的第二限位块，所述第二限位槽右侧端壁上固定安装有与所述第二限位块相抵的第二顶压弹簧。
作为优选地技术方案，所述第三滑动块下端壁内设置有激光器。
作为优选地技术方案，所述滚轮座分别固定连接于所述机身四个边角上，所述滚轮座内可转动的设置有第一转轴，所述第一转轴上固定连接有所述滚轮，所述滚轮座上可转动的设置有与所述滚轮配合的刹车片。
本发明的有益效果是：本发明的设备在初始状态时，所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机均处于静止状态，所述激光器处于关闭状态，所述第一滑动机构位于所述第一滑动腔最左侧，所述第二滑动块位于所述第二滑动腔顶部，所述第三滑动块位于所述第四滑动腔最右侧。
当所述设备准备对非晶硅薄膜刻蚀时，首先将所述非晶硅薄膜置于所述凹槽内，此时启动所述第三电机，所述第三电机转动带动所述第三齿轮转动，所述第三齿轮转动带动所述第二齿轮转动，所述第二齿轮转动带动所述转动套转动，所述转动套转动带动所述第二螺纹杆转动，所述第二螺纹杆转动带动所述第二滑动块下移，此时启动所述激光器，当所述激光器与所述非晶硅薄膜间距合适时，关闭所述第三电机与所述激光器。
当所述设备对非晶硅薄膜刻蚀时，启动所述第二电机与所述激光器，此时所述第二电机转动带动所述第一螺纹杆转动，所述第一螺纹杆转动带动所述第三滑动块左移，所述第三滑动块左移带动所述激光器左移刻蚀所述非晶硅薄膜，与此同时启动所述第一电机，所述第一电机转动带动所述第二锥齿轮转动，所述第二锥齿轮转动带动所述第一锥齿轮转动，所述第一锥齿轮转动带动所述主动拨盘转动，所述主动拨盘转动带动所述圆销转动，当所述第三滑动块左移至于所述第四滑动腔最左侧时，所述圆销与所述径向槽相抵，所述圆销推动所述从动槽轮转动，所述所述从动槽轮转动所述第一齿轮转动，所述第一齿轮转动推动所述第一滑动块右移，当所述圆销与所述径向槽脱离时，所述第二电机反转带动所述第三滑动块右移，所述第三滑动块右移带动所述激光器右移刻蚀所述非晶硅薄膜。
当所述设备完成对非晶硅薄膜刻蚀时，所述第一滑动块移至所述第一滑动腔最右侧，此时所述第二推杆与所述第一滑动腔右侧端壁相抵，所述第二推杆左移推动所述第一推杆上移，所述第一推杆上移推动所述非晶硅薄膜与所述橡胶轮接触，此时所述非晶硅薄膜在所述橡胶轮作用下右移出所述设备。
本发明结构简单，操作方便，通过采用机械结构与光学结构结合，自动进行非晶硅薄膜的刻蚀，不仅自动化程度高，而且不受非晶硅薄膜负面限制，能够完成大批量大幅面高质量非晶硅薄膜刻蚀，提高了刻蚀效率与质量，提高了装置实用性能。
附图说明
为了易于说明，本发明由下述的具体实施例及附图作以详细描述。
图1为本发明的一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置整体结构示意图；
图2为图1中A的结构示意图；
图3为图2中B的结构示意图。
具体实施方式
如图1-图3所示，本发明的一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置，包括机身100以及设置在所述机身100内的第一滑动腔101，所述第一滑动腔101内可左右滑动的设置有第一滑动块102，所述第一滑动块102前后对称设置有左右贯穿的第一通孔138，所述第一通孔138内滑动设置左右延伸的第一光杆120，所述第一光杆120左右两端固定安装在所述第一滑动腔101左右端壁内，所述第一滑动块102前后端壁内对称设置有开口向外的第一空腔131，所述第一空腔131下底壁内固定安装有齿条135，所述第一滑动腔101前后端壁内对称设置有向下延伸的第二空腔130，所述第一滑动腔101底壁内设置有第三空腔124，所述第三空腔124与所述第二空腔130之间可转动的设置有左右延伸的第一转轴137，所述第三空腔124内的所述第一转轴137末端固定安装有第一锥齿轮125，所述第三空腔底壁内固定安装有第一电机126，所述第一电机126驱动轴向上延伸顶部末端固定安装有与所述第一锥齿轮125啮合的第二锥齿轮127，所述第二空腔130内的所述第一转轴137末端转动设置于所述第二空腔130外侧端壁内，所述第二空腔130内的所述第一转轴137外表面固定安装有主动拨盘136，所述主动拨盘136左侧端面固定安装有圆销151，所述第二空腔130与所述第一滑动腔101之间可转动的设置有左右延伸的第二转轴134，所述第二空腔130内的第二转轴134末端固定安装有从动槽轮132，所述从动槽轮132上环形分布设置有与所述圆销151配合的径向槽152，所述第一滑动腔101内的所述第二转轴134内侧末端伸入所述第一空腔131，所述第一空腔131内的所述第二转轴134末端固定安装有与所述齿条135啮合的第一齿轮133，所述第一滑动腔101顶部设有开口向下的第二滑动腔140，所述第二滑动腔140前后端壁内设有开口向内的第三滑动腔149，所述第二滑动腔140内可上下滑动的设置有前后延伸的第二滑动块128，所述第二滑动块128前后两端伸入所述第三滑动腔149，所述第二滑动块128内前后对称设置有上下贯穿的第二通孔150，所述第二通孔150滑动设置有上下延伸的第二光杆129，所述第二光杆129上下两端固定设置于所述第三滑动腔149上下端壁内，所述第二滑动块128下端壁内设置有开口向下的第四滑动腔145，所述第四滑动腔145内可左右滑动的设置有第三滑动块144，所述第三滑动块144内设有前后贯通的第一螺纹孔143，所述第一螺纹孔143内螺纹配合有前后延伸的第一螺纹杆141，所述第一螺纹杆141后侧末端转动设置于所述第四滑动腔145后侧端壁内，所述第一螺纹杆141前侧末端与固定安装于所述第四滑动腔145前侧端壁内的所述第二电机142动力连接，所述机身100上设置有移动装置，所述移动装置包括滚轮座171以及滚轮173。
有益地，所述第二滑动腔140顶壁内设有开口向下的第四空腔113，所述第四空腔113端壁内设有贯穿所述第四空腔113的第五空腔109，所述第四空腔113内可转动的设置有转动套111，所述转动套111外表面固定安装有第二齿轮110，所述转动套111内设置有上下贯通的第二螺纹孔112，所述第二螺纹孔112内螺纹设置有上下延伸的第二螺纹杆114，所述第二螺纹杆112向下延伸入所述第二滑动腔140且底部末端固定设置于所述第二滑动块128上端壁内，所述第二螺纹杆112顶部末端伸入所述第四空腔113内，所述第五空腔109上端壁内固定安装有第三电机147，所述第三电机147驱动轴向下延伸底部末端外表面固定安装有与所述第二齿轮110啮合的第三齿轮146，便于调节所述第二滑动块128与所述第一滑动块102间距。
有益地，所述第一滑动块102顶壁内设有开口向上且右侧贯通的凹槽103，所述凹槽103下端壁内设有向下延伸的第一滑动槽107，所述第一滑动槽107内可上下滑动的设置有第一推杆108，所述第一滑动块102内设有贯穿所述第一滑动槽107且右侧连通外部空间的第二滑动槽118，所述第二滑动槽118内可左右滑动的设置有第二推杆119，便于顶出凹槽103内产品。
有益地，所述第一滑动腔101右侧端壁内设置有连通外部的出料槽123，所述所述第一滑动腔101右侧端壁内设有开口向下的第六空腔121，所述第六空腔内可转动的设置有前后延伸的第三转轴148，所述第三转轴148向前延伸末端转动设置于所述第六空腔121前侧端壁内，所述第三转轴148向后延伸末端与所述第六空腔121后侧端壁内固定安装的第四电机动力连接，所述第三转轴148外表面固定安装有橡胶轮122，便于设备将处理好产品推出设备。
有益地，所述第一滑动槽107左右端壁中左右对称设置有开口向内的第一限位槽105，所述第一限位槽105中滑动安装有与所述第一推杆108固定连接的第一限位块104，所述第一限位槽104顶壁上固定安装有与所述第一限位块104相抵的第一顶压弹簧106，所述第二滑动槽118上下端壁内设有开口向内的第二限位槽115，所述第二限位槽115中滑动安装有与所述第二推杆119固定连接的第二限位块117，所述第二限位槽118右侧端壁上固定安装有与所述第二限位块相抵的第二顶压弹簧116.。
有益地，所述第三滑动块144下端壁内设置有激光器139，用于对非晶硅薄膜刻蚀。
有益地，所述滚轮座171分别固定连接于所述机身100四个边角上，所述滚轮座171内可转动的设置有第一转轴172，所述第一转轴172上固定连接有所述滚轮173，所述滚轮座171上可转动的设置有与所述滚轮173配合的刹车片174，通过所述滚轮173与所述刹车片174，提高了所述设备移动的便利性。
本发明的设备在初始状态时，所述第一电机126、第二电机142、第三电机147以及第四电机132均处于静止状态，所述激光器139处于关闭状态，所述第一滑动机构102位于所述第一滑动腔101最左侧，所述第二滑动块128位于所述第二滑动腔140顶部，所述第三滑动块144位于所述第四滑动腔145最右侧。
当所述设备准备对非晶硅薄膜刻蚀时，首先将所述非晶硅薄膜置于所述凹槽103内，此时启动所述第三电机147，所述第三电机147转动带动所述第三齿轮146转动，所述第三齿轮146转动带动所述第二齿轮110转动，所述第二齿轮110转动带动所述转动套111转动，所述转动套111转动带动所述第二螺纹杆114转动，所述第二螺纹杆114转动带动所述第二滑动块128下移，此时启动所述激光器139，当所述激光器139与所述非晶硅薄膜间距合适时，关闭所述第三电机147与所述激光器139。
当所述设备对非晶硅薄膜刻蚀时，启动所述第二电机142与所述激光器139，此时所述第二电机142转动带动所述第一螺纹杆141转动，所述第一螺纹杆141转动带动所述第三滑动块144左移，所述第三滑动块144左移带动所述激光器139左移刻蚀所述非晶硅薄膜，与此同时启动所述第一电机126，所述第一电机126转动带动所述第二锥齿轮127转动，所述第二锥齿轮127转动带动所述第一锥齿轮125转动，所述第一锥齿轮125转动带动所述主动拨盘136转动，所述主动拨盘136转动带动所述圆销151转动，当所述第三滑动块144左移至于所述第四滑动腔145最左侧时，所述圆销151与所述径向槽152相抵，所述圆销151推动所述从动槽轮132转动，所述所述从动槽轮132转动所述第一齿轮133转动，所述第一齿轮133转动推动所述第一滑动块102右移，当所述圆销151与所述径向槽152脱离时，所述第二电机142反转带动所述第三滑动块144右移，所述第三滑动块144右移带动所述激光器139右移刻蚀所述非晶硅薄膜。
当所述设备完成对非晶硅薄膜刻蚀时，所述第一滑动块102移至所述第一滑动腔101最右侧，此时所述第二推杆119与所述第一滑动腔101右侧端壁相抵，所述第二推杆119左移推动所述第一推杆108上移，所述第一推杆108上移推动所述非晶硅薄膜与所述橡胶轮122接触，此时所述非晶硅薄膜在所述橡胶轮122作用下右移出所述设备。
本发明的有益效果是：本发明的设备在初始状态时，所述第一电机、第二电机、第三电机以及第四电机均处于静止状态，所述激光器处于关闭状态，所述第一滑动机构位于所述第一滑动腔最左侧，所述第二滑动块位于所述第二滑动腔顶部，所述第三滑动块位于所述第四滑动腔最右侧。
当所述设备准备对非晶硅薄膜刻蚀时，首先将所述非晶硅薄膜置于所述凹槽内，此时启动所述第三电机，所述第三电机转动带动所述第三齿轮转动，所述第三齿轮转动带动所述第二齿轮转动，所述第二齿轮转动带动所述转动套转动，所述转动套转动带动所述第二螺纹杆转动，所述第二螺纹杆转动带动所述第二滑动块下移，此时启动所述激光器，当所述激光器与所述非晶硅薄膜间距合适时，关闭所述第三电机与所述激光器。
当所述设备对非晶硅薄膜刻蚀时，启动所述第二电机与所述激光器，此时所述第二电机转动带动所述第一螺纹杆转动，所述第一螺纹杆转动带动所述第三滑动块左移，所述第三滑动块左移带动所述激光器左移刻蚀所述非晶硅薄膜，与此同时启动所述第一电机，所述第一电机转动带动所述第二锥齿轮转动，所述第二锥齿轮转动带动所述第一锥齿轮转动，所述第一锥齿轮转动带动所述主动拨盘转动，所述主动拨盘转动带动所述圆销转动，当所述第三滑动块左移至于所述第四滑动腔最左侧时，所述圆销与所述径向槽相抵，所述圆销推动所述从动槽轮转动，所述所述从动槽轮转动所述第一齿轮转动，所述第一齿轮转动推动所述第一滑动块右移，当所述圆销与所述径向槽脱离时，所述第二电机反转带动所述第三滑动块右移，所述第三滑动块右移带动所述激光器右移刻蚀所述非晶硅薄膜。
当所述设备完成对非晶硅薄膜刻蚀时，所述第一滑动块移至所述第一滑动腔最右侧，此时所述第二推杆与所述第一滑动腔右侧端壁相抵，所述第二推杆左移推动所述第一推杆上移，所述第一推杆上移推动所述非晶硅薄膜与所述橡胶轮接触，此时所述非晶硅薄膜在所述橡胶轮作用下右移出所述设备。
本发明结构简单，操作方便，通过采用机械结构与光学结构结合，自动进行非晶硅薄膜的刻蚀，不仅自动化程度高，而且不受非晶硅薄膜负面限制，能够完成大批量大幅面高质量非晶硅薄膜刻蚀，提高了刻蚀效率与质量，提高了装置实用性能。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。

Claims (7)

1.本发明的一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置，包括机身以及设置在所述机身内的第一滑动腔，所述第一滑动腔内可左右滑动的设置有第一滑动块，所述第一滑动块前后对称设置有左右贯穿的第一通孔，所述第一通孔内滑动设置左右延伸的第一光杆，所述第一光杆左右两端固定安装在所述第一滑动腔左右端壁内，所述第一滑动块前后端壁内对称设置有开口向外的第一空腔，所述第一空腔下底壁内固定安装有齿条，所述第一滑动腔前后端壁内对称设置有向下延伸的第二空腔，所述第一滑动腔底壁内设置有第三空腔，所述第三空腔与所述第二空腔之间可转动的设置有左右延伸的第一转轴，所述第三空腔内的所述第一转轴末端固定安装有第一锥齿轮，所述第三空腔底壁内固定安装有第一电机，所述第一电机驱动轴向上延伸顶部末端固定安装有与所述第一锥齿轮啮合的第二锥齿轮，所述第二空腔内的所述第一转轴末端转动设置于所述第二空腔外侧端壁内，所述第二空腔内的所述第一转轴外表面固定安装有主动拨盘，所述主动拨盘左侧端面固定安装有圆销，所述第二空腔与所述第一滑动腔之间可转动的设置有左右延伸的第二转轴，所述第二空腔内的第二转轴末端固定安装有从动槽轮，所述从动槽轮上环形分布设置有与所述圆销配合的径向槽，所述第一滑动腔内的所述第二转轴内侧末端伸入所述第一空腔，所述第一空腔内的所述第二转轴末端固定安装有与所述齿条啮合的第一齿轮，所述第一滑动腔顶部设有开口向下的第二滑动腔，所述第二滑动腔前后端壁内设有开口向内的第三滑动腔，所述第二滑动腔内可上下滑动的设置有前后延伸的第二滑动块，所述第二滑动块前后两端伸入所述第三滑动腔，所述第二滑动块内前后对称设置有上下贯穿的第二通孔，所述第二通孔滑动设置有上下延伸的第二光杆，所述第二光杆上下两端固定设置于所述第三滑动腔上下端壁内，所述第二滑动块下端壁内设置有开口向下的第四滑动腔，所述第四滑动腔内可左右滑动的设置有第三滑动块，所述第三滑动块内设有前后贯通的第一螺纹孔，所述第一螺纹孔内螺纹配合有前后延伸的第一螺纹杆，所述第一螺纹杆后侧末端转动设置于所述第四滑动腔后侧端壁内，所述第一螺纹杆前侧末端与固定安装于所述第四滑动腔前侧端壁内的所述第二电机动力连接，所述机身上设置有移动装置，所述移动装置包括滚轮座以及滚轮。
2.根据权利要求1所述的一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置，其特征在于：所述第二滑动腔顶壁内设有开口向下的第四空腔，所述第四空腔端壁内设有贯穿所述第四空腔的第五空腔，所述第四空腔内可转动的设置有转动套，所述转动套外表面固定安装有第二齿轮，所述转动套内设置有上下贯通的第二螺纹孔，所述第二螺纹孔内螺纹设置有上下延伸的第二螺纹杆，所述第二螺纹杆向下延伸入所述第二滑动腔且底部末端固定设置于所述第二滑动块上端壁内，所述第二螺纹杆顶部末端伸入所述第四空腔内，所述第五空腔上端壁内固定安装有第三电机，所述第三电机驱动轴向下延伸底部末端外表面固定安装有与所述第二齿轮啮合的第三齿轮。
3.根据权利要求1所述的一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置，其特征在于：所述第一滑动块顶壁内设有开口向上且右侧贯通的凹槽，所述凹槽下端壁内设有向下延伸的第一滑动槽，所述第一滑动槽内可上下滑动的设置有第一推杆，所述第一滑动块内设有贯穿所述第一滑动槽且右侧连通外部空间的第二滑动槽，所述第二滑动槽内可左右滑动的设置有第二推杆。
4.根据权利要求1所述的一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置，其特征在于：所述第一滑动腔右侧端壁内设置有连通外部的出料槽，所述所述第一滑动腔右侧端壁内设有开口向下的第六空腔，所述第六空腔内可转动的设置有前后延伸的第三转轴，所述第三转轴向前延伸末端转动设置于所述第六空腔前侧端壁内，所述第三转轴向后延伸末端与所述第六空腔后侧端壁内固定安装的第四电机动力连接，所述第三转轴外表面固定安装有橡胶轮。
5.根据权利要求1所述的一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置，其特征在于：所述第一滑动槽左右端壁中左右对称设置有开口向内的第一限位槽，所述第一限位槽中滑动安装有与所述第一推杆固定连接的第一限位块，所述第一限位槽顶壁上固定安装有与所述第一限位块相抵的第一顶压弹簧，所述第二滑动槽上下端壁内设有开口向内的第二限位槽，所述第二限位槽中滑动安装有与所述第二推杆固定连接的第二限位块，所述第二限位槽右侧端壁上固定安装有与所述第二限位块相抵的第二顶压弹簧。
6.根据权利要求1所述的一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置，其特征在于：所述第三滑动块下端壁内设置有激光器。
7.根据权利要求1所述的一种非晶硅薄膜锂电池刻蚀装置，其特征在于：所述滚轮座分别固定连接于所述机身四个边角上，所述滚轮座内可转动的设置有第一转轴，所述第一转轴上固定连接有所述滚轮，所述滚轮座上可转动的设置有与所述滚轮配合的刹车片。
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