CN108591609A - 一种基于磁性微阀控制液体流通的装置 - Google Patents

一种基于磁性微阀控制液体流通的装置 Download PDF

Info

Publication number
CN108591609A
CN108591609A CN201810349234.5A CN201810349234A CN108591609A CN 108591609 A CN108591609 A CN 108591609A CN 201810349234 A CN201810349234 A CN 201810349234A CN 108591609 A CN108591609 A CN 108591609A
Authority
CN
China
Prior art keywords
valve
micro
microchannel
magnetic micro
liquid
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810349234.5A
Other languages
English (en)
Inventor
龙威
王继尧
陈娅君
吴蜜蜜
赵娜
柴辉
杨绍华
吴张永
蔡晓明
张晓龙
魏镜弢
王庭有
莫子勇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kunming University of Science and Technology
Original Assignee
Kunming University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kunming University of Science and Technology filed Critical Kunming University of Science and Technology
Priority to CN201810349234.5A priority Critical patent/CN108591609A/zh
Publication of CN108591609A publication Critical patent/CN108591609A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0003Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
    • F16K99/0028Valves having multiple inlets or outlets
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0034Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0042Electric operating means therefor
    • F16K99/0046Electric operating means therefor using magnets

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Magnetically Actuated Valves (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基于磁性微阀控制液体流通的装置,属于微流控技术领域,本发明包括芯片、液体通道、磁性微阀Ⅰ、磁性微阀Ⅱ、液体入口、液体出口Ⅰ、液体出口Ⅱ、玻璃基片、微通道Ⅰ和微通道Ⅱ,本发明通过用电磁铁吸附磁性粉末下方的膜片来实现微阀通断和节流要求,为了克服阀门关闭不严的问题,采用磁性粉末带动膜片运动从而关闭流体通道来达到控制微阀的开闭,微通道的两侧设置为带有微阀结构的装置,通过控制电磁铁的开关来控制流体通道的开启与闭合,实现微阀开关功能,本发明装置的电磁微阀封闭性能好,流通性能佳并且提高液体流动的效率,本发明使用简单,成本低,具有较好的应用前景。

Description

一种基于磁性微阀控制液体流通的装置
技术领域
本发明涉及一种基于磁性微阀控制液体流通的装置,属于微流控技术领域。
背景技术
微流体器件广泛用于集成电子、精密仪器、医疗设备和生物制药等领域,微流体器件适合各种流量控制系统的开发,其控制技术包括光、电、气、磁、热、气相变化等。用于实验室流体处理的玻璃基板上的芯片结构,该结构的设计通过使用COMSOL Multiphysics进行仿真模拟,采用PDMS材料制作微通道结构,能够在一定的变形条件下恢复到原来的状态而结构没有发生永久性破坏。微小流体控制阀(简称微型阀)是微流体控制系统的关键部件之一,是微流量系统中不可缺少的重要组成部分,也是微流体通断和流向控制的重要元器件。它的性能直接影响着整个微流体控制系统的工作状况。随着微型阀在各个领域中的广泛应用,对其所能达到的精度要求越来越高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于磁性微阀控制液体流通的装置,通过微阀开启和关闭控制液体的流通,本发明通过用电磁铁吸附磁性粉末下方的膜片来实现微阀通断和节流要求,为了克服阀门关闭不严的问题,采用磁性粉末带动膜片运动从而关闭流体通道来达到控制微阀的开闭,微通道的两侧设置为带有微阀结构的装置,通过控制电磁铁的开关来控制流体通道的开启与闭合,实现微阀开关功能。
本发明采用的技术方案是:一种基于磁性微阀控制液体流通的装置,包括芯片、液体通道、磁性微阀Ⅰ、磁性微阀Ⅱ、液体入口、液体出口Ⅰ、液体出口Ⅱ、玻璃基片、微通道Ⅰ和微通道Ⅱ。
所述芯片设置在所述玻璃基片上,所述芯片上设有液体入口、液体出口Ⅰ和液体出口Ⅱ,所述芯片内设有液体通道,所述液体通道包括微通道Ⅰ和微通道Ⅱ,所述微通道Ⅰ的一端与液体入口连通,所述微通道Ⅰ的另一端与所述微通道Ⅱ连通,且所述微通道Ⅱ的两端分别与液体出口Ⅰ、液体出口Ⅱ连通,所述微通道Ⅱ上设有磁性微阀Ⅰ和磁性微阀Ⅱ。
所述磁性微阀Ⅰ包括磁性粉末、电磁铁和膜片,所述磁性粉末设在膜片的上方,且所述膜片安装在所述微通道Ⅱ的上方,所述电磁铁设置在所述微通道Ⅱ的下方,所述磁性微阀Ⅱ和磁性微阀Ⅰ的结构相同。
所述磁性微阀Ⅰ和磁性微阀Ⅱ的电磁铁均接通直流电或交流电。
所述磁性微阀Ⅰ和磁性微阀Ⅱ的电磁铁一个接通直流电,另一个接通交流电。
所述芯片采用PDMS聚二甲基硅氧烷材料制成,该材料透光性好,便于实验时观察流体的流动特性,生物相容性佳以及良好的化学惰性,该材料韧性比较高,弹性好,耐久性和耐压性比较高。
所述芯片长50mm,宽20mm,高5mm,所述玻璃基片(8)长75mm,宽35mm,高2mm。
所述液体入口、液体出口Ⅰ、液体出口Ⅱ均为圆形,且圆直径为1mm。
所述微通道Ⅱ长30mm,宽0.6mm,高0.6mm,所述微通道Ⅰ长10mm,宽0.6mm,高0.6mm。
所述磁性微阀Ⅰ(4)、磁性微阀Ⅱ(5)的长度与微通道Ⅱ(10)的宽度之比≥2:1,否则难以达到完全封闭的效果。
本发明的工作原理是:
将所述磁性微阀Ⅰ、磁性微阀Ⅱ的电磁铁均接通直流电,磁性微阀Ⅰ、磁性微阀Ⅱ的膜片上方的磁性粉末在电磁力的作用下向电磁铁的方向运动,膜片在磁性粉末的带动下,向下移动,从而将微通道Ⅱ进行截断,液体通道关闭;将所述磁性微阀Ⅰ或磁性微阀Ⅱ的电磁铁任意一个接通直流电,磁性微阀Ⅰ或磁性微阀Ⅱ使微通道Ⅱ的一侧截断,液体从液体出口Ⅰ或液体出口Ⅱ流出;将磁性微阀Ⅰ或磁性微阀Ⅱ的电磁铁不接通电源,则磁性粉末和膜片回至最初位置,微通道Ⅱ恢复正常状态,液体分别从液体出口Ⅰ和液体出口Ⅱ流出,从而通过对磁性微阀Ⅰ或磁性微阀Ⅱ的控制,实现液体的流通或截断。
通过控制两个通道电磁铁的通电情况,不仅可以阻断流体流动,对左右两个管道进行闭合,而且当电磁铁的电流控制一定大小时,还可以对该通道的流体进行限流,使管道的流量减少,又达到较好的微阀节流控制作用。
将所述磁性微阀Ⅰ、磁性微阀Ⅱ的电磁铁接通交流电,通过控制电磁铁通入的交流电频率的大小来控制阀门关闭频率的不同,从而控制磁性粉末和膜片的运动,膜片向微通道Ⅱ施加压力频率的不同,从而在液体出口Ⅰ和液体出口Ⅱ下形成大小不同的液滴,且可对所述磁性微阀Ⅰ、磁性微阀Ⅱ分别通入频率大小不同的交流电,从而液体出口Ⅰ和液体出口Ⅱ形成大小不同的液滴。
将所述磁性微阀Ⅰ、磁性微阀Ⅱ的电磁铁一个接通交流电,另一个接通直流电,则微通道Ⅱ的一侧控制液体流通,另一侧形成液滴。
本发明的有益效果是:
(1)本发明通过控制电磁铁电源的导通状态来控制液体通道的开启与闭合。
(2)本发明通过将控制电磁微阀的直流电改为交流电,可以通过控制交流电的频率来控制出口形成液体的形状大小。同时,也可根据两微阀需要液体形状的不同来控制两端通入交流电频率的大小,实现改变双向流出液体大小的功能。
(3)本发明使用PDMS聚二甲基硅氧烷材料制作阀体,材料透光性好、生物相容性佳以及良好的化学惰性,该材料韧性比较高,弹性好。
(4)本发明装置使用简单,成本低,是一种广泛应用于微流控等领域的聚合物材料。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图;
图2为本发明的磁性微阀Ⅰ的结构示意图;
其中,图中各标号为:1-芯片、2-液体入口、3-液体通道、4-磁性微阀Ⅰ、4-1-磁性粉末、4-2-电磁铁、4-3-膜片、5-磁性微阀Ⅱ、6-液体出口Ⅰ、7-液体出口Ⅱ、8-玻璃基片、9-微通道Ⅰ、10-微通道Ⅱ。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明,但本发明的保护范围并不限于所述内容。
实施例1:如图1~2所示,本基于磁性微阀控制液体流通的装置,包括芯片1、液体通道3、磁性微阀Ⅰ4、磁性微阀Ⅱ5、液体入口2、液体出口Ⅰ6、液体出口Ⅱ7、玻璃基片8、微通道Ⅰ9和微通道Ⅱ10。
所述芯片1设置在所述玻璃基片8上,所述芯片1长50mm,宽20mm,高5mm,所述玻璃基片8长75mm,宽35mm,高2mm,所述芯片1采用PDMS聚二甲基硅氧烷材料制成,所述芯片1上设有液体入口2、液体出口Ⅰ6和液体出口Ⅱ7,所述液体入口2、液体出口Ⅰ6、液体出口Ⅱ7均为圆形,且圆直径为1mm,所述芯片1内设有液体通道3,所述液体通道3包括微通道Ⅰ9和微通道Ⅱ10,所述微通道Ⅰ9的一端与液体入口2连通,所述微通道Ⅰ9的另一端与所述微通道Ⅱ10连通,且所述微通道Ⅱ10的两端分别与液体出口Ⅰ6、液体出口Ⅱ7连通,所述微通道Ⅱ10上设有磁性微阀Ⅰ4和磁性微阀Ⅱ5,所述磁性微阀Ⅰ4包括磁性粉末4-1、电磁铁4-2和膜片4-3、所述磁性粉末4-1设在膜片4-3的上方,且所述膜片4-3安装在所述微通道Ⅱ10的上方,所述微通道Ⅰ9长10mm,宽0.6mm,高0.6mm,所述微通道Ⅱ10长30mm,宽0.6mm,高0.6mm,所述电磁铁4-2设置在所述微通道Ⅱ10的下方,所述磁性微阀Ⅱ5和磁性微阀Ⅰ4的结构相同,所述磁性微阀Ⅰ4、磁性微阀Ⅱ5的长度与微通道Ⅱ10的宽度之比为2:1。
所述磁性微阀Ⅰ4、磁性微阀Ⅱ5的电磁铁均接通直流电,本实施例的工作原理如下:将所述磁性微阀Ⅰ4、磁性微阀Ⅱ5的电磁铁均接通直流电,磁性微阀Ⅰ4、磁性微阀Ⅱ5的膜片上方的磁性粉末在电磁力的作用下向电磁铁的方向运动,膜片在磁性粉末的带动下,向下移动,从而将微通道Ⅱ10进行截断,液体通道关闭;将所述磁性微阀Ⅰ4或磁性微阀Ⅱ5的电磁铁任意一个接通直流电,磁性微阀Ⅰ4或磁性微阀Ⅱ5使微通道Ⅱ10的一侧截断,液体从液体出口Ⅰ6或液体出口Ⅱ7流出;将磁性微阀Ⅰ4或磁性微阀Ⅱ5的电磁铁不接通电源,则磁性粉末和膜片回至最初位置,微通道Ⅱ10恢复正常状态,液体分别从液体出口Ⅰ6和液体出口Ⅱ7流出,从而通过对磁性微阀Ⅰ4或磁性微阀Ⅱ5的控制,实现液体的流通或截断。
通过控制两个通道电磁铁的通电情况,不仅可以阻断流体流动,对左右两个管道进行闭合,而且当电磁铁的电流控制一定大小时,还可以对该通道的流体进行限流,使管道的流量减少,又达到较好的微阀节流控制作用。
实施例2:本实施例结构同实施例1,不同之处在于所述磁性微阀Ⅰ4、磁性微阀Ⅱ5的长度与微通道Ⅱ10的宽度之比为3:1,所述磁性微阀Ⅰ4、磁性微阀Ⅱ5的电磁铁均接通交流电,本实施例的工作原理如下:
将所述磁性微阀Ⅰ4、磁性微阀Ⅱ5的电磁铁均接通交流电,通过控制电磁铁通入的交流电频率的大小来控制阀门关闭频率的不同,从而控制磁性粉末和膜片的运动,膜片向微通道Ⅱ施加压力频率的不同,从而在液体出口Ⅰ和液体出口Ⅱ下形成大小不同的液滴,且可对所述磁性微阀Ⅰ、磁性微阀Ⅱ分别通入频率大小不同的交流电,从而液体出口Ⅰ和液体出口Ⅱ形成大小不同的液滴。
实施例3:本实施例结构同实施例1,不同之处在于所述磁性微阀Ⅰ4、磁性微阀Ⅱ5的长度与微通道Ⅱ10的宽度之比为4:1,所述磁性微阀Ⅰ4、磁性微阀Ⅱ5电磁铁一个接通直流电,另一个接通交流电,则微通道Ⅱ10的一侧控制液体流通,另一侧形成液滴。

Claims (9)

1.一种基于磁性微阀控制液体流通的装置,其特征在于,包括芯片(1)、液体通道(3)、磁性微阀Ⅰ(4)、磁性微阀Ⅱ(5)、液体入口(2)、液体出口Ⅰ(6)、液体出口Ⅱ(7)、玻璃基片(8)、微通道Ⅰ(9)和微通道Ⅱ(10);
所述芯片(1)设置在所述玻璃基片(8)上,所述芯片(1)上设有液体入口(2)、液体出口Ⅰ(6)和液体出口Ⅱ(7),所述芯片(1)内设有液体通道(3),所述液体通道(3)包括微通道Ⅰ(9)和微通道Ⅱ(10),所述微通道Ⅰ(9)的一端与液体入口(2)连通,所述微通道Ⅰ(9)的另一端与所述微通道Ⅱ(10)连通,且所述微通道Ⅱ(10)的两端分别与液体出口Ⅰ(6)、液体出口Ⅱ(7)连通,所述微通道Ⅱ(10)上设有磁性微阀Ⅰ(4)和磁性微阀Ⅱ(5)。
2.根据权利要求1所述的基于磁性微阀控制液体流通的装置,其特征在于:所述磁性微阀Ⅰ(4)包括磁性粉末(4-1)、电磁铁(4-2)和膜片(4-3),所述磁性粉末(4-1)设在膜片(4-3)的上方,且所述膜片(4-3)安装在所述微通道Ⅱ(10)的上方,所述电磁铁(4-2)设置在所述微通道Ⅱ(10)的下方,所述磁性微阀Ⅱ(5)和磁性微阀Ⅰ(4)的结构相同。
3.根据权利要求2所述的基于磁性微阀控制液体流通的装置,其特征在于:所述磁性微阀Ⅰ(4)和磁性微阀Ⅱ(5)的电磁铁均接通直流电或交流电。
4.根据权利要求2所述的基于磁性微阀控制液体流通的装置,其特征在于:所述磁性微阀Ⅰ(4)和磁性微阀Ⅱ(5)的电磁铁一个接通直流电,另一个接通交流电。
5.根据权利要求1所述的基于磁性微阀控制液体流通的装置,其特征在于:所述芯片(1)采用PDMS聚二甲基硅氧烷材料制成。
6.根据权利要求1所述的基于磁性微阀控制液体流通的装置,其特征在于:所述芯片(1)长50mm,宽20mm,高5mm,所述玻璃基片(8)长75mm,宽35mm,高2mm。
7.根据权利要求1所述的基于磁性微阀控制液体流通的装置,其特征在于:所述液体入口(2)、液体出口Ⅰ(6)、液体出口Ⅱ(7)均为圆形,且圆直径为1mm。
8.根据权利要求1所述的基于磁性微阀控制液体流通的装置,其特征在于:所述微通道Ⅱ(10)长30mm,宽0.6mm,高0.6mm,所述微通道Ⅰ(9)长10mm,宽0.6mm,高0.6mm。
9.根据权利要求1所述的基于磁性微阀控制液体流通的装置,其特征在于:所述磁性微阀Ⅰ(4)、磁性微阀Ⅱ(5)的长度与微通道Ⅱ(10)的宽度之比≥2:1。
CN201810349234.5A 2018-04-18 2018-04-18 一种基于磁性微阀控制液体流通的装置 Pending CN108591609A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810349234.5A CN108591609A (zh) 2018-04-18 2018-04-18 一种基于磁性微阀控制液体流通的装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810349234.5A CN108591609A (zh) 2018-04-18 2018-04-18 一种基于磁性微阀控制液体流通的装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108591609A true CN108591609A (zh) 2018-09-28

Family

ID=63611149

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810349234.5A Pending CN108591609A (zh) 2018-04-18 2018-04-18 一种基于磁性微阀控制液体流通的装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108591609A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109365011A (zh) * 2018-09-30 2019-02-22 昆明理工大学 一种基于流体处理芯片的气控换向装置及方法
CN110308041A (zh) * 2019-06-28 2019-10-08 金华职业技术学院 一种微纳压缩装置
CN111514948A (zh) * 2020-04-27 2020-08-11 京东方科技集团股份有限公司 微流控芯片和检测系统

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1289658A2 (en) * 2000-05-24 2003-03-12 Micronics, Inc. Valve for use in microfluidic structures
US20060292032A1 (en) * 2005-02-10 2006-12-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Fluid chip, fluid movement control method using the same, and chemical reaction apparatus
US20080163946A1 (en) * 2006-12-28 2008-07-10 The Trustees Of California State University Magnetically controlled valve for flow manipulation in polymer microfluidic devices
CN101873052A (zh) * 2010-03-23 2010-10-27 中国矿业大学 纳米磁性液体微致动泵
CN102256690A (zh) * 2008-12-16 2011-11-23 皇家飞利浦电子股份有限公司 疏水阀
CN103140291A (zh) * 2010-07-09 2013-06-05 超微生物控股有限公司 低液量化验装置
CN107051599A (zh) * 2017-05-15 2017-08-18 深圳先进技术研究院 微流控芯片及微流控芯片控制方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1289658A2 (en) * 2000-05-24 2003-03-12 Micronics, Inc. Valve for use in microfluidic structures
US20060292032A1 (en) * 2005-02-10 2006-12-28 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Fluid chip, fluid movement control method using the same, and chemical reaction apparatus
US20080163946A1 (en) * 2006-12-28 2008-07-10 The Trustees Of California State University Magnetically controlled valve for flow manipulation in polymer microfluidic devices
CN102256690A (zh) * 2008-12-16 2011-11-23 皇家飞利浦电子股份有限公司 疏水阀
CN101873052A (zh) * 2010-03-23 2010-10-27 中国矿业大学 纳米磁性液体微致动泵
CN103140291A (zh) * 2010-07-09 2013-06-05 超微生物控股有限公司 低液量化验装置
CN107051599A (zh) * 2017-05-15 2017-08-18 深圳先进技术研究院 微流控芯片及微流控芯片控制方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109365011A (zh) * 2018-09-30 2019-02-22 昆明理工大学 一种基于流体处理芯片的气控换向装置及方法
CN110308041A (zh) * 2019-06-28 2019-10-08 金华职业技术学院 一种微纳压缩装置
CN110308041B (zh) * 2019-06-28 2024-05-10 金华职业技术学院 一种微纳压缩装置
CN111514948A (zh) * 2020-04-27 2020-08-11 京东方科技集团股份有限公司 微流控芯片和检测系统
CN111514948B (zh) * 2020-04-27 2022-02-22 京东方科技集团股份有限公司 微流控芯片和检测系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108591609A (zh) 一种基于磁性微阀控制液体流通的装置
US6619311B2 (en) Microfluidic regulating device
CN206637105U (zh) 一种用于微流控芯片的电磁微阀
US7052594B2 (en) Devices and methods for controlling fluid flow using elastic sheet deflection
CN103335154B (zh) 一种集成于微流控芯片上的电磁微阀
WO2018210239A1 (zh) 一种功能流体门控系统
JP2009509134A (ja) 微小流体調節装置
Ni et al. An integrated planar magnetic micropump
KR20110111449A (ko) 미세유체 칩을 갖는 기구
Murray et al. Electro-adaptive microfluidics for active tuning of channel geometry using polymer actuators
CN206592627U (zh) 一种集成于微流控芯片的电磁微阀
Rahbar et al. Design, fabrication and characterization of an arrayable all-polymer microfluidic valve employing highly magnetic rare-earth composite polymer
US20100307616A1 (en) Microfluidic pump, fluid guiding module, and fluid transporting system
JP4417334B2 (ja)
CN102003560B (zh) 一种电驱动形状记忆合金丝的常闭型主动微阀
Kawai et al. Microfluidic valve array control system integrating a fluid demultiplexer circuit
KR20100030311A (ko) 전자석에 의해 구동되는 박막을 구비한 마이크로펌프
CN106540760A (zh) 一种零泄漏磁性液体微流控芯片阀体及其设计方法
CN209115721U (zh) 一种磁流体换向微阀装置
CN109114250A (zh) 一种磁流体换向微阀装置及其使用方法
Tice et al. Control of pressure-driven components in integrated microfluidic devices using an on-chip electrostatic microvalve
CN107511188A (zh) 一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置及其控制方法
JP2007255433A (ja) 流量調整器
US20180333721A1 (en) Microfluidic chip, microfluidic device, associated uses and methods
CN206770728U (zh) 一种基于磁驱液控换向的微阀装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20180928