CN107511188A - 一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置及其控制方法 - Google Patents

一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置及其控制方法 Download PDF

Info

Publication number
CN107511188A
CN107511188A CN201710532093.6A CN201710532093A CN107511188A CN 107511188 A CN107511188 A CN 107511188A CN 201710532093 A CN201710532093 A CN 201710532093A CN 107511188 A CN107511188 A CN 107511188A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gas
control
passage
fluid passage
valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201710532093.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107511188B (zh
Inventor
龙威
陈娅君
杨绍华
裴浩
柴辉
吴张永
张晓龙
魏镜弢
王庭有
莫子勇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kunming University of Science and Technology
Original Assignee
Kunming University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kunming University of Science and Technology filed Critical Kunming University of Science and Technology
Priority to CN201710532093.6A priority Critical patent/CN107511188B/zh
Publication of CN107511188A publication Critical patent/CN107511188A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107511188B publication Critical patent/CN107511188B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502738Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by integrated valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0003Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
    • F16K99/0015Diaphragm or membrane valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0003Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
    • F16K99/0026Valves using channel deformation
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0034Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0055Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
    • F16K99/0059Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids actuated by a pilot fluid
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/02Adapting objects or devices to another
    • B01L2200/026Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details
    • B01L2200/027Fluid interfacing between devices or objects, e.g. connectors, inlet details for microfluidic devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2200/00Solutions for specific problems relating to chemical or physical laboratory apparatus
    • B01L2200/10Integrating sample preparation and analysis in single entity, e.g. lab-on-a-chip concept
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00Moving or stopping fluids
    • B01L2400/04Moving fluids with specific forces or mechanical means
    • B01L2400/0475Moving fluids with specific forces or mechanical means specific mechanical means and fluid pressure
    • B01L2400/0487Moving fluids with specific forces or mechanical means specific mechanical means and fluid pressure fluid pressure, pneumatics
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2400/00Moving or stopping fluids
    • B01L2400/06Valves, specific forms thereof

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

本发明公开了一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置及其控制方法。本发明空气压缩机通过气管依次连接过滤装置、压力调节阀、恒压泵,恒压泵、显微镜分别通过数据线连接PC机,气控微阀芯片放置在显微镜下观察,恒压泵将气体通过气体入口输送给控制通道和样品容器Ⅱ,样品容器Ⅱ通过液体入口连接液体通道,液体通道经液体出口连接样品容器Ⅰ,PDMS材料粘接在玻璃基片上,PDMS材料内部网络通道设有液体通道和控制通道,液体通道位于控制通道的上方,控制通道与液体通道呈十字交叉排布,液体通道和控制通道之间的PDMS材料制作成的阀膜用于控制液体的流通。本发明能有效地控制液体通道的开启与闭合。

Description

一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置及其控制方法
技术领域
本发明涉及一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置及其控制方法,属于精密设备技术领域。
背景技术
微流体器件广泛用于集成电子、精密仪器、医疗设备和生物制药等领域,微流体器件适合各种流量控制系统的开发,其控制技术包括光、电、气、磁、热、气相变化等,其中气动驱动是最常用的也是最便捷的一钟方法,因为气体便于获取还不容易损坏微阀。目前广泛用于实验室流体处理的玻璃基板上的芯片液体通道结构是光滑的,采用光滑的液体通道封闭效果不好,对于一些稀有样品检测会造成浪费。
发明内容
本发明提供了一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置及其控制方法,以用于实现微阀开启和关闭的功能。
本发明的技术方案是:一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置,包括样品容器Ⅰ1、气控微阀芯片2、显微镜3、PC机4、数据线5、恒压泵6、压力调节阀7、气源过滤装置8、气管9、空气压缩机10和样品容器Ⅱ11,所述气控微阀芯片2包括玻璃基片2-1、PDMS材料2-2、液体出口2-3、阀膜2-4、气体入口2-5、液体通道2-6、液体入口2-7和控制通道2-8;
所述空气压缩机10通过气管9依次连接过滤装置8、压力调节阀7、恒压泵6,恒压泵6、显微镜3分别通过数据线5连接PC机4,气控微阀芯片2放置在显微镜3下观察,恒压泵6将气体通过气体入口2-5输送给控制通道2-8和样品容器Ⅱ11,样品容器Ⅱ11通过液体入口2-7连接液体通道2-6,液体通道2-6经液体出口2-3连接样品容器Ⅰ1,PDMS材料2-2粘接在玻璃基片2-1上,PDMS材料2-2内部网络通道设有液体通道2-6和控制通道2-8,液体通道2-6位于控制通道2-8的上方,控制通道2-8与液体通道2-6呈十字交叉排布,液体通道2-6和控制通道2-8之间的PDMS材料制作成的阀膜2-4用于控制液体的流通。
所述液体通道2-6内壁为呈现梯度的粗糙表面。
所述阀膜2-4的长度与液体通道2-6的拱高比例为10:1。
一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置的控制方法,
气控微阀芯片2放置在显微镜3下观察,通过空气压缩机10将气体压缩之后由气管9输送给气源过滤装置8进行气源过滤,过滤之后的空气通过气管9流经压力调节阀7进而进入恒压泵6中,恒压泵6将气体以一定的压力分别输送给控制通道2-8和样品容器Ⅱ11,样品容器Ⅱ11中的样品通过液体入口2-7进入液体通道2-6从而进入到气控微阀芯片2中,通过控制气体由控制通道2-8进入气控微阀芯片2中的压力大小来控制阀膜2-4的变形从而控制液体的流通,流经气控微阀芯片2的液体通道2-6的样品从液体出口2-3流出被收集到样品容器Ⅰ1中。
当液体入口2-7的压力为0.1-0.2MPa的条件下,气体入口2-5的供气压力需要达到0.25-0.35MPa才能使阀膜2-4将液体通道2-6完全封闭。
本发明的有益效果是:
1.通过控制气体的进口压力的大小来控制液体通道的开启与闭合。
2.使用PDMS(聚二甲基硅氧烷)材料制作阀体,材料透光性好、生物相容性佳以及良好的化学惰性,该材料韧性比较高,弹性好。
3.液体通道内壁是粗糙的,能够降低供气压力,减少功耗,节省能源,达到的效果更佳。
4.该装置使用简单,成本低,是一种广泛应用于微流控等领域的聚合物材料。
5.液体通道使用粗糙内壁达到关闭阀门的效果更佳,泄漏量更低,封闭性更好,使得我们利用该结构做成的试验芯片更佳方便和快捷。
附图说明
图1为本发明实验原理图;
图2为本发明中气控微阀芯片的整体结构示意图;
图3为本发明中气控微阀芯片的局部放大示意图;
图4为本发明中图3的A-A剖视图;
图5为本发明中图4的B-B剖视图;
图6为本发明装置供气时的示意图;
图中各标号为:1-样品容器Ⅰ、2-气控微阀芯片、2-1-玻璃基片、2-2-PDMS材料、2-3-液体出口、2-4-阀膜、2-5-气体入口、2-6-液体通道、2-7-液体入口、2-8-控制通道、3-显微镜、4-PC机、5-数据线、6-恒压泵、7-压力调节阀、8-气源过滤装置、9-气管、10-空气压缩机、11-样品容器Ⅱ。
具体实施方式
实施例1:如图1-6所示,一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置,包括样品容器Ⅰ1、气控微阀芯片2、显微镜3、PC机4、数据线5、恒压泵6、压力调节阀7、气源过滤装置8、气管9、空气压缩机10和样品容器Ⅱ11,所述气控微阀芯片2包括玻璃基片2-1、PDMS材料2-2、液体出口2-3、阀膜2-4、气体入口2-5、液体通道2-6、液体入口2-7和控制通道2-8;
所述空气压缩机10通过气管9依次连接过滤装置8、压力调节阀7、恒压泵6,恒压泵6、显微镜3分别通过数据线5连接PC机4,气控微阀芯片2放置在显微镜3下观察,恒压泵6将气体通过气体入口2-5输送给控制通道2-8和样品容器Ⅱ11,样品容器Ⅱ11通过液体入口2-7连接液体通道2-6,液体通道2-6经液体出口2-3连接样品容器Ⅰ1,PDMS材料2-2粘接在玻璃基片2-1上,PDMS材料2-2内部网络通道设有液体通道2-6和控制通道2-8,液体通道2-6位于控制通道2-8的上方,控制通道2-8与液体通道2-6呈十字交叉排布,液体通道2-6和控制通道2-8之间的PDMS材料制作成的阀膜2-4用于控制液体的流通。
进一步地,可以设置所述液体通道2-6内壁为呈现梯度的粗糙表面(如设置粗糙度Ra=12.5)。
进一步地,可以设置所述阀膜2-4的长度b与液体通道2-6的拱高a比例为10:1(如长度0.5mm与拱高0.05mm,阀膜为0.5x0.5mm2,a、b如图5所示)。
一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置的控制方法,气控微阀芯片2放置在显微镜3下观察,通过空气压缩机10将气体压缩之后由气管9输送给气源过滤装置8进行气源过滤,过滤之后的空气通过气管9流经压力调节阀7进而进入恒压泵6中,恒压泵6将气体以一定的压力分别输送给控制通道2-8和样品容器Ⅱ11,样品容器Ⅱ11中的样品通过液体入口2-7进入液体通道2-6从而进入到气控微阀芯片2中,通过控制气体由控制通道2-8进入气控微阀芯片2中的压力大小来控制阀膜2-4的变形从而控制液体的流通,流经气控微阀芯片2的液体通道2-6的样品从液体出口2-3流出被收集到样品容器Ⅰ1中。
进一步地,可以设置当液体入口2-7的压力为0.1-0.2MPa的条件下,气体入口2-5的供气压力需要达到0.25-0.35MPa才能使阀膜2-4将液体通道2-6完全封闭。(与光滑的液体通道相比,光滑的液体通道输入口的压力为0.2MPa的条件下同时气体进口的供气压力需要达到0.5MPa才能使阀膜将液体通道完全封闭。而本发明,当液体入口2-7的压力为0.2MPa的条件下,气体入口2-5的供气压力只需要达到0.35MPa就能使阀膜2-4将液体通道2-6完全封闭。此外,可以设置液体入口2-7的压力为0.1MPa,气体入口2-5的供气压力达到0.25MPa来实现封闭,也可以是其他适当的取值)。
上面结合附图对本发明的具体实施方式作了详细说明,但是本发明并不限于上述实施方式,在本领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (5)

1.一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置,其特征在于:包括样品容器Ⅰ(1)、气控微阀芯片(2)、显微镜(3)、PC机(4)、数据线(5)、恒压泵(6)、压力调节阀(7)、气源过滤装置(8)、气管(9)、空气压缩机(10)和样品容器Ⅱ(11),所述气控微阀芯片(2)包括玻璃基片(2-1)、PDMS材料(2-2)、液体出口(2-3)、阀膜(2-4)、气体入口(2-5)、液体通道(2-6)、液体入口(2-7)和控制通道(2-8);
所述空气压缩机(10)通过气管(9)依次连接过滤装置(8)、压力调节阀(7)、恒压泵(6),恒压泵(6)、显微镜(3)分别通过数据线(5)连接PC机(4),气控微阀芯片(2)放置在显微镜(3)下观察,恒压泵(6)将气体通过气体入口(2-5)输送给控制通道(2-8)和样品容器Ⅱ(11),样品容器Ⅱ(11)通过液体入口(2-7)连接液体通道(2-6),液体通道(2-6)经液体出口(2-3)连接样品容器Ⅰ(1),PDMS材料(2-2)粘接在玻璃基片(2-1)上,PDMS材料(2-2)内部网络通道设有液体通道(2-6)和控制通道(2-8),液体通道(2-6)位于控制通道(2-8)的上方,控制通道(2-8)与液体通道(2-6)呈十字交叉排布,液体通道(2-6)和控制通道(2-8)之间的PDMS材料制作成的阀膜(2-4)用于控制液体的流通。
2.根据权利要求1所述的基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置,其特征在于:所述液体通道(2-6)内壁为呈现梯度的粗糙表面。
3.根据权利要求1所述的基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置,其特征在于:所述阀膜(2-4)的长度与液体通道(2-6)的拱高比例为10:1。
4.一种控制权利要求1所述的基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置的方法,其特征在于:
气控微阀芯片(2)放置在显微镜(3)下观察,通过空气压缩机(10)将气体压缩之后由气管(9)输送给气源过滤装置(8)进行气源过滤,过滤之后的空气通过气管(9)流经压力调节阀(7)进而进入恒压泵(6)中,恒压泵(6)将气体以一定的压力分别输送给控制通道(2-8)和样品容器Ⅱ(11),样品容器Ⅱ(11)中的样品通过液体入口(2-7)进入液体通道(2-6)从而进入到气控微阀芯片(2)中,通过控制气体由控制通道(2-8)进入气控微阀芯片(2)中的压力大小来控制阀膜(2-4)的变形从而控制液体的流通,流经气控微阀芯片(2)的液体通道(2-6)的样品从液体出口(2-3)流出被收集到样品容器Ⅰ(1)中。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于:当液体入口(2-7)的压力为0.1-0.2MPa的条件下,气体入口(2-5)的供气压力需要达到0.25-0.35MPa才能使阀膜(2-4)将液体通道(2-6)完全封闭。
CN201710532093.6A 2017-07-03 2017-07-03 一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置及其控制方法 Active CN107511188B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710532093.6A CN107511188B (zh) 2017-07-03 2017-07-03 一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置及其控制方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710532093.6A CN107511188B (zh) 2017-07-03 2017-07-03 一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置及其控制方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107511188A true CN107511188A (zh) 2017-12-26
CN107511188B CN107511188B (zh) 2020-05-15

Family

ID=60722136

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710532093.6A Active CN107511188B (zh) 2017-07-03 2017-07-03 一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置及其控制方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107511188B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109296823A (zh) * 2018-11-28 2019-02-01 常州工程职业技术学院 一种微流控芯片流道切换微阀结构及其切换控制方法
CN109365011A (zh) * 2018-09-30 2019-02-22 昆明理工大学 一种基于流体处理芯片的气控换向装置及方法
CN109731620A (zh) * 2018-12-29 2019-05-10 哈尔滨工业大学 一种带过渡容腔的气动水平微流控生物医学芯片

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103861668A (zh) * 2012-12-17 2014-06-18 中国科学院沈阳自动化研究所 一种基于气动微泵和微混合器的微流控芯片
CN105032511A (zh) * 2015-08-25 2015-11-11 辽宁中医药大学 一种可控化产生稳定浓度梯度的微流控芯片
CN105344389A (zh) * 2008-05-16 2016-02-24 哈佛大学 微流体系统、方法和装置

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105344389A (zh) * 2008-05-16 2016-02-24 哈佛大学 微流体系统、方法和装置
CN103861668A (zh) * 2012-12-17 2014-06-18 中国科学院沈阳自动化研究所 一种基于气动微泵和微混合器的微流控芯片
CN105032511A (zh) * 2015-08-25 2015-11-11 辽宁中医药大学 一种可控化产生稳定浓度梯度的微流控芯片

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109365011A (zh) * 2018-09-30 2019-02-22 昆明理工大学 一种基于流体处理芯片的气控换向装置及方法
CN109296823A (zh) * 2018-11-28 2019-02-01 常州工程职业技术学院 一种微流控芯片流道切换微阀结构及其切换控制方法
CN109296823B (zh) * 2018-11-28 2023-08-08 常州工程职业技术学院 一种微流控芯片流道切换微阀结构及其切换控制方法
CN109731620A (zh) * 2018-12-29 2019-05-10 哈尔滨工业大学 一种带过渡容腔的气动水平微流控生物医学芯片
CN109731620B (zh) * 2018-12-29 2021-01-12 哈尔滨工业大学 一种带过渡容腔的气动水平微流控生物医学芯片

Also Published As

Publication number Publication date
CN107511188B (zh) 2020-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107511188A (zh) 一种基于芯片实验室微流体技术气控微阀装置及其控制方法
US9574167B2 (en) Methods and apparatus for independent control of product and reactant concentrations
CN203899622U (zh) 一种微流控芯片
CN2809266Y (zh) 一体化微流体泵
CN1816393B (zh) 微流体装置
JP2009525728A5 (zh)
CN107514355B (zh) 一种微流泵
US20100307616A1 (en) Microfluidic pump, fluid guiding module, and fluid transporting system
CN105536896A (zh) 下壁面外凸的微流控芯片
US11401495B2 (en) Power device of a micro channel for external circulation of a bioreactor
US11447736B2 (en) Cell separation apparatus for bioreactor
CN205663974U (zh) 温控阀芯组件、温控阀、微流道控制芯片及控制系统
He et al. A bidirectional valveless piezoelectric micropump with three chambers applying synthetic jet
CN108591609A (zh) 一种基于磁性微阀控制液体流通的装置
Kim et al. Effect of phase shift on optimal operation of serial-connected valveless micropumps
Bavil et al. A pneumatically controlled microfluidic rectifier enabling zero backflow under pulsatile flow regime
CN101839919B (zh) 流体控制装置
CN110343611B (zh) 一种微流控芯片
US20140197339A1 (en) Lifting gate polydimethylsiloxane microvalves and pumps for microfluidic control
CN105736330A (zh) 医用微量注射并联微泵
CN209115721U (zh) 一种磁流体换向微阀装置
CN106195439B (zh) 基于流路状态的微阀系统
CN109114250A (zh) 一种磁流体换向微阀装置及其使用方法
CN109365011A (zh) 一种基于流体处理芯片的气控换向装置及方法
CN103586094A (zh) 一种具有环流混合结构的微流控芯片及环流混合方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant