CN108565199A - 一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，包括本体和挡板组件，挡板组件包括马达、凸轮、挡板；本体上开设有容纳腔，马达固定安装在本体上，凸轮的底端固定安装在马达的转动轴的顶端上，凸轮的顶端固接一连接轴，连接轴的中心轴线与马达的转动轴的中心轴线平行，凸轮位于容纳腔内，挡板上开设有安装孔，挡板通过安装孔套设在连接轴上，安装孔的尺寸大于马达的转动轴的直径。本发明使用马达驱动凸轮转动，凸轮带动挡板移动，实现挡板的开合动作，将故障率从使用线圈控制挡板时的78％降至使用马达驱动挡板时的10％，提升了工作效率；通过马达驱动带动线圈驱动，降低了贵重线圈的使用成本。

Description

一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构
技术领域
本发明涉及石英晶体谐振器制造技术领域，特别是一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构。
背景技术
石英晶体谐振器在制造过程中，需要通过离子刻蚀对其进行频率调试。调试过程中通过挡板的打开和闭合动作对离子束进行控制。然而传统的挡板微调装置使用两组电磁线圈来控制挡板的打开和闭合，线圈内铁芯与线圈间有一定间隙，当电流通过其中一个线圈时使铁芯做直线动作，此时另一个线圈处于失电状态，从而实现挡板的张开/闭合动作。因挡板张开/闭合动作频率高，磨损严重，导致两个线圈铁芯不同心，在工作一段时间后会出现张开/闭合不畅的状况，在此状况下需更换线圈。这就使得机器因故障而停机的频率增大，大大降低了生产效率。
发明内容
针对以上技术的不足，本发明的目的就是提供一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，使用马达驱动凸轮转动，凸轮带动挡板移动，从而实现挡板的张开和闭合动作，大大降低了机器的故障率，提升了工作效率。
本发明的目的是通过这样的技术方案实现的，一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，包括安装在离子刻蚀微调机上的本体，其特征在于：还包括有挡板组件，所述挡板组件包括有马达、凸轮、挡板；
所述本体上开设有容纳腔，所述马达固定安装在所述本体上，所述凸轮的底端固定安装在所述马达的转动轴的顶端上，所述凸轮的顶端固接一连接轴，所述连接轴的中心轴线与马达的转动轴的中心轴线平行，所述凸轮位于所述容纳腔内，所述挡板上开设有安装孔，所述挡板通过安装孔套设在连接轴上，所述安装孔的尺寸大于马达的转动轴的直径。
进一步地，所述挡板包括有挡板本体和连杆，所述安装孔开设在所述连杆上，所述连杆通过安装孔套设在连接轴上，所述挡板本体固定安装在所述连杆上。
进一步地，所述挡板组件的数量为两组，两组挡板组件并列设置。
进一步地，所述本体的容纳腔四周的侧壁中的两个相对的侧壁上开设有相对的卡槽，所述挡板的底端面与卡槽的槽底面贴合。
进一步地，所述卡槽的宽度值比挡板的宽度值大0.1-0.4mm。
进一步地，所述卡槽内开设有从卡槽的槽底面起并沿容纳腔深度方向的填充孔，所述填充孔内填充有耐磨块，所述耐磨块的上端面与卡槽的槽底面保持平齐。
进一步地，所述耐磨块的材质为铁氟龙或者聚氨酯。
进一步地，所述离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构还包括马达固定板，所述马达固定板通过螺丝固定安装在所述本体上，所述马达固定板位于所述容纳腔的正下方，所述马达通过螺丝固定安装在所述马达固定板上，所述马达的转动轴穿过所述马达固定板伸入至容纳腔内。
进一步地，所述离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构还包括上盖板，所述上盖板通过螺丝固定安装在所述本体上，所述上盖板位于所述容纳腔的正上方，所述上盖板的下端面与所述挡板的上端面之间留有缝隙。
进一步地，所述马达的驱动电压为10-15V。
由于采用了上述技术方案，本发明的有益效果为：本发明使用马达驱动凸轮转动，凸轮带动挡板移动，从而实现挡板的张开和闭合动作，将故障率从使用线圈控制挡板时的78％降低至使用马达驱动挡板时的10％，大大降低了机器的故障率，提升了工作效率；通过马达驱动带动线圈驱动，降低了贵重线圈的使用成本。
本发明的其他优点、目标和特征在某种程度上将在随后的说明书中进行阐述，并且在某种程度上，基于对下文的考察研究对本领域技术人员而言将是显而易见的，或者可以从本发明的实践中得到教导。本发明的目标和其他优点可以通过下面的说明书和权利要求书来实现和获得。
附图说明
本发明的附图说明如下。
图1为离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构的立体结构示意图。
图2为图1的本体的立体结构示意图。
图3为图1的去除上盖板和挡板的立体结构示意图。
图4为图1的挡板组件的立体结构示意图。
图5为图1的去除上盖板的正视结构示意图。
图6为图1的分解立体示意图。
图中：1.本体；2.容纳腔；3.卡槽；4.填充孔；5.耐磨块；6.马达；7.马达固定板；8.凸轮；9.连接轴；17.挡板；170.连杆；171.安装孔；172.挡板本体；13.上盖板；14.电路板；15.电路板绝缘片；16.线路压板。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。
如附图1至图6所示，本发明公开了一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，包括安装在离子刻蚀微调机上的本体1、并列设置的两组挡板组件，挡板组件包括有马达6、凸轮8、挡板17。
本体1上开设有贯通本体1的容纳腔2，马达固定板7通过螺丝固定安装在本体1上，马达固定板7位于容纳腔2的正下方，马达6通过螺丝固定安装在马达固定板7上，马达6的转动轴穿过马达固定板7伸入至容纳腔2内，凸轮8的底端通过止付螺丝固定安装在马达6的转动轴的顶端上，凸轮8的顶端上固接一连接轴9，连接轴9的中心轴线与马达6的转动轴的中心轴线平行，凸轮8位于容纳腔2内，容纳腔2的尺寸大于凸轮8的尺寸，容纳腔2为凸轮8的转动提供足够的空间。
挡板17上开设有安装孔171，挡板17通过安装孔171套设在连接轴9上，安装孔171的尺寸大于马达6的转动轴的直径。
挡板17包括有挡板本体172和连杆170，安装孔171开设在连杆170上，连杆170通过安装孔171套设在连接轴9上，挡板本体172通过螺丝固定安装在连杆170上。挡板本体172和连杆170的厚度和宽度均相等，而且挡板本体172的下端面和连杆170的下端面平齐。挡板本体172是消耗品，使用一定时间后要更换，本发明将挡板17设计成通过螺丝固定连接的挡板本体172和连杆170两部分，使用过程中只需更换挡板本体172，相较于挡板本体172和连杆170一体成型而言节省了大量的材料和更换时间。
使用时，对马达6通电，马达6的转动轴开始转动，从而带动凸轮8转动，因为凸轮8上的连接轴9与马达6的转动轴的中心轴线平行，也就是说连接轴9与马达6的转动轴不同轴，所以在凸轮8转动时即可带动放置在其上的连杆170移动，从而带动挡板本体172移动。因为连杆170上的安装孔171的尺寸大于连接轴9的直径，所以在凸轮8转动时连杆171不会随其转动，而是被连接轴9推动发生平移，从而实现挡板本体172的张开状态。当对马达6施加反向电压时，马达6反向旋转，带动凸轮8反向转动，挡板本体172随之向反方向平移，从而实现挡板本体172的闭合状态。
本体1的容纳腔2四周的侧壁中的两个相对的侧壁上开设有相对的卡槽3，连杆170的底端面与卡槽3的槽底面贴合。卡槽3的宽度值比连杆170的宽度值大0.1-0.4mm。卡槽3可以对连杆170起到限制作用，避免连杆170在平移过程中发生偏移，连杆170的底端面与卡槽3的槽底面贴合使得连杆170在卡槽3内的平移更平稳。
卡槽3内开设有从卡槽3的槽底面起并沿容纳腔2深度方向的填充孔4，填充孔4内填充有耐磨块5，耐磨块5的上端面与卡槽3的槽底面保持平齐。耐磨块5的材质为铁氟龙或者聚氨酯。耐磨块5可以减少本体1和连杆170之间的摩擦，铁氟龙或者聚氨酯在摩擦过程中既耐磨又不产生粉末，可以大大延长使用寿命。
离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构还包括上盖板13，上盖板13通过螺丝固定安装在本体1上，上盖板13位于容纳腔2的正上方，上盖板13的下端面与连杆170的上端面之间留有缝隙。上盖板13与连杆170之间不接触，不会因摩擦力而阻碍连杆170的移动，同时又可以延长使用寿命。
马达6的驱动电压为10-15V，相较于通过线圈控制挡板开合的结构中，线圈的驱动电压为3.2V，动力不够，导致挡板在开合过程中受阻，影响机器的正常工作，而马达6的驱动电压为10-15V，动力充足，提升挡板本体172的开合速度。
马达6与固定安装在本体1上的电路板14通过电线连接，电路板14与离子刻蚀微调机上的PLC系统连接，即马达6通过PLC系统控制。电路板14内的电路是经典常规电路，本领域技术人员能够根据使用环境和形式进行组合，属于现有技术。电路板14与本体1之间设有电路板绝缘片15，电路板14通过螺丝固定安装在本体1上。本体1上还通过螺丝固定安装有用不整理电线的线路压板16。
最后说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。

Claims (10)

1.一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，包括安装在离子刻蚀微调机上的本体，其特征在于：还包括有挡板组件，所述挡板组件包括有马达、凸轮、挡板；
所述本体上开设有容纳腔，所述马达固定安装在所述本体上，所述凸轮的底端固定安装在所述马达的转动轴的顶端上，所述凸轮的顶端固接一连接轴，所述连接轴的中心轴线与马达的转动轴的中心轴线平行，所述凸轮位于所述容纳腔内，所述挡板上开设有安装孔，所述挡板通过安装孔套设在连接轴上，所述安装孔的尺寸大于马达的转动轴的直径。
2.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述挡板包括有挡板本体和连杆，所述安装孔开设在所述连杆上，所述连杆通过安装孔套设在连接轴上，所述挡板本体固定安装在所述连杆上。
3.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述挡板组件的数量为两组，两组挡板组件并列设置。
4.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述本体的容纳腔四周的侧壁中的两个相对的侧壁上开设有相对的卡槽，所述挡板的底端面与卡槽的槽底面贴合。
5.根据权利要求4所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述卡槽的宽度值比挡板的宽度值大0.1-0.4mm。
6.根据权利要求4所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述卡槽内开设有从卡槽的槽底面起并沿容纳腔深度方向的填充孔，所述填充孔内填充有耐磨块，所述耐磨块的上端面与卡槽的槽底面保持平齐。
7.根据权利要求6所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述耐磨块的材质为铁氟龙或者聚氨酯。
8.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构还包括马达固定板，所述马达固定板通过螺丝固定安装在所述本体上，所述马达固定板位于所述容纳腔的正下方，所述马达通过螺丝固定安装在所述马达固定板上，所述马达的转动轴穿过所述马达固定板伸入至容纳腔内。
9.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构还包括上盖板，所述上盖板通过螺丝固定安装在所述本体上，所述上盖板位于所述容纳腔的正上方，所述上盖板的下端面与所述挡板的上端面之间留有缝隙。
10.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述马达的驱动电压为10-15V。
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