CN108515052A - 一种微电子器件的除尘装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种微电子器件的除尘装置，包括支撑件和固定架，固定架的底端与支撑件连接，支撑件上设有导风腔，导风腔两侧对称分布有回风腔，导风腔内嵌设有导风腔管，导风腔管顶端与离子风机连接，导风腔管底端低于支撑件的底面；回风腔内均嵌设有回风腔管，回风腔管顶端与吸尘机连接，回风腔管底端与支撑件的底面平齐离子风机和吸尘机固定在支撑架或固定架上，吸尘机位于离子风机的任一侧；本发明结合微电子器件生产实际，在导风腔管两侧均设有回风腔管，并且导风腔管的底端低于回风腔管，即导风腔管更接近微电子工件表面，清洁效果好由于吸尘腔管附近的气压低于工件附近的气压，气流快速向上卷升，被吸尘机吸走，不会扩散至生产车间中。

Description

一种微电子器件的除尘装置

技术领域

本发明属于微电子除尘技术领域，尤其涉及一种微电子器件的除尘装置。

背景技术

微电子技术是随着集成电路，尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。其发展的理论基础是19世纪末到20世纪30年代期间建立起来的现代物理学。

微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术，微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。

微电子器件属于精密器件，在微电子器件的生产、使用过程中必须保证微电子器件与灰尘隔离、保证洁净的生产环境，但由于机器、人员的活动，导致生产环境不可能完全洁净，因此，微电子器件在生产过程中还是会有particle沾染至器件上，此时需要及时对其进行清洁。

专利号为CN206443651U的发明专利公开了一种微电子器件除尘装置，包括支撑圆板，支撑圆板的外周设有环形套，环形套的套体为中空结构，环形套的套体内侧开设数个通气孔，环形套连接导管的一端，导管的另一端连接吸尘器；支撑圆板的中间处安装离子风枪，离子风枪连接离子发生器；支撑圆板上安装导风管，导风管的下口与支撑圆板相通，导风管上装有离子风扇；以上内容结合其附图可以知道，导风气流从导风管进入环形套处时，空间变大，气压降低，同时吸尘器通过环形套上的通气孔开始进一步抽气，导致从导风管进入的洁净空气直接被吸尘器吸走，可以到达微电子器件的表面的气流非常小，清洁力度及其有限；导风气流在对微电子器件进行清洁过后，气流会直接向生产空间内扩散，导致生产空间的洁净程度降低，影响后续生产。

因此，亟需一种清洁度高、且不会影响生产环境的洁净度的微电子清洁装置。

发明内容

为了解决现有技术中的微电子器件的除尘装置清洁效果差、且在清洁过程中造成生产车间的空气洁净度降低的技术问题，本发明提供一种微电子器件的除尘装置。

本发明要解决的技术问题通过以下技术手段实现：

一种微电子器件的除尘装置，包括支撑件和固定架，所述固定架的底端与支撑件连接；所述支撑件上设有导风腔、回风腔，所述导风腔内嵌设有导风腔管，所述导风腔管顶端与离子风机连接，所述离子风机固定在支撑件或固定架上；所述导风腔管底端穿出所述导风腔并低于所述支撑件的底面；

所述回风腔管对称分布在所述导风腔两侧，所述回风腔内均嵌设有回风腔管，所述回风腔管顶端与吸尘机连接，所述吸尘机固定在支撑件或固定架上；所述回风腔管底端与所述支撑件的底面平齐；所述吸尘机位于离子风机的任一侧。

进一步地，所述支撑件底部边沿处设有向外、向下延伸的翅部，所述翅部位于所述回风腔外侧。

进一步地，所述导风腔管底部边沿处设有向外、向下延伸的翼部。

进一步地，还包括固定架，所述固定架包括过个竖杆和横杆，所述竖杆平行设在所述支撑件顶壁上，所述横杆固设在竖杆上且与所述竖杆垂直；

所述离子风机、吸尘机均设置在所述横杆上，所述离子风机、吸尘机分别通过气管与所述导风腔管、回风腔管连接。

进一步地，在所述翅部底部设有镂空的安装板，所述安装板的底面上设有毛刷。

本发明的具有以下有益效果：

1、本发明结合微电子器件的生产实际，在导风腔管两侧均设有回风腔管，并且导风腔管的底端低于回风腔管，即导风腔管更接近微电子工件表面，清洁效果好；导风气流清洁工件后向两侧扩散，由于吸尘腔管附近的气压低于工件附近的气压，导风气流快速向上卷升，被吸尘腔管吸走，不会扩散至生产车间中。

2、支撑件边沿处设有向外、向下延伸的翅部，具有导流作用，防止污染空气扩散至车间空间。

3、在导风腔管底部设有向外、向下延伸的翅部，翅部可以使导风气流到达微电子器件后，再从翼部边沿向外扩散，保证气流对微电子器件的清洁效果。

附图说明

图1是微电子器件的整体结构示意图。

图2是图1中支撑件的俯视结构示意图。

图中：1-支撑件；11-导风腔；12-回风腔；13-翅部；2-导风腔管；21-翼部；3-回风腔管；4-固定架；41-横杆；42-竖杆；5-离子风机；6-吸尘机；7-微电子器件。

具体实施方式

为进一步阐述本发明达成预定目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及实施例对本发明的具体实施方式、结构特征及其功效，详细说明如下。

在本发明创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明创造的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明创造中的具体含义。

实施例1：

为了解决现有技术中的微电子器件7的除尘装置清洁效果差、且在清洁过程中造成生产车间的空气洁净度降低的技术问题，本发明提供一种如图1-图2所示的微电子器件7的除尘装置，包括支撑件1和固定架4，所述固定架4的底端与支撑件1连接；所述支撑件1上设有导风腔11和回风腔12，导风腔11两侧对称分布有回风腔12，所述导风腔11内嵌设有导风腔管2，所述导风腔管2顶端与离子风机5连接，所述离子风机5固定在支撑件1或固定架4上；所述导风腔管2底端穿出风腔11且低于支撑件1的底面，导风腔管2底端距离微电子器件7表面的距离可以是5mm~20mm，以实现对微电子器件7更好的除尘清洁；所述回风腔管12对称分布在所述导风腔11两侧，所述回风腔12内均嵌设有回风腔管3，所述回风腔管3顶端与吸尘机6连接，所述吸尘机6固定在支撑件1或固定架4上；所述回风腔管底端与所述支撑件1的底面平齐。

固定架4的作用是将支撑件1固定在天花板或设备上，以使整个除尘装置更好地清洁微电子工件表面的灰尘；所述吸尘机6位于离子风机5的任一侧。

本实施例的导风腔管2、回风腔管3的横截面形状可以是圆形、方形以及其他正多边形，在此不做限制，可以根据具体的被清洁对象的形确定。

所述支撑件1底部边沿处设有向外、向下延伸的翅部13，所述翅部13位于所述回风腔12外侧。需要指出的是，此处的翅部13可以是对称设置，也可以是构成封闭的套环。当应用在流水线上方对流动微电子器件7进行清洁时，只需要在在平行于流水线的两个方向上设置翅部13即可，若是对静止微电子器件7进行清洁，则需要在支撑件1底部周向设置周向封闭的翅部13。

本发明结合微电子器件7的生产实际，在导风腔管2两侧均设有回风腔管3，并且导风腔管2的底端低于回风腔管3，即导风腔管2更接近微电子器件7表面，清洁效果好；导风气流清洁微电子器件7后向两侧扩散，此时，由于吸尘腔管附近的气压低于微电子器件7附近的气压，导风气流快速向上卷升，被吸尘腔管3吸走，不会扩散至生产车间中。

进一步地，所述导风腔管2底部边沿处设有向外、向下延伸的翼部21。翼部21的延长线能够辐射至微电子器件7的边缘处，以实现对微电子器件7的全部表面进行清洁。同时，需要指出的是，此处的翼部21可以是对称设置，也可以是构成封闭的套环。当应用在流水线上方对流动微电子器件7进行清洁时，只需要在在平行于流水线的两个方向上设置翼部21即可，若是对静止微电子器件7进行清洁，则需要在支撑件1底部周向设置周向封闭的翼部21。

进一步地，所述固定架4包括多个竖杆42和横杆41，所述竖杆42平行设在所述支撑件1顶壁上，所述横杆41固设在竖杆42上且与竖杆42垂直；所述离子风机5、吸尘机6可以固定在所述横杆41、竖杆42、或者支撑件1上，原则上来说，离子风机5和吸尘机6的固定方式不受限制，只要不影响固定架的安装、除尘装置的工作即可。所述离子风机5、吸尘机6分别通过气管与所述导风腔管2、回风腔管3连接。吸尘机6可以是一个，也可以是两个，使用者可以根据实际安装空间和需求确定。固定架4与天花板或者设备顶壁连接，固定架4与天花板与设备的固定方式，可以采用膨胀螺栓、固定架4周壁与设备焊接、螺杆连接等任意方式。

另外，为了增强对微电子器件7的清洁效果，在所述翅部13底部设有镂空的安装板，所述安装板的底面上设有毛刷。

本发明的设计构思如下：

首先，影响微电子器件7品质的particle（小颗粒的灰尘、异物等）可以随空气一起流动，而空气流动是从高气压区流向低气压区；因此，本发明目的在于通过使导风腔管2底端低于回风腔管3底端，而在微电子器件7上方附近构成较高气压区，在微电子器件7周边形成较低气压区，再结合吸尘机6作用，加快微电子器件7附近空气循环流通的速度。

其次，为了防止导风气流未对微电子器件7进行彻底清洁前就回流至回风腔管，在导风腔管2底端设置翼部21，翼部21是进一步保证微电子器件7上方附近的高压状态。

最后，为了防止回风腔12的回风不彻底，而使少量气流流窜至车间，在支撑件1底端设置翅部13，翅部13是为了使回风腔管附近的气压高于车间的气压，且能够减小回流气体的扩散面积。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。

Claims (5)

1.一种微电子器件的除尘装置，其特征在于，包括支撑件（1）和固定架（4），所述固定架（4）的底端与支撑件（1）连接；所述支撑件（1）上设有导风腔（11）、回风腔（12），所述导风腔（11）内嵌设有导风腔管（2），所述导风腔管（2）顶端与离子风机（5）连接，所述离子风机（5）固定在支撑件（1）或固定架（4）上；所述导风腔管（2）底端穿出所述导风腔（11）并低于所述支撑件（1）的底面；

所述回风腔管（12）对称分布在所述导风腔（11）两侧，所述回风腔（12）内均嵌设有回风腔管（3），所述回风腔管（3）顶端与吸尘机（6）连接，所述吸尘机（6）固定在支撑件（1）或固定架（4）上；所述回风腔管（3）底端与所述支撑件（1）的底面平齐；所述吸尘机（6）位于离子风机（5）的任一侧。

2.根据权利要求1中任一项所述的除尘装置，其特征在于，所述支撑件（1）底部边沿处设有向外、向下延伸的翅部（13），所述翅部（13）位于所述回风腔（12）外侧。

3.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，所述导风腔管（2）底部边沿处设有向外、向下延伸的翼部（21）。

4.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，还包括固定架（4），所述固定架（4）包括多个竖杆（42）和横杆（41），所述竖杆（42）平行设在所述支撑件（1）顶壁上，所述横杆（41）平行固设在竖杆（42）上且与所述竖杆（42）垂直；

所述离子风机（5）、吸尘机（6）均设置在所述横杆（41）上，所述离子风机（5）、吸尘机（6）分别通过气管与所述导风腔管（2）、回风腔管（3）连接。

5.根据权利要求2所述的除尘装置，其特征在于，在所述翅部（13）底部设有镂空的安装板，所述安装板的底面上设有毛刷。