CN108398443A - 一种x光晶元检测设备 - Google Patents
一种x光晶元检测设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108398443A CN108398443A CN201810206554.5A CN201810206554A CN108398443A CN 108398443 A CN108398443 A CN 108398443A CN 201810206554 A CN201810206554 A CN 201810206554A CN 108398443 A CN108398443 A CN 108398443A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- control cabinet
- detection case
- guide rail
- axis guide
- ray
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 54
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000013461 design Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 abstract description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/03—Investigating materials by wave or particle radiation by transmission
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/10—Different kinds of radiation or particles
- G01N2223/101—Different kinds of radiation or particles electromagnetic radiation
- G01N2223/1016—X-ray
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/60—Specific applications or type of materials
- G01N2223/604—Specific applications or type of materials monocrystal
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
本发明公开了一种X光晶元检测设备，包括控制箱和检测箱，所述控制箱和检测箱下端均设置有多个滑轮，所述控制箱上端左侧设置有扫描仪，所述控制箱上端中部设置有键盘，所述控制箱上端右侧设置有鼠标，所述控制箱前侧面板右侧从上至下依次设置有应急按钮、控制开关和总开关，所述检测箱前侧中部设置有显示屏。本发明在结构上设计合理，使用起来操作方便，能自动识别产品，检测结果实时反馈，实用价值很高；滑轮可以方便设备的移动，省时省力，为设备的转移提供方便；在光线较暗时，灯管可以提供照明，使其不影响检测结果；X光检测装置可在X轴导轨和Y轴导轨做上下、左右移动，不存在检测盲区。
Description
技术领域
本发明涉及一种检测设备，具体是一种X光晶元检测设备。
背景技术
晶元(Wafer)，是生产集成电路所用的载体,多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元。晶元是最常用的半导体材料。晶元越大，同一圆片上可生产的IC就越多，可降低成本；但要求材料技术和生产技术更高。
由于晶元较小，生产后的产品是否合格就需要专门的检测设备，目前，X光检测是比较常用的方法，然而，现在的检测设备不能自动识别产品；有时光线较暗时对检测结果影响较大；检测装置存在盲区。因此，本领域技术人员提供了一种X光晶元检测设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种X光晶元检测设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种X光晶元检测设备，包括控制箱和检测箱，所述控制箱和检测箱下端均设置有多个滑轮，所述控制箱上端左侧设置有扫描仪，所述控制箱上端中部设置有键盘，所述控制箱上端右侧设置有鼠标，所述控制箱前侧面板右侧从上至下依次设置有应急按钮、控制开关和总开关，所述检测箱前侧中部设置有显示屏，所述检测箱右侧开设有横槽且滑动连接活动板，所述活动板右端设置有挡板，所述活动板上端设置有多个固定块，所述固定块共同固定连接有放料盘；
所述检测箱内部在活动板左右两侧均设置有X轴导轨，所述检测箱在X轴导轨的右侧设置有第二伺服电机，所述X轴导轨滑动连接有第一滑块，所述第一滑块上端固定连接有Y轴导轨，所述Y轴导轨右端设置有第一伺服电机，所述Y轴导轨上滑动连接有第二滑块，所述第二滑块下端设置有固定板，所述固定板下端设置有X光检测装置，所述检测箱后侧通过螺丝固定连接有检修板，所述检测箱内部顶端左侧设置有斜板，所述斜板的一侧设置有灯管，所述检测箱内侧顶端设置有定位器。
作为本发明进一步的方案：所述滑轮数量至少为4个。
作为本发明再进一步的方案：所述控制箱内部分别设置有电源、电路板和单片机；所述电源与电路板电性连接，电路板上安装有单片机，所述单片机与控制开关、显示屏、扫描仪、第一伺服电机、第二伺服电机和定位器均电性连接,所述单片机型号为AT89C51。
作为本发明再进一步的方案：所述固定块形状为L形。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明在结构上设计合理，使用起来操作方便，能自动识别产品，检测结果实时反馈，实用价值很高；滑轮可以方便设备的移动，省时省力，为设备的转移提供方便；在光线较暗时，灯管可以提供照明，使其不影响检测结果；X光检测装置可在X轴导轨和Y轴导轨做上下、左右移动，不存在检测盲区。
附图说明
图1为一种X光晶元检测设备的主视图。
图2为一种X光晶元检测设备的俯视图。
图3为一种X光晶元检测设备中检测箱的结构示意图。
图中：1-控制箱、2-滑轮、3-检测箱、4-扫描仪、5-键盘、6-鼠标、7-应急按钮、8-控制开关、9-总开关、10-活动板、11-挡板、12-固定块、13-显示屏、14-放料盘、15-X轴导轨、16-第一滑块、17-Y轴导轨、18-第二滑块、19-固定板、20-X光检测装置、21-第一伺服电机、22-第二伺服电机、23-螺丝、24-检修板、25-斜板、26-灯管、27-定位器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1～3，本发明实施例中，一种X光晶元检测设备，包括控制箱1和检测箱3，所述控制箱1和检测箱3下端均设置有多个滑轮2，所述控制箱1上端左侧设置有扫描仪4，所述控制箱1上端中部设置有键盘5，所述控制箱1上端右侧设置有鼠标6，所述控制箱1前侧面板右侧从上至下依次设置有应急按钮7、控制开关8和总开关9，所述检测箱3前侧中部设置有显示屏13，所述检测箱3右侧开设有横槽且滑动连接活动板10，所述活动板10右端设置有挡板11，所述活动板10上端设置有多个固定块12，所述固定块12共同固定连接有放料盘14；
所述检测箱3内部在活动板10左右两侧均设置有X轴导轨15，所述检测箱3在X轴导轨15的右侧设置有第二伺服电机22，所述X轴导轨15滑动连接有第一滑块16，所述第一滑块16上端固定连接有Y轴导轨17，所述Y轴导轨17右端设置有第一伺服电机21，所述Y轴导轨17上滑动连接有第二滑块18，所述第二滑块18下端设置有固定板19，所述固定板19下端设置有X光检测装置20，所述检测箱3后侧通过螺丝3固定连接有检修板24，所述检测箱3内部顶端左侧设置有斜板25，所述斜板25的一侧设置有灯管26，所述检测箱3内侧顶端设置有定位器27。
所述滑轮2数量至少为4个。
所述控制箱1内部分别设置有电源、电路板和单片机；所述电源与电路板电性连接，电路板上安装有单片机，所述单片机与控制开关8、显示屏13、扫描仪4、第一伺服电机21、第二伺服电机22和定位器27均电性连接,所述单片机型号为AT89C51。
所述固定块12形状为L形。
本发明的工作原理是：
本发明涉及一种X光晶元检测设备，使用者使用该设备时，首先打开控制箱1上的总开关9，然后通过控制按钮8将设备中的其他机器打开使之运转，再使用扫描仪4对放料盘14中的晶元进行扫描，这时设备会自动识别晶元的编码并生成相应的文件夹；然后将放料盘14使用固定块12固定在活动板10上，将活动板10推入检测箱3内部，定位器27会对晶元定位，X光检测装置20可以在X轴导轨和Y轴导轨上上下左右自由移动来检测晶元，经过会反映在显示屏13上，可以很清楚的观察出晶元是否合格。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (4)
1.一种X光晶元检测设备，包括控制箱(1)和检测箱(3)，其特征在于，所述控制箱(1)和检测箱(3)下端均设置有多个滑轮(2)，所述控制箱(1)上端左侧设置有扫描仪(4)，所述控制箱(1)上端中部设置有键盘(5)，所述控制箱(1)上端右侧设置有鼠标(6)，所述控制箱(1)前侧面板右侧从上至下依次设置有应急按钮(7)、控制开关(8)和总开关(9)，所述检测箱(3)前侧中部设置有显示屏(13)，所述检测箱(3)右侧开设有横槽且滑动连接活动板(10)，所述活动板(10)右端设置有挡板(11)，所述活动板(10)上端设置有多个固定块(12)，所述固定块(12)共同固定连接有放料盘(14)；
所述检测箱(3)内部在活动板(10)左右两侧均设置有X轴导轨(15)，所述检测箱(3)在X轴导轨(15)的右侧设置有第二伺服电机(22)，所述X轴导轨(15)滑动连接有第一滑块(16)，所述第一滑块(16)上端固定连接有Y轴导轨(17)，所述Y轴导轨(17)右端设置有第一伺服电机(21)，所述Y轴导轨(17)上滑动连接有第二滑块(18)，所述第二滑块(18)下端设置有固定板(19)，所述固定板(19)下端设置有X光检测装置(20)，所述检测箱(3)后侧通过螺丝(3)固定连接有检修板(24)，所述检测箱(3)内部顶端左侧设置有斜板(25)，所述斜板(25)的一侧设置有灯管(26)，所述检测箱(3)内侧顶端设置有定位器(27)。
2.根据权利要求1所述的一种X光晶元检测设备，其特征在于，所述滑轮(2)数量至少为4个。
3.根据权利要求1所述的一种X光晶元检测设备，其特征在于，所述控制箱(1)内部分别设置有电源、电路板和单片机；所述电源与电路板电性连接，电路板上安装有单片机，所述单片机与控制开关(8)、显示屏(13)、扫描仪(4)、第一伺服电机(21)、第二伺服电机(22)和定位器(27)均电性连接,所述单片机型号为AT89C51。
4.根据权利要求1所述的一种X光晶元检测设备，其特征在于，所述固定块(12)形状为L形。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810206554.5A CN108398443A (zh) | 2018-03-14 | 2018-03-14 | 一种x光晶元检测设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810206554.5A CN108398443A (zh) | 2018-03-14 | 2018-03-14 | 一种x光晶元检测设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108398443A true CN108398443A (zh) | 2018-08-14 |
Family
ID=63092419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810206554.5A Pending CN108398443A (zh) | 2018-03-14 | 2018-03-14 | 一种x光晶元检测设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108398443A (zh) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5541856A (en) * | 1993-11-08 | 1996-07-30 | Imaging Systems International | X-ray inspection system |
| US20070195927A1 (en) * | 2006-02-22 | 2007-08-23 | Leon Fung | Method and apparatus for inspecting circuit boards |
| CN103376269A (zh) * | 2012-04-20 | 2013-10-30 | 雅马哈发动机株式会社 | 印刷电路板的检查装置 |
| CN106903069A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-06-30 | 广东正业科技股份有限公司 | 一种x光检测设备 |
| CN107632030A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-01-26 | 徐国峰 | 激光标识型印刷电路板检测机 |
| CN207894854U (zh) * | 2018-03-14 | 2018-09-21 | 深圳市昱燊科技有限公司 | 一种x光晶元检测设备 |
-
2018
- 2018-03-14 CN CN201810206554.5A patent/CN108398443A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5541856A (en) * | 1993-11-08 | 1996-07-30 | Imaging Systems International | X-ray inspection system |
| US20070195927A1 (en) * | 2006-02-22 | 2007-08-23 | Leon Fung | Method and apparatus for inspecting circuit boards |
| CN103376269A (zh) * | 2012-04-20 | 2013-10-30 | 雅马哈发动机株式会社 | 印刷电路板的检查装置 |
| CN106903069A (zh) * | 2017-02-24 | 2017-06-30 | 广东正业科技股份有限公司 | 一种x光检测设备 |
| CN107632030A (zh) * | 2017-09-27 | 2018-01-26 | 徐国峰 | 激光标识型印刷电路板检测机 |
| CN207894854U (zh) * | 2018-03-14 | 2018-09-21 | 深圳市昱燊科技有限公司 | 一种x光晶元检测设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN102621721B (zh) | 液晶面板、液晶模组及厘清其画面不良的原因的方法 | |
| CN201434844Y (zh) | 一种丝网网版的自动检测装置 | |
| CN108597458A (zh) | Local dimming背光驱动电路、装置及液晶显示设备 | |
| CN207894854U (zh) | 一种x光晶元检测设备 | |
| CN206002626U (zh) | 一种半成品触摸屏测试机 | |
| CN108398443A (zh) | 一种x光晶元检测设备 | |
| CN207164092U (zh) | 老化测试柜 | |
| CN212060521U (zh) | 电源模块的检测设备 | |
| CN106019127A (zh) | 基于磁性开关的半成品触摸屏测试机 | |
| CN108920009A (zh) | 触摸显示屏、显示装置及其修复方法 | |
| CN202710178U (zh) | 一种led光源模块光电检测装置 | |
| CN203181422U (zh) | Osp板生产设备 | |
| CN203131745U (zh) | 一种一体化日光灯管光源板 | |
| CN102413490A (zh) | 无线路由器固件测试治具 | |
| CN212018591U (zh) | 一种贴片电感全自动外观检查设备 | |
| CN208063138U (zh) | 一种光伏组件发电效率测试装置 | |
| CN204330454U (zh) | 一种自动荧光染片机 | |
| CN202471877U (zh) | 一种线路开路、短路检测装置 | |
| CN208607679U (zh) | 一种电容式屏下指纹识别装置 | |
| CN201130224Y (zh) | 等离子体显示板电极短路、断路检测装置 | |
| CN206450406U (zh) | 一种摄像头模组生产测试机台 | |
| CN110142828A (zh) | 一种木材加工钻孔设备 | |
| CN213727924U (zh) | 一种数码管管脚的自动检测机 | |
| CN110361414A (zh) | 一种玻璃杯用耐热冲击试验仪 | |
| CN100472699C (zh) | 一种等离子显示屏断线电极的修复方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20180814 |