CN108387167A - 位移检测器 - Google Patents

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Abstract

位移检测器被配置为由布置在检测头中的接收电极接收从发送信号输出单元输出的发送信号，以基于所接收的信号来检测检测头和标尺之间的位移。发送信号从布置在检测头中的发送电极通过布置在标尺中的耦合电极发送到接收电极。相位调整单元从发送信号输出单元输出的发送信号产生其相位被调整的信号。振幅调整单元调整由相位调整单元调整其相位的信号的振幅以产生串扰校正信号。解调单元对通过合成串扰校正信号和所接收的信号而产生的信号进行采样并且以解调采样的信号。

Description

位移检测器
技术领域
本发明涉及一种位移检测器。
背景技术
近来，位移检测器(或编码器)已被广泛用作测量位移的设备之一。使用诸如电容型和光学型的各种检测类型的位移检测器。例如，作为位移检测器的示例的线性编码器包括标尺和沿着标尺移动的检测头，并且检测标尺和检测头之间的位移。
在一般的电容式位移检测器中，已知的是，不期望的发送信号干扰所接收的信号并且由此在检测到位移时发生串扰。因此，位移检测的精度恶化。另一方面，提出了一种校正串扰的方法(日本未审查专利特开第2-269908号公报)。在该方法中，通过调整具有与通过不必要路径的电容输入的信号的相位相反的相位的信号的振幅，并且将调整后的信号作为校正信号输入到接收电极，在接收电极消除串扰。
发明内容
在日本未审查专利特开第2-269908号公报，由逆变器产生具有与输入到发送电极的信号的相位相反的相位的校正信号。然而，为了高精度地校正串扰，需要精确地调整校正信号的相位。因此，为了更精确地调整消除电容器的电容值，并联布置的消除电容器的数量增加。换句话说，为了改善校正信号的相位调整功能，不可避免地增加电路规模。
本发明鉴于上述情况而做出，并且本发明的目的在于以简单的配置来抑制或去除电容式位移检测器的串扰。
本发明的第一示例性方面是一种位移检测器，所述位移检测器是电容式位移检测器，被配置为通过布置在检测头中的接收电极接收从发送信号输出单元输出的发送信号，以基于接收的信号检测所述检测头和标尺之间的位移，所述发送信号从布置在所述检测头中的发送电极通过布置在所述标尺中的耦合电极发送到所述接收电极，所述位移检测器包括：相位调整单元，被配置为从发送信号输出单元输出的发送信号产生相位被调整的信号；振幅调整单元，被配置为调整由相位调整单元调整相位的信号的振幅以产生串扰校正信号；和解调单元，被配置为对通过合成所述串扰校正信号和所接收的信号而产生的信号进行采样，并且被配置为解调所采样的信号。
本发明的第二示例性方面是上述位移检测器，其中相位调整单元基于预定条件通过电容分压来调整所述发送信号的电压，并且合成调整过的电压以产生具有与包括在所述接收的信号中的串扰的相位相反的相位的信号，振幅调整单元基于预定条件使得由相位调整单元产生的信号的振幅与串扰的振幅一致，以产生串扰校正信号。
本发明的第三示例性方面是上述位移检测器，其中相位调整单元包括多个第一电容器，第一电容器的一端连接到振幅调整单元的输入端，并且响应于第一控制信号来控制所述多个第一电容器中的所述第一电容器的数量，所述第一电容器的另一端接收所述发送信号。
本发明的第四示例性方面是上述位移检测器，其中所述多个第一电容器的电容值彼此不同。
本发明的第五示例性方面是上述位移检测器，其中振幅调整单元包括多个第二电容器，并且振幅调整单元被配置为能够改变所述多个第二电容器中的连接在解调单元和振幅调整单元之间的所述第二电容器的数量。
本发明的第六示例性方面是上述位移检测器，包括多个第一开关，所述多个第一开关插在所述振幅调整单元与所述多个第二电容器之间或者所述解调单元与所述多个第二电容器之间，所述多个第一开关被配置为响应于第二控制信号而打开和闭合，其中所述多个第一开关中要闭合的第一开关的数量响应于所述第二控制信号而被控制。
本发明的第七示例性方面是上述位移检测器，其中解调单元响应于采样信号对通过合成所接收的信号和串扰校正信号而产生的信号进行充电的信号检测电容器的电压进行采样，并且响应于放电信号对在信号检测电容器中充电的电荷进行放电。
本发明的第八示例性方面是上述位移检测器，包括连接到所述多个第二电容器中的每一个的解调单元侧端和地的多个第二开关，其中所述多个第二开关响应于所述放电信号被同时打开，或者所述多个第二开关中要闭合的第二开关的数量能够响应于所述第二控制信号而被控制。
本发明的第九示例性方面是上述位移检测器，包括：多个AND电路，所述第二控制信号被输入到所述AND电路的一端，所述采样信号被输入到所述AND电路的另一端，并且所述多个第一开关的打开和闭合分别响应于所述多个AND电路的输出信号而被控制；以及多个OR电路，所述放电信号被输入到所述OR电路的一端，所述第二控制信号的反向信号被输入到所述OR电路的另一端，并且所述多个第二开关的打开和闭合分别响应于多个OR电路的输出信号而被控制。
本发明的第十示例性方面是上述位移检测器，其中振幅调整单元包括：多个第三开关，响应于第三控制信号而打开和闭合，所述多个第三开关中的每一个的一端连接到相位调整单元的输出；以及多个第三电容器，所述多个第三开关中的每一个的一端分别连接到所述多个第三开关的其他端，并且所述多个第三开关的其他端连接到地，所述多个第三开关中要闭合的第三开关的数量响应于所述第三控制信号而被控制。
根据本发明，可以以简单的配置来抑制或去除电容式位移检测器的串扰。
本发明的上述和其它目的、特征和优点将从下面给出的详细描述和附图中得到更充分的理解，附图仅仅是作为示出给出的，因此不应被认为是对本发明的限制。
附图说明
图1示意性地示出根据第一示例性实施例的位移检测器的配置；
图2示出标尺和检测头的电极的布置；
图3示出检测头的电极的布置；
图4示出通过使用向量表示的串扰和所接收的信号之间的关系；
图5示出串扰和所接收的信号的波形；
图6示意性地示出根据第一示例性实施例的位移检测器的信号处理单元的配置；
图7示出相位调整可变电容单元的配置示例；
图8示意性地示出振幅调整可变电容单元和采样电路的配置；
图9示出表示信号处理单元的操作示例的时序图；
图10示出通过使用矢量表示的根据第一示例性实施例的信号处理单元中的串扰、串扰校正信号和所接收的信号之间的关系；
图11示出根据第一示例性实施例的信号处理单元中的串扰、串扰校正信号和所接收的信号的波形；
图12示意性地示出根据第二示例性实施例的振幅调整可变电容单元的配置。
具体实施方式
在下文中参照附图解释根据本发明的示例性实施例。在整个附图中，相同的符号被分配给相同的部件，并且适当地省略它们的重复说明。
第一示例性实施例
将描述根据第一示例性实施例的位移检测器100。图1示意性地示出根据第一示例性实施例的位移检测器100的配置。位移检测器100包括标尺1、检测头2、信号处理单元3和发送信号输出单元4。标尺1和检测头2被配置为在位移测量方向上相对地可移动。以下，将测量方向描述为X方向。标尺1和检测头2的主表面是与X方向平行的X-Y平面并且为与X方向垂直的方向。标尺1和检测头2分别布置在与X方向和Y方向垂直的Z方向上。
图2示出了标尺1和检测头2的电极的布置。标尺1包括主面为X-Y平面且其长度方向为X方向的板状构件1A。在板状构件1A上，耦合电极和接地电极被布置为在X方向上排列。在该示例中，耦合电极EC和接地电极EE沿着X方向以周期P交替排列。耦合电极EC和接地电极EE电绝缘并且接地电极EE接地。
检测头2包括主面为X-Y平面的板状构件2A。在板状构件2A上布置有发送电极ET和接收电极ER。发送电极ET和接收电极ER被布置为面对标尺1的耦合电极EC和接地电极EE。换句话说，在图2中，标尺1的耦合电极EC和接地电极EE被布置在面向板状构件1A的Z(+)方向的面上，并且检测头2的发送电极ET和接收电极ER被布置在面向板状构件2A的Z(-)方向的面上。在图2中，以虚线示出了布置在面向Z(-)方向的板状构件2A的面上的发送电极ET和接收电极ER。
图3示出检测头的电极的布置。多个发送电极ET沿X方向排列。在这个例子中，四个发送电极ET1至ET4构成一组，并且这些组以周期P重复排列，以便发送四相信号。在这种情况下，发送电极ET1至ET4以P/4的间距按此顺序排列。
具有彼此不同相位的信号作为发送信号分别从发送信号输出单元4输入到发送电极ET1至ET4。这里，作为其相位相差90°的四相信号的发送信号TA(0°)、TB(90°)、TC(180°)和TD(270°)分别被输入到发送电极ET1至ET4。
接收电极ER是其纵向是X方向的电极。接收电极ER被布置在板状构件2A上在Y方向上与发送电极ET1至ET4分离的位置处。在这个例子中，接收电极ER在X方向上或在测量方向上的长度是2P。
当发送信号TA至TD分别输入到发送电极ET1至ET4时，通过耦合电极EC在接收电极ER中感应与发送信号TA至TD对应的电压。在这种状态下，当标尺1相对于检测头2在X方向上移位时，发送电极ET1至ET4与接收电极ER之间的电容被重复改变，并且具有对应于位移的相位的信号在接收电极ER被接收。该感应电压作为所接收的信号RS被输出到信号处理单元3。此后，可通过处理所接收的信号RS来检测标尺1与检测头2之间的位移，以导出相位分量。
信号处理单元3以预定频率对所接收的信号RS进行采样，并生成指示所接收的信号的振幅的逻辑信号。然后，可通过检测逻辑信号的相位来检测标尺1与检测头2之间的位移。
如上所述，发送信号TA至TD的每个发送路径是从发送电极ET1至ET4中的每一个通过耦合电极EC到接收电极ER的路径。然而，在本配置中，如图3所示，由于发送电极ET1至ET4与接收电极ER之间的耦合电容CC，发生通过不期望的发送路径的串扰CTK。因此，由于串扰被混合在所接收的信号RS中，所以信号处理单元3对所接收的信号RS的采样受到串扰的影响。
图4示出通过使用向量表示的串扰和所接收的信号之间的关系。图5示出串扰和所接收的信号的波形。在图4中，横轴的正方向表示发送信号TA(0°)的振幅，纵轴的正方向表示发送信号TB(90°)的振幅，横轴的负方向表示发送信号TC(180°)的振幅，纵轴的负方向表示发送信号TD(270°)的振幅。
例如，当指示标尺1相对于检测头2的位置的相位是θ时，混合了由串扰CTK引起的失真的信号OS2作为所接收的信号RS而输出。另一方面，没有由于应该基本上接收到的串扰CTK引起的失真的所接收的信号是信号OS1，该信号是从信号OS2去除了串扰CTK的信号。
因此，根据本示例性实施例的位移检测器100的信号处理单元3被配置为在抑制所接收的信号RS的串扰之后(优选在去除所接收的信号RS的串扰之后)，对信号进行采样。
在下文中，将详细描述信号处理单元3。图6示意性地示出根据第一示例性实施例的位移检测器100的信号处理单元3的配置。信号处理单元3包括作为相位调整单元的相位调整可变电容单元31至34、作为振幅调整单元的振幅调整可变电容单元35以及解调电路36。
发送信号TA至TD分别从发送信号输出单元4输入到相位调整可变电容单元31至34。相位调整可变电容单元31至34的电容可分别响应于所提供的控制信号CON1至CON4而被控制。在下文中，控制信号CON1至CON4中的每一个也被称为第一控制信号。因此，相位调整可变电容单元31至34分别通过电容分压来调整发送信号TA至TD的电压。调整后的信号被合成，以产生具有与所接收的信号RS中所包括的串扰成分的相位相反的相位的信号SIG1，所产生的信号输出到振幅调整可变电容单元35。
将具体描述相位调整可变电容单元31至34。相位调整可变电容单元31至34可以具有相同的配置。这里，将以相位调整可变电容单元31的配置示例为代表进行描述。图7示出相位调整可变电容单元31的配置示例。相位调整可变电容单元31包括第一电容器(电容器C1至C4)和第一AND电路(AND电路41至44)。电容器C1至C4是具有彼此不同的电容值的电容器。
在这个例子中的发送信号，发送信号TA被输入到AND电路41到44中的每一个的一个输入。控制信号被输入到AND电路41到44中的每一个的另一输入。这里，控制信号CON11至CON14分别输入到AND电路41至44。换句话说，AND电路41至44的激活和去激活分别由控制信号CON11至CON14控制。为简化起见，控制信号CON11至CON14被表示为图6中的控制信号CON1。AND电路41至44的输出分别与电容器C1至C4连接。如上所述，由于电容器C1至C4的电容值彼此不同，所以相位调整可变电容单元31的输出值或者发送信号TA的电压可以通过电容分压以16级(4位)改变。
因为相位调整可变电容单元32至34与相位调整可变电容单元31相同，所以将省略其描述。
在相位调整可变电容单元31至34中通过电容分压而调整其电压的发送信号TA至TD被合成，并且相位调整过的信号SIG1被输出。
振幅调整可变电容单元35输出通过调整从相位调整可变电容单元31至34输出的信号SIG1的振幅而产生的信号，作为串扰校正信号COR。图8示意性地示出振幅调整可变电容单元35和采样电路37的配置。
振幅调整可变电容单元35包括衰减电容器CATT、电容器CT1至CT4、AND电路51至54、OR电路61至64、反相器71至74以及开关S1至S8。电容器CT1至CT4是具有不同电容值的电容器。在下文中，电容器CT1至CT4中的每一个也被称为第二电容器。AND电路51至54中的每一个也被称为第二AND电路。开关S1至S4中的每一个也被称为第一开关，并且开关S5至S8中的每一个也被称为第二开关。
采样信号SMP被输入到AND电路51至54中的每一个的一个输入。控制信号CTL1至CTL4被分别输入到AND电路51至54的另一输入。在下文中，控制信号CTL1至CTL4中的每一个也被称为第二控制信号。放电信号DIS被输入到OR电路61到64中的每一个的一个输入。控制信号CTL1至CTL4分别被输入到反相器71到74的输入。反相器71至74的输出端分别连接到OR电路61至64的另一输入。
信号SIG1被输入到衰减电容器CATT的一端。换言之，输入信号SIG1所输入到的衰减电容器CATT的一端连接在相位调整可变电容单元31至34与电容器CT1至CT4之间的节点与地之间。因此，由衰减电容器CATT衰减的信号SIG1被输入到电容器CT1至CT4。开关S1至S4分别插在电容器CT1至CT4的另一端和解调电路36之间。开关S1至S4响应于从AND电路51至54输出的信号分别被打开和闭合。开关S5至S8插在电容器CT1至CT4的另一端与地之间。换句话说，开关S5至S8插在开关S1至S4分别连接到的电容器CT1至CT4的端部与地之间。开关S5至S8响应于从OR电路61至64输出的信号分别被打开和闭合。
解调电路36被配置为解调所接收的信号RS以输出解调信号DM的电路。解调电路36被配置为包括采样电路37的电路。采样电路37被配置为响应于采样信号SMP对通过合成所接收的信号RS和串扰校正信号COR而产生的信号进行采样的电路。以下，将描述采样电路37的配置示例。
在这个例子中，假设所接收的信号RS从施加有电压VIN的电路38输出。电路38是表示接收发送信号的接收电极ER的等效电路，电压VIN是输入到发送电极ET的电压。电路38被表示为下面描述的电路。在电路38中，电容器C5被插到施加了电压VIN的端子与输出端子之间。此外，在电路38中，电容器C6被插在电容器C5和输出端子之间的节点与地之间。
采样电路37包括信号检测电容器CS1、开关S9和S10以及放大器AMP。所接收的信号RS被输入到开关S9的一端，开关S9的另一端被连接到放大器AMP的非反相输入端。开关S9响应于采样信号SMP而被打开和闭合。开关S10连接在所接收的信号RS输入到的开关S9的一端与地之间。开关S10响应于放电信号DIS而打开和闭合。
从振幅调整可变电容单元35输出的串扰校正信号COR被输入到放大器AMP的非反相输入端与开关S9之间的节点N1。信号检测电容器CS1插在节点N1和地之间。放大器AMP的反相输入连接到放大器AMP的输出。换句话说，放大器AMP构成电压跟随器。指示采样结果的信号OUT从放大器AMP的输出端输出。虽然没有示出，但信号OUT被解调并且解调信号被输出作为解调信号DM。
例如，当采样信号为高时，振幅调整可变电容单元35的电容值根据响应于控制信号CTL1至CTL4而闭合的开关的数量来确定。在采样电路37中，响应于采样信号SMP，通过合成所接收的信号RS和串扰校正信号COR而产生的信号对信号检测电容器CS1充电，并对充电电压进行采样。当放电信号DIS为高时，振幅调整可变电容单元35的电容器CT1至CT4同时被短路，并且在信号检测电容器CS1中充电的电荷被放电。
图9示出表示信号处理单元3的操作示例的时序图。在图9中，当电压VIN变高时，电压VIN的值为V1。例如，在电压VIN变为高电平之前时，当放电信号DIS从低电平变为高电平时，开关S10被打开(图9中的定时T1)。之后，当采样信号SMP从低电平变为高电平时，开关S9打开(图9中的定时T2)。由此，在信号检测电容器CS1中被充入的电荷被放电。随后，当放电信号DIS从高电平变为低电平时，开关S10被闭合(图9中的定时T3)。因此，信号检测电容器CS1处于可充电状态。之后，当电压VIN从低电平变为V1时，节点N1的电压从低电平变为V2(图9中的定时T4)。此时的电压V2由以下表达式表示：V2＝C5/(C5+C6+CS1)*V1。此后，当采样信号SMP从高电平变为低电平时，开关S10被闭合(图9中的定时T5)。因此，节点N1的电压V2被采样，并且采样信号作为指示采样结果被输出的信号OUT被输出。
接下来，将描述信号处理单元3对串扰的校正。图10示出通过使用矢量表示的根据第一示例性实施例的信号处理单元3中的串扰、串扰校正信号和所接收的信号之间的关系。图11示出根据第一示例性实施例的信号处理单元3中的串扰、串扰校正信号和所接收的信号的波形。在图10中，如图4所示，横轴的正方向表示发送信号TA(0°)的振幅，纵轴的正方向表示发送信号TB(90°)的振幅，横轴的负方向表示发送信号TC(180°)的振幅，纵轴的负方向表示发送信号TD(270°)的振幅。
在这个例子中，如图4所示，信号OS1的相位和振幅受到串扰CTK的影响，从而在信号OS1中出现失真。作为结果，如图4所示，由于失真，信号OS2被输出为所接收的信号RS。但是，在本配置中，由相位调整可变电容单元31至34和振幅调整可变电容单元35产生具有与串扰CTK的相位相反的相位且与串扰CTK的振幅相同的串扰校正信号COR。采样电路37对通过合成所接收的信号RS和串扰校正信号COR而产生的信号进行采样。因此，如图10所示，串扰CTK被具有与串扰CTK的相位相反且与串扰CTK的振幅相同的串扰校正信号COR消除。结果，如图10和图11所示，没有受串扰影响的信号OS1被采样。
如上所述，根据本配置，可以实现能够抑制或去除电容式位移检测器的串扰的位移检测器。
在根据本示例性实施例的位移检测器100中，相位调整可变电容单元31至34的相位调整量和振幅调整可变电容单元35的振幅调整量是预定的。例如，由采样电路37采样的信号的振幅可以仅通过检测头而不用标尺来监视，并且相位调整可变电容单元31至34和振幅调整可变电容单元35的电容值可以被调整或校准以最小化监视的振幅。因此，当在调整后测量位移时，可以稳定地校正串扰。
在本配置中，由相位调整可变电容单元31至34执行发送信号的相位调整，并且由振幅调整可变电容单元35执行发送信号的振幅调整。换句话说，发送信号的相位调整和发送信号的振幅调整被分离地执行。与日本未审查专利特开第2-269908号公报中公开的这种方法相比，这对于减小电路规模是有利的。原因将在下面描述。
在日本未审查专利特开第2-269908号公报中，使用具有不同电容值的四个电容器以16级(4位)改变输入到发送电极的每个替代电压的振幅。在这种情况下，消除电容器的电容比或通过将最大电容值除以最小电容值而获得的值是16。如在通过这种配置的根据第一示例性实施例的位移检测器100的情况中那样，为了产生以256级(8位)改变的串扰校正信号，与4位的情况相比，需要实现16倍的电容比。结果，电容占据的面积大大增加，电路规模也增加。
另一方面，在根据第一示例性实施例的位移检测器100中，由于发送信号的4位相位调整和发送信号的4位振幅调整被分离地执行，所以总电容比是16+16＝32。因此，在本配置中，相对于日本未审查专利特开第2-269908号公报，电容器占据的面积可以是1/8。因此，可以理解，在减小电路面积从而降低成本方面是有利的。
如上所述，根据本配置，通过以低成本实现的简单配置来精确地调整串扰校正信号的相位和振幅，可以高精度地去除串扰。
第二示例性实施例
接下来，将描述根据第二示例性实施例的位移检测器。在根据本示例性实施例的位移检测器中，信号处理单元的振幅调整可变电容单元的配置与根据第一示例性实施例的位移检测器100中的信号处理单元的振幅调整可变电容单元的配置不同。下面将描述根据第二示例性实施例的振幅调整可变电容单元39。
图12示意性地示出根据第二示例性实施例的振幅调整可变电容单元39的配置。振幅调整可变电容单元39包括电容器C11至C14和开关S11至S14。在这个例子中，电容器C11至C14的电容值彼此不同。从相位调整可变电容单元31至34输出的信号SIG1被输入到开关S11至S14的每一个的一端。电容器C11至C14分别插在开关S11至S14的另一端和地之间。控制信号CTL1至CTL4被提供给开关S11至S14以分别控制开关S11至S14的打开和闭合。在下文中，电容器C11至C14中的每一个也被称为第三电容器。开关S11至S14中的每一个也被称为第三开关。第二示例性实施例中的控制信号CTL1至CTL4中的每一个也被称为第三控制信号。
根据本配置，可通过控制开关S11至S14的打开和闭合来以16级改变用于衰减信号SIG1的电容器的电容值。作为结果，通过衰减信号SIG1产生的信号可以作为串扰校正信号COR提供给解调电路36。
如上所述，根据本配置，与在第一示例性实施例中一样，可实现能够抑制或去除电容式位移检测器的串扰的位移检测器。
在振幅调整可变电容单元39中，电容器C11至C14的一部分可以被用作根据第一示例性实施例的解调电路36的衰减电容器CATT。衰减电容器CATT可与电容器C11至C14分开布置。
其他示例性实施例
注意，本发明不限于前述示例性实施例，并且可以在不脱离本发明的精神的情况下适当地被改变。例如，虽然已经描述了相位调整可变电容单元31至34具有相同的配置，但是相位调整可变电容单元31至34的全部或部分可以具有不同的配置。
例如，相位调整可变电容单元31至34的配置不限于参照图7描述的配置。可以适当地采用能够调整发送信号的相位的其它配置。例如，如上所述，已经描述了发送信号的相位以16级改变的示例。然而，通过适当地改变AND电路的数量和电容器的数量中的一个或两者，可以以除16级以外的多级调整发送信号的相位。发送信号的相位可以不以级的方式而是连续地改变。
例如，振幅调整可变电容单元35和39的配置不限于上述那些配置。可以适当地采用能够调整信号的振幅的其他配置。例如，在上面的描述中，已经描述了信号的振幅以16级改变的示例。然而，可以通过适当地改变AND电路的数量、OR电路的数量、开关的数量和电路的数量中的部分或所有以除16级以外的多级调整信号的振幅。信号的振幅可以不以级的方式而是连续地改变。
从如此描述的本发明，显而易见的是，本发明的实施例可以以许多方式变化。这样的变化不被认为是脱离了本发明的精神和范围，并且对于本领域技术人员来说显而易见的所有这样的修改旨在被包括在以下权利要求的范围内。

Claims (10)

1.一种位移检测器，所述位移检测器为电容式位移检测器，被配置为通过布置在检测头中的接收电极接收从发送信号输出单元输出的发送信号，以基于所接收的信号检测所述检测头和标尺之间的位移，所述发送信号从布置在所述检测头中的发送电极通过布置在所述标尺中的耦合电极发送到所述接收电极，所述位移检测器包括：
相位调整单元，被配置为生成其相位从所述发送信号输出单元输出的发送信号被调整的信号；
振幅调整单元，被配置为调整其相位被相位调整单元调整的信号的振幅以产生串扰校正信号；以及
解调单元，被配置为对通过合成所述串扰校正信号和所接收的信号而产生的信号进行采样，并被配置为解调所采样的信号。
2.如权利要求1所述的位移检测器，其中
所述相位调整单元基于预定条件通过电容分压来调整所述发送信号的电压，并且合成调整后的电压以产生具有与包括在所接收的信号中的串扰的相位相反的相位的信号，并且
振幅调整单元使得由相位调整单元产生的信号的振幅与基于预定条件的串扰的振幅一致，以产生串扰校正信号。
3.如权利要求1或2所述的位移检测器，其中
所述相位调整单元包括多个第一电容器，所述第一电容器的一端连接到所述振幅调整单元的输入，并且
响应于第一控制信号来控制所述多个第一电容器中的第一电容器的数量，所述第一电容器的另一端接收所述发送信号。
4.如权利要求3所述的位移检测器，其中，所述多个第一电容器的电容值彼此不同。
5.如权利要求1或2所述的位移检测器，其中
所述振幅调整单元包括多个第二电容器，并且
所述振幅调整单元被配置为能够改变所述多个第二电容器中的连接在所述解调单元和所述振幅调整单元之间的所述第二电容器的数量。
6.如权利要求5所述的位移检测器，包括多个第一开关，被插在所述振幅调整单元与所述多个第二电容器之间或者在所述解调单元与所述多个第二电容器之间，所述多个第一开关被配置为响应于第二控制信号而被打开和闭合，其中
所述多个第一开关中要被闭合的第一开关的数量响应于所述第二控制信号而被控制。
7.如权利要求6所述的位移检测器，其中，所述解调单元响应于采样信号对由通过合成所接收的信号和所述串扰校正信号而产生的信号进行充电的信号检测电容器的电压进行采样，并且响应于放电信号对在信号检测电容器中充电的电荷进行放电。
8.如权利要求7所述的位移检测器，包括连接到所述多个第二电容器中的每一个的解调单元侧端和地的多个第二开关，其中
所述多个第二开关响应于所述放电信号被同时打开，或者所述多个第二开关中要被闭合的所述第二开关的数量能够响应于所述第二控制信号而被控制。
9.如权利要求8所述的位移检测器，包括：
多个AND电路，所述第二控制信号被输入到所述AND电路的一端，所述采样信号被输入到所述AND电路的另一端，并且所述多个第一开关的打开和闭合分别响应于所述多个AND电路的输出信号而被控制；以及
多个OR电路，所述放电信号被输入到所述OR电路的一端，所述第二控制信号的反向信号被输入到所述OR电路的另一端，并且所述多个第二开关的打开和闭合分别响应于所述多个OR电路的输出信号而被控制。
10.如权利要求1或2所述的位移检测器，其中
所述振幅调整单元包括：
多个第三开关，响应于第三控制信号而打开和闭合，所述多个第三开关中的每一个的一端连接到所述相位调整单元的输出端；以及
多个第三电容器，所述多个第三开关中的每一个的一端分别连接到所述多个第三开关的另一端，并且所述多个第三开关的另一端连接到地，
所述多个第三开关中要被闭合的第三开关的数量响应于所述第三控制信号而被控制。
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