CN108387078B - 一种全自动硅片翻面烘干机 - Google Patents
一种全自动硅片翻面烘干机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108387078B CN108387078B CN201810397264.3A CN201810397264A CN108387078B CN 108387078 B CN108387078 B CN 108387078B CN 201810397264 A CN201810397264 A CN 201810397264A CN 108387078 B CN108387078 B CN 108387078B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- air
- silicon wafer
- leather cup
- wind
- rotary table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B11/00—Machines or apparatus for drying solid materials or objects with movement which is non-progressive
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B21/00—Arrangements or duct systems, e.g. in combination with pallet boxes, for supplying and controlling air or gases for drying solid materials or objects
- F26B21/001—Drying-air generating units, e.g. movable, independent of drying enclosure
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B25/00—Details of general application not covered by group F26B21/00 or F26B23/00
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Accessory Of Washing/Drying Machine, Commercial Washing/Drying Machine, Other Washing/Drying Machine (AREA)
Abstract
本发明公开了一种全自动硅片翻面烘干机,包括烘干箱、旋转电机、联动轴、鼓风器、烘干器、硅片盘、抽风器、控制中枢。本发明能够使硅片的烘干自动化进行,同时还能进行翻面烘干,有效降低硅片表面的水分残留,提升烘干质量,烘干效率高,利于推广应用。
Description
【技术领域】
本发明涉及硅片生产的技术领域,特别是一种全自动硅片翻面烘干机的技术领域。
【背景技术】
21世纪以来,全球能源消费急剧攀升,传统化石能源日益枯竭,能源问题和环境问题逐渐成为全球关注的两大重点问题。迫于可持续发展的压力,各主要国家纷纷将太阳能光伏产业列入可再生能源开发利用的重点。目前,硅片生产过程中须经过清洗工序,硅片清洗后要去除其表面的水分,以得到清洁、干燥的硅片,硅片烘干机是硅片清洗后去除表面水分的最常用的设备。目前硅片烘干机都是人工操作,智能化和自动化程度低,浪费大量的时间、人力和物力。
【发明内容】
本发明的目的就是解决现有技术中的问题,提出一种全自动硅片翻面烘干机,能够使硅片的烘干自动化进行,同时还能进行翻面烘干,有效降低硅片表面的水分残留,提升烘干质量,烘干效率高,利于推广应用。
为实现上述目的,本发明提出了一种全自动硅片翻面烘干机,包括烘干箱、旋转电机、联动轴、鼓风器、烘干器、硅片盘、抽风器、控制中枢,所述鼓风器设置在烘干箱顶部,所述鼓风器包括鼓风机、电动伸缩气管、入风皮碗,所述鼓风机设置在烘干箱顶部,所述电动伸缩气管穿过烘干箱竖直向下设置在烘干箱内,所述电动伸缩气管底端安装有入风皮碗,所述鼓风器下方设置有烘干器,所述烘干器包括翻转盘、加热器、烘干腔、风转盘、皮碗密封感应环,所述翻转盘左右两端均设置有加热器,所述烘干腔设置在翻转盘中部,所述烘干腔的上方设置有风转盘,所述风转盘的开口外侧设置有皮碗密封感应环,所述烘干腔的下方对应设置有风转盘,所述风转盘的开口外侧设置有皮碗密封感应环,所述硅片盘安装在烘干腔内,所述烘干器的左右两端通过联动轴与旋转电机相连,所述旋转电机设置在烘干箱的左侧面,所述抽风器包括抽风机、电动伸缩气管、抽风皮碗,所述抽风机设置在烘干箱底部,所述电动伸缩气管穿过烘干箱竖直向上设置在烘干箱内,所述电动伸缩气管顶端安装有抽风皮碗,所述控制中枢设置在烘干箱的右下方,所述烘干箱的底部安装有支脚。
作为优选,所述入风皮碗的形状为竖直向下的倒漏斗形,所述入风皮碗的最大开口直径大于风转盘的直径,所述入风皮碗正对风转盘竖直方向上的开口,所述皮碗密封感应环为带接触感应器的橡胶密封圆环。
作为优选,所述硅片盘上均匀设置有多个硅片固定槽,所述硅片固定槽为镂空透气槽,所述硅片盘为导热盘,所述硅片盘的左右两端与加热器相连,所述硅片盘的安装方式为可拆卸式,所述翻转盘为隔热盘。
作为优选,所述抽风皮碗的形状为竖直向上的漏斗形,所述抽风皮碗的最大开口直径大于风转盘的直径,所述抽风皮碗正对风转盘竖直方向上的开口。
作为优选,所述烘干腔顶部和底部的风转盘呈上下对应关系,所述风转盘为主动转盘,所述风转盘内均匀设置有多个旋转导风管,所述旋转电机通过联动轴带动烘干器沿竖直方向旋转,所述烘干箱为竖直设置的圆柱形隔热箱。
作为优选,所述控制中枢与旋转电机、加热器、鼓风机、电动伸缩气管、风转盘、皮碗密封感应环、抽风机一一相连。
本发明的有益效果:本发明通过将烘干箱、旋转电机、联动轴、鼓风器、烘干器、硅片盘、抽风器、控制中枢结合在一起,经过试验优化,能够使硅片的烘干自动化进行,同时还能进行翻面烘干,有效降低硅片表面的水分残留,提升烘干质量,烘干效率高,利于推广应用。
本发明的特征及优点将通过实施例结合附图进行详细说明。
【附图说明】
图1是本发明一种全自动硅片翻面烘干机的结构示意图。
图中:1-烘干箱、2-旋转电机、3-联动轴、4-鼓风器、5-烘干器、6-硅片盘、7-抽风器、8-控制中枢、9-鼓风机、10-电动伸缩气管、11-入风皮碗、12-翻转盘、13-加热器、14-烘干腔、15-风转盘、16-皮碗密封感应环、17-抽风机、18-抽风皮碗、19-支脚、20-硅片固定槽、21-旋转导风管。
【具体实施方式】
参阅图1,本发明一种全自动硅片翻面烘干机,包括烘干箱1、旋转电机2、联动轴3、鼓风器4、烘干器5、硅片盘6、抽风器7、控制中枢8,所述鼓风器4设置在烘干箱1顶部,所述鼓风器4包括鼓风机9、电动伸缩气管10、入风皮碗11,所述鼓风机9设置在烘干箱1顶部,所述电动伸缩气管10穿过烘干箱1竖直向下设置在烘干箱1内,所述电动伸缩气管10底端安装有入风皮碗11,所述鼓风器4下方设置有烘干器5,所述烘干器5包括翻转盘12、加热器13、烘干腔14、风转盘15、皮碗密封感应环16,所述翻转盘12左右两端均设置有加热器13,所述烘干腔14设置在翻转盘12中部,所述烘干腔14的上方设置有风转盘15,所述风转盘15的开口外侧设置有皮碗密封感应环16,所述烘干腔14的下方对应设置有风转盘15,所述风转盘15的开口外侧设置有皮碗密封感应环16,所述硅片盘6安装在烘干腔14内,所述烘干器5的左右两端通过联动轴3与旋转电机2相连,所述旋转电机2设置在烘干箱1的左侧面,所述抽风器7包括抽风机17、电动伸缩气管10、抽风皮碗18,所述抽风机17设置在烘干箱1底部,所述电动伸缩气管10穿过烘干箱1竖直向上设置在烘干箱1内,所述电动伸缩气管10顶端安装有抽风皮碗18,所述控制中枢8设置在烘干箱1的右下方,所述烘干箱1的底部安装有支脚19,所述入风皮碗11的形状为竖直向下的倒漏斗形,所述入风皮碗11的最大开口直径大于风转盘15的直径,所述入风皮碗11正对风转盘15竖直方向上的开口,所述皮碗密封感应环16为带接触感应器的橡胶密封圆环,所述硅片盘6上均匀设置有多个硅片固定槽20,所述硅片固定槽20为镂空透气槽,所述硅片盘6为导热盘,所述硅片盘6的左右两端与加热器13相连,所述硅片盘6的安装方式为可拆卸式,所述翻转盘12为隔热盘,所述抽风皮碗18的形状为竖直向上的漏斗形,所述抽风皮碗18的最大开口直径大于风转盘15的直径,所述抽风皮碗18正对风转盘15竖直方向上的开口,所述烘干腔14顶部和底部的风转盘15呈上下对应关系,所述风转盘15为主动转盘,所述风转盘15内均匀设置有多个旋转导风管21,所述旋转电机2通过联动轴3带动烘干器5沿竖直方向旋转,所述烘干箱1为竖直设置的圆柱形隔热箱,所述控制中枢8与旋转电机2、加热器13、鼓风机9、电动伸缩气管10、风转盘15、皮碗密封感应环16、抽风机17一一相连。
本发明通过将烘干箱1、旋转电机2、联动轴3、鼓风器4、烘干器5、硅片盘6、抽风器7、控制中枢8结合在一起,经过试验优化,能够使硅片的烘干自动化进行,同时还能进行翻面烘干,有效降低硅片表面的水分残留,提升烘干质量,烘干效率高,利于推广应用。
上述实施例是对本发明的说明,不是对本发明的限定,任何对本发明简单变换后的方案均属于本发明的保护范围。
Claims (4)
1.一种全自动硅片翻面烘干机,其特征在于:包括烘干箱(1)、旋转电机(2)、联动轴(3)、鼓风器(4)、烘干器(5)、硅片盘(6)、抽风器(7)、控制中枢(8),所述鼓风器(4)设置在烘干箱(1)顶部,所述鼓风器(4)包括鼓风机(9)、电动伸缩气管(10)、入风皮碗(11),所述鼓风机(9)设置在烘干箱(1)顶部,所述电动伸缩气管(10)穿过烘干箱(1)竖直向下设置在烘干箱(1)内,所述电动伸缩气管(10)底端安装有入风皮碗(11),所述鼓风器(4)下方设置有烘干器(5),所述烘干器(5)包括翻转盘(12)、加热器(13)、烘干腔(14)、风转盘(15)、皮碗密封感应环(16),所述翻转盘(12)左右两端均设置有加热器(13),所述烘干腔(14)设置在翻转盘(12)中部,所述烘干腔(14)的上方设置有风转盘(15),所述风转盘(15)的开口外侧设置有皮碗密封感应环(16),所述烘干腔(14)的下方对应设置有风转盘(15),所述风转盘(15)的开口外侧设置有皮碗密封感应环(16),所述硅片盘(6)安装在烘干腔(14)内,所述烘干器(5)的左右两端通过联动轴(3)与旋转电机(2)相连,所述旋转电机(2)设置在烘干箱(1)的左侧面,所述抽风器(7)包括抽风机(17)、电动伸缩气管(10)、抽风皮碗(18),所述抽风机(17)设置在烘干箱(1)底部,所述电动伸缩气管(10)穿过烘干箱(1)竖直向上设置在烘干箱(1)内,所述电动伸缩气管(10)顶端安装有抽风皮碗(18),所述控制中枢(8)设置在烘干箱(1)的右下方,所述烘干箱(1)的底部安装有支脚(19);所述入风皮碗(11)的形状为竖直向下的倒漏斗形,所述入风皮碗(11)的最大开口直径大于风转盘(15)的直径,所述入风皮碗(11)正对风转盘(15)竖直方向上的开口,所述皮碗密封感应环(16)为带接触感应器的橡胶密封圆环;所述烘干腔(14)顶部和底部的风转盘(15)呈上下对应关系,所述风转盘(15)为主动转盘,所述风转盘(15)内均匀设置有多个旋转导风管(21),所述旋转电机(2)通过联动轴(3)带动烘干器(5)沿竖直方向旋转,所述烘干箱(1)为竖直设置的圆柱形隔热箱。
2.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机,其特征在于:所述硅片盘(6)上均匀设置有多个硅片固定槽(20),所述硅片固定槽(20)为镂空透气槽,所述硅片盘(6)为导热盘,所述硅片盘(6)的左右两端与加热器(13)相连,所述硅片盘(6)的安装方式为可拆卸式,所述翻转盘(12)为隔热盘。
3.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机,其特征在于:所述抽风皮碗(18)的形状为竖直向上的漏斗形,所述抽风皮碗(18)的最大开口直径大于风转盘(15)的直径,所述抽风皮碗(18)正对风转盘(15)竖直方向上的开口。
4.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机,其特征在于:所述控制中枢(8)与旋转电机(2)、加热器(13)、鼓风机(9)、电动伸缩气管(10)、风转盘(15)、皮碗密封感应环(16)、抽风机(17)一一相连。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810397264.3A CN108387078B (zh) | 2018-04-28 | 2018-04-28 | 一种全自动硅片翻面烘干机 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810397264.3A CN108387078B (zh) | 2018-04-28 | 2018-04-28 | 一种全自动硅片翻面烘干机 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN108387078A CN108387078A (zh) | 2018-08-10 |
CN108387078B true CN108387078B (zh) | 2023-08-25 |
Family
ID=63066276
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201810397264.3A Active CN108387078B (zh) | 2018-04-28 | 2018-04-28 | 一种全自动硅片翻面烘干机 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN108387078B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109282599B (zh) * | 2018-08-20 | 2020-07-14 | 漳州天福茶业有限公司 | 一种自动翻转受热面的茶饼成品烘干设备 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101619920A (zh) * | 2008-07-04 | 2010-01-06 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 旋转干燥机转台位置确认装置及方法 |
CN104121763A (zh) * | 2013-04-26 | 2014-10-29 | 李晓雄 | 煤电两用中药材自动水平翻转烘干机 |
CN206618227U (zh) * | 2017-03-29 | 2017-11-07 | 合肥明韩电子有限公司 | 一种pcb板快速烘干装置 |
CN107442511A (zh) * | 2017-08-10 | 2017-12-08 | 苏州德瑞姆超声科技有限公司 | 一种硅片自动清洗机 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8615897B2 (en) * | 2009-07-16 | 2013-12-31 | Nidec Motor Corporation | Dryer motor and control |
-
2018
- 2018-04-28 CN CN201810397264.3A patent/CN108387078B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101619920A (zh) * | 2008-07-04 | 2010-01-06 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 旋转干燥机转台位置确认装置及方法 |
CN104121763A (zh) * | 2013-04-26 | 2014-10-29 | 李晓雄 | 煤电两用中药材自动水平翻转烘干机 |
CN206618227U (zh) * | 2017-03-29 | 2017-11-07 | 合肥明韩电子有限公司 | 一种pcb板快速烘干装置 |
CN107442511A (zh) * | 2017-08-10 | 2017-12-08 | 苏州德瑞姆超声科技有限公司 | 一种硅片自动清洗机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN108387078A (zh) | 2018-08-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN206287419U (zh) | 一种塑料鞋加工用烘干机 | |
CN108387078B (zh) | 一种全自动硅片翻面烘干机 | |
CN112665347B (zh) | 一种便于对陶瓷固定的陶瓷制作用烘干装置 | |
CN202340783U (zh) | 一种箱式太阳能果蔬干燥设备 | |
CN205482182U (zh) | 一种内循环式高效陶瓷烘干房 | |
CN210292550U (zh) | 一种实验室用试管干燥设备 | |
CN104236288A (zh) | 一种新型离心式甩干机及其制作方法 | |
CN201731729U (zh) | 甩干式恒温烘箱 | |
CN208124806U (zh) | 一种太阳能电池片制绒甩干装置 | |
CN217541344U (zh) | 一种晶片节能干燥装置 | |
CN107819289B (zh) | 一种变电箱除水驱湿装置 | |
CN205718320U (zh) | 一种助剂电热恒温干燥箱 | |
CN208443126U (zh) | 一种全自动硅片翻面烘干机 | |
CN205833721U (zh) | 全自动太阳能硅片制绒清洗干燥设备 | |
CN211233922U (zh) | 一种旋转式热风循环硬化炉 | |
CN204177174U (zh) | 一种新型离心式甩干机 | |
CN206891086U (zh) | 一种无极灯泡玻壳的自动加热烘干定粉装置 | |
CN210463808U (zh) | 一种水利水电工程设备防潮处理设备 | |
CN207585216U (zh) | 一种香料烘干设备 | |
CN215447264U (zh) | 一种加热均匀的食品烘干机 | |
CN221311360U (zh) | 一种用于制备防结焦涂层的基片干燥设备 | |
CN217817995U (zh) | 一种远红外干燥机 | |
CN216481948U (zh) | 一种玻璃瓶生产用烘干装置 | |
CN215113758U (zh) | 一种树脂镜片烘干装置 | |
CN217110360U (zh) | 一种用于半导体加工的输送装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
CB02 | Change of applicant information |
Address after: 314300 No. 2, Weibo Avenue, Wanghai street, Haiyan County, Jiaxing City, Zhejiang Province Applicant after: ZHEJIANG QIDA TECHNOLOGY Co.,Ltd. Address before: 314300 No.2, Weibo Avenue, Yuantong street, Haiyan County, Jiaxing City, Zhejiang Province Applicant before: JIAXING QIDA NEW MATERIAL Co.,Ltd. |
|
CB02 | Change of applicant information | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |