CN108372305B - 一种具有疏水作用的随形冷却流道及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种具有疏水作用的随形冷却流道及其制造方法，其中方法包括以下步骤：(1)制备疏水涂层粉末材料；(2)设计带有随形冷却流道模具的三维模型，进行切片处理；(3)放置模具金属粉末和疏水涂层粉末；(4)进行成形处理过程，具体是先对模具金属粉末使用SLM工艺成形，然后再对疏水涂层粉末使用SLS工艺成形，成形一个铺粉层；(5)重复步骤(4)直至完成整个随形冷却流道；(6)将成形后的模具取下。本发明通过对关键的内壁疏水涂层的材料种类、相应具体成形工艺进行改进和优选，可制备得到具有疏水作用涂层的随形冷却流道，解决模具冷却系统冷却效率低、随形冷却流道易堵塞以及表面金属易腐蚀等技术问题。

Description

一种具有疏水作用的随形冷却流道及其制造方法
技术领域
本发明属于模具制造领域，更具体地，涉及一种具有疏水作用的随形冷却流道及其制造方法。
背景技术
模具是现代制造业中的重要装备，模具工业是国民经济中重要的基础工业，模具的设计和制造水平高低是衡量一个国家综合制造能力的重要标志，它决定着产品的质量、效益和新产品的研发能力。模具的冷却系统是其核心部分，决定着模具的寿命、产品生产效率和质量。随形冷却流道是指流道形状随模腔变化而变化的冷却流道，相对于传统冷却流道，随形冷却流道不仅能够提高冷却效率，降低生产成本，而且有利于产品均匀冷却，减少残余应力，防止产品出现翘曲变形等缺陷。增材制造技术，尤其是激光选区熔化(SLM)技术的出现使得随形冷却流道的制造和使用更加方便，应用前景更加广阔。然而，由于随形冷却流道相较于传统直线型流道形状更加复杂，其在一定程度上会阻碍冷却液体的循环效率，而且当冷却液体中混入一些杂质时会吸附沉积在随形冷却流道的拐角处，严重时导致冷却流道堵塞，模具冷却系统无法正常工作，降低产品质量和生产效率。
疏水材料是一种具有低表面能的材料，它与液滴表面润湿角大于90°。当形成的疏水表面具有微纳级粗糙结构时会增大其润湿角(大于150°),形成超疏水表面。近些年，疏水材料的研究引起广泛关注，这得益于其良好的特性：防腐蚀、减阻和自清洁等。由于金属标准电极点位低，金属表面对水及水溶液多具有较好的润湿性，易吸附杂质及污染物。通过向金属管道内表面涂覆疏水涂层可以保护管道内壁清洁，减小冷却液体流动阻力，避免冷却流道阻塞。同时，对于由化学性质较为活泼的金属制成的模具，通过对随形冷却流道表面涂覆的疏水涂层可以防止流道表面发生金属腐蚀，增加模具的使用寿命。当前，国内外尚无相关研究将疏水涂层和随形冷却流道技术相结合，以解决冷却流道阻塞等问题，进一步提升冷却流道冷却效率。
发明内容
针对现有技术的以上缺陷或改进需求，本发明的目的在于提供一种具有疏水作用的随形冷却流道及其制造方法，其中通过对关键的随形冷却流道内壁涂层的材料种类、以及相应金属材料与非金属材料的成形工艺(包括整体工艺流程的设置，各个成形工艺具体的种类，各个成形工艺所采用的参数条件等)进行改进和优选，可制备得到具有疏水作用涂层的随形冷却流道，有效利用该随形冷却流道的自清洁以及减阻作用，解决模具冷却系统冷却效率低、随形冷却流道易堵塞以及表面金属易腐蚀等技术问题；并且，本发明通过SLM与SLS的配合得到复合成形方法，利用该复合方法使得疏水涂层与模具金属本身具有良好的粘连效果，能够确保制得的具有疏水作用涂层的随形冷却流道能够经得起冷却介质的冲刷，具有良好的稳定性及使用寿命。
为实现上述目的，按照本发明的一个方面，提供了一种具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将基体树脂材料、粉体、助剂添加到溶剂中，经过搅拌稀释、分离、洗涤、以及烘干后得到疏水涂层粉末材料，作为与疏水涂层相对应的增材制造原料；
(2)利用三维设计软件设计带有随形冷却流道部分的模具的三维模型，然后再将该三维模型导入到切片软件中进行切片处理，每层切片中根据不同轮廓区域所对应的材料的不同分为金属模具目标区和疏水涂层目标区两个区域；
(3)选用激光选区熔化SLM和激光选区烧结SLS复合方法准备成形具有疏水作用的随形冷却流道部分的模具，分别将模具金属粉末和所述步骤(1)得到的疏水涂层粉末置于独立分布的送粉缸和送粉喷头中，然后开始成形处理过程；
(4)进行成形处理过程，具体是与所述步骤(2)得到的切片层相对应，先将所述送粉缸中的模具金属粉末均匀铺在成形基板上，然后使用SLM工艺成形；接着，由吸粉喷头将位于疏水涂层目标区域部分的模具金属粉末吸走，然后再由所述送粉喷头将疏水涂层粉末填充到疏水涂层目标区域，并使用SLS工艺成形该区域的粉末，由此完成一个与所述步骤(2)得到的某一切片层相对应的铺粉层的成形；
(5)将所述成形基板下降一个铺粉层高度，重复步骤(4)直至完成整个具有疏水作用涂层的随形冷却流道的模具的制造；
(6)将成形后的模具取下，清除模具表面以及随形冷却流道表面附着的粉末，即可得到具有疏水作用的随形冷却流道。
作为本发明的进一步优选，所述步骤(4)中，所述SLM工艺成形是采用光纤激光器，该光纤激光器波长为1070nm，最大功率1000W，光斑直径为0.1mm～0.15mm，并且该SLM工艺成形是在惰性气体中进行的；所述SLS工艺成形是采用CO2激光器，该CO2激光器的最大功率为50W。
作为本发明的进一步优选，所述步骤(4)中，所述SLM工艺成形与所述SLS工艺成形两者的扫描层厚相等，均满足0.01～0.05mm，优选为0.02mm；
优选的，所述步骤(2)得到的切片层中任意一个切片层对应的厚度与任意一个所述扫描层厚相等。
作为本发明的进一步优选，所述步骤(4)中，在所述使用SLS工艺成形之前需要先对所述疏水涂层粉末进行预热处理，预热温度范围为50～200℃。
作为本发明的进一步优选，所述步骤(1)中，所述基体树脂材料为液滴接触角大于90°的材料，包括醇酸树脂、环氧树脂、丙烯酸酯树脂、聚氨酯树脂、有机硅树脂、有机氟树脂、氨基树脂、聚酯树脂、有机硅-无机硅树脂中的一种或几种的混合物；所述粉体包括非金属氧化物、金属氧化物、不溶性无机盐粉体的一种或几种的混合物；所述助剂包括表面活性剂、引发剂、分散剂、润湿剂、增稠剂、热稳定剂、胶黏剂、流动助剂中的一种或几种；所述溶剂为水、苯类溶剂、酯类溶剂、醇类溶剂、酮类溶剂、醇醚类溶剂中的一种或几种。
作为本发明的进一步优选，所述步骤(3)中，所述模具金属粉末包括铁基金属粉末、铜基金属粉末、锌基金属粉末、铝基金属粉末以及镍基高温合金粉末中的一种；优选为铁基金属粉末，该铁基金属粉末的平均粒径范围为30μm～50μm,并且含氧量低于1000ppm。
作为本发明的进一步优选，所述步骤(6)中，所述将成形后的模具取下具体是将成形后的模具从基板上切下，切割方式包括线切割、激光切割、等离子切割中的一种，优选为线切割。
按照本发明的另一方面，本发明提供了利用上述具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法制备得到的具有疏水作用的随形冷却流道。
总体而言，通过本发明所构思的以上技术方案与现有技术相比，能够取得下列有益效果：
(1)本发明设计由特定材料和层结构构成的随形冷却流道三维模型，可以利用金属粉末和非金属粉末的SLM/SLS复合成形实现该随形冷却流道的制备。本发明采用基体树脂材料这种高分子材料作为主要的疏水涂层材料，基体树脂材料优选为液滴接触角大于90°的低表面能材料，与模具金属材料可以采用SLM/SLS交替处理实现复合成形，从而在随形冷却流道的内壁上成形具有疏水作用的涂层，能够避免杂质吸附沉积所导致的冷却流道堵塞、模具冷却系统无法正常工作等问题，并能够对随形冷却流道内腔表面起到保护作用，避免金属腐蚀等问题的出现。
由于随形冷却流道通常属于异形结构，无法通过传统制造技术加工，并且，模具中的随形冷却流道不仅形状复杂，而且属于内部管道，无法通过传统的喷涂方式进行疏水涂层的涂挂，因此在本发明前国内外尚无相关研究将疏水涂层和随形冷却流道技术相结合。本发明通过3D打印技术，实现了具有异形结构的随形冷却流道的制备，并且与现有3D打印复合成形技术不同的是，现有的3D打印复合成形技术多是金属3D打印和车铣削等机械加工复合成形或者通过多喷头实现多种高分子材料复合成形，无法满足本发明中具有疏水涂层的随形冷却流道的制备需求，而本发明则是使用成熟的SLM和SLS成形技术，结合同轴吸粉和送粉机构，从而实现了金属材料和非金属材料的复合3D打印。
本发明通过采用SLM/SLS复合工艺处理能够克服随形冷却流道模具由于腔内壁形状构造复杂，疏水材料无法均匀涂覆的问题。本发明通过控制SLM工艺中的激光波长、光斑直径、最大功率(实际选用的功率不超过该最大功率，以最大功率为1000W为例，实际使用过程中可实现0～1000W动态调节)等参数，使得制得的金属模具具有良好的力学性能和表面质量；SLM工艺通过使用高能激光束能够使得熔池温度远超模具金属熔点，保证金属粉末完全熔化，最终能够获得接近100％全致密度的金属模具；成形过程中，熔池温度梯度可以达到100℃/cm，较高的温度梯度和过冷度可以促进形核，获得致密均匀的金属组织，最终的金属模具性能可以达到锻件水平；另外，通过调节工艺参数，优化成形路径可以使得表面精度达到微米级。本发明还通过控制SLS工艺成形的最大功率(实际选用的功率不超过该最大功率)，使得疏水涂层平整均匀地涂覆在随形冷却流道表面并且具备一定的结合强度；此外，可以通过添加助剂进一步提高疏水涂层与模具金属之间的结合强度，例如在制备疏水材料时还可优选添加重量比均满足0～10％的增稠剂和胶黏剂。在SLM/SLS复合工艺处理中，由于模具金属粉料用量较大，选择粉床送粉，疏水涂层粉料用量较少，选择喷射送粉，可提高送粉效率和送粉精度。
本发明是将基体树脂材料、粉体、助剂添加到溶剂中，其中各组分重量配比可以为基体树脂材料10～90％、溶剂0～80％、粉体10～50％、助剂0～20％，总量满足100％；助剂可以包含多种不同具体材料(对应不同功能)的助剂。例如，通过添加重量比0～10％的流动助剂可以改善疏水涂层粉末的流动性，有助于SLS提高成形过程的稳定性。通过添加重量比0～5％碳纤维、玻璃微珠等无机填料可以改善SLS成形疏水涂层的性能及其耐用性。
(2)本发明提供的具有疏水作用涂层的随形冷却流道，可以显著减低冷却液体流动阻力提高流动效率。
(3)本发明提供的疏水涂层，其液滴润湿角大于90°，具有自清洁作用，可以避免杂质吸附沉积在随形冷却流道的表面，造成流道堵塞。
(4)本发明提供的具有疏水涂层的随形冷却流道，因为其表面含有疏水性树脂材料，可以避免流道表面发生腐蚀，保护模具内部金属，提高模具使用寿命。
附图说明
图1是本发明的实现流程图。
图2是本发明的具有疏水涂层的随形冷却流道模具结构的剖视图。
图中各附图标记的含义如下：1为模具金属，2为疏水涂层，3为随形冷却流道。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。此外，下面所描述的本发明各个实施方式中所涉及到的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
参照图1、图2，本发明的总体思路是：首先通过三维设计软件设计出具有疏水涂层结构的随形冷却流道三维模型，然后使用SLM/SLS成形装置，利用光纤激光器成形模具金属区域，CO2激光器成形疏水涂层区域，复合成形具有疏水涂层的随形冷却流道。
为了进一步具体解释说明本发明，以下给出了两个实施例。
实施例1
该实施例包括以下步骤：
(1)通过分散聚合方法制备粒径为20微米的单分散带正电荷的聚甲基丙乙烯甲酯(PMMA)微球，加水稀释至固含量10％，再加入5％的粒径为50纳米硅氧烷改性硅溶胶(SiO2)，在80℃下搅拌20小时，得到PMMA/SiO2复合乳液。取5g聚碳酸酯塑料增流剂、5g丙烯酸酯粘接剂、0.2g分散剂和PMMA/SiO2复合乳液充分混合，在常温下搅拌2小时，然后分离、洗涤，将产物在70℃烤箱中烘干100小时，即可得到疏水性PMMA/SiO2微纳结构复合粉末；
(2)利用三维设计软件设计如图2的随形冷却流道三维模型，其中1为模具金属，2为疏水涂层，3为随形冷却流道。将三维模型导入到相应切片软件中切片处理，每层切片厚度选择0.01mm，获取各分层切片中有关模具金属区域和疏水涂层区域的分布信息；
(3)选用激光选区熔化/激光选区烧结(SLM/SLS)复合方法成形该模具，分别将S136模具钢粉末和PMMA/SiO2疏水涂层粉末置于独立分布的送粉缸和送粉喷头中。其中，S136模具钢粉末通过气雾化工艺制备，保持良好的球形度和流动性，粒径范围为20～50μm；
(4)成形过程中，先将送粉缸中的S136模具钢粉末均匀铺在成形平台(或成形基板)上，然后使用预先设定的SLM工艺成形，其中具体参数可以设置如下：激光功率280W，扫描速度1000mm/s,铺粉厚度0.01mm。然后由吸粉喷头将疏水涂层区域的S136模具钢粉末吸走，再由送粉喷头将PMMA/SiO2疏水涂层粉末填充到疏水涂层区域，使用预先设定的SLS工艺参数成形该区域的粉末，其中具体参数可以设置如下：激光功率10W、扫描间距0.1mm、扫描速度2000mm/s和铺粉厚度0.01mm，完成一个铺粉层成形。
(5)所有平台下降一个特定的铺粉高度0.01mm，重复步骤(4)直至完成整个具有疏水作用涂层的随形冷却流道模具的制造。
(6)使用电火花线切割机将成型后的模具从基板上切下，清除模具表面以及随形冷却流道表面附着的粉末，获得最终产品。
实施例2
该实施例包括以下步骤：
(1)通过分散聚合方法制备粒径为20微米的单分散带正电荷的聚甲基丙乙烯甲酯(PMMA)微球，加水稀释至固含量10％，再加入5％的粒径为50纳米硅氧烷改性硅溶胶(SiO2)，在80℃下搅拌15小时，制得PMMA/SiO2复合乳液。取5g聚碳酸酯塑料增流剂、5g丙烯酸酯粘接剂、0.2g分散剂和PMMA/SiO2复合乳液充分混合，在常温下搅拌2小时，分离、洗涤，将产物在70℃烤箱中烘干80小时。即可得到疏水性PMMA/SiO2微纳结构复合粉末；
(2)利用三维设计软件设计如图2的随形冷却流道三维模型，其中1为模具金属，2为疏水涂层，3为随形冷却流道。将三维模型导入到相应切片软件中切片处理，每层切片厚度选择0.05mm，获取各分层切片中有关模具金属区域和疏水涂层区域的分布信息；
(3)选用激光选区熔化/激光选区烧结(SLM/SLS)复合方法成形该模具，分别将H13模具钢粉末和PMMA/SiO2疏水涂层粉末置于独立分布的送粉缸和送粉喷头中。其中，H13模具钢粉末通过气雾化工艺制备，保持良好的球形度和流动性，粒径范围为20～50μm；
(4)成形过程中，先将送粉缸中的S136模具钢粉末均匀铺在成形平台(或成形基板)上，然后使用预先设定的SLM工艺成形，其中具体参数可以设置如下：激光功率400W，扫描速度500mm/s,铺粉厚度0.05mm。然后由吸粉喷头将疏水涂层区域的S136模具钢粉末吸走，再由送粉喷头将PMMA/SiO2疏水涂层粉末填充到疏水涂层区域，使用预先设定的SLS工艺参数成形该区域的粉末，其中具体参数可以设置如下：激光功率20W、扫描间距0.1mm、扫描速度1000mm/s和铺粉厚度0.05mm，完成一个铺粉层成形；
(5)所有平台下降一个特定的铺粉高度0.05mm，重复步骤(4)直至完成整个具有疏水作用涂层的随形冷却流道模具的制造；
(6)使用电火花线切割机将成型后的模具从基板上切下，清除模具表面以及随形冷却流道表面附着的粉末，获得最终产品。
(7)将获得的具有疏水作用随形冷却流道的模具装配起来，实际应用中发现疏水涂层均匀稳定地附着在随形冷却流道表面，不仅有效提升了冷却液的流动效率，而且大幅改善了模具随形冷却流道已堵塞的缺点，达到了预期效果。
本发明可用于成形具有疏水作用的随形冷却流道的模具。本发明中利用三维设计设计出的带有随形冷却流道部分的模具，可以仅为模具上具有随形冷却流道的部分，也就是说，本发明制备得到的具有疏水作用的随形冷却流道，可以仅为模具上具有随形冷却流道的部分(如带有随行冷却水道的动模或定模部分，即部分模具，而非模具整体；模具整体后续可以由多个部分组合起来得到的)，当然根据实际情况，例如整体模具体积较小，形状复杂、加工难度高时，也可以通过3D打印成形整体模具。除了上述实施例中步骤(1)中所采用的疏水材料增材制造原料的配方外，本发明还可以采用现有技术中其他已公开疏水材料配方，例如，基体树脂、粉体、助剂、溶剂的具体种类及配比等，均可结合实际需要，采用现有技术中的其他配方。例如，可根据已公开疏水材料配方将一定比例所需基体树脂、粉体、助剂添加到相应溶剂中经过搅拌稀释、分离、洗涤、烘干，制得具有低表面能疏水涂层粉末材料，从而预备作为增材制造原料。基体树脂材料为液滴接触角大于90°的低表面能材料。
本发明中所使用的将三维模型进行切片处理的切片软件，可以采用现有商业的切片软件，切片软件的具体处理方式，均可参照相关的现有技术。激光选区熔化/激光选区烧结(SLM/SLS)所采用的装置及其它未详细说明的具体处理方式，均可参照相关现有技术。可以灵活调整切片层的打印方向，例如可以自上到下打印，也可以由左到右进行打印。在具体成形处理时，当一层切片层对应的铺粉层成形完毕后，所有平台下降一个特定的铺粉高度，进行与该切片层紧邻的其他切片层(如位于上方或下方的切片层)对应的铺粉层的成形，如此重复，直至完成整个具有疏水作用涂层的随形冷却流道模具的制造。
本发明通过切换光纤激光器和CO2激光器连续进行SLM成形和SLS成形，其中SLS成形之前可以先对疏水涂层粉末进行预热处理，预热温度可以为200℃。
上述实施例中，为防止金属粉末氧化，SLM加工过程是在惰性气体中进行的。根据实际需要可以灵活调整模具金属粉末；本发明中的铁基金属粉末，既可以是铁单质，也可以是铁合金粉末，同时，铜基金属粉末、锌基金属粉末、铝基金属粉末等都可以使用纯金属单质或合金粉末。
本领域的技术人员容易理解，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)将基体树脂材料、粉体、助剂添加到溶剂中，经过搅拌稀释、分离、洗涤、以及烘干后得到疏水涂层粉末材料，作为与疏水涂层相对应的增材制造原料；
(2)利用三维设计软件设计带有随形冷却流道部分的模具的三维模型，然后再将该三维模型导入到切片软件中进行切片处理，每层切片中根据不同轮廓区域所对应的材料的不同分为金属模具目标区和疏水涂层目标区两个区域；
(3)选用激光选区熔化SLM和激光选区烧结SLS复合方法准备成形具有疏水作用的随形冷却流道部分的模具，分别将模具金属粉末和所述步骤(1)得到的疏水涂层粉末置于独立分布的送粉缸和送粉喷头中，然后开始成形处理过程；
(4)进行成形处理过程，具体是与所述步骤(2)得到的切片层相对应，先将所述送粉缸中的模具金属粉末均匀铺在成形基板上，然后使用SLM工艺成形；接着，由吸粉喷头将位于疏水涂层目标区域部分的模具金属粉末吸走，然后再由所述送粉喷头将疏水涂层粉末填充到疏水涂层目标区域，并使用SLS工艺成形该区域的粉末，由此完成一个与所述步骤(2)得到的某一切片层相对应的铺粉层的成形；
(5)将所述成形基板下降一个铺粉层高度，重复步骤(4)直至完成整个具有疏水作用涂层的随形冷却流道的模具的制造；
(6)将成形后的模具取下，清除模具表面以及随形冷却流道表面附着的粉末，即可得到具有疏水作用的随形冷却流道。
2.如权利要求1所述具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法，其特征在于，所述步骤(4)中，所述SLM工艺成形是采用光纤激光器，该光纤激光器波长为1070nm，最大功率1000W，光斑直径为0.1mm～0.15mm，并且该SLM工艺成形是在惰性气体中进行的；所述SLS工艺成形是采用CO2激光器，该CO2激光器的最大功率为50W。
3.如权利要求1所述具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法，其特征在于，所述步骤(4)中，所述SLM工艺成形与所述SLS工艺成形两者的扫描层厚相等，均满足0.01～0.05mm；
所述步骤(2)得到的切片层中任意一个切片层对应的厚度与任意一个所述扫描层厚相等。
4.如权利要求3所述具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法，其特征在于，所述步骤(4)中，所述SLM工艺成形与所述SLS工艺成形两者的扫描层厚相等，且均为0.02mm。
5.如权利要求1所述具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法，其特征在于，所述步骤(4)中，在所述使用SLS工艺成形之前需要先对所述疏水涂层粉末进行预热处理，预热温度范围为50～200℃。
6.如权利要求1所述具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法，其特征在于，所述步骤(1)中，所述基体树脂材料为液滴接触角大于90°的材料，包括醇酸树脂、环氧树脂、丙烯酸酯树脂、聚氨酯树脂、有机硅树脂、有机氟树脂、氨基树脂、聚酯树脂、有机硅-无机硅树脂中的一种或几种的混合物；所述粉体包括非金属氧化物、金属氧化物、不溶性无机盐粉体的一种或几种的混合物；所述助剂包括表面活性剂、引发剂、分散剂、润湿剂、增稠剂、热稳定剂、胶黏剂、流动助剂中的一种或几种；所述溶剂为水、苯类溶剂、酯类溶剂、醇类溶剂、酮类溶剂、醇醚类溶剂中的一种或几种。
7.如权利要求1所述具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法，其特征在于，所述步骤(3)中，所述模具金属粉末包括铁基金属粉末、铜基金属粉末、锌基金属粉末、铝基金属粉末以及镍基高温合金粉末中的一种。
8.如权利要求7所述具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法，其特征在于，所述步骤(3)中，所述模具金属粉末为铁基金属粉末，该铁基金属粉末的平均粒径范围为30μm～50μm,并且含氧量低于1000ppm。
9.如权利要求1所述具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法，其特征在于，所述步骤(6)中，所述将成形后的模具取下具体是将成形后的模具从基板上切下，切割方式包括线切割、激光切割、等离子切割中的一种。
10.如权利要求9所述具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法，其特征在于，所述切割方式为线切割。
11.利用如权利要求1－10任意一项所述具有疏水作用的随形冷却流道的制造方法制备得到的具有疏水作用的随形冷却流道。
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