CN108369172A - 气中微粒测量仪以及清洁环境设备 - Google Patents

气中微粒测量仪以及清洁环境设备 Download PDF

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小林晃
小林晃一
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Abstract

本发明提供一种气中微粒测量仪以及清洁环境设备，即使在测定高湿度的空气中的微粒的情况下，也能够进行准确的微粒的测量。连接于暂时或始终维持为比外气的湿度更高湿度的腔室的气中微粒测量仪具备：测量部，其测量吸入的所述气体中的微粒；吸入配管，其将所述腔室的安装部与所述测量部连接，向所述测量部运送从所述腔室内吸入的气体；泵，其吸引所述气体，使得所述气体通过所述吸入配管从所述腔室运送到所述测量部；和加热部，其加热比所述测量部更靠上游侧的路径内的所述气体。

Description

气中微粒测量仪以及清洁环境设备
技术领域
本发明涉及气中微粒测量仪以及清洁环境设备。
背景技术
例如在为了再生医疗而对细胞进行培养等的作业中，为了测量作业环境中的微粒作为清洁度的指标，利用微粒测量仪或微粒计数器(例如专利文献1)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开2006-58239号公报
发明内容
发明要解决的课题
这种微粒测量仪通常用于测量日常状态(温度、湿度)下的气体中的微粒。但是，例如在测量隔离器、培养箱这样的暂时或始终处于高湿度的清洁环境设备内的气体中的微粒的情况下，对于通常的微粒测量仪来说，存在气体中的水分粒子、采样管内的结露的影响，有可能不能进行准确的微粒测量。
用于解决课题的手段
用于解决所述课题的一个发明是与暂时或始终维持为比外气的湿度更高湿度的腔室进行连接的气中微粒测量仪，其具备：测量部，其测量吸入的所述气体中的微粒；吸入配管，其将所述腔室的安装部与所述测量部连接，向所述测量部运送从所述腔室内吸入的气体；泵，其吸引所述气体，使得所述气体通过所述吸入配管从所述腔室运送到所述测量部；和加热部，其加热比所述测量部更靠上游侧的路径内的所述气体。
发明效果
根据本发明，即使在测量暂时或始终处于高湿度的气体中的微粒的情况下，也能够进行准确的微粒测量。
附图说明
图1是概略性示出第1实施方式中的清洁环境设备的图。
图2是概略性示出第2实施方式中的清洁环境设备的图。
图3是概略性示出第3实施方式中的清洁环境设备的图。
具体实施方式
通过本说明书以及附图的记载，至少以下事项变得清楚。
[第1实施方式]
参照图1来说明第1实施方式中的清洁环境设备1。图1是概略性示出第1实施方式中的清洁环境设备1的图。
(清洁环境设备的结构)
如图1所示，清洁环境设备1具有：腔室110；供给部128，其为了提高腔室110内的湿度，供给水蒸气或雾状水分；和气中微粒测量仪120，其与腔室110连接。
腔室110例如是隔离器、培养箱，提供进行生物体样本的作业(例如细胞的培养)的封闭的作业空间。在本实施方式中，在腔室110中，通过供给部128供给水蒸气或者雾状水分。供给部128由清洁环境设备1的控制部113来控制。水蒸气或者雾状水分包括用喷雾器等使腔室110内的加湿或者杀菌用的加湿水、杀菌气体以及杀菌液成为雾状的微粒。此外，这里所说的水分，不仅包括水，也包括水溶液。
腔室110内通过供给部128而暂时或始终维持为比外气湿度更高湿度。例如，在隔离器的情况下，供给部128供给使杀菌液气化的杀菌气体。而且，在杀菌过程中，因为需要使杀菌气体在内壁结露，所以内部的湿度暂时接近100％。在培养箱的情况下，供给部128是配设在内部的储存加湿水的储水部。通过用加热器加热该储水部，从而内部的湿度一直维持在95％左右。在这些清洁环境设备中，由于内部湿度成为90％以上，因此本公开所涉及的技术尤其有效，但是至少在暂时或始终相较于外气湿度维持在更高湿度的设备中是有效的。在该腔室110中，因为需要维持清洁的作业环境，所以由气中微粒测量仪120测量气体中的微粒，使得作业空间内的气体中包含的微粒不超过规定的容许值。另外，腔室110具有用于连接吸入配管124的安装部111、和用于连接排出配管125的安装部112。
如图1所示，气中微粒测量仪120具备测量部121、泵122、控制部123、吸入配管124、排出配管125、加热器126、以及除去部127。测量部121、泵122以及控制部123收纳在壳体129中。另外，吸入配管124、排出配管125、加热器126以及除去部127可以作为附属于腔室110的构成要素。
测量部121测量吸入的气体中的微粒。测量部121例如是光散射型传感器，通过对吸入到测量部121的微粒照射激光，由传感器捕捉来自微粒的光的散射，从而检测微粒。
在测量部121的气体吸入口设置有流量计121a。流量计121a测定吸入到测量部121的气体的流量，并向控制部123输出测定信号。该测定信号用于控制部123对泵122的吸引量的控制。另外，流量计121a也可以设置在测量部121的下游侧。
吸入配管124将腔室110的安装部111和测量部121连接，向测量部121运送从腔室110内吸入的气体。
泵122例如是隔膜泵或旋转泵，吸引气体以使得气体通过吸入配管124从腔室110运送到测量部121。在本实施方式中，泵122连接于测量部121的下游侧，但是也可以连接于测量部121的上游侧。另外，泵122的动作，根据与控制部123的关系，之后进行说明。
排出配管125将泵122和腔室110的安装部112连接，向腔室110运送从泵122排出的气体。因此，如图1中用箭头所示的那样，腔室110内的气体从安装部111吸出，经过吸入配管124、测量部121、泵122以及排出配管125，从安装部112返回到腔室110内。也就是说，吸入配管124、测量部121、泵122以及排出配管125形成了气体流动的路径。
加热器126是加热部的一例，加热比测量部121更靠上游侧的路径内的气体。在第1实施方式中，加热器126是实质上全部覆盖吸入配管124的结构。不过，加热器126可以是部分地覆盖吸入配管124的结构。
加热器126的温度由控制部123来控制。例如，在加热器126的下游侧的路径上设置测定气体的温度的温度传感器(未图示)，控制部123基于由该温度传感器测定的气体的温度和规定的设定温度，来控制加热器126的温度。规定的设定温度例如是100℃，或者也可以由用户进行设定。
除去部127设置在比加热部126更靠上游侧，通过使吸入配管124内的气体中包含的水分凝结，从而除去气体中的水分。在第1实施方式中，除去部127设置于安装部111与加热器126之间的路径。
除去部127例如可以包括：从吸入配管124中的位置A向铅直下方分支的分支管124a、和接受从该分支管124a的下端滴下的水滴的容器。例如，若腔室110内的温度为37℃、外气为25℃，则高湿度的腔室110内的气体在吸入配管124中冷却而凝结。这种凝结的结果产生的水分从分支管124a滴下而存储于容器，另一方面，减少了水分的气体朝向加热器126流动。
或者，除去部127可以是通过使路径内的气体与冷却水进行热交换从而使气体中的水分凝结的冷凝器。
控制部123控制泵122的驱动从而调整吸入到测量部121的气体的流量。例如，控制部123使泵126驱动，使得在加热器126发出第1热量进行运转时吸入到测量部121的气体的流量比加热器126发出小于第1热量的第2热量进行运转时或停止时的流量多。另外，控制部123可以与清洁环境设备1的控制部113独立，也可以协作。此外，也可以将控制部123和控制部113设为一体。
基于气体的状态方程式来调节泵122的吸引量。例如，若将加热器126进行加热前的气体的压力、体积以及温度分别设为P1、V1以及T1，将加热后的气体的压力、体积以及温度分别设为P2、V2以及T2，则根据气体的状态方程式，下述(式1)成立。
P1×V1/T1＝P2×V2/T2 …(式1)
根据该(式1)，假定压力恒定(P1＝P2)，25℃下28.32L的空气若被加热到100℃则会膨胀到35.45L。因此，例如，在想要与有无加热器126的加热无关地，获得与25℃的气体的规定体积中的微粒的数量相当的测量值的情况下，若用加热器126将流经吸入配管124的25℃的气体加热到100℃，则可以将泵122的吸引量调整为不进行加热器126的加热的情况下的泵122的吸引量的1.25倍。或者，若设泵122的吸引量为恒定，则可以将进行测量部121的测量的时间间隔调整为不进行加热器126的加热的情况下进行测量部121的测量的时间间隔的1.25倍。
此外，控制部123还能够监视供给部128的动作状况，并能够按照供给部128的动作来控制泵122的吸引量。具体而言，可以使泵122驱动，使得在从供给部128供给水蒸气或雾状水分时吸入到测量部121的气体的流量比不从供给部128供给水蒸气或雾状水分时的气体的流量少。例如，控制部123可以在从供给部128进行杀菌气体的供给或者加湿水、杀菌液的喷雾时，使泵122停止。也就是说，在腔室110内进行加湿、杀菌时，可以停止泵122对气体的吸引。另外，控制部123可以按照来自控制供给部128的动作的控制部113的信号来控制泵122的吸引量。
此外，控制部123具有测量模式以及重置模式(aeration mode)。测量模式是为了进行测量部121的测量，使泵122驱动，以使得吸入到测量部121的气体的流量成为与加热器126的温度相应的规定流量(第1流量)的模式，相当于第1模式。此外，重置模式是为了使测量部121返回到初始状态，驱动泵122，以使得比测量模式中的气体流量多的流量(第2流量)的气体流入到测量部121内的模式，相当于第2模式。重置模式例如一天执行一次。或者，重置模式也可以在腔室110内的加湿或者杀菌后为了从气体的路径内迅速地除去加湿水、杀菌液、杀菌气体而执行。
(清洁环境设备的动作)
说明具有上述结构的清洁环境设备1的动作。清洁环境设备1的动作大致分为进行气体中的微粒的测量时的动作、测量部121被重置为初始状态时的动作、以及腔室110内被杀菌时的动作，因此下面依次进行说明。
·微粒的测量时
如上所述，腔室110内的气体通过泵122经由吸入配管124被吸引到测量部121，在测量部121中测量微粒。此时，从腔室110吸出的高湿度的气体在除去部127中被除去水分，并且由加热器126加热到期望的温度。因此，加热后的气体的湿度与加热前的气体的湿度相比降低。因此，能够防止气体在吸入配管124中发生结露，并且能够抑制测量部121受到气体中的水分的影响，所以能够准确地测量气体中的微粒。
此外，控制部123基于上述(式1)来计算加热所引起的气体的膨胀，并基于计算结果来控制泵122的吸引量。据此，即使在进行了加热器126对气体的加热的情况下，测量部121也能够获得与规定温度(例如25℃)的气体的规定体积中的微粒的数量相当的测量结果。
·测量部121被重置为初始状态时
如上所述，测量部121一天一次被重置为初始状态。此时，控制部123控制泵122，使得泵122的吸引量大于上述的微粒测量时的泵122的吸引量。此时，加热器126将路径内的气体加热至期望的温度。因此，被加热从而湿度降低的高温的气体流入到测量部121，由此对测量部121内进行干燥。因此，可以确保测量部121的测量可靠性。
·腔室110内被加湿、杀菌时
如上所述，为了防止腔室110内的污染等，腔室110内定期被加湿、杀菌。腔室110内的加湿、杀菌，通过从供给部128向腔室110内供给杀菌气体，或者将加湿水、杀菌液从供给部128喷雾到腔室110内来进行。加湿时，不需要进行微粒的测量，此外为了可靠地进行加湿、杀菌，控制部123使泵122对气体的吸引停止。另外，在加湿、杀菌后，为了从气体的路径除去加湿水、杀菌气体以及杀菌液，控制部123也可以与上述的重置时同样地进行控制使得泵122吸引比测量时更多的量的气体。另外，在本实施方式中，作为加热器126覆盖吸入配管124的结构进行了说明，但是不限定于此。加热整个流路更好。
具体而言，例如，加热器126可以设为不仅覆盖吸入配管124还覆盖排出配管125的整体或一部分的结构。
通过不仅加热流路的一部分而且加热整个流路，从而能够进一步抑制吸入配管124以及排出配管125等配管的结露。
此外，由于经由排气侧的流路例如排出配管125，使气体返回到腔室110，因而若在排气侧的流路中发生结露，则有可能使水微粒返回到腔室110内。因此，优选排出配管125等排气侧的流路也进行保温。
通过这种结构，能够防止气体在排出配管125中发生结露，并且能够进一步抑制测量部121受到气体中的水分的影响，因此能够进一步准确地测量气体中的微粒。
此外，在通过加热器126对吸入配管124以及排出配管125等配管进行加热的情况下，进一步优选使温度不高于约40℃。
通过这样，能够使测量部121中使用的传感器特别是激光器免受高温所引起的不良影响，因此能够确保测量部121的稳定性以及寿命。
[第2实施方式]
参照图2来说明第2实施方式中的清洁环境设备2的整体结构。图2是概略性示出第2实施方式中的清洁环境设备2的图。在图2中，对于与清洁环境设备1相同的结构赋予相同的符号。
如图2所示，清洁环境设备2与第1实施方式中的清洁环境设备1同样地具有腔室210、供给部228和气中微粒测量仪220。但是，不包括相当于第1实施方式中的除去部127的结构。
此外，气中微粒测量仪220中包括的加热器226部分地覆盖吸入配管224中的壳体229的外侧。因此，吸入配管224中被加热器226覆盖的区间比第1实施方式中的吸入配管124短。因此，加热器226例如以比第1实施方式中的加热器126更高温加热气体、或者在加热器226的内部卷绕配管来增大表面积，即使为较短的区间也能够进行充分的加热。
这种第2实施方式中的清洁环境设备2的动作，与第1实施方式同样地大致分为进行气体中的微粒的测量时的动作、测量部221被重置为初始状态时的动作、以及腔室210内被加湿、杀菌时的动作。省略这些各动作的详情。
另外，在本实施方式中，吸入配管224或者排出配管225的至少一方可以包括吸湿性的树脂膜。作为吸湿性的树脂膜，例如NAFION管等是众所周知的构件，省略详细说明，但是其具有能够从管的内侧向外侧排出水分并且除去水分的作用。另外，“NAFION”是注册商标。
具体而言，可以在吸入配管224的整体或者一部分使用NAFION管。也就是说，可以将NAFION管设置在安装部211与加热器226之间的路径。
通过设为这种结构，从而在设置了NAFION管的安装部211与加热器226之间的路径上，从NAFION管排出水分，从安装部211进来的高湿度的腔室210内的气体减少水分而朝向加热器226流动。
因此，能够防止气体在吸入配管224中发生结露，并且能够抑制测量部221受到气体中的水分的影响，因此能够准确地测量气体中的微粒。
此外，也可以在排出配管225的整体或一部分使用NAFION管。也就是说，也可以将NAFION管设置在安装部212与泵222之间的路径。
通过设为这种结构，在设置了NAFION管的安装部212与泵222之间的路径上，从NAFION管排出水分，减少了水分的气体从安装部212朝向腔室210内流动。
因此，能够防止气体在排出配管225中发生结露，并且能够抑制测量部221受到气体中的水分的影响，因此能够准确地测量气体中的微粒。
在通过NAFION管能够充分地除去水分的情况下，还可以设为省略加热器226的结构，能够将装置设为简单的结构。另外，这里所谓能够充分地除去水分的情况，是指如下情况，即，能够将水分除去到在期望的测量气体中的微粒的准确度下测量部221不受气体中的水分的影响的程度的状态。
[第3实施方式]
参照图3来说明第3实施方式中的清洁环境设备的整体结构。图3是概略性示出第3实施方式中的清洁环境设备的图。在图3中，对于与清洁环境设备1相同的结构赋予相同的符号。
如图3所示，清洁环境设备3具有腔室310、供给部328和气中微粒测量仪320。但是，与第2实施方式同样地不包括相当于第1实施方式中的除去部127的结构。
此外，加热器326安装在腔室310的安装部331，对流经安装部311以及吸入配管324(连接部)的气体进行加热。加热器326与第2实施方式中的加热器226同样地，例如通过以比第1实施方式中的加热器126更高温加热气体，或者在加热器326的内部卷绕配管来增大表面积，从而能够进行足够的加热。
这种第3实施方式中的清洁环境设备3的动作与第1实施方式同样地大致分为进行气体中的微粒的测量时的动作、测量部321重置为初始状态时的动作、以及腔室310内被加湿、杀菌时的动作。省略这些各动作的详情。
如前所述，气中微粒测量仪120(220、320)是与暂时或始终维持为比外气的湿度更高湿度的腔室110(210、310)连接的气中微粒测量仪120(220、320)，具备：测量部121(221、321)，其测量吸入的气体中的微粒；吸入配管124(224、324)，其将腔室110(210、310)的安装部111(211、311)和测量部121(221、321)连接，并向测量部121(221、321)运送从腔室110(210、310)内吸入的气体；泵122(222、322)，其吸引气体，使得气体通过吸入配管124(224、324)从腔室110(210、310)向测量部121(221、321)运送；和加热部126(226、326)，其加热比测量部121(221、321)更靠上游侧的路径内的气体。根据该实施方式，从腔室110(210、310)吸出的高湿度的气体被加热器126(226、326)加热，加热后的气体中的湿度降低。据此，能够防止气体在吸入配管124(224、324)以及测量部121(221、321)中发生结露。因此，能够提供即使测定高湿度的气体中的微粒的情况下也能够进行准确的测量的气中微粒测量仪。
此外，通过加热部126(226，326)为覆盖吸入配管124(224、324)的结构，从而能够高效地加热流经吸入配管124(224、324)的气体。
此外，也可以具备控制部123(223、323)，其使泵122(222、322)驱动，使得在加热部126(226、326)发出第1热量进行运转时吸入到测量部121(221、321)的气体的流量比加热部126(226、326)发出小于第1热量的第2热量进行运转时或者停止时的流量多。根据该实施方式，能够与加热部126(226、326)的发热量无关地获得与气体的规定体积中包含的微粒的数量相当的测量结果。因此，容易进行测量结果的比较。
此外，也可以具备控制部123(223、323)，其控制泵122(222、322)的驱动从而调整吸入到测量部121(221、321)的气体的流量，控制部123(223、323)具有测量模式和重置模式，测量模式为使泵122(222、322)驱动以使所述流量成为第1流量的模式，重置模式为使泵122(222、322)驱动以使所述流量成为比第1流量多的第2流量的模式。根据该实施方式，即使在控制部123(223、323)为重置模式时，加热器126(226、326)也将路径内的气体加热到期望的温度。因此，湿度相对低的高温的气体流入到测量部121(221、321)，对测量部121(221、321)内进行干燥。因此，可以确保测量部121(221、321)的测量的可靠性。
此外，也可以具备除去部127，其通过使吸入配管124内的气体中包含的水分凝结从而除去气体中的水分。该除去部127优选设置在加热部126的上游侧。根据该实施方式，防止气体在吸入配管124中发生结露，抑制测量部121受到气体中的水分的影响，因此能够准确地测量微粒。
清洁环境设备1(2、3)具备暂时或始终维持为比外气的湿度更高湿度的腔室110(210、310)、和连接于腔室110(210、310)的气中微粒测量仪120(220、320)，气中微粒测量仪120(220、320)具有：测量部121(221、321)，其测量所吸入的气体中的微粒；吸入配管124(224、324)，其将腔室110(210、310)的安装部111(211、311)和测量部121(221、321)连接，向测量部121(221、321)运送从腔室110(210、310)内吸入的气体；泵122(222、322)，其吸引气体，使得气体通过吸入配管124(224、324)从腔室110(210、310)运送到测量部121(221、321)；和加热部126(226、326)，其加热比测量部121(221、321)更靠上游侧的路径内的气体。根据该实施方式，从腔室110(210、310)吸出的高湿度的气体被加热器126(226、326)加热，加热后的气体中的湿度降低。据此，能够防止气体在吸入配管124(224、324)以及测量部121(221、321)中发生结露。因此，能够提供即使在测定高湿度的气体中的微粒的情况下也能够进行准确的测量的清洁环境设备。
此外，加热部126(226、326)可以是覆盖吸入配管124(224、324)的结构、或者设置于腔室110(210、310)的安装部111(211、311)的结构。根据该实施方式，能够高效地加热流经吸入配管124(224、324)的气体。
此外，也可以具备控制部113(213、313)，其使泵122(222、322)驱动，使得在加热部126(226、326)发出第1热量进行运转时吸入测量部121(221，321)的气体的流量比加热部126(226、326)发出小于第1热量的第2热量进行运转时或停止时的流量多。根据该实施方式，能够与加热部126(226、326)的发热量无关地得到与气体的规定体积中包含的微粒的数量相当的测量结果。因此，容易进行测量结果的比较。另外，控制部113(213、313)可以与气中微粒测量仪120(220、320)的控制部123(223、323)协作，也可以设为一体。
此外，也可以具备控制部113(213、313)和供给部128(228、328)，供给部128(228、328)为了提高腔室110(210、310)内的湿度，供给水蒸气或者雾状水分，控制部113(213、313)使泵122(222、322)驱动，使得在从供给部128(228、328)供给水蒸气或者雾状水分时吸入到测量部121(221、321)的气体的流量比不从供给部128(228、328)供给水蒸气或者雾状水分时的流量少。例如，优选控制部113(213、313)在从供给部供给水蒸气或者雾状水分时使泵122(222、322)停止。根据该实施方式，能够抑制测量部121(221、321)受到水蒸气或者雾状水分的影响，能够准确地测量微粒。
测量气体中的微粒的气中微粒测量仪320可自如拆装的清洁环境设备3，具备：暂时或始终维持为比外气的湿度更高湿度的腔室310、和将腔室310和气中微粒测量仪320可自如拆装地进行连接的连接部(安装部311以及吸入配管324、和加热流经该连接部的气体的加热部326)。根据该实施方式，从腔室310吸出的高湿度的气体被加热器326加热，加热后的气体中的湿度降低。据此，能够防止气体在连接部中发生结露。因此，能够提供即使在测定高湿度的气体中的微粒的情况下也能够进行准确的测量的清洁环境设备。
前述的实施方式用于容易理解本发明，并不用于限定解释本发明。本发明能够不脱离其主旨地进行变更、改良等，此外，本发明也包括其等价物。
例如，清洁环境设备不限定于再生医疗用途，还可以用于无菌制剂、粉末填充、无菌试验、化学危险品等用途。
此外，也可以不设置排出配管125、225、325。在该情况下，从泵122、222、322排出的气体排出到清洁环境设备1、2、3的外部。此外，在腔室110、210、310内的气体例如要较多地包含CO2的情况下，需要向腔室110、210、310内补充CO2。
符号说明
1、2、3 清洁环境设备
110、210、310 腔室
120、220、320 气中微粒测量仪
121、221、321 测量部
122、222、322 泵
123、223、323 控制部
124、224、324 吸入配管
125、225、325 排出配管
126、226、326 加热器(加热部)
127 除去部
128、228、328 供给部。

Claims (16)

1.一种气中微粒测量仪，连接于暂时或始终维持为比外气的湿度更高湿度的腔室，所述气中微粒测量仪具备：
测量部，其测量吸入的所述气体中的微粒；
吸入配管，其将所述腔室的安装部与所述测量部连接，向所述测量部运送从所述腔室内吸入的气体；
泵，其吸引所述气体，使得所述气体通过所述吸入配管从所述腔室运送到所述测量部；和
加热部，其加热比所述测量部更靠上游侧的路径内的所述气体。
2.根据权利要求1所述的气中微粒测量仪，其中，
所述加热部是覆盖所述吸入配管的结构。
3.根据权利要求1或2所述的气中微粒测量仪，其中还具备：
排出配管，其将所述泵与所述腔室的安装部连接，向所述腔室运送从所述泵排出的气体，
所述加热部是覆盖所述排出配管的结构。
4.根据权利要求3所述的气中微粒测量仪，其中，
所述吸入配管或者所述排出配管的至少一方包括吸湿性的树脂膜。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的气中微粒测量仪，其中具备：
控制部，其使所述泵驱动，使得在所述加热部发出第1热量进行运转时吸入到所述测量部的气体的流量比所述加热部发出小于所述第1热量的第2热量进行运转时或停止时的所述流量多。
6.根据权利要求1所述的气中微粒测量仪，其中具备：
控制部，其控制所述泵的驱动从而调整吸入到所述测量部的气体的流量，
所述控制部具有：
第1模式，其使所述泵驱动，以使所述流量成为第1流量；和
第2模式，其使所述泵驱动，以使所述流量成为比所述第1流量多的第2流量。
7.根据权利要求1～5中任一项所述的气中微粒测量仪，其中具备：
除去部，其通过使所述吸入配管内的气体中包含的水分凝结从而除去所述气体中的水分。
8.根据权利要求7所述的气中微粒测量仪，其中，
所述除去部设置在比所述加热部更靠上游侧的位置。
9.一种清洁环境设备，具备：
腔室，其暂时或始终维持为比外气的湿度更高湿度；和
气中微粒测量仪，其与所述腔室连接，
所述气中微粒测量仪具有：
测量部，其测量吸入的所述气体中的微粒；
吸入配管，其将所述腔室的安装部与所述测量部连接，向所述测量部运送从所述腔室内吸入的气体；
泵，其吸引所述气体，使得所述气体通过所述吸入配管从所述腔室运送到所述测量部；和
加热部，其加热比所述测量部更靠上游侧的路径内的气体。
10.根据权利要求9所述的清洁环境设备，其中，
所述加热部是覆盖所述吸入配管的结构、或者设置在所述腔室的所述安装部的结构。
11.根据权利要求9或10所述的清洁环境设备，其中还具备：
排出配管，其将所述泵与所述腔室的安装部连接，向所述腔室运送从所述泵排出的气体，
所述加热部是覆盖所述排出配管的结构。
12.根据权利要求11所述的清洁环境设备，其中，
所述吸入配管或者所述排出配管的至少一方包括吸湿性的树脂膜。
13.根据权利要求9～12中任一项所述的清洁环境设备，其中具备：
控制部，其使所述泵驱动，使得在所述加热部发出第1热量进行运转时吸入到所述测量部的气体的流量比所述加热部发出小于所述第1热量的第2热量进行运转时或停止时的所述流量多。
14.根据权利要求9～12中任一项所述的清洁环境设备，其中具备：
供给部，其为了提高所述腔室内的湿度，供给水蒸气或者雾状水分；和
控制部，其使所述泵驱动，使得从所述供给部供给水蒸气或者雾状水分时吸入到所述测量部的气体的流量比不从所述供给部供给水蒸气或者雾状水分时的所述流量少。
15.根据权利要求14所述的清洁环境设备，其中，
所述控制部在从所述供给部供给所述水蒸气或者所述雾状水分时，使所述泵停止。
16.一种清洁环境设备，可自如拆装对气体中的微粒进行测量的气中微粒测量仪，所述清洁环境设备具备：
腔室，其暂时或始终维持为比外气的湿度更高湿度；
连接部，其将所述腔室与所述气中微粒测量仪以可自如拆装的方式进行连接；和
加热部，其加热流经所述连接部的所述气体。
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