CN108341413A - 一种碳化硅生产用坩埚炉支架 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种碳化硅生产用坩埚炉支架，包括右支撑杆组、底座和左支撑杆组，所述底座的顶面垂直安装有左支撑杆组和右支撑杆组，所述左支撑杆组和右支撑杆组通过螺栓均匀安装在底座顶面的四个边角处，所述左支撑杆组和右支撑杆组上分别套设有左升降架和右升降架。本发明整体可通过移动轮移动和固定，左右支撑杆组保持左右升降架升降时的水平和平稳，左右升降架配合丝杠实现对坩埚高度的调节，从而调节坩埚与发热体之间的距离；伸缩气缸根据坩埚尺寸的不同控制夹板运动，使得该支架的适用范围更广，降低更换坩埚的成本，导向轨水平贯通夹板的两端，提高夹板运动时的平稳性。
Description
技术领域
本发明涉及硅生产设备技术领域，具体为一种碳化硅生产用坩埚炉支架。
背景技术
目前碳化硅在生产加工的时候需要放在坩埚内加热，使晶体膨胀变成晶棒。
由于生产规模不同，因此坩埚的尺寸也存在差异，目前的坩埚炉支架是根据坩埚尺寸定做的，当更换坩埚时需要同时更换坩埚支架，灵活性差，成本高，坩埚支架的高度恒定，无法调节坩埚底面与发热体的距离。
发明内容
本发明的目的在于提供一种碳化硅生产用坩埚炉支架，解决了现有坩埚炉支架根据坩埚尺寸定做，当更换坩埚时需要同时更换坩埚支架，灵活性差，成本高，坩埚支架的高度恒定，无法调节坩埚底面与发热体的距离的问题。
为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种碳化硅生产用坩埚炉支架，包括右支撑杆组、底座和左支撑杆组，所述底座的顶面垂直安装有左支撑杆组和右支撑杆组，所述左支撑杆组和右支撑杆组通过螺栓均匀安装在底座顶面的四个边角处，所述左支撑杆组和右支撑杆组上分别套设有左升降架和右升降架，所述左升降架和右升降架上相向的侧面均安装有伸缩气缸，所述伸缩气缸上设有伸缩杆，所述左升降架与右升降架之间通过导向轨固定连接，所述导向轨上套设有夹板，所述夹板与伸缩气缸通过伸缩杆连接，所述夹板上背离伸缩气缸的一面设有夹槽，所述夹槽的表面设有耐磨垫，所述底座顶面的中心处安装有液压泵，所述液压泵上设有推杆，所述推杆的顶端与托板固定连接
优选的，所述底座的底面安装有移动轮，所述移动轮共安装有四个，且移动轮上设有脚闸。
优选的，所述左支撑杆组和右支撑杆组的顶部均设有封堵头，所述封堵头与左支撑杆组和右支撑杆组通过螺纹旋合连接。
优选的，所述导向轨共设有两个，两个所述导向轨相互平行，且两个导向轨设置在伸缩气缸的两侧。
优选的，所述底座的顶面还安装有两个电机箱，两个所述电机箱分别与左升降架与右升降架垂直对应。
优选的，所述电机箱的内部安装有电机，所述左升降架与右升降架均与电机通过丝杠连接。
优选的，所述托板的内部设有发热体槽，所述发热体槽自下而上呈扩口型结构。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明(1)整体可通过移动轮移动和固定，便于跟随碳化硅生产场地的变化而移动坩埚支架。
(2)左右升降架分别安装在左右支撑杆组上，左右支撑杆组保持左右升降架升降时的水平和平稳，左右升降架配合丝杠实现对坩埚高度的调节，从而调节坩埚与发热体之间的距离。
(3)伸缩气缸根据坩埚尺寸的不同控制夹板运动，使得该支架的适用范围更广，降低更换坩埚的成本，导向轨水平贯通夹板的两端，提高夹板运动时的平稳性。
附图说明
图1为本发明整体的结构示意图；
图2为本发明底座的俯视图；
图3为本发明托板的主剖图；
图4为本发明伸缩气缸、左升降架、右升降架和夹板安装结构示意图。
图中：1-伸缩气缸、2-伸缩杆、3-夹板、31-夹槽、4-右支撑杆组、5-右升降架、6-液压泵、7-托板、71-发热体槽、8-推杆、9-底座、10-移动轮、11-电机箱、12-导向轨、13-左升降架、14-左支撑杆组、15-封堵头、16-丝杠、17-耐磨垫。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-4，本发明提供一种技术方案：一种碳化硅生产用坩埚炉支架，包括右支撑杆组4、底座9和左支撑杆组14，底座9的顶面垂直安装有左支撑杆组14和右支撑杆组4，左支撑杆组14和右支撑杆组4通过螺栓均匀安装在底座9顶面的四个边角处，左支撑杆组14和右支撑杆组4上分别套设有左升降架13和右升降架5，左升降架13和右升降架5均沿底座9的宽度方向延伸，左升降架13和右升降架5上相向的侧面均安装有伸缩气缸1，伸缩气缸1上设有伸缩杆2，左升降架13与右升降架5之间通过导向轨12固定连接，导向轨12上套设有夹板3，导向轨12能够提高夹板3运动时的平稳性，不会产生偏差，减轻夹板3对伸缩杆2的重力负担，延长伸缩杆2的使用寿命，夹板3与伸缩气缸1通过伸缩杆2连接，夹板3上背离伸缩气缸1的一面设有夹槽31，夹槽31呈圆弧形结构，夹槽31的表面设有耐磨垫17，耐磨垫17采用橡胶材质，一方面摩擦系数较大，另一方面耐磨性能好，底座9顶面的中心处安装有液压泵6，液压泵6上设有推杆8，推杆8的顶端与托板7固定连接，液压泵6通过推杆8带动托板7升降。
底座9的底面安装有移动轮10，移动轮10共安装有四个，且移动轮10上设有脚闸，需要固定底座9时，踩下脚闸即可固定移动轮10；
左支撑杆组14和右支撑杆组4的顶部均设有封堵头15，封堵头15与左支撑杆组14和右支撑杆组4通过螺纹旋合连接，封堵头15限定左升降架13和右升降架5高度的上限；
导向轨12共设有两个，两个导向轨12相互平行，且两个导向轨12设置在伸缩气缸1的两侧，从夹板3的长度方向稳定夹板3；
底座9的顶面还安装有两个电机箱11，两个电机箱11分别与左升降架13与右升降架5垂直对应，电机箱11采用隔音双层结构，夹层中设置隔音棉，降低设备运行时的噪音；
电机箱11的内部安装有电机，左升降架13与右升降架5均与电机通过丝杠16连接，左升降架13和右升降架5上的中间位置设有上下贯通的丝杠穿孔，丝杠穿孔内壁设有与丝杠16表面结构对应的螺旋结构，电机带动丝杠转动，进而带动左升降架13与右升降架5沿左支撑杆组14和右支撑杆组4的高度方向升降；
托板7的内部设有发热体槽71，发热体槽71自下而上呈扩口型结构，托板7即可用于放置发热体，同时也对坩埚的上升起到承托作用。
工作原理：在生产碳化硅时，首先将该坩埚支架整体通过底部的移动轮推至生产位置，然后踩下移动轮上的脚闸固定底板9，利用吊机或人工将坩埚放置于托板7上，然后在控制器上输入坩埚的参数和坩埚生产所需的参数，启动夹持和升降程序，控制器启动液压泵6、伸缩气缸1和电机箱11内部的电机，首先由伸缩气缸1延长伸缩杆2推动夹板3在导向轨12上滑动，直至夹板3上的夹槽31紧贴坩埚的外表面，伸缩气缸1停止运行，耐磨垫17增大与坩埚表面的摩擦力，避免坩埚在升降过程中发生脱落，同时保护夹槽31表面，延长夹板3的使用寿命，然后电机箱11内的电机与液压泵6同步启动，电机带动丝杠16转动，进而带动左升降架13和右升降架5分别在左支撑杆组14和右支撑杆组4上上升，液压泵6通过推杆8从推动托板7上升，从底部承托坩埚，当升降至设定高度时，控制器关闭电机，并控制液压泵6反向移动推杆8，托板7降低至原始高度，将发热体投入发热体槽71内部即可。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (7)
1.一种碳化硅生产用坩埚炉支架，包括右支撑杆组(4)、底座(9)和左支撑杆组(14)，其特征在于：所述底座(9)的顶面垂直安装有左支撑杆组(14)和右支撑杆组(4)，所述左支撑杆组(14)和右支撑杆组(4)通过螺栓均匀安装在底座(9)顶面的四个边角处，所述左支撑杆组(14)和右支撑杆组(4)上分别套设有左升降架(13)和右升降架(5)，所述左升降架(13)和右升降架(5)上相向的侧面均安装有伸缩气缸(1)，所述伸缩气缸(1)上设有伸缩杆(2)，所述左升降架(13)与右升降架(5)之间通过导向轨(12)固定连接，所述导向轨(12)上套设有夹板(3)，所述夹板(3)与伸缩气缸(1)通过伸缩杆(2)连接，所述夹板(3)上背离伸缩气缸(1)的一面设有夹槽(31)，所述夹槽(31)的表面设有耐磨垫(17)，所述底座(9)顶面的中心处安装有液压泵(6)，所述液压泵(6)上设有推杆(8)，所述推杆(8)的顶端与托板(7)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用坩埚炉支架，其特征在于，所述底座(9)的底面安装有移动轮(10)，所述移动轮(10)共安装有四个，且移动轮(10)上设有脚闸。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用坩埚炉支架，其特征在于，所述左支撑杆组(14)和右支撑杆组(4)的顶部均设有封堵头(15)，所述封堵头(15)与左支撑杆组(14)和右支撑杆组(4)通过螺纹旋合连接。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用坩埚炉支架，其特征在于，所述导向轨(12)共设有两个，两个所述导向轨(12)相互平行，且两个导向轨(12)设置在伸缩气缸(1)的两侧。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用坩埚炉支架，其特征在于，所述底座(9)的顶面还安装有两个电机箱(11)，两个所述电机箱(11)分别与左升降架(13)与右升降架(5)垂直对应。
6.根据权利要求5所述的一种碳化硅生产用坩埚炉支架，其特征在于，所述电机箱(11)的内部安装有电机，所述左升降架(13)与右升降架(5)均与电机通过丝杠(16)连接。
7.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产用坩埚炉支架，其特征在于，所述托板(7)的内部设有发热体槽(71)，所述发热体槽(71)自下而上呈扩口型结构。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111394785A (zh) * | 2020-03-24 | 2020-07-10 | 哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司 | 一种蓝宝石晶体生长用坩埚固定及坩埚盖自支撑结构 |
| CN112723081A (zh) * | 2020-12-24 | 2021-04-30 | 刘建宏 | 一种便于拼装的电梯口防护挡板 |
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2018
- 2018-05-14 CN CN201810452994.9A patent/CN108341413A/zh not_active Withdrawn
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