CN108246754A - 一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置,包括清洁盒、压片和移动杆,所述面板单元的下端安装有光罩清洗机,且光罩清洗机的内侧上下两端固定有挡板,所述光罩清洗机的中端固定有自动搬运单元,且自动搬运单元的左端安装有清洁盒,所述自动搬运单元的右端连接有踏板,所述清洁盒的中端固定有清洁棉,所述光罩清洗机的下端连接有其他设备对接口,且其他设备对接口的右端设置有手洗单元,所述手洗单元的右端固定有旋转单元,所述光罩清洗机的右端固定有风机抽风单元,所述清洁盒的左端连接有刮板。该液晶面板光罩离心式旋转清洗装置设置有旋转单元,可对液晶面罩进行旋转清理,避免液晶面罩在清理中存在未清理到的死角。

Description

一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置
技术领域
本发明涉及液晶面板光罩清洗技术领域,具体为一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置。
背景技术
液晶面板光罩清洗装置之前一直是国外厂商独有,尤其是针对大尺寸液晶面板,随着各个地区经济的飞速发展和科技的进步,生活水平的提高,且旧式显示屏越来越多的被液晶面板所取代,液晶面板作为液晶显示屏的重要组成部分,液晶面板拥有广大的市场,在液晶面板清洗过程中,液晶面板玻璃化学蚀刻减薄之后需要进行抛光工序,在抛光工序之后需要对液晶面板进行清洗,一是清除抛光工序在液晶面板上残留的抛光粉,二是为了尽量避免空气中的附作物及其他固态杂质对玻璃液晶面板造成污染甚至划伤,因此必须对液晶面板进行清洗,控制其洁净度,传统的清洗采用流水线清洗,清洗洁净度较差,会对后工序及检验造成不同程度的影响,经过液晶行业多年的设备制作经验,针对市场需求,吸取国外技术经验,反复的设计验证,不断改进,终于将该产品研制成功,用于实际生产,并产生巨大的效益。
市场上的液晶面板光罩离心式旋转清洗装置使用过程中清洁液和水需要单独喷射至液晶面板上,使得操作复杂,冬天水的温度较低,不适于人体直接接触,清洁液晶面板后需要单独对液晶面板上的水进行处理,为此,我们提出一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置,以解决上述背景技术中提出的清洁液和水需要单独喷射至液晶面板上,使得操作复杂,冬天水的温度较低,不适于人体直接接触,清洁液晶面板后需要单独对液晶面板上的水进行处理的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置,包括清洁盒、压片和移动杆,所述面板单元的下端安装有光罩清洗机,且光罩清洗机的内侧上下两端固定有挡板,所述光罩清洗机的中端固定有自动搬运单元,且自动搬运单元的左端安装有清洁盒,所述自动搬运单元的右端连接有踏板,所述清洁盒的中端固定有清洁棉,所述光罩清洗机的下端连接有其他设备对接口,且其他设备对接口的右端设置有手洗单元,所述手洗单元的右端固定有旋转单元,所述光罩清洗机的右端固定有风机抽风单元,所述清洁盒的左端连接有刮板,且清洁盒的内侧中端镶嵌有电机,所述电机的下端设置有清洁棉,所述清洁盒的上端固定有固定杆,且固定杆的右端固定有固定片,所述固定杆之间的中端安装有手握,所述清洁盒的右端连接有第一边角线,且第一边角线的下端镶嵌有底座,所述第一边角线的上端固定有松紧带,所述底座的右端镶嵌有水管,且水管的右端连接有第二底座,所述第二底座的上端固定有第二边角线,所述第二边角线的上端连接有第二松紧带,且第二边角线的右端安装有活塞,所述第二底座的下端连接有气泵,且气泵的下端设置有压杆,所述压片连接于压杆的下端,且压片的内侧中端镶嵌有第一螺栓,所述压杆的左端设置有气压杆,所述清洁盒的右端连接有卡扣,所述卡扣的右端镶嵌有卡槽,且卡槽的内侧中心固定有第二螺栓,所述底座的内侧右端镶嵌有第一螺纹,所述水管的右端连接有螺口,所述压杆的右端设置有嵌口,且嵌口的内侧中端设置有转动轴,所述活塞的右端连接有第二螺纹,所述移动杆位于清洁盒的右端,且移动杆的上端设置有移动槽。
优选的,所述刮板通过移动杆与移动槽构成可滑动结构,且移动杆与移动槽呈镶嵌的连接方式,而且移动槽呈矩形状。
优选的,所述第一边角线以底座的横向中轴线对称分布,且第一边角线呈三角形结构,而且第一边角线与第二边角线形状相同,同时第一边角线的长度短于第二边角线的长度。
优选的,所述底座的长度短于第二底座的长度,且底座与第二底座通过水管相连接,同时底座与水管的连接方式为螺纹连接。
优选的,所述水管通过螺口与第二底座构成螺纹连接,且第二底座通过第二螺纹与活塞构成嵌入式结构。
优选的,所述压杆通过转动轴与气泵构成可转动结构,且压杆与气压杆的连接方式为固定连接。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:该液晶面板光罩离心式旋转清洗装置设置有旋转单元,可对液晶面罩进行旋转清理,避免液晶面罩在清理中存在未清理到的死角,手洗单元可对液晶面板进行固定,方便于人工对机械无法清理的局部进行局部手动清洗,刮板可对清洁后余下的水进行清理,避免水痕的产生,刮板通过移动杆与移动槽构成可滑动结构,通过移动杆可对刮板的高低进行调节,使得刮板不行影响清洁棉的使用,清洁棉通过电机的带动进行旋转,取代传统手工清洁,提高清洁效率,松紧带用于对手臂进行固定,第二底座内部可储蓄清洁液,气泵通过压动压杆对第二底座内部进行增压,清洁液通过水管流入底座,对清洁棉进行加湿,使得清洁与加湿构成一体化操作,简化了操作步骤的同时提高了清洁的效率。
附图说明
图1为本发明结构示意图;
图2为本发明内部结构示意图;
图3为本发明内部侧视结构示意图;
图4为本发明内部移动杆细节结构示意图。
图中:1、面板单元,2、挡板,3、光罩清洗机,4、自动搬运单元,5、清洁盒,6、清洁棉,7、其他设备对接口,8、手洗单元,9、旋转单元,10、风机抽风单元,11、踏板,12、刮板,13、电机,14、固定杆,15、固定片,16、手握,17、第一边角线,18、第一松紧带,19、底座,20、水管,21、第二底座,22、第二边角线,23、第二松紧带,24、活塞,25、气泵,26、压杆,27、压片,28、第一螺栓,29、气压杆,30、卡扣,31、卡槽,32、第一螺纹,33、螺口,34、嵌口,35、第二螺纹,36、第二螺栓,37、转动轴,38、移动杆,39、移动槽。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。请参阅图1-4,本发明提供一种技术方案:一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置,包括面板单元1、挡板2、光罩清洗机3、自动搬运单元4、清洁盒5、清洁棉6、其他设备对接口7、手洗单元8、旋转单元9、风机抽风单元10、踏板11、刮板12、电机13、固定杆14、固定片15、手握16、第一边角线17、第一松紧带18、底座19、水管20、第二底座21、第二边角线22、第二松紧带23、活塞24、气泵25、压杆26、压片27、第一螺栓28、气压杆29、卡扣30、卡槽31、第一螺纹32、螺口33、嵌口34、第二螺纹35、第二螺栓36、转动轴37、移动杆38和移动槽39,面板单元1的下端安装有光罩清洗机3,且光罩清洗机3的内侧上下两端固定有挡板2,光罩清洗机3的中端固定有自动搬运单元4,且自动搬运单元4的左端安装有清洁盒5,自动搬运单元4的右端连接有踏板11,清洁盒5的中端固定有清洁棉6,光罩清洗机3的下端连接有其他设备对接口7,且其他设备对接口7的右端设置有手洗单元8,手洗单元8的右端固定有旋转单元9,光罩清洗机3的右端固定有风机抽风单元10,清洁盒5的左端连接有刮板12,且清洁盒5的内侧中端镶嵌有电机13,刮板12通过移动杆38与移动槽39构成可滑动结构,且移动杆38与移动槽39呈镶嵌的连接方式,而且移动槽39呈矩形状,通过移动杆28可对刮板2的高低进行调节,使得刮板2不行影响清洁棉4的使用,电机13的下端设置有清洁棉6,清洁盒5的上端固定有固定杆14,且固定杆14的右端固定有固定片15,固定杆14之间的中端安装有手握16,清洁盒5的右端连接有第一边角线17,且第一边角线17的下端镶嵌有底座19,第一边角线17以底座19的横向中轴线对称分布,且第一边角线17呈三角形结构,而且第一边角线17与第二边角线23形状相同,同时第一边角线17的长度短于第二边角线23的长度,帮助使用者手臂的固定,底座19的长度短于第二底座21的长度,且底座19与第二底座21通过水管20相连接,同时底座19与水管20的连接方式为螺纹连接,第一边角线17的上端固定有松紧带18,底座19的右端镶嵌有水管20,且水管20的右端连接有第二底座21,水管20通过螺口33与第二底座21构成螺纹连接,且第二底座21通过第二螺纹35与活塞24构成嵌入式结构,有效防止水的泄露,第二底座21的上端固定有第二边角线22,第二边角线22的上端连接有第二松紧带23,且第二边角线22的右端安装有活塞24,第二底座12的下端连接有气泵25,且气泵25的下端设置有压杆26,压杆26通过转动轴37与气泵25构成可转动结构,且压杆26与气压杆29的连接方式为固定连接,压杆16通过转动轴27减少与气泵15产生的摩擦,延长气泵15使用寿命,压片27连接于压杆26的下端,且压片27的内侧中端镶嵌有第一螺栓28,压杆16的左端设置有气压杆29,清洁盒5的右端连接有卡扣30,卡扣30的右端镶嵌有卡槽31,且卡槽31的内侧中心固定有第二螺栓36,底座19的内侧右端镶嵌有第一螺纹32,水管20的右端连接有螺口33,压杆26的右端设置有嵌口34,且嵌口34的内侧中端设置有转动轴37,活塞24的右端连接有第二螺纹35,移动杆38位于清洁盒5的右端,且移动杆38的上端设置有移动槽39。
工作原理:对于这类的液晶面板光罩离心式旋转清洗装置首先,面板单元1用于对液晶面板光罩进行存储,自动搬运单元4将液晶面板光罩搬运到所需要的设备单元,首次按通过自动搬运单元4将液晶面板光罩搬运至旋转单元9,旋转单元9用于对液晶面板光罩进行旋转清洗,可使用酸、碱、纯水、氮气、高压空气等进行清洗,然后液晶面板光罩再通过自动搬运单元4搬运至手洗单元8,手洗单元8对液晶面板面板光罩进行夹持定位,使用洁净布等工具对液晶面板光罩进行局部手动清洗,清洗后的液晶面板光罩再次通过自动搬运单元4搬运至清洁盒5,清洁盒5的中端固定有清洁棉6,将整条手臂穿入松紧带10的下端,通过松紧带10对手臂进行固定,其次握住手握7,然后通过旋转活塞14打开第二底座12,向第二底座12的内部注入清洁液,再通过旋转活塞14关闭第二底座12,通过压片17压动压杆16,再通过压杆压动气压杆19带动气泵15对第二底座12内部进行增压,使得清洁液通过水管11流向底座9,再通过底座9流向清洁棉4,以此对清洁棉4进行加湿,电机3带动清洁棉4进行旋转,以此再次对液晶面板光罩进行二次清洁,清洁后再通过自动搬运单元4搬运至风机抽风单元10,风机抽风单元10对液晶面板光罩清洗内部,由风机过滤机组产生的过多空气进行抽取,以保证内外压差及内部洁净度,清洁过后面板单元1可对面罩进行存储,这样就完成了整个液晶面板光罩离心式旋转清洗装置的使用过程。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置,包括清洁盒(5)、压片(27)和移动杆(38),其特征在于:所述面板单元(1)的下端安装有光罩清洗机(3),且光罩清洗机(3)的内侧上下两端固定有挡板(2),所述光罩清洗机(3)的中端固定有自动搬运单元(4),且自动搬运单元(4)的左端安装有清洁盒(5),所述自动搬运单元(4)的右端连接有踏板(11),所述清洁盒(5)的中端固定有清洁棉(6),所述光罩清洗机(3)的下端连接有其他设备对接口(7),且其他设备对接口(7)的右端设置有手洗单元(8),所述手洗单元(8)的右端固定有旋转单元(9),所述光罩清洗机(3)的右端固定有风机抽风单元(10),所述清洁盒(5)的左端连接有刮板(12),且清洁盒(5)的内侧中端镶嵌有电机(13),所述电机(13)的下端设置有清洁棉(6),所述清洁盒(5)的上端固定有固定杆(14),且固定杆(14)的右端固定有固定片(15),所述固定杆(14)之间的中端安装有手握(16),所述清洁盒(5)的右端连接有第一边角线(17),且第一边角线(17)的下端镶嵌有底座(19),所述第一边角线(17)的上端固定有松紧带(18),所述底座(19)的右端镶嵌有水管(20),且水管(20)的右端连接有第二底座(21),所述第二底座(21)的上端固定有第二边角线(22),所述第二边角线(22)的上端连接有第二松紧带(23),且第二边角线(22)的右端安装有活塞(24),所述第二底座(12)的下端连接有气泵(25),且气泵(25)的下端设置有压杆(26),所述压片(27)连接于压杆(26)的下端,且压片(27)的内侧中端镶嵌有第一螺栓(28),所述压杆(16)的左端设置有气压杆(29),所述清洁盒(5)的右端连接有卡扣(30),所述卡扣(30)的右端镶嵌有卡槽(31),且卡槽(31)的内侧中心固定有第二螺栓(36),所述底座(19)的内侧右端镶嵌有第一螺纹(32),所述水管(20)的右端连接有螺口(33),所述压杆(26)的右端设置有嵌口(34),且嵌口(34)的内侧中端设置有转动轴(37),所述活塞(24)的右端连接有第二螺纹(35),所述移动杆(38)位于清洁盒(5)的右端,且移动杆(38)的上端设置有移动槽(39)。
2.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置,其特征在于:所述刮板(12)通过移动杆(38)与移动槽(39)构成可滑动结构,且移动杆(38)与移动槽(39)呈镶嵌的连接方式,而且移动槽(39)呈矩形状。
3.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置,其特征在于:所述第一边角线(17)以底座(19)的横向中轴线对称分布,且第一边角线(17)呈三角形结构,而且第一边角线(17)与第二边角线(23)形状相同,同时第一边角线(17)的长度短于第二边角线(23)的长度。
4.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置,其特征在于:所述底座(19)的长度短于第二底座(21)的长度,且底座(19)与第二底座(21)通过水管(20)相连接,同时底座(19)与水管(20)的连接方式为螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置,其特征在于:所述水管(20)通过螺口(33)与第二底座(21)构成螺纹连接,且第二底座(21)通过第二螺纹(35)与活塞(24)构成嵌入式结构。
6.根据权利要求1所述的一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置,其特征在于:所述压杆(26)通过转动轴(37)与气泵(25)构成可转动结构,且压杆(26)与气压杆(29)的连接方式为固定连接。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI723325B (zh) * 2018-07-16 2021-04-01 台灣積體電路製造股份有限公司 光罩清洗系統及其方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1334481A (zh) * 2000-05-12 2002-02-06 富士胶片株式会社 光学补偿片的制造方法和装置、热处理方法和装置以及除尘方法和装置
KR20070022887A (ko) * 2004-09-03 2007-02-27 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 기판 테두리부 세정 장치 및 기판 테두리부 세정 방법
CN204365659U (zh) * 2014-12-30 2015-06-03 绵阳捷智光电科技有限公司 一种液晶显示屏清洁装置
CN205183207U (zh) * 2015-09-17 2016-04-27 中国船舶重工集团公司第七一三研究所 智能化光伏阵列清洗车
TWM536984U (zh) * 2016-07-28 2017-02-21 Stek Co Ltd 非接觸式光罩/晶圓潔淨裝置
CN106950797A (zh) * 2017-05-22 2017-07-14 深圳市华星光电技术有限公司 光罩卡夹清洁装置及曝光机
CN208213892U (zh) * 2017-12-30 2018-12-11 苏州慧桥自动化设备有限公司 一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1334481A (zh) * 2000-05-12 2002-02-06 富士胶片株式会社 光学补偿片的制造方法和装置、热处理方法和装置以及除尘方法和装置
KR20070022887A (ko) * 2004-09-03 2007-02-27 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 기판 테두리부 세정 장치 및 기판 테두리부 세정 방법
CN204365659U (zh) * 2014-12-30 2015-06-03 绵阳捷智光电科技有限公司 一种液晶显示屏清洁装置
CN205183207U (zh) * 2015-09-17 2016-04-27 中国船舶重工集团公司第七一三研究所 智能化光伏阵列清洗车
TWM536984U (zh) * 2016-07-28 2017-02-21 Stek Co Ltd 非接觸式光罩/晶圓潔淨裝置
CN106950797A (zh) * 2017-05-22 2017-07-14 深圳市华星光电技术有限公司 光罩卡夹清洁装置及曝光机
CN208213892U (zh) * 2017-12-30 2018-12-11 苏州慧桥自动化设备有限公司 一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI723325B (zh) * 2018-07-16 2021-04-01 台灣積體電路製造股份有限公司 光罩清洗系統及其方法

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