CN108227323A - Coa基板以及用于制作coa基板的树脂层中的过孔的光罩 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种COA基板，其包括：基板；第二金属层，设置于所述基板上；钝化层，设置于所述第二金属层上；彩色光阻层，设置于所述钝化层上，所述彩色光阻层具有暴露所述钝化层的第一过孔；树脂层，设置于所述彩色光阻层上并填充所述第一过孔，所述树脂层的填充于所述第一过孔内的部分中具有第二过孔，所述第二过孔包括贯穿所述钝化层的主过孔以及由所述主过孔的部分孔壁向外凸出形成的副过孔，所述副过孔与所述主过孔的孔深相同。本发明通过形成副过孔来破坏主过孔的规则形状，这样使后续的PI溶液涂布时PI溶液容易流入第二过孔内，从而第二过孔的开口周围的PI溶液不会集聚，进而可以消除在显示时此处对应的位置形成明显的亮暗不均现象。

Description

COA基板以及用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩
技术领域
本发明属于显示基板制作技术领域，具体地讲，涉及一种COA基板以及用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩。
背景技术
液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)己成为人们生活中的必需品，随着人们需求的提高，为了提高液晶显示器的显示品质，避免阵列基板和彩膜基板对盒时的偏差影响液晶显示器的开口率和出现漏光的问题，彩色滤光片与阵列基板集成在一起的集成技术(Color Filter on Array，简称COA)应用而生，COA技术就是将彩色滤光片设置于阵列基板上。
在目前的COA基板中，PFA(英文名称为：Poly Fluoro Alkoxy，简称：过氟烷基化物)层中都有过孔(Via Hole)，以便像素电极通过过孔与第二金属层电连接。然而由于PFA层中的过孔的截面图形(沿与孔深方向垂直的方向对过孔进行截面)呈规则状(例如矩形)，而在后续的PI(配向)溶液涂布时，PI溶液在规则的过孔的开口周围的张力均相同，因此PI溶液不容易流入过孔内，从而PFA层上的位于过孔的开口周围的PI溶液会集聚，从而形成的PI膜层的厚度在此处较厚，进而在显示时此处对应的位置具有明显的亮暗不均(mura)现象。
发明内容
为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种能使PI溶液易于流入树脂层的过孔中的COA基板以及用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩。
根据本发明的一方面，提供了一种COA基板，其包括：基板；第二金属层，设置于所述基板上；钝化层，设置于所述第二金属层上；彩色光阻层，设置于所述钝化层上，所述彩色光阻层具有暴露所述钝化层的第一过孔；树脂层，设置于所述彩色光阻层上并填充所述第一过孔，所述树脂层的填充于所述第一过孔内的部分中具有第二过孔，所述第二过孔包括贯穿所述钝化层的主过孔以及由所述主过孔的部分孔壁向外凸出形成的副过孔，所述副过孔与所述主过孔的孔深相同。
进一步地，所述副过孔的截面图形的尺寸远小于所述主过孔的截面图形的尺寸，所述副过孔的截面图形指的是沿着与所述副过孔的孔深方向垂直的方向对所述副过孔进行截面形成的图形，所述主过孔的截面图形指的是沿着与所述主过孔的孔深方向垂直的方向对所述主过孔进行截面形成的图形。
进一步地，所述主过孔的截面图形呈矩形，所述副过孔的截面图形位于所述主过孔的截面图形的角落处。
进一步地，所述副过孔的截面图形呈矩形，所述副过孔的截面图形的角落与所述主过孔的截面图形的角落融合。
进一步地，所述COA基板还包括：第一金属层，设置于所述基板和所述第二金属层之间；第一绝缘层，设置于所述第一金属层和所述第二金属层之间；有源层，设置于所述第一绝缘层和所述第二金属层之间，所述第二金属层与所述有源层接触；像素电极，设置于所述树脂层上，并通过所述第二过孔与所述第二金属层接触。
根据本发明的另一方面，还提供了一种用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩，所述光罩包括主半透部以及所述主半透部的部分向外凸出形成的副半透部，所述主半透部和所述副半透部均呈网格状，且所述主半透部和所述副半透部的网格条是遮光的。
进一步地，所述主半透部呈矩形，所述副半透部位于所述主半透部的角落处。
进一步地，所述副半透部呈矩形，所述副半透部的角落与所述主半透部的角落融合。
根据本发明的又一方面，又提供了一种用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩，所述光罩包括主半透部以及位于所述主半透部一侧的副半透部，所述主半透部和所述副半透部间隔设置，所述主半透部和所述副半透部均呈网格状，且所述主半透部和所述副半透部的网格条是遮光的。
进一步地，所述主半透部呈矩形，所述副半透部呈L型，所述副半透部的内弯折处朝向所述主半透部的角落，并且副半透部的内弯折处与所述主半透部的角落间隔设置。
本发明的有益效果：本发明通过形成副过孔来破坏主过孔的规则形状，这样树脂层中的第二过孔的截面图形为不规则图形，在后续的PI溶液涂布时，PI溶液在不规则的第二过孔的开口周围的张力不相同，因此PI溶液容易流入第二过孔内，从而树脂层上的位于第二过孔的开口周围的PI溶液不会集聚，进而可以消除在显示时此处对应的位置形成明显的亮暗不均(mura)现象。
附图说明
通过结合附图进行的以下描述，本发明的实施例的上述和其它方面、特点和优点将变得更加清楚，附图中：
图1是根据本发明的实施例的COA基板的俯视图；
图2是沿图1中的A-A线的剖面图；
图3是根据本发明的实施例的用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩的结构示意图；
图4是根据本发明的另一实施例的用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩的结构示意图。
具体实施方式
以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本发明，并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。
在附图中，为了清楚起见，夸大了层和区域的厚度。相同的标号在整个说明书和附图中表示相同的元器件。
将理解的是，当诸如层、膜、区域或基底等的元件被称作“在”另一元件“上”时，该元件可以直接在所述另一元件上，或者也可以存在中间元件。可选择地，当元件被称作“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。
图1是根据本发明的实施例的COA基板的俯视图。图2是沿图1中的A-A线的剖面图。
参照图1和图2，根据本发明的实施例的COA基板包括：基板100、第一金属层200、第一绝缘层300、有源层400、像素电极500、第二金属层600、钝化层700、彩色滤光层800和树脂层900。
在图1中，彩色滤光层800包括红色滤光层R、绿色滤光层G和蓝色滤光层B，其中，红色滤光层R、绿色滤光层G和蓝色滤光层B均包括两个过孔结构。由于各个过孔结构都相同，因此在图2中，进一蓝色滤光层B中的一个过孔结构进行图示说明，应当理解的是，其他过孔结构与图2所示的过孔结构相同。
具体地，第一金属层200设置于基板100上。第一金属层200通常用于制作扫描线以及与扫描线连接的栅极等。第一绝缘层300设置于基板100和第一金属层200上。有源层400设置于第一绝缘层300上。第二金属层600设置于第一绝缘层300上，并且第二金属层600与有源层400接触。第二金属层600通常用于制作源极、漏极以及与源极或漏极连接的数据线，这里在图1中，有源层400左侧的第二金属层600可例如是源极，而有源层400右侧的第二金属层600可例如是漏极，二者彼此间隔且均部分位于有源层400上。钝化层700设置于第二金属层600和有源层400上。
彩色滤光层800设置于钝化层700上。彩色滤光层800中具有第一过孔810，第一过孔810暴露钝化层700。树脂层900设置于彩色滤光层800上，并且树脂层900填充第一过孔810。树脂层900为PFA(英文名称为：Poly Fluoro Alkoxy，简称：过氟烷基化物)层，但本发明并不限制于此。
树脂层900的填充于第一过孔810中的部分具有第二过孔910，第二过孔910包括贯穿钝化层700的主过孔910A以及由主过孔910A的部分孔壁向外凸出(即沿着与主过孔910A的孔深方向垂直的方向向外凸出)形成的副过孔910B，副过孔910B与主过孔910A的孔深相同。也就是说，副过孔910B也贯穿钝化层700。由于主过孔910A与副过孔910B一体融合，因此在图2中以虚线作为二者的分界线。像素电极500设置于树脂层900上，并通过主过孔910A和副过孔910B与有源层400右侧的第二金属层600接触。
如此，通过形成副过孔来破坏主过孔的规则形状，这样第二过孔910的截面图形(沿与第二过孔910的孔深方向垂直的方向对第二过孔910截面后的图形)为不规则图形，在后续的PI溶液涂布时，PI溶液在不规则的第二过孔910的开口(在树脂层900表面上的开口)周围的张力不相同，因此PI溶液容易流入第二过孔910内，从而树脂层900上的位于第二过孔910的开口周围的PI溶液不会集聚，进而可以消除在显示时此处对应的位置形成明显的亮暗不均(mura)现象。
进一步地，副过孔910B的截面图形的尺寸远小于主过孔910A的截面图形的尺寸，副过孔910B的截面图形指的是沿着与副过孔910B的孔深方向垂直的方向对副过孔910B进行截面形成的图形，主过孔910A的截面图形指的是沿着与主过孔910A的孔深方向垂直的方向对主过孔910A进行截面形成的图形。这样，可以最大程度忽略副过孔910B开设所带来的影响显示的问题。
此外，作为一种示例，主过孔910A的截面图形呈矩形，副过孔910B的截面图形位于主过孔910A的截面图形的角落处。但是在本发明中，并不对主过孔910A的截面图形进行限制，其只要是规则图形即可，常规的为矩形或者圆形。此外，在本发明中，也并不对副过孔910B的数量进行限制，其可以是一个、两个、三个或者更多个，副过孔910B的设置只要将主过孔910A的截面图形的规则形状破坏即可。
进一步地，作为一种示例，副过孔910B的截面图形呈矩形，副过孔910B的截面图形的角落与主过孔910A的截面图形的角落融合。但是在本发明中，并不对副过孔910B的截面图形进行限制，其也可以为圆形、三角形或者其他任何已知的图形。
图3是根据本发明的实施例的用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩的结构示意图。
参照图3，根据本发明的实施例的用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩1000包括主半透部1010以及主半透部1010的部分向外凸出形成的副半透部1020，主半透部1010和副半透部1020均呈网格状，并且主半透部1010和副半透部1020的网格条1030是遮光的。
在上述的树脂层900的第二过孔910的制作中，使主半透部1010与树脂层900的将形成主过孔910A的部分相对，副半透部1020与树脂层900的将形成副过孔910B的部分相对，经过曝光、显影和刻蚀后形成第二过孔910。
进一步地，主半透部1010呈矩形，这样对应形成的主过孔910A呈矩形；而副半透部1020位于主半透部1010的角落处。
此外，作为本发明的一示例，副半透部1020呈矩形，这样对应形成的副过孔910B亦呈矩形，副半透部1020的角落与主半透部1010的角落融合。
也就是说，主透光部1010和副透光部1020的形状分别与主过孔910A和副过孔910B的形状匹配。
图4是根据本发明的另一实施例的用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩的结构示意图。
参照图4，根据本发明的另一实施例的用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩包括主半透部2010以及位于主半透部2010一侧的副半透部2020，主半透部2010和副半透部2020间隔设置，主半透部2010和副半透部2020均呈网格状，并且主半透部2010和副半透部2020的网格条2030是遮光的。
在上述的树脂层900的第二过孔910的制作中，使主半透部2010与树脂层900的将形成主过孔910A的部分相对，副半透部2020与树脂层900的将形成副过孔910B的部分相对，经过曝光、显影和刻蚀后形成第二过孔910。而这里，主半透部2010和副半透部2020间隔设置之间的间隔是全透光的，其可以是第二过孔910的孔壁与水平的夹角变小，即可以使第二过孔910的孔壁的坡度下降，从而更好地使PI溶液流下来。
进一步地，主半透部2010呈矩形，这样对应形成的主过孔910A呈矩形；副半透部2020呈L型，这样对应也可以形成矩形的副过孔910B。副半透部2020的内弯折处朝向主半透部2010的角落，并且副半透部2020的内弯折处与主半透部2010的角落间隔设置。
综上所述，根据本发明的实施例，通过形成副过孔来破坏主过孔的规则形状，这样树脂层中的第二过孔的截面图形为不规则图形，在后续的PI溶液涂布时，PI溶液在不规则的第二过孔的开口周围的张力不相同，因此PI溶液容易流入第二过孔内，从而树脂层上的位于第二过孔的开口周围的PI溶液不会集聚，进而可以消除在显示时此处对应的位置形成明显的亮暗不均(mura)现象。
虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。

Claims (10)

1.一种COA基板，其特征在于，包括：
基板；
第二金属层，设置于所述基板上；
钝化层，设置于所述第二金属层上；
彩色光阻层，设置于所述钝化层上，所述彩色光阻层具有暴露所述钝化层的第一过孔；
树脂层，设置于所述彩色光阻层上并填充所述第一过孔，所述树脂层的填充于所述第一过孔内的部分中具有第二过孔，所述第二过孔包括贯穿所述钝化层的主过孔以及由所述主过孔的部分孔壁向外凸出形成的副过孔，所述副过孔与所述主过孔的孔深相同。
2.根据权利要求1所述的COA基板，其特征在于，所述副过孔的截面图形的尺寸远小于所述主过孔的截面图形的尺寸，所述副过孔的截面图形指的是沿着与所述副过孔的孔深方向垂直的方向对所述副过孔进行截面形成的图形，所述主过孔的截面图形指的是沿着与所述主过孔的孔深方向垂直的方向对所述主过孔进行截面形成的图形。
3.根据权利要求2所述的COA基板，其特征在于，所述主过孔的截面图形呈矩形，所述副过孔的截面图形位于所述主过孔的截面图形的角落处。
4.根据权利要求3所述的COA基板，其特征在于，所述副过孔的截面图形呈矩形，所述副过孔的截面图形的角落与所述主过孔的截面图形的角落融合。
5.根据权利要求1所述的COA基板，其特征在于，所述COA基板还包括：
第一金属层，设置于所述基板和所述第二金属层之间；
第一绝缘层，设置于所述第一金属层和所述第二金属层之间；
有源层，设置于所述第一绝缘层和所述第二金属层之间，所述第二金属层与所述有源层接触；
像素电极，设置于所述树脂层上，并通过所述第二过孔与所述第二金属层接触。
6.一种用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩，其特征在于，所述光罩包括主半透部以及所述主半透部的部分向外凸出形成的副半透部，所述主半透部和所述副半透部均呈网格状，且所述主半透部和所述副半透部的网格条是遮光的。
7.根据权利要求6所述的光罩，其特征在于，所述主半透部呈矩形，所述副半透部位于所述主半透部的角落处。
8.根据权利要求7所述的光罩，其特征在于，所述副半透部呈矩形，所述副半透部的角落与所述主半透部的角落融合。
9.一种用于制作COA基板的树脂层中的过孔的光罩，其特征在于，所述光罩包括主半透部以及位于所述主半透部一侧的副半透部，所述主半透部和所述副半透部间隔设置，所述主半透部和所述副半透部均呈网格状，且所述主半透部和所述副半透部的网格条是遮光的。
10.根据权利要求9所述的光罩，其特征在于，所述主半透部呈矩形，所述副半透部呈L型，所述副半透部的内弯折处朝向所述主半透部的角落，并且副半透部的内弯折处与所述主半透部的角落间隔设置。
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